JPH0254227U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0254227U JPH0254227U JP13399488U JP13399488U JPH0254227U JP H0254227 U JPH0254227 U JP H0254227U JP 13399488 U JP13399488 U JP 13399488U JP 13399488 U JP13399488 U JP 13399488U JP H0254227 U JPH0254227 U JP H0254227U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impurity diffusion
- diffusion layer
- semiconductor device
- contact hole
- silicon substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
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Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案による半導体装置の要部を示す
断面図、第２図は本考案を使用して製造した半導
体集積回路装置の要部を示す断面図、第３図は本
考案の一実施例を示す断面図、第４図は従来のＭ
ＯＳ・ＬＳＩの要部を示す断面図である。 ８……シリコン基板、９……不純物拡散層、１
０……コンタクトホール、１１……酸化シリコン
層、１２……絶縁層、１３……金属配線層、１４
，１５……縦方向スパイク。
断面図、第２図は本考案を使用して製造した半導
体集積回路装置の要部を示す断面図、第３図は本
考案の一実施例を示す断面図、第４図は従来のＭ
ＯＳ・ＬＳＩの要部を示す断面図である。 ８……シリコン基板、９……不純物拡散層、１
０……コンタクトホール、１１……酸化シリコン
層、１２……絶縁層、１３……金属配線層、１４
，１５……縦方向スパイク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 シリコン基板の表面側に不純物拡散層を形成す
るとともに、該不純物拡散層上にコンタクトホー
ルを形成してなる半導体装置において、 上記不純物拡散層と上記シリコン基板とのｐｎ
接合境界のうち、上記コンタクトホール下方のｐ
ｎ接合境界付近に酸化シリコン層を形成したこと
を特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13399488U JPH0254227U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13399488U JPH0254227U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0254227U true JPH0254227U (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=31392369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13399488U Pending JPH0254227U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0254227U (ja) |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP13399488U patent/JPH0254227U/ja active Pending