JP2743187B2 - 機械的な運動増幅手段を備えたコンパクトな力トランスジューサ - Google Patents

機械的な運動増幅手段を備えたコンパクトな力トランスジューサ

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JP2743187B2
JP2743187B2 JP63502972A JP50297288A JP2743187B2 JP 2743187 B2 JP2743187 B2 JP 2743187B2 JP 63502972 A JP63502972 A JP 63502972A JP 50297288 A JP50297288 A JP 50297288A JP 2743187 B2 JP2743187 B2 JP 2743187B2
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は一般的にはトランスジューサに関し、詳しく
いうと、高解像度、高精度の力トランスジューサに関す
る。
力又は重さを感知する従来技術の一形式は一定の磁界
中に可動コイルを使用するフィードバック手法を利用す
るものである。コイルは感知軸線に沿って移動可能であ
り、そして感知軸線に沿うある一定の位置を維持するの
に十分な電流により駆動される。この形態においては、
コイル駆動電流はこのコイルを変位するために印加され
る力の尺度となる。この方法は一般的には有効であるけ
れど、力感知形態が比較的複雑であり、従って高価であ
る。
従来技術の他の形式は歪みゲージロードセルである。
しかしながら、この形式においては、ロードセルの精度
が歪みゲージセンサ材料のヒステリシス及びクリープに
よって、及びセンサの接合材料のヒステリシス及びクリ
ープによって制限を受ける。
本出願人の後述の特許はおおむね平行で、離間された
一対のビーム部材を介して各側部が結合された一対の力
合算部材を使用する平行四辺形の構造を有する力トラン
スジューサを開示している。これら力合算部材の相対変
位はビーム部材をたわませる。例えば、本出願人の米国
特許第4,448,085号に示された形式においては、力合算
部材はそれぞれ、誘電体材料より形成されたセンサ部材
を支持している。これらセンサ部材は離間されてはいる
が互いに重なっており、キャパシタンスギャップを形成
する導電性表面を備えている。ギャップの変化、従って
そのキャパシタンスの変化は力合算部材の相対変位dに
正比例(1:1の対応)する。
本出願人の米国特許第4,558,600号においては、セン
サ部材は力合算部材ではなくてビーム部材に取付けられ
ており、変位とギャップの変化との間の上述の1:1の対
応からの変動を提供する。この特許に開示されているよ
うに、この構成により達成できるセンサギャップにおけ
る運動の増幅はトランスジューサの高さ対幅の比に関係
する。
1つの軸線に沿う力を対応するキャパシタンス値に変
換する高品質のスケールの中心的素子として力トランス
ジューサを使用するようなある応用例では、上記米国特
許第4,448,085号の平行四辺形構成の利点と上記米国特
許第4,558,600号の構成によって達成できる機械的な増
幅とを組合せ、しかも非常にコンパクトなトランスジュ
ーサを提供することが望まれている。
それ故、本発明の主な目的はコンパクトでありかつ機
械的な運動の増幅を行なう高解像度、高精度の力トラン
スジューサを提供することである。
本発明の他の目的はプッシュプルモードの動作を行な
い、かつ平行板関係を保持して良好な直線性、従って良
好な精度を提供する、上記利点を備えた力トランスジュ
ーサを提供することである。
本発明の他の目的は大気の変化から容易に隔絶でき
る、或は大気の変化を容易に補償できる、上記利点を備
えた力トランスジューサを提供することである。
本発明の他の目的はキャパシタンスギャップをストレ
イ電磁放射線からシールドすることができる、上記利点
を備えた力トランスジューサを提供することである。
本発明の他の目的はセラミック又は石英のような既知
の誘電体材料から終始一貫して高品質規格でかつ有利な
コストで製造することができる、上記利点のすべてを備
えた力トランスジューサを提供することである。
発明の要約 力トランスジューサは弾性限界以上のような過大な応
力を加えないという条件で弾性を有する材料から形成さ
れる。この力トランスジューサは、少なくとも1つのビ
ーム部材と、少なくとも1つの力合算部材と、少なくと
も1つのセンサ部材と、これら部材に取付けられた対向
する離間された一対の導電性表面又は部材を含む。力合
算部材に第1の軸線に沿って印加される被測定力は、力
合算部材に結合された、好ましくは一体に結合された1
つ又は複数のビーム部材のたわみによって抵抗される力
合算部材の変位dを生じさせる。結合点は所定の変位d
に対するビームの最大の角度的変形点であることが好ま
しい。第1の軸線と交差する第2の軸線に沿って延在す
るビーム部材のたわみは、力合算部材と2つのビーム部
材が平行四辺形のトランスジューサを形成するときに
は、一般にS形状である。この形状において、ゼロモー
メントによって特徴付けられる変曲点(反曲点)はビー
ム部材の中点又はその近傍である。ビーム部材が片持ち
梁形式の(カンチレバー)ビームである場合には、結合
点は印加される力に応答して変位されるビームの自由端
にある。
好ましい平行四辺形の形状の場合には、センサ部材は
変曲点において又はその近傍においてビーム部材に、好
ましくは一体に、取付けられる。一方のセンサは単一の
ビーム状部材であり、他方のセンサは一方のセンサの両
側部に位置する一対の平行なアームを備えたフォーク形
状である。関連した形状においては、センサアームは変
曲点に又はその近傍に位置付けされた取付けスタブに接
合される。ビーム部材の材料に過度の応力を与える危険
を減じるために、これらビーム部材は、たわみ中の応力
の集中が最大であるその最大の横断面積が力合算部材に
隣接するテーパー状形態に形成することができる。最小
の横断面は変曲点に又はその近傍に現われる。
増幅及びプッシュプル動作を達成するためにカンチレ
バービームを使用する平行四辺形の形状の実施例におい
ては、2つのセンサはビーム部材の同じ可動端部にそれ
ぞれ取付けられ、これらビーム部材は蝶番作用を提供す
るために結合部近傍が薄くされる。各センサは1つの関
連するビーム部材に関して平行で、離間された関係で延
在する。センサは変位dによって生じる角度的な変形が
最大である可撓性ビーム部材の先端に取付けられてお
り、かつキャパシタンス感知ギャップがビーム部材の対
向する端部に位置付けされているから、変位d(力合算
部材の相対運動)の感知ギャップにおいて機械的な運動
の増幅がある。平行四辺形構造のためにかつこの態様に
配置された2つのセンサを使用するために、トランスジ
ューサはプッシュプルモードの動作を提供する。
さらに他の低コストの形式においては、本発明は単一
の可撓性ビーム及びこの可撓性ビームの自由端に平行
で、離間された関係に取付けられた単一の、或は複数で
もよいセンサを含む。この自由端の変位は可撓性ビーム
及びセンサの反対の端部の近傍に形成されたキャパシタ
ンスギャップに機械的な運動の増幅をもたらす。
これら形式のすべてにおいて、トランスジューサは大
気の変化及びストレイ電磁界のような他の干渉を補償す
るために、或はこれらからこのトランスジューサを隔絶
するために、種々の配置、構成を取ることができる。補
償するために、トランスジューサの構造部材の1つの開
口に一定のギャップキャパシタを組み込んでもよい。空
電から隔絶するために、トランスジューサはゴム或は金
属のベロー内に収納できるように十分にコンパクトであ
る。
本発明のこれら及び種々の他の特徴及び目的は添付図
面を参照して以下の詳細な説明を精読することによって
最良に理解されよう。
図面の簡単な説明 第1図は平行四辺形の構成及び機械的な運動の増幅を
利用する、かつプッシュプルモードで動作する本発明に
よる力トランスジューサの側面図である。
第2図はテーパー状の可撓性ビームを利用し、かつ2
つのセンサアームに対して変形された取付け構造を利用
する点を除き、第1図に示すのと同じ一般形式の他の力
トランスジューサの側面図である。
第3図はなお本発明を構成しない単一ビーム力トラン
スジューサの側面図である。
第4図は第3図に示すトランスジューサの態様で運動
の増幅を生じる一対のカンチレバービームを利用する、
かつプッシュプルモードで動作する平行四辺形の力トラ
ンスジューサの側面図である。
第5図は取付け及び隔絶構成を示す第2図に示す形式
の力トランスジューサの側面図である。
第6A図及び第6B図は第1図、第2図、又は第5図に示
すトランスジューサの半体をそれぞれ比較して示す側面
図である。
第7図は可撓性ビーム部材に取付けられたセンサアー
ムを使用する、かつ一定のギャップ基準キャパシタを有
するトランスジューサを示す側面図である。
好ましい実施例の詳細な説明 第1図は力トランスジューサ10の一例を示す。このト
ランスジューサ10は一対のビーム部材16及び18によって
接続された一対の力合算部材12及び14によって形成され
たおおむね平行四辺形の構造を有する。この平行四辺形
の構造は単一部片の弾性を有する構造用材料から一体に
形成されることが好ましい。好ましい実施例において
は、力合算部材12は不動の基準部材20に取付けられ、力
合算部材14は印加される被測定力Fに応答して垂直軸線
22に沿って可動である。図示するように、可撓性ビーム
はおおむね一定の横断面積を有し、そして垂直軸線22に
直角なおおむね水平軸線24に沿って延在している。トラ
ンスジューサ10及びその構成素子である力合算及び可撓
性ビーム部材は水平方向(軸線22及び24に直交する)に
十分な厚さを有し、その結果トランスジューサは、軸線
22に沿う力を除き、すべてのモーメント及び側部の力を
はねつける。
力Fは力合算部材12に関して力合算部材14に下側への
垂直方向の変位d(点線で図示されている)を生じさせ
る。この際、力合算部材12は軸線22及び24によって定め
られる平面内にほぼ存在するビーム部材16及び18のおお
むねS形状の変形によって抵抗される。可撓性ビームと
力合算部材間の結合が蝶番形式のものではなく、ビーム
材料の固有の弾性が変形に抵抗して印加された力に対抗
するという形式のものであるということは重要なことで
ある。この構成は、可撓性ビームが力合算部材と結合す
る点の近傍の可撓性ビームに応力を集中させ、かつ変曲
点(反曲点)、即ち、ビーム部材のモーメントがゼロで
あり、かつS形状のビーム部材が最大の角度的変形を呈
する点、を生じさせる。対称的な構成では、この変曲点
は各ビーム部材の中点である。
各ビーム部材はこれらビーム部材に取付けられかつ垂
直方向軸線22におおむね沿ってほぼ互いに相手のビーム
部材の方向に延在するセンサ28又は30を支持している。
図示の好ましい一形式においては、両センサ28及び30は
同じ材料の平行四辺形の構造体と一体に形成される。図
示するように、上側のセンサ28はおおむね長方形の横断
面を有し、上側のビーム部材16の変曲点26から下側のビ
ーム部材18に向って下側に延在している。下側のセンサ
30は支持ポスト32、横材34及び上側のセンサ28に関して
平行で、離間された関係にある一対の垂直方向に延在す
るセンサアーム36を有する。センサアーム36、36の対向
する面及びセンサ部材28はそれぞれ、これらセンサアー
ム及びセンサ部材に接合された誘電体表面40上に付着さ
れた或は他の方法で形成された非常に平らな導電性表面
38を支持している。これら導電性表面は一対の可変ギャ
ップキャパシタ42及び44を形成する。
力合算部材14の変位dはビーム部材16及び18に実質的
に同一のS形状の変形を生じさせ、これは変曲点に関す
るセンサ部材の角度的回転に変換される。2つのセンサ
の同時の回転により、力合算部材14の図示する下側への
変位に応答してギャップ42が閉じて(狭くなって)ギャ
ップ44が開く。力トランスジューサの現時点での構成の
特徴はこの変形及び回転を通じてキャパシタ42及び44を
形成する導電性表面38が実質的に平行に留まるというこ
とである。この条件は、電流信号であろうと電圧信号で
あろうと、力トランスジューサの出力の直線性を大いに
増大させる。この条件はまた、キャパシタ42及び44によ
ってもたらされる力の測定の信頼性及び精度を改善す
る。また、この構成は、垂直方向の軸線22に沿う所定の
変位dに対して、一方のギャップが他方のギャップの開
放と対等な関係で閉じるという点で、プッシュプルモー
ドの動作をもたらす。
本発明の力トランスジューサは、非常にコンパクトな
構成でありながら、非常に良好な性能、特性をもたらす
ことができるという点で優れている。このコンパクトな
設計は、一部分は、力合算部材及びビーム部材に関する
センサ28及び30の構成及び配置によって提供される機械
的な増幅から生じる。
第6A図及び第6B図は設計、考察のいくつかを良好に理
解するためのものである。先ず、ビーム部材16及び18の
応力及び変形を決定する際に、「自由物体(フリーボデ
ィー)」解析法が適用できるということを示すことがで
きる。各ビームは合計の力の半分が各カンチレバーの端
部に印加される2つのカンチレバービームとして取扱う
ことができる。(カンチレバービームはビームの端部に
最大の角度的変形がある飛込み板の態様で動作する。対
照的に、この中で記載した平行四辺形の構成において
は、ビーム部材は最大の角度的変形点がビームの代表的
には中点の変曲点にあるS形状の態様で変形するという
ことを注記しておく。)第6A図に示すように、キャパシ
タ42のキャパシタンスギャップであろうとキャパシタ44
のキャパシタンスギャップであろうとΔGによって表わ
されるキャパシタンスギャップの変化はθ・Hに等しい
と示すことができる。ここで、θはカンチレバーの端部
の角度的偏向であり、Hは垂直軸線22に沿って測定され
るビーム間の距離である。(第6A図に例示した運動は分
りやすくするために非常に誇張されている。) この形式の力トランスジューサの1つの設計目的は材
料に過度の応力を与えることなしにギャップの変化ΔG
を最大にすることである。カンチレバービームの端部に
センサ部材を取付けることによって(第6A図によって例
示された解析においてはビーム半体の端部)、センサ部
材は材料に追加の応力を導入するという不利益なしにカ
ンチレバービームの運動を拡張する。これは第6A図の機
能的な等価図である第6B図を参照することによって良好
に理解できる。第6B図において、カンチレバービームの
先端の運動は、ビームの自由端の中点を越えて延在する
ビーム部材によって力が印加される点(ビームの中点)
を越えて増幅される。この延在するビーム部分は第1図
の平行四辺形の構成においてビーム部材に取付けられた
センサ部材に対応する。かくして、センサ部材はカンチ
レバービームの折り重ねられた延長部(可撓性ビーム16
又は18の半分)とみなすことができる。この折り重ねは
第1図の実施例における上側ビーム部材16と下側ビーム
部材18間の垂直方向の自由空間を利用することによって
コンパクトさを導入する。モーメントの排除を強めるた
め及び応答の直線性を改善するためのような他の設計要
件により、ビーム部材16と18間には分離空間Hが必要で
あるから、第6A図及び第1図の設計は存在する垂直方向
の空間を利用してカンチレバービームを直角に折り重
ね、第6B図に示すようなより一般的な、より大きなカン
チレバー構成によって達成されるのと同じ増幅を得てい
る。
第2図は第1図の実施例に設計及び動作において類似
する別の構成を示す。1つの大きな相違点はビーム部材
16及び18がテーパー状に形成され、大きな横断面積が力
合算部材に隣接し、小さな横断面積が変曲点に及びその
近傍にあるということである。より厚い横断面積は可撓
性ビームの最大応力点に位置付けされ、それ故材料に過
度の応力を与えるという危険を減じている。一方、ビー
ム部材の薄くされた領域によって、この構成は所定の印
加された力に対して或は垂直方向軸線に沿う力合算部材
の所定の変位に対して取付けられたセンサ部材にビーム
部材のより大きな角度的変形を生じさせる。第2図は取
付けの特徴を示す。力合算部材に形成された孔15はキャ
パシタンス感知及び温度補償回路を含む1つ又は複数の
回路板(第5図に示す)を取付けるためのものである。
開口17は、クランプ用板17′及び取付けねじ17″によっ
て基準部材20のような支持体にトランスジューサをクラ
ンプすることから生じ得る取付け応力からトランスジュ
ーサを隔絶する。
第2図の実施例の他の相違点は、下側センサ部材30が
2つの板状センサアーム36′、36′を適当な接合剤46を
使用して支持ポスト32′の側面に接合することによって
形成されているということである。適当な接合剤46はセ
ンサアームを固定の位置に信頼性をもって固定するだけ
でなく、センサアームの他の構成要素と良好な熱的適合
性を呈することが好ましい。導電性表面38はセンサアー
ム36′、36′の対向する内表面及び図示するように上側
センサ28の側部表面に接合することができる板状挿入体
40′、40′の対向する面をそれぞれ金属化することによ
って形成できる。容量性ギャップを形成する表面は極め
て高度の平坦さに磨かれる(ラップ仕上げされる)こと
が好ましい。容易に理解できるように、第2図の構成は
第1図の構成よりも簡素である。
第3図は単一のテーパー状ビーム部材16′、力合算部
材14′、及びこれら力合算部材及びビーム部材と一体に
形成され(必ずしも一体に形成される必要はない)かつ
ビーム部材に対して平行で、離間された関係で延在する
単一のセンサアーム28′を利用する装置を示す。しかし
ながら、この装置は、特許請求の範囲に記載される要件
を有していないのでなお本発明の実施例を構成しない。
第3図に示すように、ビーム部材の一端、好ましくはよ
り大きな横断面積を有する端部、は基準部材20に固定さ
れる。より小さな横断面積を有するビーム部材の自由端
はビーム部材をセンサ部材に結合する力合算部材14′と
一体に形成され、かつ没入することが好ましい。被測定
力Fは図示するように力合算部材に軸線22に沿って垂直
方向に印加される。上述の実施例と同様に、これは力合
算部材の垂直方向軸線に沿う変位を生じさせ、飛込み板
の態様で印加された力に弾性的に抵抗する可撓性ビーム
の変形をもたらす。対向する導電性表面38、38を支持す
る対向する一対の誘電体の挿入体40′、40′はセンサの
自由端でかつビーム部材の固定された端部の近傍の点に
位置付けされている。この構成によれば、第6B図を参照
して記載した態様で導電性表面間に形成されたギャップ
Gにおいて変位をカンチレバービームで増幅することが
できる。この構成は非常に単純な、コンパクトな力トラ
ンスジューサを提供するが、しかしプッシュプルモード
の動作に固有の利点を提供せず、また平行四辺形の構成
のモーメントを排除する利点も提供しない。
第4図は平行四辺形の形式の構成と、プッシュプルモ
ードの動作を提供するように対向するビーム部材に取付
けられた第3図に示す一般形式の一対のカンチレバービ
ームとの両方を利用するコンパクトな力トランスジュー
サの装置を示す。この装置も第3図の装置と同様に本発
明の実施例を構成しない。第4図の装置において、被測
定力Fは右側の力合算部材14″に印加され、この部材は
力Fによって基準部材20に固定された左側の力合算部材
12″に関して距離dだけ変位される。上側及び下側ビー
ム部材16″及び18″は飛込み板態様の偏向を受ける。何
故ならば、これら部材は力合算部材14″に隣接して蝶番
として働く非常に薄くされた部分16″a及び18″aを有
するからである。センサ支持体48、48は力合算部材14″
に隣接してビーム部材と一体に形成されている。各ビー
ム部材16″及び18″は力合算部材12に支持されたカンチ
レバービームの態様で動作する。変曲点におけるビーム
部材の偏向はビーム部材の端部にあるセンサ支持体48の
角度的回転によって増幅され、かつ第3図を参照して上
記したのと同じ態様で挿入体40、40に導電性表面38、38
を有するセンサ部材28″、30″の長さによってさらに増
幅される。
第5図は密封したフィードスルー60′を含む円筒形状
のセンサ支持体60と力入力Fを受けてこれを力合算部材
14に伝達する円筒形状の部材62との間に取付けられた第
2図に示す一般形式のトランスジューサ10(ここで
は、例えば、可撓性部材16、18はテーパー状ではな
い)を示す。電気信号はキャパシタンス感知及び温度補
償回路を含む回路板66に接続された導体64を介してフィ
ードスルー60′を通過する。センサ支持体60は通常の取
付け手段によって基部20に取付けられる。
可撓性の金属から作られることが好ましい可撓性ベロ
ー68がトランスジューサ10を取囲み、そしてフィード
スルー60′及び部材62に封止される。このベローは感知
ギャップを湿度のような大気の変化から隔絶し、そして
ベローが金属である場合には、電磁的干渉からも隔絶す
る。ベローは、印加された被測定力Fに対して、トラン
スジューサそれ自身の抵抗と比較したときに、非常に小
さな抵抗を呈するように十分にたわむ。
温度の変動を補償するための別の構成の一部分として
一定ギャップの基準キャパシタ70が第7図に示されてい
る。一定ギャップは回路66に基準キャパシタンスを提供
し、大気の変動の比較及び補償を可能にする。基準キャ
パシタは米国特許第4,649,759号に記載された基準キャ
パシタと同じ形式でかつ同じ態様で動作する。この特許
の開示は参照としてこの中に組入れられる。第7図に示
されたトランスジューサ10′は各ビーム部材に1つの
センサアーム28′、30′のみが取付けられており、
従ってプッシュプルモードで動作しない。
印加された力によって生じる変形の機械的な運動の増
幅を使用するコンパクトな力トランスジューサが記載さ
れた。好ましい一形式においては、このトランスジュー
サは平行四辺形の形式にあり、非常に正確な、直線性の
ある出力のためにプッシュプルモードの動作を行なう。
本発明はトランスジューサが大気の変化及び電磁放射線
から容易に隔絶されるようにし、温度補償構成に適応さ
せることができる。
本発明をその好ましい実施例について記載したけれ
ど、上記開示を精読した後で種々の変形及び変更がこの
分野の技術者に生じるということは理解されよう。その
ような変形及び変更は添付の請求の範囲の範囲内に入る
ものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−211833(JP,A) 特開 昭55−13894(JP,A) 特開 昭59−168330(JP,A) 実開 昭61−61427(JP,U)

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ある材料より形成され、おおむね第1の方
    向に延在する一対の堅い力合算部材であって、一方の力
    合算部材が第1の軸線に沿う被測定力を受ける一対の堅
    い力合算部材と、 一対のビーム部材と、 該ビーム部材が被測定力の印加によってたわまされると
    きのこのビーム部材の最大の角度的偏向点において又は
    その近傍において前記ビーム部材に堅く結合された第1
    及び第2のセンサ部材と を具備し、 前記力合算部材は前記ビーム部材と結合して平行四辺形
    の構造体を形成し、前記被測定力が前記ビーム部材を弾
    性的にたわませて前記第1の軸線に沿って測定される前
    記力合算部材の相互に関する相対変位dを生じさせると
    ともに被測定力に反対の力を生じさせ、前記平行四辺形
    の構造体が前記第1の軸線に沿わない前記ビーム部材の
    運動を生じさせる傾向のあるモーメント及び力に大きく
    抵抗し、 前記第1のセンサ部材がその両側部に導電性板の2つを
    支持し、前記第2のセンサ部材が前記第1のセンサ部材
    の両側に位置付けられかつ前記第1のセンサ部材の前記
    導電性板と平行で、離間関係で対向配置された前記導電
    性板の他の1つをそれぞれ支持して2つの可変のキャパ
    シタンスギャップgを形成する2つのアーム部分を有
    し、前記変位dが前記ギャップgの一方の縮小と前記ギ
    ャップgの他方の拡大とを同時に生じさせ、 前記センサ部材とその上に支持される前記導電性板がす
    べて可動であり、対向する導電性板が、前記変位dに応
    答して前記ギャップgの変化中、実質的に平行関係を維
    持をしながら動作せしめられ、前記ギャップの変化Δg,
    したがって対応するキャパシタンスの変化が被測定力に
    比例する ことを特徴とする力トランスジューサ。
  2. 【請求項2】前記ギャップの変化Δgの大きさが変化を
    生じさせる変位dの大きさとは相違する請求項1記載の
    力トランスジューサ。
  3. 【請求項3】前記第2のセンサが一体に形成され、かつ
    おおむねフォーク形状の形態を有する請求項1記載の力
    トランスジューサ。
  4. 【請求項4】前記第2のセンサが前記ビーム部材の一方
    と一体に形成されかつおおむね前記第1の方向に延在す
    る支持体と、前記第1のセンサの対向する側部に位置付
    けされかつそれぞれが前記導電性板の1つを保持する一
    対の誘電体部材と、該誘電体部材を前記支持体に取付け
    るための手段とから構成される請求項1記載の力トラン
    スジューサ。
  5. 【請求項5】前記ビーム部材、センサ部材及び力合算部
    材が一部片の誘電体材料から一体に形成される請求項2
    乃至4のいずれかに記載の力トランスジューサ。
  6. 【請求項6】前記誘電体材料がセラミックである請求項
    5記載の力トランスジューサ。
  7. 【請求項7】前記トランスジューサを取囲む可撓性のベ
    ローをさらに含む請求項1記載の力トランスジューサ。
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