JPH02502568A - 機械的な運動増幅手段を備えたコンパクトな力トランスジューサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ・な１　　　　　　　えたコンパクトなト　ンスジュー 二１］Σ糺！ 本発明は一般的にはトランスジューサに関し、詳しくいうと、高解像度、高精度 のカドランスジューサに関する。

力又は重さを感知する従来技術の一形式は一定の磁界中に可動コイルを使用する フィードバック手法を利用するものである。コイルは感知軸線に沿って移動可能 であり、そして感知軸線に沿うある一定の位置を維持するのに十分な電流により 駆動される。この形態においては、コイル駆動電流はこのコイルを変位するため に印加される力の尺度となる。この方法は一般的には有効であるけれど、力感知 形態が比較的複雑であり、従って高価である。

従来技術の他の形式は歪みゲージロードセルである。

しかしながら、この形式においては、ロードセルの精度が歪みゲージセンサ材料 のヒステリシス及びクリープによって、及びセンサの接合材料のヒステリシス及 びクリープによって制限を受ける。

本出願人の前述の特許はおおむね平行で、離間された一対のビーム部材を介して 各側部が結合された一対の力合算部材を使用する平行四辺形の構造を有するカド ランスジューサを開示している。これら力合算部材の相対変位はビーム部材をた わませる０例えば１本出願人の米国特許第４．４４８．０８５号に示された形式 においては、力合算部材はそれぞれ、誘電体材料より形成されたセンサ部材を支 持している。これらセンサ部材は離間されてはいるが互いに重なっており、キャ パシタンスギャップを形成する導電性表面を備えている。ギャップの変化、従っ てそのキャパシタンスの変化は力合算部材の相対変位ｄに正比例（１：１の対応 ）する。

本出願人の米国特許第４．５５８，６．００号においては、センサ部材は力合算 部材ではなくてビーム部材に取付けられており、変位とギャップの変化との間の 上述の１＝１の対応からの変動を提供する。この特許に開示されているように、 この構成により達成できるセンサギヤツブにおける運動の増幅はトランスジュー サの高さ対幅の比に関係する。

１つの軸線に沿う力を対応するキャパシタンス値に変換する高品質のスケールの 中心的素子としてカドランスジューサを使用するようなある応用例では、上記米 国特許第４．４４８．０８５号の平行四辺形構成の利点と上記米国特許第４．５ ５８．６００号の構成によって達成できる機械的な増幅とを組合せ、しかも非常 にコンパクトなトランスジューサを提供することが望まれている。

それ故、本発明の主な目的はコンパクトでありかつ機械的な運動の増幅を行なう 高解像度、高精度のカドランスジューサを提供することである。

本発明の他の目的はプッシュプルモードの動作を行ない、かつ平行板関係を保持 して良好な直線性、従って良好な精度を提供する、上記利点を備えたカドランス ジューサを提供することである。

本発明の他の目的は大気の変化から容易に隔絶できる、或は大気の変化を容易に 補償できる、上記利点を備えたカドランスジューサを提供することである。

本発明の他の目的はキャパシタンスギャップをストレイ電磁放射線からシールド することができる、上記利点を備えたカドランスジューサを提供することである 。

本発明の他の目的はセラミック又は石英のような既知の誘電体材料から終始一貫 して高品質規格でかつ有利なコストで製造することができる、上記利点のすべて を備えたカドランスジューサを提供することである。

１亘立ｌ刀 カドランスジューサは弾性限界以上のような過大な応力を加えないという条件で 弾性を有する材料から形成される。このカドランスジューサは、少なくとも１つ のビーム部材と、少なくとも１つの力合算部材と、少なくとも１つのセンサ部材 と、これら部材に取付けられた対向する離間された一対の導電性表面又は部材を 含む、力合算部材に第１の軸線に沿って印加される被測定力は、カ合算部材に結 合された、好ましくは一体に結合された１つ又は複数のビーム部材のたわみによ つて抵抗される力合算部材の変位ｄを生じさせる。結合点は所定の変位ｄに対す るビームの最大の角度的変形点であることが好ましい、第１の軸線と交差する第 ２の軸線に沿って延在するビーム部材のたわみは、力合算部材と２つのビーム部 材が平行四辺形のトランスジューサを形成するときには、一般にＳ形状である。

この形状において、ゼロモーメントによって特徴付けられる変曲点（反曲点）は ビーム部材の中点又はその近傍である。ビーム部材が片持ち梁形式の（カンチレ バー）ビームである場合には、結合点は印加される力に応答して変位されるビー ムの自由端にある。

好ましい平行四辺形の形状の場合には、センサ部材は変曲点において又はその近 傍においてビーム部材に、好ましくは一体に、取付けられる。一方のセンサは単 一のビーム状部材であり、他方のセンサは一方のセンサの両側部に位置する一対 の平行なアームを備えたフォーク形状である。関連した形状においては、センサ アームは変曲点に又はその近傍に位置付けされた取付はスタブに接合される。ビ ーム部材の材料に過度の応力を与える危険を減じるために、これらビーム部材は 、たわみ中の応力の集中が最大であるその最大の横断面積が力合算部材に隣接す るテーパー状形態に形成することができる。最小の横断面は変曲点に又はその近 傍４こ現われる。

増幅及びプッシュプル動作を達成するためにカンチレバービームを使用する平行 四辺形の形状の実施例においては、２つのセンサはビーム部材の同じ可動端部に それぞれ取付けられ、これらビーム部材は蝶番作用を提供するために結合部近傍 が薄くされる。各センサは１つの関連するビーム部材に関して平行で、離間され た関係で延在する。センサは変位ｄによって生じる角度的な変形が最大である可 撓性ビーム部材の先端に取付けられており、かつキャパシタンス感知ギヤ°菩ブ がビーム部材の対向する端部に位置付けされているから、変位ｄ（力合算部材の 相対運動）の感知ギャップにおいて機械的な運動の増幅がある。平行四辺形構造 のためにかつこの態様に配置された２つのセンサな使用するために、トランスジ ューサはプッシュプルモードの動作を提供する。

さらに他の低コストの形式においては、本発明は単一の可撓性ビーム及びこの可 撓性ビームの自由端に平行で、離間された関係に取付けられた単一の、或は複数 でもよいセンサを含む、この自由端の変位は可撓性ビーム及びセンサの反対の端 部の近傍に形成されたキャパシタンスギャップに機械的な運動の増幅をもたらす 。

これら形式のすべてにおいて、トランスジューサは大気の変化及びストレイ電磁 界のような他の干渉を補償するために、戒はこれらからこのトランスジューサを 隔絶するために、種々の配置、構成を取ることができる。補償するために、トラ ンスジューサの構造部材の１つの開口に一定のギャップキャパシタを組み込んで もよい、空電から隔絶するために、トランスジューサはゴム或は金属のベロー内 に収納できるように十分にコンパクトである。

本発明のこれら及び種々の他の特徴及び目的は添付図面を参照して以下の詳細な 説明を精読することによって最良に理解されよう。

図面の簡単な説明 第１図は平行四辺形の構成及び機械的な運動の増幅を利用する、かつプッシュプ ルモー・トで動作する本発明によるカドランスジューサの側面図である。

第２図はテーパー状の可撓性ビームを利用し、かつ２つのセンサアームに対して 変形された取付は構造を利用する点を除き、第１図に示すのと同じ一般形式の他 のカドランスジューサの側面図である。

第３図は本発明による単一ビーム力トランスジューサの側面図である。

第４図は第３図に示すトランスジューサの態様で運動の増幅を生じる一対のカン チレバービームを利用する、かつプッシュプルモードで動作する平行四辺形のカ ドランスジューサの側面図である。

第５図は取付は及び隔絶構成を示す第２図に示す形式のカドランスジューサの側 面図である。

第６Ａ図及び第６ＢｒＩ！ｉは第１図、廉２図、又は第５図に示すトランスジュ ーサの半休をそれぞれ比較して示す側面図である。

篤７図は可撓性ビーム部材に取付けられたセンサアームを使用する、かつ一定の ギャップ基準キャパシタを有するトランスジューサを示す側面図である。

い　　　　　の　　　　　１ 第１図はカドランスジューサ１０の一例を示す、このトランスジューサ１０は一 対のビーム部材１６及び１８によりて接続された一対の力合算部材１２及び１４ によつて形成されたおおむね平行四辺形の構造を有する。この平行四辺形の構造 は単一部片の弾性を有する構造用材料から一体に形成されろことが好ましい、好 ましい実施例においては、力合算部材１２は不動の基準部材２０に取付けられ、 力合算部材１４は印加される被測定力Ｆに応答して垂直軸線２２に沿って可動で ある０図示するように、可撓性ビームはおおむね一定の横断面積を有し、そして 垂直軸！Ｉ２２に直角なおおむね水平軸線２４に沿って延在している。トランス ジューサ１０及びその構成素子である力合算及び可撓性ビーム部材は水平方向（ 軸線２２及び２４に直交する）に十分な厚さを有し、その結果トランスジューサ は、軸！２２に沿う力を除き、すべてのモーメント及び側部の力をはねつける。

力Ｆは力合算部材１２に関して力合算部材１４に下側への垂直方向の変位ｄ（点 線で図示されている）を生じさせる。この際、力合算部材１２は軸線２２及び２ ４によって定められる平面内にほぼ存在するビーム部材１６及び１８のおおむね Ｓ形状の変形によって抵抗される。

可撓性ビームと力合算部材間の結合が蝶番形式のものではなく、ビーム材料の固 有の弾性が変形に抵抗して印加された力に対抗するという形式の、ものであると いうことは重要なことである。この構成は、可撓性ビームが力合算部材と結合す る点の近傍の可撓性ビームに応力を集中させ、かつ変曲点（反曲点）、即ち、ビ ーム部材のモーメントがゼロであり、かつＳ形状のビーム部材が最大の角度的変 形を呈する点、を生じさせる。対称的な構成では、この変曲点は各ビーム部材の 中点である。

各ビーム部材はこれらビーム部材に取付けられかつ垂直方向軸＄１２２におおむ ね沿つてほぼ互いに相手のビーいる０図示の好ましい一形式においては、両セン サ２８及び３０は同じ材料の平行四辺形の構造体と一一体に形成される０図示す るように、上側のセンサ２８はおおむね長方形の横断面を有し、上側のビーム部 材１６の変曲点２６から下側のビーム部材１８に向って下側に延在している。下 側のセンサ３０は支持ポスト３２、横材３４及び上側のセンサ２８に関して平行 で、ｌｉ間された関係にある一対の垂直方向に延在するセンサアーム３６を有す る。センサアーム３６．３６の対向する面及びセンサ部材２８はそれぞれ、これ らセンサア−ム及びセンサ部材に接合された誘電体表面４０上に付着された或は 他の方法で形成された非常に平らな導電性表面３８を支持している。これら導電 性表面は一対の可変ギャップキャパシタ４２及び４４を形成する。

力合算部材１４の変位ｄはビーム部材１６及び１８に実質的に同一のＳ形状の変 形を生じさせ、これは変曲点に関するセンサ部材の角度的回転に変換される。２ つのセンサの同時の回転により、力合算部材１４の図示する下側への変位に応答 してギャップ４２が閉じて（狭（なって）ギャップ４４が開く、カドランスジュ ーサの現時点での構成の特徴はこの変形及び回転を通じてキャパシタ４２及び４ ４を形成する導電性表面３８が実質的に平行に留まるということである。この条 件は、電流信号であろうと電圧信号であろうと、カドランスジューサの８カの直 線性を大いに増大させる。この条件はまた、キャパシタ４２及び４４によっても たらされる力の測定の信頼性及び精度を改善する。また、この構成は、垂直方向 の軸＃Ｊ２２に沿う所定の変位ｄに対して、一方のギャップが他方のギャップの 開放と対等な関係で閉じるという点で、プッシュプルモードの動作をもたらす。

本発明のカドランスジューサは、非常にコンパクトな構成でありながら、非常に 良好な性能、特性をもたらすことができるという点で優れている。このコンパク トな設計は、一部分は、力合算部材及びビーム部材に関するセンサ２８及び３ｏ の構成及び配置によって提供される機械的な増幅から生じる。

第６Ａ図及び第６Ｂ図は設計、考察のいくつかを良好に理解するためのものであ る。先ず、ビーム部材１６及び１８の応力及び変形を決定する際に、「自由物体 （フリーボディー）」解析法が適用できるということを示すことができる。各ビ ームは合計の力の半分が各カンチレバーの端部に印加される２つのカンチレバー ビームとして取扱うことができる。（カンチレバービームはビームの端部に最大 の角度的変形がある飛込み板の態様で動作する。対照的に、この中で記載した平 行四辺形の構成においては、ビーム部材は最大の角度的変形点がビームの代表的 には中点の変曲点にあるＳ形状の態様で変形するということを注記しており、） 第６Ａ３に示すように、キャパシタ４２のキャパシタンスギャップであろうとキ ャパシタ４４のキャパシタンスギャップであろうとΔＧによって表わされるキャ パシタンスギャップの変化はθ・Ｈに等しいと示すことができる。ここで、θは カンチレバーの端部の角度的偏向であり、Ｈは垂直軸線２２に沿って測定される ビーム間の距離である。（第６Ａ図に例示した運動は分りやすくするために非常 に誇張されている。） この形式のカドランスジューサの１つの設計目的は材料に過度の応力を与えるこ となしにギャップの変化ΔＧを最大にすることである。カンチレバービームの端 部にセンサ部材を取付けることによって（第６Ａ図によって例示された解析にお いてはビーム半休の端部）、センサ部材は材料に追加の応力を導入するという不 利益なしにカンチレバービームの運動を拡張する。これは第６Ａ図の機能的な等 側面である第６Ｂ図を参照することによって良好に理解できる。第６Ｂ図におい て、カンチレバービームの先端の運動は、ビームの自由端の中点を越えて延在す るビーム部分によって力が印加される点（ビームの中点）を越えて増幅される。

この延在するビーム部分は第１図の平行四辺形の構成においてビーム部材に取付 けられたセンサ部材に対応する。か（して、センサ部材はカンチレバービームの 折り重ねられた延長部（可撓性ビーム１６又は１８の半分）とみなすことができ る、この折り重ねは第１図の実施例における上側ビーム部材１６と下側ビーム部 材１８間の垂直方向の自由空間を利用することによってコンパクトさを導入する 。モーメントの排除を強めるため及び応答の直線性を改善するためのような他の 設計要件により、ビーム部材１６と１８間には分離空間Ｈが必要であるから、第 ６Ａ図及び第１図の設計は存在する垂直方向の空間を利用してカンチレバービー ムを直角に折り重ね、第６Ｂ図に示すようなより一般的な、より大きなカンチレ バー構成によって達成されるのと同じ増幅を得ている。

第２図は第１図の実施例に設計及び動作において類似する別の構成を示す、１つ の大きな相違点はビーム部材１６及び１８がテーパー状に形成され、大きな横断 面積が力合算部材に隣接し、小さな横断面積が変曲点に及びその近傍にあるとい うことである。より厚い横断面積は可撓性ビームの最大応力点に位置付けされ、 それ故材料に過度の応力を与えるという危険を減じている。一方、ビーム部材の 薄（された領域によって、この構成は所定の印加された力に対して或は垂直方向 軸線に沿うカ合算部材の所定の変位に対して取付けられたセンサ部材にビーム部 材のより大きな角度的変形を生じさせる。第２図は取付けの特徴を示す、力合算 部材に形成された孔１５はキャパシタンス感知及び温度補償回路を含む１つ又は 複数の回路板（第５図に示す）を取付けるためのものである。開口１７は、クラ ンプ用板１７°及び取付けねじ１７”によって基準部材２ｏのような支持体にト ランスジューサをクランプすることから生じ得る取付は応力からトランスジュー サを隔絶する。

第２図の実施例の他の相違点は、下側センサ部材３゜が２つの板状センサアーム ３６°、３６°を適当な接合剤４６を使用して支持ポスト３２°の側面に接合す ることによって形成されているということである。適当な接合剤４６はセンサア ームを固定の位置に信顆性をもって固定するだけでなく、センサアームの他の構 成要素と良好な熱的適合性を呈することが好ましい、導電性表面３８はセンサア ーム３６°、３６°の対向する内表面及び図示するように上側センサ２８の側部 表面に接合することができる板状挿入体４０’　、４０°の対向する面をそれぞ れ金属化することによって形成できる。容量性ギャップを形成する表面は極めて 高度の平坦さに磨かれる（ラップ仕上げされる）ことが好ましい、容易に理解で きるように、第２図の構成は第１図の構成よりも簡素である。

第３図は単一のテーパー状ビーム部材１６°、力合算部材１４°、及びこれら力 合算部材及びビーム部材と一体に形成され（必ずしも一体に形成される必要はな い）かつビーム部材に対して平行で、離間された関係で延在する単一のセンサア ーム２８°を利用する本発明の低コストの他の実施例を示す、第３図に示すよう に、ビーム部材の一端、好ましくはより大きな横断面積を有する端部、は基準部 材２０に固定される。より小さな横断面積を有するビーム部材の自由端はビーム 部材をセンサ部材に結合する力合算部材１４゛と一体に形成され、かつ没入する ことが好ましい、被測定力Ｆは図示するように力述の実施例と同様に、これは力 合算部材の垂直方向軸線に沿う変位を生じさせ、飛込み板の態様で印加された力 に弾性的に抵抗する可撓性ビームの変形をもたらす、対向する導電性表面３８． ３８を支持する対向する一対の誘電体の挿入体４０°、４０°はセンサの自由端 でかつビーム部材の固定された端部の近傍の点に位置付けされている。この構成 によれば、第６Ｂ図を参照して記載した態様で導電性表面間に形成されたギャッ プＧにおける変位をカンチレバービームで増幅することができる。この構成は非 常に単純な、コンパクトなカドランスジューサを提供するが、しかしプッシュプ ルモードの動作に固有の利点を提供せず、また平行四辺形の構成のモーメントを 排除する利点も提供しない。

第４図は平行四辺形の形式の構成と、プッシュプルモードの動作を提供するよう に対向するビーム部材に取付けられた第３図に示す一般形式の一対のカンチレバ ービームとの両方を利用するコンパクトなカドランスジューサの他の実施例を示 す、第４図の実施例において、被測定力Ｆは右側の力合算部材１４”に印加され 、この部材は力Ｆによって基準部材２０に固定された左側の力合算部材１２”に 関して距離ｄだけ変位される。上側及び下側ビーム部材１６”及び１８”は飛込 み板態様の偏向を受ける。何故ならば、これら部材は力合算部材１４”に隣接し て蝶番として働く非常に薄（された部分１６”ａ及び１８”ａを有するからであ る。センサ支持体４８゜４８は力合算部材１４”に隣接してビーム部材と一体に 形成されている。各ビーム部材１６”及び１８”は力合算部材１２に支持された カンチレバービームの態様で動作する。変曲点におけるビーム部材の偏向はビー ム部材の端部にあるセンサ支持体４８の角度的回転によって増幅され、かつ第３ 図を参照して上記したのと同じ態様で挿入体４０．４０に導電性表面３８．３８ を有するセンサ部材２８″″、３０”の長さによってさらに増幅され第５図は密 封したフィードスルー６０°を含む円筒形状のセンサ支持体６０と力入力Ｆを受 けてこれを力合算部材１４に伝達する円筒形状の部材６２との間に取付けられた 第２図に示す一般形式のトランスジューサ１０″″（ここでは１例えば、可撓性 部材１６′″、１８″″はテーパー状ではない）を示す、電気信号はキャパシタ ンス感知及び温度補償回路を含む回路板６６に接続された導体６４を介してフィ ードスルー６０°を通過する。センサ支持体６０は通常の取付は手段によって基 部２ｏ−に取付けられる。

可撓性の金属から作られることが好ましい可撓性ベロー６８がトランスジューサ １ｏ−ｊ−取囲み、そしてフィードスルー６０゛及び部材６２に封止される。こ のベローは感知ギャップを湿度のような大気の変化から隔絶し、モしてベローが 金属である場合には、電磁的干渉からも隔絶する。ベローは、印加された被測定 力Ｆに対して、トランスジューサそれ自身の抵抗と比較したときに、非常に小さ な抵抗を呈するように十分にたわむ。

温度の変動を補償するための別の構成の一部分として一定ギャップの基準キャパ シタ７０が第７図に示されている。一定ギャップは回路６６に基準キャパシタン スを提供し、大気の変動の比較及び補償を可能にする。基準キャパシタは米国特 許第４．６４９．７５９号に記載された基準キャパシタと同じ形式でかつ同じ態 様で動作する。この特許の開示は参照としてこの中に組入れられる。第７図に示 されたトランスジューサ１０″″は各ビーム部材に１つのセンサアーム２８″″ 、３０″″のみが取付けられており、従ってプッシュプルモードで動作しない。

印加された力によって生じる変形の機械的な運動の増幅を使用するコンパクトな カトラシスジューサが記載された。好ましい一形式においては、このトランスジ ューサは平行四辺形の形式にあり、非常に正確な、直線性のある出力のためにプ ツシニブルモードの動作を行なう。

本発明はトランスジューサが大気の変化及び電磁放射線から容易に隔絶されるよ うにし、温度補償構成に適応させることができる。

本発明をその好ましい実施例について記載したけれど、上記開示を精読した後で 種々の変形及び変更がこの分野の技術者に生じるということ社理解されよう、そ のような変形及び変更は添付の請求の範囲の範囲内に入るものである。

国際調査報告

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. １．ある材料より形成され．おおむね第１の方向に延在在する一対の堅い力合算 部材であつて、一方の力合算部材が第１の軸線に沿う被測定力を受ける一対の堅 い力合算部材と、 一対のビーム部材と、 該ビーム部材が被測定力の印加によってたわまされるときのこのビーム部材の最 大の角度的偏向点において又はその近傍において前記ビーム部材に竪く結合され た第１及び第２のセンサ部材 とを具備し、 前記力合算部材は前記ビーム部材と結合して平行四辺形の構造体を形成し、前記 被測定力が前記ビーム部材を弾性的にたわませて前記第１の軸線に沿つて測定さ れる前記力合算部材の互いに関する相対変位ｄを生じさせるとともに被測定力に 反対の力を生じさせ、前記平行四辺形の構造体が前記第１の軸線に沿わない前記 ビーム部材の連動を生じさせる傾向のあるモーメント及び力に大いに抵抗し、 前記第１のビーム部材が前記第１のセンサ部材の対向する側部に前記導電性板の ２つを支持し、前記第２のセンサ部材が前記第１のセンサ部材の対向する側部に 位置付けされたかつそれぞれが前記第１のセンサ部材の前記導電性板と平行で、 離間された関係で配置された前記導電性板の他の１つを支持して２つの可変のキ ャパシタンスギャップｇをつくる２つのアーム部分を有し、前記変位ｄが前記ギ ャップｇの一方の閉成と前記ギャップｇの他方の開放とを同時に生じさせ、 前記部材は、前記対向する板が前記変位ｄに応答して前記空間８の麦化Δｇ中、 実質的に平行に留まり、かつΔｇ、従って関連するキャパシタンスが被測定力に 比例するように、配向され、結合されているカトランスジューサ。
2. ２．前記ギャップの変化Δｇの大きさが変化を生じさせる変位ｄの大きさとは相 達する請求の範囲第１項記載のカトランスジューサ。
3. ３．前記第２のセンサが一体に形成され、かつおおむねフォーク形状の形態を有 する請求の範囲第１項記載のカトランスジューサ。
4. ４．前記第２のセンサが前記ビーム部材の一方と一体に形成されかつおおむね前 記第１の方向に延在する支持体と、前記第１のセンサの対向する側部に位置付け されかつそれぞれが前記導電性板の１つを保持する一対の誘電体部材と、該誘電 体部材を前記支持体に取付けるための手段とから構成される請求の範囲第１項記 載のカトランスジューサ。
5. ５．前記ビーム部材、センサ部材及び力合算部材が一部片の誘電体材料から一体 に形成される請求の範囲第２項乃至第４項のいずれかに記載のカトランスジュー サ。
6. ６．前記誘電体材料がセラミックである請求の範囲第５項記載のカトランスジュ ーサ。
7. ７．前記トランスジューサを取囲む可撓性のベローをさらに含む請求の範囲第１ 項記載のカトランスジューサ。
8. ８．当該ビーム部材を弾性的にたわませて第１の軸線に沿って測定される力入力 領域の変位ｄを生じさせるとともに被測定力に反対の力を生じさせる該ビーム部 材の部分において前記第１の軸線に沿う被測定力を受ける少なくとも１つのビー ム部材と、 前記変位中の最大の角度的変位点において前記ビーム部材に堅く結合された少な くとも１つのセンサ部材と、少なくとも一対の対向する導電性表面であつて、少 なくとも１つの導電性表面が前記センサ部材に保持され、かつ前記表面がおおむ ね平行で、距離ｇだけ離間されて可変のキャパシタンスギャップを形成している 少なくとも一対の対向する導電性表面 とを具備し、 前記部材は、前記変位ｄに応答して前記空間ｇの変化Δｇ中、Δｇ、従つて関連 するキャパシタンスが被測定力に比例するように、配向され、結合されているカ トランスジューサ。
9. ９．前記ビーム部材及び前記センサ部材がおおむね平行で、離間された関係で延 在し、前記ビームの一端が固定され、他方の自由端が前記センサ部材に結合され 、前記導電性板が前記ビームの前記固定された端部の近傍にある請求の範囲第８ 項記製のカトランスジューサ。
10. １０．前記ビーム部材及び前記センサ部材が誘電体材料から一体に一部片に形成 されている請求の範囲第９項記載のカトランスジューサ。
11. １１．前記ビームに結合された第２のビーム及びセンサ部材をさらに含み、かつ 前記ビーム部材の全部にそれらの自由端において結合された垂直方向に延在する 壁部材をさらに含み、前記変位ｄが、一対の前記センサ及びビーム部材に取付け られた導電性板間のギャツプｇの開放と前記壁部材に隣接する、前記変位中蝶番 として働く、横断面の減少した他方の対に取付けられた板間のギャップｇの閉成 とを同時に生じさせるようにした請求の範囲第１０項記載のカトランスジューサ 。