JPH02501209A - 結合型研磨工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 結合型研磨工具 技術分野 本発明は、寸法等級を調整され、はぼ離散状態の研磨砥粒と、ガラス、硬化した 樹脂、または金属のような異種の連続状結合剤とが混合して成る結合型研磨工具 、特に研磨ホイールに関する。研磨砥粒としては、ダイアモンド、立方晶はう化 窒素（ＣＢＮ）等のような、「超研磨剤」として知られているものもある。ダイ アモンドおよびＣＢＮは単結晶または多結晶である。超研磨剤は、アルミナ、ジ ルコニア−アルミナ、および炭化けい素のような通常の研磨剤よりもかなり硬く かつ高価である。

背景技術 超研磨剤は一般的に通常の研磨剤に比べて単位体積当り約１０００倍のコストが かかるにもかかわらず、工具鋼のような種類の材料の研磨におけるコスト効果が 小さい。超研磨材料は主として約１００〜４００の砥粒サイズで用いられる。従 来、一般的に、超研磨剤を含有する研磨ホイール中にある程度ポロシティ−が存 在した方が普通は望ましいが、超研磨側砥粒を含有する工具の総合的研磨性能は 工具中の超研磨剤の体積率と密接な関係があることが見出されている。従来、研 磨工具中には通常の研磨剤と一緒に超研磨剤が用いられているか研磨工具を工具 鋼のような硬い被加工物に用いた場合、研磨工具中の通常研磨剤は基本的に一種 の充填材として機能し、切削工具総寿命に対する研磨剤としてはほとんど貢献し ない。

たとえば、Ｍａｋｈｌｏｕｆらの米国特許４，６５２．２７７（１９８７，３， ２４，発行）は、リム（周縁）領域のみにＣＢＮを含有する研磨ホイールに炭化 けい素とアルミナを用いて、リム領域とコア（芯部）領域の熱膨張係数をできる だけ近ずけるようにすることを教示しているが、これら通常の研磨剤が研磨ホイ ールの切削性能に研磨剤として直接貢献しているという示唆はない。

発明の開示 所定体積率の超研磨剤を含有する結合型研磨工具の研磨有効性は、焼結した特定 のタイプのアルミニウム質研磨砥粒を超研磨剤と一緒に用いることによって多く の用途でかなり向上できることを見出した。本発明に適したアルミニウム質研磨 砥粒を、本明細書中では「微結晶アルミナ」またはｒＭＣＡ」と呼称する。これ らの研磨剤は、たとえば米国特許４．６２３，３６４および同４，３１４，８２ ７に記載されたゾル・ゲル法によって製造できる。これらのうちより望ましい方 法は、極めて微細な「種」をゾルに添加する前者の方法である。その際、種材料 の量は最終製品中のアルミナ総量の５ｗｔ％未満であり、２ｗｔ％以下が望まし い。種の添加によって、種添加しない米国特許４，３１４．８２７の方法よりも 極めて微細な結晶組織が得られ、種添加による生成物から製造される研磨砥粒は 密度が高（かつ硬さが高い。研磨ホイール中のＭＣＡ配合量は、最高約４７ｖｏ １％から最低的１０ｖｏ１％である。もちろん、存在するＭＣＡの量が多いほど コスト低減が大きくなる。

本発明に用いる微結晶アルミナの望ましい特徴は、従来の方法で調整した断面を 光学顕微鏡あるいは電子顕微鏡によって倍率５．０００〜２０，０００で観察し たときに認められるミクロ組織において、主としてアルファ・アルミナまたはア ルミン酸マグネシウムのようなアルミニウム・スピネルの非常に微細な結晶が緻 密に充填された状態になっていることである。主要な微結晶は最大寸法が約１声 以下、望ましくは約０．７ｎ以下、更に望ましくは約０．３μ以下である。主要 な微結晶には倍率約５０００倍でほとんどあるいは全くコアセッティングは認め られず、はぼ等軸晶であって、アスペクト比２を超えるものはなく、普通は１． ５未満である。

上記の主要なタイプの微結晶の他に、本発明に用いるためのＭＣＡは、主要な微 結晶の幾つかが成長して形成されたと考えられるラス形粗大アルミナ結晶、また は結晶粒界の不明瞭なスピネル・マトリックスのような、他の物質を約４０ｖｏ １％まで含有できる。

本発明に用いるＭＣＡ研磨砥粒は、密度が化学分析による理論密度の９０％以上 、望ましくは９５％以上であり、硬さが１５ＧＰａ以上、望ましくは１８ＧＰａ 以上、更に望ましくは１９ＧＰａ以上である。

発明を実施するための最良の形態 本発明に用いるＭＣＡは種々の方法で製造することが可能であり、米国特許４， ６２３，３６４、同４，３１４，８２７、および同４．７４４，８０２の方法が 望ましい。これらのうち第一および第三の特許による砥粒製造方法では、ベーマ イトのような水和物状のアルミナを含有し、この含有アルミナの一部とスピネル を形成し得るマグネシアのような物質を任意に含有したゾルまたはゲルに、非常 に微細な結晶質の種粒子を混合した後、種添加したゾルまたはゲルを乾燥させ、 乾燥した種添加ゲルを適当な温度で適当な時間加熱して所要のミクロ組織にする 。

研磨砥粒のミクロ組織は非セル状であることが望ましい。研磨砥粒の分粒処理は 最終の加熱工程の前または後に行なうことができるが、加熱前の方が容易である ため望ましい。

種物質としては、米国特許４，６２３．３６４が教示するアルファ・アルミナが あるが、これの代りに酸化第二鉄のように種として有効であればどのような物質 を用いてもよく、また水和アルミナのゾルまたはゲルを任意の形で種添加しても よいが、ゾルおよびＣｏｔｔｒｉｎｇｅｒの教示する種が一般的に望ましい。

Ｃｏｔｔｒｉｎｇｅｒの教示する望ましい物質を用いた場合、種はできる限り微 細であることが望ましく、種の総量は最終生成物中のアルミナ総重量の５％以下 、更に望ましくは２％以下である。

微結晶アルミニウム質砥粒と超研磨砥粒とを本発明にしたがって一緒に用い、以 下結合型研磨工具の従来技術にしたがって、これらを従来の結合剤（任意にポロ シティ−形成剤を含む）と混合し、適当な形状に加圧成形し、そして加熱するこ とによって、全体としてほぼ均一な組成の研磨工具を形成する。結合剤としては 、ガラス、ガラス化物、レジノイド、または金属を用いることができ、また金属 を充填したレジノイド結合剤および樹脂を含浸したガラス化物結合剤のような混 成結合剤を用いることもできる。本発明では、活性または不活性の全ての公知の 充填剤、たとえばテフロン、グラファイト、銀あるいは硫酸カリウム、氷晶石、 カヤナイト等を超研磨ホイール中に用いることができる。また、本発明の特徴で ある混合砥粒を研磨ホイールの外周部で濃密化させることができる。そのために 、たとえば、支持体表面に電気メッキで付着させた金属中に砥粒を陥入させたり 、あるいはろう付タイプの合金の周囲に混合砥粒を置いた状態で真空炉内でこの 合金を軟化または溶融させて、砥粒を合金中に十分沈め、工具の冷却後に砥粒が 保持されるようにしたりする。これも本発明を用いるために採用される従来の生 産技術であり、一般的に、従来知られかつ実質的に超研磨砥粒を用いたどのよう な従来のタイプまたは形状の結合型研磨工具をも、超研磨砥粒の一部を本発明に したがった微結晶アルミニウム質砥ねに置き代えることによって（それ以外は従 来の方法を用いて）、有利に製造することができる。

以下、限定しない実施例によって本発明を更に詳しく説明する。

実施例 １〜５および　″　Ｃ１〜Ｃに れらの例では、第１表に示した組成の特定タイプのガラス化物結合剤を用いて製 造した研磨ホイールについて説明する。

第１表 これらの成分を混合し加圧成形してホイールの形状にした成形体を、キルン内で ６０°Ｃ／時間の昇温速度で１１００″Ｃまで加熱して１１００°Ｃで６時間保 持した後加熱を停止し、キルンを閉じた状態で室温まで放冷した。３種類の研磨 粒子を用いた。

これらは、それぞれ、ジェネラルエレクトリック社製の従来の単結晶ＣＢＮ　（ 第２表中ｒｃＢＮＪで表記）、ツートン社（マサチューセッツ州つォーセスター ）製の微結晶アルミニウム質研磨剤ＳＧ（第２表中ｒＭｃＡＪで表記）、および ツートン社（マサチューセッツ州つォーセスター）製の高純度溶融アルミナ研磨 剤３２Ａ（第２表中ｒ３２ＡＪで表記）である。

２　用いた研磨剤は全てＡＮＳＩの標準で粒度１５０〜粒度１８０の等級であっ た。本実施例および本比較例として製造した研磨ホイールは、外径：約１９腸、 取付用中心孔の径：約６．３５ｍｍ、厚さ：約１５．９ｍｍであった。各ホイー ルの組成を第２表に示す。

第２表 １〜５および　″　Ｃ１〜Ｃ６の　ホイールの第２表に示した組成の研磨ホイー ルを用いて、外径：約７０陥、中心孔の径：約２５．４＋ｍｎ、厚さ：約９．５ 墓の円板状被加工物の研磨試験を行なった。ここでｒＩＤ研磨」と略称するタイ プの試験は、上記円板の内径を研磨する試験であり、ホイールを１０．０００外 表ｆｔ／分で動かし、１分間当りに除去される金属の量で表わした研磨速度を（ 研磨ホイールは摩耗しの２水準で行なった。研磨試験中周期的に、回転式ダイア モンド工具によって従来の方法で研磨ホイールのドレッシングを行なった。研磨 中従来の油（Ｗｈｉｔｅ　ａｎｄ　Ｂａｇｌｅｙ　ｔｙｐｅ　１５７２）を均等 に流して、研磨ホイールと被加工物とを冷却し、研磨ホイールの動力源としては 従来の研磨機（Ｂｒｙａｎｔ　Ｍｏｄｅｌ　２６３）を用いた。Ａｌ５Ｉ　５２ １００工具鋼（硬さＨＲＣ６０に調質）で作った被加工物を用いた場合の研磨試 験の結果を第３表に示す。

「Ｇ比」とは、研磨によって除去された金属の体積を、同量の研磨による研磨ホ イールの摩耗体積で除した値である。相対Ｇ比および相対投入動力の数値は、ホ イールＣ１の値を１００とし、他のホイールの値をこれに対応させて算出した値 である。

第３表 ｍた５２１００　１〜５および　六 ０１〜Ｃ６で　したー 上記の結果から、微結晶アルミニウム質研磨剤にＣＢＮをほんの６％混合したホ イールタイプ２が、高価なＣＢＮ粒子を１０倍以上の量で含んだ従来タイプＣ２ と同等のＧ比および投入動力であり、他のどのホイールよりもＧ比がかなり高く 、かつＧ比の利点を損うような多量の投入動力を必要とせずにこのＧ比が得られ ていることが分かる。低研磨速度では、ホイールタイプ３はＣＢＮ量が３７．５ ％未満の他のどのホイールよりもＧ比が高く、余分な投入動力を必要としないか ら、大きな経済的利点がある。はんの３％のＣＢＮでも、試験したＣＢＮなしの ホイールよりもホイール性能はかなり向上する。

此ｌ■１ｑにづン史 比較例Ｃ８およびＣ９は、ＭＣＡ砥粒の代りに３２Ａ砥粒を用いた他はそれぞれ 実施例１，２．および３と同様に作り、試験した。これらのホイールは、タイプ １，２．および３の１０分１未満の研磨効率であった。

６および　六　７〜９ 研磨ホイールタイプ６はタイプ３と同一組成で作ったが、成形後の最高加熱温度 を１１００°Ｃでなく９３０°Ｃにした。比較例Ｃ７はＣＢＮ２５ｖｏ１％、ポ ロシティ一体積２５％、粒度１５０の溶融アルミナ２３ＶＯ１％として作り、最 高温度９３０°Ｃに加熱した他はタイプＣ４と同様である。比較例Ｃ８およびＣ ９は、ＣＢＮ研磨剤の代りに全てＭＣＡ研磨剤（Ｃ８）または全て３２Ａ研磨剤 （Ｃ９）を用いた他はＣ７と同様である。

これら４種類の組成で、それぞれ外径研磨用の直径１２７ｍｍの研磨ホイールと 内径研磨用の直径７６．２ｍｍの研磨ホイールを作った。研磨試験の条件は前述 の実施例・比較例と同様であるが、ただし、被加工物としてはＡｌ５Ｉ　５２１ ００の他にインコネル７１８およびＡＩＳＩＭ　７工具鋼を用い、外径および内 径について種々の研磨速度で研磨した。上記試験の代表的な結果を、油（Ｗｈｉ ｔｅ　ａｎｄ　Ｂａｇｌｅｙ　１５７２）中で研磨した場合について第４表に、 水と水溶性油との混合液中で研磨した場合について第５表に示す。

第４表 イブ６　Ｃ７〜Ｃ９の′ 一般的に第４表および第５表に示したタイプの試験では研磨速度（金属除去速度 ）が大きくなるほどＧ比が小さくなる。

これらの表中で金属除去速度および対応するＧ比の範囲を決めれば、Ｇ比が最大 のときに金属除去速度は最小になる。Ｇ比の範囲のみを決めると、実績データは 極めて大きく変動する。この変動は試験される金属の損失あるいはその他の未知 の要因によると考えられる。

第４表の結果から、本発明にしたがったホイールは、５２１００の外径研磨につ いて高価な超研磨剤の３タイプのホイールとほぼ同等の性能であり、インコネル の外径研磨以外の全ての試験について高濃度の超研磨剤ホイールにくらべて経済 的に有利であることがわかる。本発明にしたがったホイールは、超研磨剤を用い ない従来ホイールよりも著しく優れている。

第５表 イ　Ｃ−Ｃの　六　゛ 第５表の結果から、本発明にしたがった研磨ホイールの相対性能は水溶性油冷却 時には油冷却時はど良好でないことが分かる。しかし、本発明にしたがったホイ ールは超研磨剤を用いないホイールにくらべて経済的に有利なことは確かである 。

７〜８および　＋　Ｃｌ０−Ｃ１１ これらの例では、外周に砥粒濃度の高い層を基本的に一層設けた研磨工具に本発 明を適用した場合について説明する。

その場合、結合剤としてろう付合金を用い、以下のようにして付着させた。

１）プレフォーム（予備成形体）−典型的には鋼製−を情浄し、サンドブラスト 処理する。

２）プレフォームにろう付ペーストを塗布する。ろう付ペースト塗布層の厚さは 、砥粒寸法、濃度、砥粒露出量に応じて決める。

３）ろう付ペースト層上に研磨剤粒子を散布する。

４）真空炉（真空度ｌＸ１０−“ｔｏｒｒ以上）に装入する。

５）用いたろう付ペーストに応じたろう付温度に加熱する。

６）真空を維持した状態で冷却する。

後は外観上の仕上げをすれ完了である。

用いたろう付ペーストは、セラミック、ダイアモンド、ＣＢＨ 等のような濡れ性の悪い材料の接合用に改良された市販のＡＷＳ　ＢＶＡｇ−８ ｂ合金である。

本実施例・比較例の研磨工具は全て、有効外周層中の砥粒体積率を等しくした。

砥粒の種類は、タイプＣＩＯについては全量ＣＢＮ、タイプＣ１ｌについては半 量ＣＢＮで半量３８Ａ１タイプ７については半量ＣＢＮで半量ＭＣＡ、タイプ８ については３／４量ＣＢＮで１／４量ＭＣＡとした。ＳＧ／ＣＢＮ試験で用いた 研磨剤の濃度は１００％と表現する。これは、散布によって到達し得る最高密度 の意味である。これは具体的には研磨部分表面積の約７５％が研磨剤で覆われて いることであり、粒度８０の場合にはほぼ１．４ｃｔ／ｉｎ”である。

本実施例・比較例で作製した研磨ホイールは、既に説明した実施例・比較例の研 磨ホイールより（らべて、仕上後の工具表面から砥粒がかなり突き出ている。そ のため、このタイプのホイールは初期の切削が急速に進行し、初期工具摩耗が急 速に起こるので、研磨工具の損失体積を正確に測定することは極めて困難である 。したがって、本実施例・比較例については性能測定方法を変えた。すなわち、 損失体積の代りにホイール半径の変化を測定した。除去された金属の体積は前出 の実施例・比較例同様に測定した。代表的な試験条件についての結果を第６表に 示す。

第６表 ７〜８と　″　０１０〜Ｃ１ｌについての工具　および金　７、　の　ゞ 第６表から、タイプ７とタイプＣ１０とはほぼ同性能であり、他はこれらより劣 ることが分かる。タイプ７はタイプＣＩＯの半分しか超研磨剤を用いないので、 タイプ７の経済性が明らかに優れている。

９および　・　Ｃ１２ この例では、レジノイド結合剤を用いて乾式研磨を行なった場合について本発明 を説明する。比較例Ｃ１２はニッケル被覆したＣＢＮ砥粒を２５ＶＱ１％用いて おり（以下「被覆したボラゾン」をｒＣＢＪと表示する）、実施例９は同一量の ＣＢＨに加えて粒度１００のＭＣＡを４．７５　ｖｏ１％を用いである。

これらのホイールの加熱前（グリーン状態）結合剤の組成は下記のとおりであっ た。

ＣＢＮ＋研磨コーティング十へキサフルオロけん酸ナトリウム　・・・・・　４ ７．Ｏｖｏ１％ロングフローフェノール樹脂十石灰　・・・・・　３６．７　ｖ ｏ１％液状フルフラル　・・・・・　２．３　ｖｏ１％片状銀　・・・・・　１ ４．Ｏｖｏ１％研磨砥粒と結合剤を結合型研磨工具を生産するための従来方法で 混合した後、鋼製金型に入れ、温度約１６０°Ｃ１圧力約４０ＭＰａ、時間約３ ０分で成形して最終的な研磨ホイールを作製した。

これらの研磨ホイールについて、３６００ＳＦＰＭで、第７表に示した５種類の 研摩代で、被加工物としてＡｌ５Ｉ　Ｍ２鋼（硬さＨｉＣ６５に調質）を用いて 研磨試験を行なった。

第７表 イブ９および　イブＣＩ２の　・Ｇ および　・７ これら２タイプの相対Ｇ比は相対投入動力よりも常に大きいので、本発明にした がった研磨ホイールは実用上有利であり、その傾向は研摩代が大きくなるほど著 しい。

実去［ｉｌｏ：１１ これらの例では本発明の研磨ホイールの性能に対する、ガラス化した結合剤の使 用の著しい効果ついて説明する。

ガラス化した結合剤を用いた、直径１２７鵬、厚さ１６ｍｍ。

中心孔直径２２肛の研磨ホイールを従来の方法で作製した。

１組の研磨ホイール（「タイプ１０」と呼称する）を市販のフリットＴｙｐｅ　 ３ＧＦ　２５９Ａ（０，Ｈｏｍｍｅ１社製（ピッツバーグ、ペンシルベニア州） ）で結合してから９００℃で焼成して結合剤を硬化させた。もう１組のホイール （「タイプ１１」と呼称する）を市販の結合剤Ｈ＾４（ツートン社製（ウォーセ スター、マサチューセッツ州）で結合してからやはり９００°Ｃで焼成した。

これらのホイールは、ダイアモンドまたはＣＢＮを研磨剤として用いる多くの研 磨処理に広く用いられているストレートリムタイプのホイールである。リムすな わち研磨領域は下記の混合組成であり、仕上り状態の体積パーセントも併記しで あるとおりである。

０、Ｈｏｍｍｅｌフリット　２７　１６．９ｇＨＡ４結合剤　１４．６１　１０ ．５６　ｇ水　４．８３　ｇ グリセリン　０．５４　ｇ メチルセルロース　０．１３ｇ デキストリン　０．２１　ｇ Ａｅｒｏｍｅｒ３０　２．０８　ｇ ポロシティ−２５３７，３９ ホイールのコアの混合組成および仕上り状態の体積率は下記のとおりであった。

ホイール　イブ　０　ホイール　イ　１１０、Ｈｏｍｍｅｌフリット　２５．２ 　１１８．０５　ｇＨＡ４結合剤　１４．６１　７９．００　ｇ水　２８．０４ 　ｇ グリセリン　３．１６　ｇ メチルセルロース　０．７４ｇ デキストリン　１．５６　ｇ へｅｒｏｍｅｒ３０　１５．３１　ｇ ポロシティ−３０３７，３９ 作製した研磨ホイールについて、水と水溶性油を１０＝１の比で混合した冷却剤 を用いて５２１００鋼の研磨試験を行なった。

ホイール１０はホイール１１に（らべてＧ比がほぼ２倍であり、研磨中の投入動 力が若干少なかった。ここで、ホイール１０は研磨領域のポロシティ−が２５ｖ ｏ１％であったのに対し、ホイール１１ではそれが３７．３９　ｖｏ１％であっ た点に注意すべきである。フリット結合剤は研磨中に作用する硬さが本来柔いの で試験結果に影響を及ぼすことはなく、両ホイールの実際の硬さがほぼ等しくな るようにホイール１０にはより多くの結合剤を添加した。

１２および　六　Ｃ１２ これらの例では、金属で結合を行ない、外周部の砥粒を特別に突出させないホイ ールに本発明を用いた場合について説明する。実施例１２ではＣＢＮ砥粒とＭＣ Ａ砥粒とを体積比３：１で用い、比較例Ｃ１２ではこれと砥粒総体積を等しくし てＣＢＮ砥粒のみを用いた。結合剤組成は銅８１．４％、錫１８．６％であった 。銅粉末と錫粉末を湿潤剤と一緒に混合し、砥粒を添加して再び混合し、これを 芯型の周りで約３３０ＭＰａの圧力を負荷して冷間加圧成形してグリーン（生） ホイールとした。このグリーンホイールに、窒素・水素混合雰囲気中で約５５０ ’Ｃまで５時間で昇温し、この温度で３時間保持する焼成を施して研磨ホイール を得た。この製造方法は、混合タイプの砥粒を用いた他は従来どおりである。両 タイプのホイールについて同一条件の試験をそれぞれ２回行なった平均の結果か ら、タイプ１２はタイプＣ１２にくらべてＧ比が１７％高（、投入動力は約１０ ％少なかった。したがって、タイプ１２の方が望ましい。

１１３および　・・Ｃ１３ これらの例では、油冷却で鋼を研磨するレジノイド結合ホイールに本発明を用い た場合について説明する。実施例１３は実施例９と同様であるが、ただし研磨砥 粒の総量を２５ｖｏ１％とし、このうち１／４をＭＣＡ砥粒、残部をＣＢとした 。Ａｌ５Ｉ　ＭＺ鋼（硬さＨＲＣ６５に調質）を油冷却、低研磨速度で研磨して 、タイプ１３のホイールをタイプＣ１２のホイールと比較した。タイプ１３はタ イプＣ１２にくらべてＧ比が４５％高く、投入動力が若干少なかった。

１４および１５ これらの例は実施例９と近い関係にある。用いた材料は実施例と同様であったが 、ただしニッケル被覆したＭＣＡ砥粒を用いた。被覆は従来の方法で行ない、被 覆厚さは被覆後の砥粒重量の５４％に相当する厚さとした。実施例１４はこの被 覆以外は実施例９と同様である。一方、実施例１５は、この他に砥粒の量がＭ　 ＣＡ　６．２５ｖｏ１％、ＣＢ　１Ｂ、７５ｖｏ１％であった点が更に異なる。

これらのタイプのホイールについて、実施例９の乾式研磨で同−鋼を研磨した試 験結果を第８表に示す。

第８表 イブ１４　、１５　、およびＣ１２の　・Ｃおよび　、ｒ′−優 第８表のデータと第７表のデータとの比較から、この結合剤の場合の本発明の利 点が、ＭＣＡ砥粒にニッケル被覆を施すと更に顕著になることが分かる。同様の 試験条件で冷却を水溶性油に変えてタイプ１４および１５の試験を行なった。

特表千２−５０１２０９　（７） その場合、タイプＣ１２に（らべたタイプ１４および１５のＧ比の優位性は第８ 表のレベルよりもかなり低かったが、全く消失することはなかった。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. １．寸法等級を調整され、ほぼ離散状態の研磨砥粒を、この研磨砥粒とは化学的 に異なる結合材料のマトリックス中に保持した結合型研磨工具において、上記工 具中に超研磨砥粒とアルミニウム質砥粒とが存在し、上記アルミニウム質砥粒が 最大寸法約１ｕｍ以下のほぼ等軸のアルファアルミまたはアルミナスピネルの微 結晶から主として成ることを特徴とする結合型研磨工具。
2. ２．前記微結晶の最大寸法が０．７ｕｍ以下である請求の範囲第１項記載の結合 型研磨工具。
3. ３．前記微結晶の最大寸法が０．３ｕｍ以下である請求の範囲第１項記載の結合 型研磨工具。
4. ４．前記アルミニウム質砥粒が非セル状である請求の範囲第１項から第３項まで のいずれか１項に記載の結合型研磨工具。
5. ５．前記アルミニウム質砥粒の硬さが１８ＧＰａ以上である請求の範囲第４項か ら第６項までのいずれか１項に記載の結合型研磨工具。
6. ６．前記結合材料が、ほぼ金属酸化物から成るガラスである請求の範囲第１項か ら第５項までのいずれか１項に記載の結合型研磨工具。
7. ７．前記超研磨砥粒の体積が工具の総体積の９％以下である請求の範囲第１項か ら第６項までのいずれか１項に記載の結合型研磨工具。
8. ８．前記結合材料がフェノール樹脂の硬化生成物であり、前記アルミニウム質砥 粒が前記工具中に結合される前にニッケル被覆されている請求の範囲第１項から 第５項までのいずれか１項に記載の結合型研磨工具。
9. ９．前記アルミニウム質砥粒が、下記の工程（ａ）〜（ｄ）：（ａ）アルミナ水 和物のゾルまたはゲルと、加熱に際してアルミナ永和物から結晶質アルファアル ミナヘの交換を促進する効果を有するサブミクロンの結晶質の種粒子とを混合す る工程、 （ｂ）工程（ａ）で形成された混合物を乾燥する工程、（ｃ）工程（ｂ）で形成 された乾燥混合物を、１５００℃以下の温度で、この混合物中のアルミナがアル ファアルミナまたはアルミナスピネルに交換するのに十分な時間加熱する工程、 および （ｄ）工程（ｃ）の生成物から、ほぼ粒度等級の揃った研磨砥粒を選び出す工程 を含む方法によって作られる請求の範囲第１項から第８項までのいずれか１項に 記載の結合型研磨工具。