JPH0252743A - インクマーキング装置 - Google Patents
インクマーキング装置Info
- Publication number
- JPH0252743A JPH0252743A JP20533188A JP20533188A JPH0252743A JP H0252743 A JPH0252743 A JP H0252743A JP 20533188 A JP20533188 A JP 20533188A JP 20533188 A JP20533188 A JP 20533188A JP H0252743 A JPH0252743 A JP H0252743A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- syringe
- stamp
- needle
- silicon wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
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- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 15
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はインクマーキング装置に関し、特にシリコンウ
ェーハヘマーキングを行うためのインクマーキング装置
に関する。
ェーハヘマーキングを行うためのインクマーキング装置
に関する。
〔従来の技術:
従来、シリコンウェーハに形成された半導体素子の良、
不良を明確にするために、シリコンウェーハにマーキン
グが行なわれているが、その方法としては、インクツボ
に貯えられたインクを二ドルを用いて直接シリコンウェ
ーハへ吐出しマーキングする方法や、マグネ・・lト吸
引で作動する針先にて、シリコンウェーハ表面へきすを
つけるスクラッチ方法が用いられていた。
不良を明確にするために、シリコンウェーハにマーキン
グが行なわれているが、その方法としては、インクツボ
に貯えられたインクを二ドルを用いて直接シリコンウェ
ーハへ吐出しマーキングする方法や、マグネ・・lト吸
引で作動する針先にて、シリコンウェーハ表面へきすを
つけるスクラッチ方法が用いられていた。
′、発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のマーキング方法では、シリコンウェーハ
上ヘインクの吹き付は又は、針先でのスクラ・ソチきず
打点を行う為、インクやシリコンのくずが周辺の回路へ
飛び散り、ウェハ割れを起したり、マークインデ・ソク
スタイムが長いためマークの厚さや大きさが不均一にな
る等の問題があった、 本発明の目的は、ウェーハ割れを生ずることがなく、し
かもマークの厚さや大きさを均一にすることのできるイ
ンクマーキング装置を提供することにある。
上ヘインクの吹き付は又は、針先でのスクラ・ソチきず
打点を行う為、インクやシリコンのくずが周辺の回路へ
飛び散り、ウェハ割れを起したり、マークインデ・ソク
スタイムが長いためマークの厚さや大きさが不均一にな
る等の問題があった、 本発明の目的は、ウェーハ割れを生ずることがなく、し
かもマークの厚さや大きさを均一にすることのできるイ
ンクマーキング装置を提供することにある。
本発明のインクマーキング装置は、シリンジの先端に設
けられインクを吐出するニードルと、前記ニードルの前
面を覆って設けられた液体吸収性の高い材料からなるス
タンプと、前記シリンジの後端に一端が接続されたエア
チューブと、前記エアチューブの他端に接続され前記シ
リンジ内を加圧または減圧しシリンジ内のインクの吐出
量を制御する吐出コントローラとを含んで構成される。
けられインクを吐出するニードルと、前記ニードルの前
面を覆って設けられた液体吸収性の高い材料からなるス
タンプと、前記シリンジの後端に一端が接続されたエア
チューブと、前記エアチューブの他端に接続され前記シ
リンジ内を加圧または減圧しシリンジ内のインクの吐出
量を制御する吐出コントローラとを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図は本発明の一実施例の一部切り欠き側面図である
。
。
第1図においてインクマーキング装置は、シリンジ3の
先端に設けられインクを吐出するニードル7と、このニ
ードル7の前面を覆って設けられたフェルトやスポンジ
等の液体吸収性の高い材料からなるスタンプ2と、シリ
ンジ3の後端に一端が接続されたエアチューブ6と、こ
のエアチューブ6の他端に接続され、シリンジ3内を加
圧または減圧しシリンジ3内のインク4の吐出量を制御
する吐出コントローラ1とから構成されている。
先端に設けられインクを吐出するニードル7と、このニ
ードル7の前面を覆って設けられたフェルトやスポンジ
等の液体吸収性の高い材料からなるスタンプ2と、シリ
ンジ3の後端に一端が接続されたエアチューブ6と、こ
のエアチューブ6の他端に接続され、シリンジ3内を加
圧または減圧しシリンジ3内のインク4の吐出量を制御
する吐出コントローラ1とから構成されている。
尚10はウェーハ検査装置に取付けられたシリンジ支持
柱である。
柱である。
次にこのように構成された本実施例の動作について説明
する。
する。
まず吐出コントローラ1にて規定のインク量に応じたエ
アー圧及び吐出時間をもって、エアーチューブ6を介し
シリンジ3の中に貯えられたインク4を上方より加圧し
、ニードル7を通じインクを液体吸収性の高いスタンプ
2へ注入し、常にスタンプ2の下面はインクを含んだ状
態にする。ここで被転写物であるシリコンウェーハ5を
上昇させ、スタンプ2の下面と接触させてマーキングを
実施する。その後、吐出コントローラ1によりシリンジ
3内を真空吸引することでインク4の引上げを行うこと
により、シリコンウェーハ5を下降させた際のインクの
線引きを防止する。
アー圧及び吐出時間をもって、エアーチューブ6を介し
シリンジ3の中に貯えられたインク4を上方より加圧し
、ニードル7を通じインクを液体吸収性の高いスタンプ
2へ注入し、常にスタンプ2の下面はインクを含んだ状
態にする。ここで被転写物であるシリコンウェーハ5を
上昇させ、スタンプ2の下面と接触させてマーキングを
実施する。その後、吐出コントローラ1によりシリンジ
3内を真空吸引することでインク4の引上げを行うこと
により、シリコンウェーハ5を下降させた際のインクの
線引きを防止する。
以上説明I−たように本発明は、吐出コントローラを用
い、ニードルを介してスタンプに吐出されるインクの量
を制御することにより、 (1)インクマーク厚を薄くシ、その大きさを均一にで
きる、 〈2)マークインデ・ソクスタイムを短縮できる、(3
)シリコンウェーハに対するダメージを少なくできる、 という効果がある。
い、ニードルを介してスタンプに吐出されるインクの量
を制御することにより、 (1)インクマーク厚を薄くシ、その大きさを均一にで
きる、 〈2)マークインデ・ソクスタイムを短縮できる、(3
)シリコンウェーハに対するダメージを少なくできる、 という効果がある。
第1図は本発明の一実施例の一部切り欠き側面図である
、 1・・・吐出コントローラ、2・・・スタンプ、3・・
・シリンジ、11・・・インク、5・・・シリコンウェ
ーハ 6・・・エアーチューブ、7・・・ニードル、1
0・・・シリンジ支持柱、 男 l 図
、 1・・・吐出コントローラ、2・・・スタンプ、3・・
・シリンジ、11・・・インク、5・・・シリコンウェ
ーハ 6・・・エアーチューブ、7・・・ニードル、1
0・・・シリンジ支持柱、 男 l 図
Claims (1)
- シリンジの先端に設けられインクを吐出するニードルと
、前記ニードルの前面を覆って設けられた液体吸収性の
高い材料からなるスタンプと、前記シリンジの後端に一
端が接続されたエアチューブと、前記エアチューブの他
端に接続され前記シリンジ内を加圧または減圧しシリン
ジ内のインクの吐出量を制御する吐出コントローラとを
含むことを特徴とするインクマーキング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20533188A JPH0252743A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | インクマーキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20533188A JPH0252743A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | インクマーキング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0252743A true JPH0252743A (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=16505154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20533188A Pending JPH0252743A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | インクマーキング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0252743A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03102733U (ja) * | 1990-02-07 | 1991-10-25 | ||
JPH04170038A (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-17 | Nec Yamagata Ltd | 半導体ペレット用インクマーク装置 |
JP2016052451A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-14 | 株式会社八光 | 胸腔鏡下手術における臓側胸膜穿刺不要の術前経皮的マーキング器具 |
-
1988
- 1988-08-17 JP JP20533188A patent/JPH0252743A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03102733U (ja) * | 1990-02-07 | 1991-10-25 | ||
JPH04170038A (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-17 | Nec Yamagata Ltd | 半導体ペレット用インクマーク装置 |
JP2016052451A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-14 | 株式会社八光 | 胸腔鏡下手術における臓側胸膜穿刺不要の術前経皮的マーキング器具 |
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