JPH0251436A - 光ファイバ母材の脱水焼結炉 - Google Patents
光ファイバ母材の脱水焼結炉Info
- Publication number
- JPH0251436A JPH0251436A JP20057888A JP20057888A JPH0251436A JP H0251436 A JPH0251436 A JP H0251436A JP 20057888 A JP20057888 A JP 20057888A JP 20057888 A JP20057888 A JP 20057888A JP H0251436 A JPH0251436 A JP H0251436A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- matsufuru
- pressure
- muffle
- sintering furnace
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005245 sintering Methods 0.000 title claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 8
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 title 1
- 239000012024 dehydrating agents Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 33
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract 2
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 20
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 20
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 8
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 5
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 5
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、光ファイバ母材である多孔質母材中の水分を
除去する脱水処理と焼結処理を行う脱水焼結炉に関する
ものである。
除去する脱水処理と焼結処理を行う脱水焼結炉に関する
ものである。
「従来の技術」
第２図は、従来の光ファイバ母材の脱水焼結炉（以下、
脱水焼結炉と略称する）を示すものである。
脱水焼結炉と略称する）を示すものである。
このものは多孔質母材１が収容されるマツフル２と、こ
のマツフル２内に脱水剤を含むガスを供給するガス供給
機構３と、マツフル２内に収容された多孔質母材ｌを加
熱するヒータ４とから構成されている。この脱水焼結炉
のガス供給機構３は、ヘリウムガスを供給する流路３ａ
と脱水剤である塩素ガスを供給する流路３ｂとから構成
されており、流路３ａ、３ｂは合流された後マツフル２
の下部に連結されている。また流路３ａにはヘリウムガ
スの流量を制御する流量コントローラ５が取り付けられ
ている。このガス供給機構３からマツフル２に供給され
たガスは、マツフル２内を上昇した後、マツフル２の蓋
部２ａに有る貫通孔２ｂからゐ出する。またマツフル２
の上側部には枝管２Ｃが連設されており、この枝管２ｃ
に取り付けられた差圧計６によって、マツフル２内の圧
力を測定できるようになっている。
のマツフル２内に脱水剤を含むガスを供給するガス供給
機構３と、マツフル２内に収容された多孔質母材ｌを加
熱するヒータ４とから構成されている。この脱水焼結炉
のガス供給機構３は、ヘリウムガスを供給する流路３ａ
と脱水剤である塩素ガスを供給する流路３ｂとから構成
されており、流路３ａ、３ｂは合流された後マツフル２
の下部に連結されている。また流路３ａにはヘリウムガ
スの流量を制御する流量コントローラ５が取り付けられ
ている。このガス供給機構３からマツフル２に供給され
たガスは、マツフル２内を上昇した後、マツフル２の蓋
部２ａに有る貫通孔２ｂからゐ出する。またマツフル２
の上側部には枝管２Ｃが連設されており、この枝管２ｃ
に取り付けられた差圧計６によって、マツフル２内の圧
力を測定できるようになっている。
そして、ガス供給機構３からマツフル２に供給されるガ
ス潰は、この炉の運転開始時に、差圧計６が所定値を示
すように流量コントローラ５を調整することにより設定
される。
ス潰は、この炉の運転開始時に、差圧計６が所定値を示
すように流量コントローラ５を調整することにより設定
される。
「発明が解決しようとする課題」
前記従来の脱水焼結炉にあっては、マツフル２へのガス
供給量が炉の運転開始時に定められた量に保たれるため
、炉内温度が変化するとマツフル２の内圧が変化してし
まう問題があった。
供給量が炉の運転開始時に定められた量に保たれるため
、炉内温度が変化するとマツフル２の内圧が変化してし
まう問題があった。
また、前記従来の脱水焼結炉では、マツフル２に供給さ
れたガスがヒータ４の部分で一度膨張しその後マツフル
２上部で収縮するというガスの膨張収縮現象が原因とな
って発生するマツフル２の激しい共振により、マツフル
２内の圧力が脈動したりマツフル２の形状が変化してし
まう問題があった。
れたガスがヒータ４の部分で一度膨張しその後マツフル
２上部で収縮するというガスの膨張収縮現象が原因とな
って発生するマツフル２の激しい共振により、マツフル
２内の圧力が脈動したりマツフル２の形状が変化してし
まう問題があった。
「課題を解決するための手段」
本発明の光ファイバ母材の脱水焼結炉では、マツフル内
の圧力に応じてマツフルに供給するガス量を制御する制
御機構を設けることによって前記課題の解決を図った。
の圧力に応じてマツフルに供給するガス量を制御する制
御機構を設けることによって前記課題の解決を図った。
「作用 」
本発明の光ファイバ母材の脱水焼結炉にあっては、炉内
温度の変化により内圧が変動するとこれを制御機構で検
知してマツフルへ供給するガス量を調整する。
温度の変化により内圧が変動するとこれを制御機構で検
知してマツフルへ供給するガス量を調整する。
また、供給したガスの膨張収縮現象によりマツフルの共
振が始まった場合にはマツフル内圧の脈動が起きるので
、制御機構によりこの脈動を検知し、脈動を抑制するよ
うにマツフルへのガス供給量を微調整する。
振が始まった場合にはマツフル内圧の脈動が起きるので
、制御機構によりこの脈動を検知し、脈動を抑制するよ
うにマツフルへのガス供給量を微調整する。
「実施例」
以下、図面を参照して本発明の光ファイバ母材の脱水焼
結炉を詳しく説明する。なお、前記従来例と同一構成部
分には同一符号を付して説明を簡略化する。
結炉を詳しく説明する。なお、前記従来例と同一構成部
分には同一符号を付して説明を簡略化する。
第１図は本発明の第１実施例を示すもので、マツフル２
の枝管２ｃには、マツフル２の内圧を計測し内圧に応じ
た電気信号を発する圧力センサ１０が取り付けられてい
る。この圧力センサｌＯは比例積分微分制御部（以下Ｐ
ＩＤ制御部と略称する）１１に接続されており、このＰ
ＩＤ制御部１１はさらにガス供給機構３の流路３ａに設
けられた流量コントローラ１２に接続されている。そし
て、これら圧力センサｌＯとＰＩＤ制御部１１と流量コ
ントローラ１２は、ガス供給量を制御する制御機構１３
を構成している。
の枝管２ｃには、マツフル２の内圧を計測し内圧に応じ
た電気信号を発する圧力センサ１０が取り付けられてい
る。この圧力センサｌＯは比例積分微分制御部（以下Ｐ
ＩＤ制御部と略称する）１１に接続されており、このＰ
ＩＤ制御部１１はさらにガス供給機構３の流路３ａに設
けられた流量コントローラ１２に接続されている。そし
て、これら圧力センサｌＯとＰＩＤ制御部１１と流量コ
ントローラ１２は、ガス供給量を制御する制御機構１３
を構成している。
この脱水焼結炉では、ガス供給機構３の流路３ａからヘ
リウムガスが供給され、流路３ｂから脱水剤としての塩
素ガスが供給されており、これらは合流されたのちマツ
フル２内にその下部から注入される。マツフル２内の圧
力は枝管２ｃに取り付けられた制御機構１３の圧力セン
サｌｏで計測され電気信号に変換されてＰＩＤ制御部１
１に伝えられる。圧力センサｌＯからの電気信号に応じ
てＰＩＤ制御部１１からは原虫コントローラ１２に調節
信号が発せられ、これに応じて前記流路３ａを流れるヘ
リウムガス催が調整される。その結果、マツフル２への
ガス供給量が制御される。
リウムガスが供給され、流路３ｂから脱水剤としての塩
素ガスが供給されており、これらは合流されたのちマツ
フル２内にその下部から注入される。マツフル２内の圧
力は枝管２ｃに取り付けられた制御機構１３の圧力セン
サｌｏで計測され電気信号に変換されてＰＩＤ制御部１
１に伝えられる。圧力センサｌＯからの電気信号に応じ
てＰＩＤ制御部１１からは原虫コントローラ１２に調節
信号が発せられ、これに応じて前記流路３ａを流れるヘ
リウムガス催が調整される。その結果、マツフル２への
ガス供給量が制御される。
この脱水焼結炉では、炉温の変化によりマツフル２内の
圧力が変化すると、制御機構１３の圧力センサｌＯによ
って圧力変化が検知されこの結果に基づいてマツフル２
へのガス供給量が制御されるので、マツフル２の内圧を
直ちに所定値に回復させることができる。従って、この
脱水焼結炉によれば、マツフル内の圧力を安定に保持す
ることができる。
圧力が変化すると、制御機構１３の圧力センサｌＯによ
って圧力変化が検知されこの結果に基づいてマツフル２
へのガス供給量が制御されるので、マツフル２の内圧を
直ちに所定値に回復させることができる。従って、この
脱水焼結炉によれば、マツフル内の圧力を安定に保持す
ることができる。
また、マツフル２へ供給したガスがヒータ４の部分で一
度膨張しその後マツフル２上部で収縮するガスの膨張収
縮現象によってマツフル２が共振を始める際には、内圧
の脈動が制御機構１３の圧力センサｌＯで検知される。
度膨張しその後マツフル２上部で収縮するガスの膨張収
縮現象によってマツフル２が共振を始める際には、内圧
の脈動が制御機構１３の圧力センサｌＯで検知される。
そこで、ＰＩＤ制御部１１から脈動を解消するように調
節信号を発してヘリウムガスの流量を微調整する。する
とマツフル２の振動を抑えることができる。このように
、この脱水焼結炉によれば、マツフル２の共振を抑制す
ることが可能なので、マツフル２の内圧の脈動おヨヒマ
ツフル２の形状の変化を防止することができる。
節信号を発してヘリウムガスの流量を微調整する。する
とマツフル２の振動を抑えることができる。このように
、この脱水焼結炉によれば、マツフル２の共振を抑制す
ることが可能なので、マツフル２の内圧の脈動おヨヒマ
ツフル２の形状の変化を防止することができる。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明の光ファイバ母材の脱水焼
結炉は、マツフル内の圧力に応じてマツフルに供給する
ガス量を制御する制御機構が設けられたものなので、炉
温の変化によりマツフル内の圧力が変化しても、制御機
構によってガス供給量を制御して、マツフル内圧力を所
定値に回復させることができる。従って、この脱水焼結
炉によれば、マツフル内の圧力を安定に保持することが
できる。
結炉は、マツフル内の圧力に応じてマツフルに供給する
ガス量を制御する制御機構が設けられたものなので、炉
温の変化によりマツフル内の圧力が変化しても、制御機
構によってガス供給量を制御して、マツフル内圧力を所
定値に回復させることができる。従って、この脱水焼結
炉によれば、マツフル内の圧力を安定に保持することが
できる。
また、本発明の光ファイバ母材の脱水焼結炉にあっては
、ガスの膨張収縮現象によってマツフルが共振を始めた
とき、共振の際に生じる内圧の脈動を制御機構で検知し
てこの脈動を解消するようにガス供給量を微調整できる
ので、マツフルの振動を抑えることができる。このよう
に本発明の脱水焼結炉によれば、マツフルの共振を抑制
することができるので、マツフル内圧の脈動およびマツ
フルの形状の変化を防止することかできる。
、ガスの膨張収縮現象によってマツフルが共振を始めた
とき、共振の際に生じる内圧の脈動を制御機構で検知し
てこの脈動を解消するようにガス供給量を微調整できる
ので、マツフルの振動を抑えることができる。このよう
に本発明の脱水焼結炉によれば、マツフルの共振を抑制
することができるので、マツフル内圧の脈動およびマツ
フルの形状の変化を防止することかできる。
第１図は本発明の光ファイバ母材の脱水焼結炉の一実施
例を示す概略構成図、第２図は従来の脱水焼結炉を示す
概略構成図である。 ｌ・・多孔質母材、 ４・・・ヒータ、
例を示す概略構成図、第２図は従来の脱水焼結炉を示す
概略構成図である。 ｌ・・多孔質母材、 ４・・・ヒータ、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 多孔質母材が収容されるマツフルと、このマツフル内に
脱水剤を含むガスを供給するガス供給機構と、マツフル
内に収容された多孔質母材を加熱するヒータとからなる
光ファイバ母材の脱水焼結炉において、 前記マツフル内の圧力に応じてマッフルへのガス供給量
を制御する制御機構が設けられたことを特徴とする光フ
ァイバ母材の脱水焼結炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20057888A JPH0251436A (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20057888A JPH0251436A (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0251436A true JPH0251436A (ja) | 1990-02-21 |
Family
ID=16426667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20057888A Pending JPH0251436A (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0251436A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0547560A2 (en) * | 1991-12-16 | 1993-06-23 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Process for vitrification of a porous preform for glass optical fibers by heating under reduce |
| CN103658657A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-03-26 | 宁波恒普真空技术有限公司 | 金属粉末注射成形真空脱脂烧结炉的可控冷却方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63159232A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-02 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 光フアイバ母材製造装置 |
-
1988
- 1988-08-11 JP JP20057888A patent/JPH0251436A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63159232A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-02 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 光フアイバ母材製造装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0547560A2 (en) * | 1991-12-16 | 1993-06-23 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Process for vitrification of a porous preform for glass optical fibers by heating under reduce |
| US5470369A (en) * | 1991-12-16 | 1995-11-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process for consolidation of porous preform for optical fiber |
| CN103658657A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-03-26 | 宁波恒普真空技术有限公司 | 金属粉末注射成形真空脱脂烧结炉的可控冷却方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4276243A (en) | Vapor delivery control system and method | |
| US4582480A (en) | Methods of and apparatus for vapor delivery control in optical preform manufacture | |
| US6161398A (en) | Methods of and systems for vapor delivery control in optical preform manufacture | |
| JP2002531366A (ja) | ガラス質物質製の、特に石英ガラス製のチューブの製造方法 | |
| KR900004211B1 (ko) | 광파이버모재의제조장치 | |
| JP3828821B2 (ja) | 液体材料気化供給装置 | |
| JPH0251436A (ja) | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 | |
| JPH0650513Y2 (ja) | 光ファイバ用母材の脱水焼結炉 | |
| JP2000063142A (ja) | 光ファイバ線引き炉及び光ファイバ線引き方法 | |
| JPH09286620A (ja) | 原料ガスの供給方法及び装置 | |
| JPH05208840A (ja) | 光ファイバ紡糸方法および光ファイバ紡糸装置 | |
| JPH0332501Y2 (ja) | ||
| JPH0218332A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の処理方法 | |
| JP3707104B2 (ja) | 原料供給装置及び原料供給方法 | |
| JPS61257232A (ja) | 液体材料ガス発生方法 | |
| JPH0499279A (ja) | 液体材料の気体化供給方法と供給装置 | |
| JP2820598B2 (ja) | はんだ付け装置の不活性ガス雰囲気制御装置 | |
| JP7397169B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 | |
| JPH11131237A (ja) | ソースガス供給方法及びソースガス供給装置 | |
| JP2000351643A (ja) | 光ファイバ母材の脱水焼結装置 | |
| JPH0535094B2 (ja) | ||
| JPS63285133A (ja) | 光ファイバ線引炉 | |
| JPS62162636A (ja) | 光フアイバ用多孔質母材焼結装置 | |
| KR100907599B1 (ko) | 광파이버 모재 제조 장치 | |
| KR100579339B1 (ko) | 발열체의 산화방지를 위한 퍼징 장치 |