JPH0249566B2 - - Google Patents
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- JPH0249566B2 JPH0249566B2 JP56157595A JP15759581A JPH0249566B2 JP H0249566 B2 JPH0249566 B2 JP H0249566B2 JP 56157595 A JP56157595 A JP 56157595A JP 15759581 A JP15759581 A JP 15759581A JP H0249566 B2 JPH0249566 B2 JP H0249566B2
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
本発明は、特性的に優れた新しい構造の弾性表
面波素子に関するものである。 弾性表面波(Surface Acoustic Wave)を利
用することにより各種の電気的信号を扱うための
弾性表面波素子を構成する構造(基板)としては
従来、 1 圧電体基板のみの構造(圧電体単結晶基板、
圧電セラミツクス基板等)、 2 非圧電体基板上に圧電膜を形成した構造 3 半導体基板上に圧電膜を形成した構造、 等が知られている。 これらのうち、同一半導体基板上に集積回路と
共に弾性表面波素子を形成することができる3の
モノリシツク構造が用途上有利であり、今後発展
していくと思われる。 ところで上述の3のモノリシツク構造として
は、現在のところシリコン(Si)単結晶基板上に
スパツタリング法等により酸化亜鉛膜(ZnO)膜
を形成した構造がよく知られているが、このZnO
膜は以下のように欠点が存在するために実用上に
あたつては問題がある。 1 電圧印加により電気的不安定性が生ずる。 2 良質な膜が形成しにくいため、比抵抗、圧電
性等の点で十分再現性のあるものが得られな
い。 3 シリコン単結晶基板上に保護膜(SiO2)を
必要とする。 4 高周波領域において弾性表面波の伝播損失が
多い。 5 弾性表面波伝播特性において分布が大きい。 6 通常のシリコンICプロセスと合致しない。 本発明はこれらの問題点に対処してなされたも
のであり、シリコン単結晶層上に窒化アルミニウ
ム単結晶エピタキシヤル層を形成した弾性体構造
(基板)を用いることを根本的特徴とするもので、
(110)結晶面もしくはそれと等価な面から成るシ
リコン単結晶層と、この上に形成されかつ圧電軸
が配向した窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤ
ル層と、これら所定位置に形成された電極とを含
み、上記窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル
層の圧電軸がシリコン単結晶層に垂直かつその
[110]結晶軸と等価な方向に弾性表面波を伝
播させることを要旨とするものである。以下図面
を参照して本発明実施例を説明する。 第1図は本発明実施例による弾性表面波素子を
示す断面図で、1はシリコン単結晶基板で(110)
結晶面もしくはこれと等価な面でカツトされたも
のから成り、2はその上に形成された窒化アルミ
ニウム(AlN)単結晶エピタキシヤル層でその
圧電軸は上記シリコン単結晶基板1面に直角にな
るように形成される。3,4は上記窒化アルミニ
ウム単結晶エピタキシヤル層2表面に形成された
くし型状から成る弾性表面波発生用電極および検
出用電極で、hは窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層2の膜厚である。 以上の構造の弾性表面波素子に対しそのシリコ
ン単結晶基板1の[110]軸方向と等価な方向
へ弾性表面波を励振(伝播)させた時、第5図に
示すような弾性表面波の速度分散特性が得られ
た。同図において横軸は窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル膜2の膜厚hの規格化された厚さ
を2πh/λ(ここでλは弾性表面波の波長)で示
し、縦軸は弾性表面波の位相速度Vpを示すもの
である。同図から明らかなように2πh/λが約1.9
で弾性表面波としてのモードは消失してバルク横
波が発生した。 しかし2πh/λの0〜1.9の範囲に対応したVp
は約4482m/secから約4680m/secまで右上りに
上昇しており、この変化は大きな位相速度を保持
した変化であり、また膜厚に対する分散は小さか
つた。 第6図は電気機械結合係数の特性曲線を示すも
ので、横軸は第5図と同様な2πh/λで示し、縦
軸は電気機械結合係数Kの二乗値K2を百分率で
示すものである。同図において曲線Aが第1図の
構造に対応した特性で、規格化膜厚2πh/λの1.5
近傍においてK2は約0.27%で得られた。この値は
通常弾性表面波を発生および検出させるに充分な
値である。 第2図a,bは本発明の他の実施例を示す断面
図で、aはシリコン単結晶基板1の表面部に弾性
表面波発生用電極3および検出用電極4を形成し
た後、これらを覆うように窒化アルミニウム単結
晶エピタキシヤル層2を形成した構造を示し、b
は上記シリコン単結晶基板1表面部に部分的に高
抵抗層7もしくは空乏層を形成し、これらの層に
低抵抗シリコンから成るくし型状の弾性表面波発
生用電極5および検出用電極6を埋込み形成した
後にこれらを覆うように窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層2を形成した構造を示すもので
ある。 以上の構造の弾性表面波素子に対し第1図の構
造と同様にシリコン単結晶基板1の[110]軸
方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させること
により、第5図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第6図の曲線Bは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
1.6近傍においてK2は約0.13%が得られた。この
値は通常弾性表面波を発生および検出させるに充
分な値である。 第3図a,bは本発明のその他の実施例を示す
もので、aはシリコン単結晶基板1の表面部に部
分的に第2電極として一対のしやへい電極8を形
成した後、これらを覆うように窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層2を形成しこの表面に第
1電極として弾性表面波検出用電極3および検出
用電極4を形成した構造を示し、bは上記シリコ
ン単結晶基板1表面部に部分的に低抵抗シリコン
層9を形成した後、これらを覆うように窒化シリ
コン単結晶エピタキシヤル層2を形成しこの表面
に第1電極として上記発生用電極3および検出用
電極4を形成した構造を示すものである。 以上の構造の弾性表面波素子に対し第1図の構
造と同様にシリコン単結晶基板1の[110]軸
方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させること
により、第5図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第6図の曲線Cは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.39近傍においてK2は約0.18%が得られ、さらに
2πh/λの1.6近傍においてK2は約0.18%が得られ
いわゆるダブルピーク特性が得られた。 特に前者の第1ピークを与える薄い膜厚におい
ては分散は非常に少なく、超高周波、低分散特性
に優れていることがわかつた。これらにおける
K2値は通常弾性表面波を発生および検出させる
に充分な値である。 第4図a,bは本発明のその他の実施例を示す
もので、aはシリコン単結晶基板1表面部に第1
電極として弾性表面波発生用電極3および検出用
電極4を形成した後、これらを覆うに窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層2を形成しこの表
面に部分的に第2電極として一対のしやへい電極
8を形成した構造を示し、bは上記シリコン単結
晶基板1表面部に部分的に高抵低抗層7もしくは
空乏層を形成し、これらの層に低抵抗シリコンか
ら成るくし型状の第1電極としての上記発生用電
極5および検出用電極6を埋め込み形成した後、
これらを覆うように窒化アルミニウム単結晶エピ
タキシヤル層2を形成しこの表面に第2電極とし
て一対のしやへい電極8を形成した構造を示すも
のである。 以上の構造の弾性表面波素子に対し第1図の構
造と同様にシリコン単結晶基板1の[110]軸
方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させること
により、第5図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第6図の曲線Dは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.22近傍においてK2は約0.13%が得られ、さらに
2πh/λの1.7近傍においてK2は約0.05%が得られ
ダブルピーク特性が得られた。特に前者の第1ピ
ークを与える薄い膜厚においては分散は非常に少
なく、超高周波、低分散性に優れていることがわ
かつた。これらにおけるK2値は通常弾性波を発
生および検出させるに充分な値である。 第1図乃至第4図a,bの構造において、特に
窒化シリコン単結晶エピタキシヤル層2をこの圧
電軸がシリコン単結晶基板1面に平行かつその
[110]軸と等価な方向になるように形成した
場合の本発明のその他の実施例について以下説明
する。 先ず第1図と同一構造に形成した弾性表面波素
子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の[11
0]軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させ
た時、第7図に示すような弾性表面波の速度分散
特性が得られた。 同図において横軸および縦軸は第5図と同一で
あり、規格化膜厚2πh/λが約1.65で弾性表面波
としてのモードは消失してバルク横波が発生し
た。 しかし2πh/λの0〜1.65の範囲に対応した位
相速度Vpは約4482m/secから約4680m/secま
で右上りに上昇しており、この変化は大きな位相
速度を保持した変化であり、また膜厚に対する分
散は小さかつた。特に2πh/λが0.2〜0.5付近で
は速度分散が非常に小さかつた。 第8図の曲線Aは電気機械結合係数の二乗値
K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの1.2
近傍においてK2は約0.45%が得られた。 また速度分散が非常に小さい2πh/λが0.3付近
で約0.13%のK2が得られた。これらの値は通常弾
性表面波を発生および検出させるに充分な値であ
る。 次に第2図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波素子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
[110]軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励
振させることにより、第7図に示すような速度分
散特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散
が小さいことがわかつた。 また第8図の曲線Bは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.39近傍においてK2は約0.07%が得られ、さらに
2πh/λの1.5近傍においてK2は約0.03%が得られ
ダブルピーク特性が得られた。これらのK2値は
通常弾性表面波を発生および検出させるに充分な
値である。 次に第3図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波素子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
[110]軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励
振させることにより、第7図に示すような速度分
散特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散
が小さいことがわかつた。 また第8図の曲線Cは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
1.3近傍においてK2は約0.54%が得られた。 特に2πh/λが0.3付近の分散速度の非常に小さ
い近傍で約0.12%のK2が得られた。これらの値は
通常弾性表面波を発生および検出させるのに充分
な値である。 次に第4図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波を用意し、そのシリコン単結晶基板1の[1
10]軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振さ
せることにより、第7図に示すような速度分布特
性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシ
ヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小
さいことがわかつた。 また第8図の曲線Dは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
1.4近傍においてK2は約0.12%のピークが得られ
た。 特に速度分散の小さい2πh/λが1.0近傍で約
0.07%のK2が得られた。これらの値は通常弾性表
面波を発生および検出させるに充分な値である。 第1図乃至第4図a,bの構造の弾性表面波素
子において、そのシリコン単結晶基板1の〔001〕
軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させた場
合の本発明のその他の実施例について以下説明す
る。 先ず第1図と同一構造の弾性表面波素子の場
合、第9図に示すような弾性表面波の速度分散特
性が得られた。同図において横軸および縦軸は第
5図と同一であり、規格化膜厚2πh/λが約5.0ま
で弾性表面波としてのモードは消失しなかつた。 しかし2πh/λの0〜5.0の範囲に対応した位相
速度Vpは約5032m/secから約5600m/secまで
右上りに上昇しており、この変化は大きな位相速
度を保持した変化であり、また膜厚に対する分散
は小さかつた。 第10図の曲線Aは電気機械結合係数の二乗値
K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの3.3
近傍においてK2は約0.48%が得られた。この値は
通常弾性表面波を発生および検出させるに充分な
値である。 次に第2図a,bと同一構造の弾性表面波素子
の場合、第9図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第10図の曲線Bは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
3.1近傍においてK2は約0.6%が得られた。この値
は通常弾性表面波を発生および検出させるに充分
な値である。 次に第3図a,bと同一構造の弾性表面波素子
の場合、第9図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第10図の曲線Cは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.3近傍においてK2は約0.34%が得られ、さらに
2πh/λの4.1近傍においてK2は約0.43%が得られ
いわゆるダブルピーク特性が得られた。 特に前者の第1ピークを与える薄い膜厚におい
ては分散は非常に少なく、超高周波、低分散特性
に優れていることがわかつた。これらにおける
K2値は通常弾性表面波を発生および検出させる
に充分な値である。 次に第4図a,bと同一構造の弾性表面波素子
の場合、第9図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第10図の曲線Dは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.20近傍においてK2は約0.27%が得られ、さらに
2πh/λの3.4近傍においてK2は約0.53%が得られ
いわゆるダブルピーク特性が得られた。 特に前者の第1ピークを与える薄い膜厚におい
ては分散は非常に少なく、超高周波、低分散特性
に優れていることがわかつた。これらにおける
K2値は通常弾性表面波を発生および検出させる
に充分な値である。 第1図乃至第4図a,bの構造において、特に
窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2をこ
の圧電軸がシリコン単結晶基板1面に平行かつそ
の〔001〕軸と等価な方向になるように形成した
場合の本発明のその他の実施例について以下説明
する。 先ず第1図と同一構造に形成した弾性表面波素
子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の〔001〕
軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させた
時、第11図に示すような弾性表面波の速度分散
特性が得られた。 同図において横軸および縦軸は第5図と同一で
あり、規格化膜厚2πh/λが約0.5まで弾性表面波
としてのモードは消失しなかつた。 しかし2πh/λの0〜5.0の範囲に対応した位相
速度Vpは約5032m/secから約5560m/secまで
右上りに上昇しており、この変化は大きな位相速
度を保持した変化であり、また膜厚に対する分散
は小さかつた。 特に2πh/λが0.1近傍で分散は極小値をとるた
め、非常に小さくなつた。また2πh/λが0.3近傍
でも分散は極小値をとるため小さくなつた。 第12図の曲線Aは電気機械結合係数の二乗値
K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの2.7
近傍においてK2は約0.9%のピークが得られた。
特に2πh/λが1.0近傍で約0.6%のK2が得られ、
かつ第11図のように分散は極小点で非常に小さ
い。これらの値は通常弾性表面波を発生および検
出させるに充分な値である。 次に第2図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波素子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
〔001〕軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振さ
せることにより、第11図に示すような速度分散
特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散が
小さいことがわかつた。 また第12図の曲線Bは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.33近傍においてK2は約0.14%が得られ、さらに
2πh/λの3.0近傍においてK2は約0.5%が得られ
ダブルピーク特性が得られた。これらのK2値は
通常弾性表面波を発生および検出させるに充分な
値である。 次に第3図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波素子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
〔001〕軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振さ
せることにより、第11図に示すような速度分散
特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散が
小さいことがわかつた。 また第12図の曲線Cは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
2.0近傍においてK2は約1.0%が得られた。特に
2πh/λが1.0近傍において、約0.7%のK2が得ら
れ、かつ第11図のように分散は極小点で非常に
小さい。これらの値は通常弾性表面波を発生およ
び検出させるに充分な値である。 次に第4図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
〔001〕軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振さ
せることにより、第11図に示すような速度分布
特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散が
小さいことがわかつた。 また第12図の曲線Dは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
2.7近傍においてK2は約0.56%のピークが得られ
た。 この値は通常弾性表面波を発生および検出させ
るに充分な値である。 以上説明して明らかなように本発明によれば、
シリコン単結晶基板(層)上に窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層を形成した弾性体構造を
用い、特に(110)結晶面から成るシリコン単結
晶基板を用いて弾性表面波を伝播させるように構
成するものであるから、特性的に優れた弾性表面
波素子を得ることができる。 なお本文各実施例における窒化アルミニウム単
結晶エピタキシヤル層の膜厚hの最適範囲は各特
性図から明らかであるが、各実施例ごとに示せば
次表のようになる。
面波素子に関するものである。 弾性表面波(Surface Acoustic Wave)を利
用することにより各種の電気的信号を扱うための
弾性表面波素子を構成する構造(基板)としては
従来、 1 圧電体基板のみの構造(圧電体単結晶基板、
圧電セラミツクス基板等)、 2 非圧電体基板上に圧電膜を形成した構造 3 半導体基板上に圧電膜を形成した構造、 等が知られている。 これらのうち、同一半導体基板上に集積回路と
共に弾性表面波素子を形成することができる3の
モノリシツク構造が用途上有利であり、今後発展
していくと思われる。 ところで上述の3のモノリシツク構造として
は、現在のところシリコン(Si)単結晶基板上に
スパツタリング法等により酸化亜鉛膜(ZnO)膜
を形成した構造がよく知られているが、このZnO
膜は以下のように欠点が存在するために実用上に
あたつては問題がある。 1 電圧印加により電気的不安定性が生ずる。 2 良質な膜が形成しにくいため、比抵抗、圧電
性等の点で十分再現性のあるものが得られな
い。 3 シリコン単結晶基板上に保護膜(SiO2)を
必要とする。 4 高周波領域において弾性表面波の伝播損失が
多い。 5 弾性表面波伝播特性において分布が大きい。 6 通常のシリコンICプロセスと合致しない。 本発明はこれらの問題点に対処してなされたも
のであり、シリコン単結晶層上に窒化アルミニウ
ム単結晶エピタキシヤル層を形成した弾性体構造
(基板)を用いることを根本的特徴とするもので、
(110)結晶面もしくはそれと等価な面から成るシ
リコン単結晶層と、この上に形成されかつ圧電軸
が配向した窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤ
ル層と、これら所定位置に形成された電極とを含
み、上記窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル
層の圧電軸がシリコン単結晶層に垂直かつその
[110]結晶軸と等価な方向に弾性表面波を伝
播させることを要旨とするものである。以下図面
を参照して本発明実施例を説明する。 第1図は本発明実施例による弾性表面波素子を
示す断面図で、1はシリコン単結晶基板で(110)
結晶面もしくはこれと等価な面でカツトされたも
のから成り、2はその上に形成された窒化アルミ
ニウム(AlN)単結晶エピタキシヤル層でその
圧電軸は上記シリコン単結晶基板1面に直角にな
るように形成される。3,4は上記窒化アルミニ
ウム単結晶エピタキシヤル層2表面に形成された
くし型状から成る弾性表面波発生用電極および検
出用電極で、hは窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層2の膜厚である。 以上の構造の弾性表面波素子に対しそのシリコ
ン単結晶基板1の[110]軸方向と等価な方向
へ弾性表面波を励振(伝播)させた時、第5図に
示すような弾性表面波の速度分散特性が得られ
た。同図において横軸は窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル膜2の膜厚hの規格化された厚さ
を2πh/λ(ここでλは弾性表面波の波長)で示
し、縦軸は弾性表面波の位相速度Vpを示すもの
である。同図から明らかなように2πh/λが約1.9
で弾性表面波としてのモードは消失してバルク横
波が発生した。 しかし2πh/λの0〜1.9の範囲に対応したVp
は約4482m/secから約4680m/secまで右上りに
上昇しており、この変化は大きな位相速度を保持
した変化であり、また膜厚に対する分散は小さか
つた。 第6図は電気機械結合係数の特性曲線を示すも
ので、横軸は第5図と同様な2πh/λで示し、縦
軸は電気機械結合係数Kの二乗値K2を百分率で
示すものである。同図において曲線Aが第1図の
構造に対応した特性で、規格化膜厚2πh/λの1.5
近傍においてK2は約0.27%で得られた。この値は
通常弾性表面波を発生および検出させるに充分な
値である。 第2図a,bは本発明の他の実施例を示す断面
図で、aはシリコン単結晶基板1の表面部に弾性
表面波発生用電極3および検出用電極4を形成し
た後、これらを覆うように窒化アルミニウム単結
晶エピタキシヤル層2を形成した構造を示し、b
は上記シリコン単結晶基板1表面部に部分的に高
抵抗層7もしくは空乏層を形成し、これらの層に
低抵抗シリコンから成るくし型状の弾性表面波発
生用電極5および検出用電極6を埋込み形成した
後にこれらを覆うように窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層2を形成した構造を示すもので
ある。 以上の構造の弾性表面波素子に対し第1図の構
造と同様にシリコン単結晶基板1の[110]軸
方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させること
により、第5図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第6図の曲線Bは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
1.6近傍においてK2は約0.13%が得られた。この
値は通常弾性表面波を発生および検出させるに充
分な値である。 第3図a,bは本発明のその他の実施例を示す
もので、aはシリコン単結晶基板1の表面部に部
分的に第2電極として一対のしやへい電極8を形
成した後、これらを覆うように窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層2を形成しこの表面に第
1電極として弾性表面波検出用電極3および検出
用電極4を形成した構造を示し、bは上記シリコ
ン単結晶基板1表面部に部分的に低抵抗シリコン
層9を形成した後、これらを覆うように窒化シリ
コン単結晶エピタキシヤル層2を形成しこの表面
に第1電極として上記発生用電極3および検出用
電極4を形成した構造を示すものである。 以上の構造の弾性表面波素子に対し第1図の構
造と同様にシリコン単結晶基板1の[110]軸
方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させること
により、第5図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第6図の曲線Cは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.39近傍においてK2は約0.18%が得られ、さらに
2πh/λの1.6近傍においてK2は約0.18%が得られ
いわゆるダブルピーク特性が得られた。 特に前者の第1ピークを与える薄い膜厚におい
ては分散は非常に少なく、超高周波、低分散特性
に優れていることがわかつた。これらにおける
K2値は通常弾性表面波を発生および検出させる
に充分な値である。 第4図a,bは本発明のその他の実施例を示す
もので、aはシリコン単結晶基板1表面部に第1
電極として弾性表面波発生用電極3および検出用
電極4を形成した後、これらを覆うに窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層2を形成しこの表
面に部分的に第2電極として一対のしやへい電極
8を形成した構造を示し、bは上記シリコン単結
晶基板1表面部に部分的に高抵低抗層7もしくは
空乏層を形成し、これらの層に低抵抗シリコンか
ら成るくし型状の第1電極としての上記発生用電
極5および検出用電極6を埋め込み形成した後、
これらを覆うように窒化アルミニウム単結晶エピ
タキシヤル層2を形成しこの表面に第2電極とし
て一対のしやへい電極8を形成した構造を示すも
のである。 以上の構造の弾性表面波素子に対し第1図の構
造と同様にシリコン単結晶基板1の[110]軸
方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させること
により、第5図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第6図の曲線Dは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.22近傍においてK2は約0.13%が得られ、さらに
2πh/λの1.7近傍においてK2は約0.05%が得られ
ダブルピーク特性が得られた。特に前者の第1ピ
ークを与える薄い膜厚においては分散は非常に少
なく、超高周波、低分散性に優れていることがわ
かつた。これらにおけるK2値は通常弾性波を発
生および検出させるに充分な値である。 第1図乃至第4図a,bの構造において、特に
窒化シリコン単結晶エピタキシヤル層2をこの圧
電軸がシリコン単結晶基板1面に平行かつその
[110]軸と等価な方向になるように形成した
場合の本発明のその他の実施例について以下説明
する。 先ず第1図と同一構造に形成した弾性表面波素
子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の[11
0]軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させ
た時、第7図に示すような弾性表面波の速度分散
特性が得られた。 同図において横軸および縦軸は第5図と同一で
あり、規格化膜厚2πh/λが約1.65で弾性表面波
としてのモードは消失してバルク横波が発生し
た。 しかし2πh/λの0〜1.65の範囲に対応した位
相速度Vpは約4482m/secから約4680m/secま
で右上りに上昇しており、この変化は大きな位相
速度を保持した変化であり、また膜厚に対する分
散は小さかつた。特に2πh/λが0.2〜0.5付近で
は速度分散が非常に小さかつた。 第8図の曲線Aは電気機械結合係数の二乗値
K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの1.2
近傍においてK2は約0.45%が得られた。 また速度分散が非常に小さい2πh/λが0.3付近
で約0.13%のK2が得られた。これらの値は通常弾
性表面波を発生および検出させるに充分な値であ
る。 次に第2図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波素子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
[110]軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励
振させることにより、第7図に示すような速度分
散特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散
が小さいことがわかつた。 また第8図の曲線Bは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.39近傍においてK2は約0.07%が得られ、さらに
2πh/λの1.5近傍においてK2は約0.03%が得られ
ダブルピーク特性が得られた。これらのK2値は
通常弾性表面波を発生および検出させるに充分な
値である。 次に第3図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波素子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
[110]軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励
振させることにより、第7図に示すような速度分
散特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散
が小さいことがわかつた。 また第8図の曲線Cは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
1.3近傍においてK2は約0.54%が得られた。 特に2πh/λが0.3付近の分散速度の非常に小さ
い近傍で約0.12%のK2が得られた。これらの値は
通常弾性表面波を発生および検出させるのに充分
な値である。 次に第4図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波を用意し、そのシリコン単結晶基板1の[1
10]軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振さ
せることにより、第7図に示すような速度分布特
性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシ
ヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小
さいことがわかつた。 また第8図の曲線Dは電気機械結合係数の二乗
値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
1.4近傍においてK2は約0.12%のピークが得られ
た。 特に速度分散の小さい2πh/λが1.0近傍で約
0.07%のK2が得られた。これらの値は通常弾性表
面波を発生および検出させるに充分な値である。 第1図乃至第4図a,bの構造の弾性表面波素
子において、そのシリコン単結晶基板1の〔001〕
軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させた場
合の本発明のその他の実施例について以下説明す
る。 先ず第1図と同一構造の弾性表面波素子の場
合、第9図に示すような弾性表面波の速度分散特
性が得られた。同図において横軸および縦軸は第
5図と同一であり、規格化膜厚2πh/λが約5.0ま
で弾性表面波としてのモードは消失しなかつた。 しかし2πh/λの0〜5.0の範囲に対応した位相
速度Vpは約5032m/secから約5600m/secまで
右上りに上昇しており、この変化は大きな位相速
度を保持した変化であり、また膜厚に対する分散
は小さかつた。 第10図の曲線Aは電気機械結合係数の二乗値
K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの3.3
近傍においてK2は約0.48%が得られた。この値は
通常弾性表面波を発生および検出させるに充分な
値である。 次に第2図a,bと同一構造の弾性表面波素子
の場合、第9図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第10図の曲線Bは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
3.1近傍においてK2は約0.6%が得られた。この値
は通常弾性表面波を発生および検出させるに充分
な値である。 次に第3図a,bと同一構造の弾性表面波素子
の場合、第9図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第10図の曲線Cは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.3近傍においてK2は約0.34%が得られ、さらに
2πh/λの4.1近傍においてK2は約0.43%が得られ
いわゆるダブルピーク特性が得られた。 特に前者の第1ピークを与える薄い膜厚におい
ては分散は非常に少なく、超高周波、低分散特性
に優れていることがわかつた。これらにおける
K2値は通常弾性表面波を発生および検出させる
に充分な値である。 次に第4図a,bと同一構造の弾性表面波素子
の場合、第9図に示すような速度分散特性が得ら
れ、窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2
の規格化膜厚2πh/λに対して分散が小さいこと
がわかつた。 また第10図の曲線Dは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.20近傍においてK2は約0.27%が得られ、さらに
2πh/λの3.4近傍においてK2は約0.53%が得られ
いわゆるダブルピーク特性が得られた。 特に前者の第1ピークを与える薄い膜厚におい
ては分散は非常に少なく、超高周波、低分散特性
に優れていることがわかつた。これらにおける
K2値は通常弾性表面波を発生および検出させる
に充分な値である。 第1図乃至第4図a,bの構造において、特に
窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル層2をこ
の圧電軸がシリコン単結晶基板1面に平行かつそ
の〔001〕軸と等価な方向になるように形成した
場合の本発明のその他の実施例について以下説明
する。 先ず第1図と同一構造に形成した弾性表面波素
子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の〔001〕
軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振させた
時、第11図に示すような弾性表面波の速度分散
特性が得られた。 同図において横軸および縦軸は第5図と同一で
あり、規格化膜厚2πh/λが約0.5まで弾性表面波
としてのモードは消失しなかつた。 しかし2πh/λの0〜5.0の範囲に対応した位相
速度Vpは約5032m/secから約5560m/secまで
右上りに上昇しており、この変化は大きな位相速
度を保持した変化であり、また膜厚に対する分散
は小さかつた。 特に2πh/λが0.1近傍で分散は極小値をとるた
め、非常に小さくなつた。また2πh/λが0.3近傍
でも分散は極小値をとるため小さくなつた。 第12図の曲線Aは電気機械結合係数の二乗値
K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの2.7
近傍においてK2は約0.9%のピークが得られた。
特に2πh/λが1.0近傍で約0.6%のK2が得られ、
かつ第11図のように分散は極小点で非常に小さ
い。これらの値は通常弾性表面波を発生および検
出させるに充分な値である。 次に第2図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波素子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
〔001〕軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振さ
せることにより、第11図に示すような速度分散
特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散が
小さいことがわかつた。 また第12図の曲線Bは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
0.33近傍においてK2は約0.14%が得られ、さらに
2πh/λの3.0近傍においてK2は約0.5%が得られ
ダブルピーク特性が得られた。これらのK2値は
通常弾性表面波を発生および検出させるに充分な
値である。 次に第3図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波素子を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
〔001〕軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振さ
せることにより、第11図に示すような速度分散
特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散が
小さいことがわかつた。 また第12図の曲線Cは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
2.0近傍においてK2は約1.0%が得られた。特に
2πh/λが1.0近傍において、約0.7%のK2が得ら
れ、かつ第11図のように分散は極小点で非常に
小さい。これらの値は通常弾性表面波を発生およ
び検出させるに充分な値である。 次に第4図a,bと同一構造に形成した弾性表
面波を用意し、そのシリコン単結晶基板1の
〔001〕軸方向と等価な方向へ弾性表面波を励振さ
せることにより、第11図に示すような速度分布
特性が得られ、窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層2の規格化膜厚2πh/λに対して分散が
小さいことがわかつた。 また第12図の曲線Dは電気機械結合係数の二
乗値K2特性を示すもので、規格化膜厚2πh/λの
2.7近傍においてK2は約0.56%のピークが得られ
た。 この値は通常弾性表面波を発生および検出させ
るに充分な値である。 以上説明して明らかなように本発明によれば、
シリコン単結晶基板(層)上に窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層を形成した弾性体構造を
用い、特に(110)結晶面から成るシリコン単結
晶基板を用いて弾性表面波を伝播させるように構
成するものであるから、特性的に優れた弾性表面
波素子を得ることができる。 なお本文各実施例における窒化アルミニウム単
結晶エピタキシヤル層の膜厚hの最適範囲は各特
性図から明らかであるが、各実施例ごとに示せば
次表のようになる。
【表】
以上説明した本発明によれば次のような効果が
得られる。 1 エピタキシヤル膜による窒化アルミニウム膜
を用いるので、膜質が均一であり高周波での伝
播損失が小さい。 2 弾性表面波音速が大きいため高周波での波長
が大きくなり、くし型電極等の製造が容易にな
る。 3 弾性表面波音速の周波数分散が小さく抑えら
れるので、信号伝播に伴なう波形歪が小さくな
る。 4 共通半導体基板上に集積回路および弾性表面
波素子を形成するモノリシツク構造が可能とな
る。 5 窒化アルミニウム膜はバンドギヤツプが約
6.2eVと大きくまた比抵抗は1016Ωcm以上のも
のが得られるため、電気的に安定であり、MO
−CVD技術を用いて容易に形成できるためシ
リコンのICプロセスと合致する。 以上のように本発明による構造は、特に弾性表
面波素子と半導体集積回路とを同一半導体基板上
に形成することができるため広範囲の用途への適
用が可能となる。
得られる。 1 エピタキシヤル膜による窒化アルミニウム膜
を用いるので、膜質が均一であり高周波での伝
播損失が小さい。 2 弾性表面波音速が大きいため高周波での波長
が大きくなり、くし型電極等の製造が容易にな
る。 3 弾性表面波音速の周波数分散が小さく抑えら
れるので、信号伝播に伴なう波形歪が小さくな
る。 4 共通半導体基板上に集積回路および弾性表面
波素子を形成するモノリシツク構造が可能とな
る。 5 窒化アルミニウム膜はバンドギヤツプが約
6.2eVと大きくまた比抵抗は1016Ωcm以上のも
のが得られるため、電気的に安定であり、MO
−CVD技術を用いて容易に形成できるためシ
リコンのICプロセスと合致する。 以上のように本発明による構造は、特に弾性表
面波素子と半導体集積回路とを同一半導体基板上
に形成することができるため広範囲の用途への適
用が可能となる。
第1図、第2図a,b、第3図a,bおよび第
4図a,bはいずれも本発明実施例を示す断面
図、第5図乃至第12図はいずれも本発明により
得られた結果を示す特性図である。 1…シリコン単結晶基板、2…窒化アルミニウ
ム単結晶エピタキシヤル層、3,4,5,6…く
し型電極、7…高抵抗シリコン層、8…しやへい
電極、9…低抵抗シリコン層。
4図a,bはいずれも本発明実施例を示す断面
図、第5図乃至第12図はいずれも本発明により
得られた結果を示す特性図である。 1…シリコン単結晶基板、2…窒化アルミニウ
ム単結晶エピタキシヤル層、3,4,5,6…く
し型電極、7…高抵抗シリコン層、8…しやへい
電極、9…低抵抗シリコン層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 (110)結晶面もしくはそれと等価な面から
成るシリコン単結晶層と、この上に形成されかつ
圧電軸が配向した窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層と、これら所定位置に形成された電極
とを含み、上記窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層の圧電軸がシリコン単結晶層に垂直かつ
その[110]結晶軸と等価な方向に弾性表面波
を伝播させることを特徴とする弾性表面波素子。 2 (110)結晶面もしくはそれと等価な面から
成るシリコン単結晶層と、この上に形成されかつ
圧電軸が配向した窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層と、これら所定位置に形成された電極
とを含み、上記窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層の圧電軸がシリコン単結晶層に垂直かつ
その[001]結晶軸と等価な方向に弾性表面波を
伝播させることを特徴とする弾性表面波素子。 3 (110)結晶面もしくはそれと等価な面から
成るシリコン単結晶層と、この上に形成されかつ
圧電軸が配向した窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層と、これら所定位置に形成された電極
とを含み、上記窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層の圧電軸がシリコン単結晶層に平行かつ
その[110]結晶軸と等価な方向になるように
形成されたことを特徴とする弾性表面波素子。 4 (110)結晶面もしくはそれと等価な面から
成るシリコン単結晶層と、この上に形成されかつ
圧電軸が配向した窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層と、これら所定位置に形成された電極
とを含み、上記窒化アルミニウム単結晶エピタキ
シヤル層の圧電軸がシリコン単結晶層に平行かつ
その[001]結晶軸と等価な方向になるように形
成されたことを特徴とする弾性表面波素子。 5 上記窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル
層の膜層hが、2πh/λ<1.9(ただし、λは弾性
表面波の波長を示す)の範囲に属することを特徴
とする特許請求の範囲第2項に記載の弾性表面波
素子。 6 上記窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル
層の膜厚hが、2πh/λ<1.9(ただし、λは弾性
表面波の波長を示す)の範囲に属することを特徴
とする特許請求の範囲第4項に記載の弾性表面波
素子。 7 上記窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル
層の膜厚hが、2πh/λ<5.0(ただし、λは弾性
表面波の波長を示す)の範囲に属することを特徴
とする特許請求の範囲第1項に記載の弾性表面波
素子。 8 上記窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル
層の膜厚hが、2πh/λ<5.0(ただし、λは弾性
表面波の波長を示す)の範囲に属することを特徴
とする特許請求の範囲第2項に記載の弾性表面波
素子。 9 上記窒化アルミニウム単結晶エピタキシヤル
層の膜厚hが、2πh/λ<5.0(ただし、λは弾性
表面波の波長を示す)の範囲に属することを特徴
とする特許請求の範囲第3項に記載の弾性表面波
素子。 10 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項に記載の弾性表面波素
子。 11 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第2項に記載の弾性表面波素
子。 12 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第3項に記載の弾性表面波素
子。 13 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第4項に記載の弾性表面波素
子。 14 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第5項に記載の弾性表面波素
子。 15 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第6項に記載の弾性表面波素
子。 16 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第7項に記載の弾性表面波素
子。 17 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第8項に記載の弾性表面波素
子。 18 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第9項に記載の弾性表面波素
子。 19 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の弾
性表面波素子。 20 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の弾
性表面波素子。 21 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第3項に記載の弾
性表面波素子。 22 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第4項に記載の弾
性表面波素子。 23 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第5項に記載の弾
性表面波素子。 24 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第6項に記載の弾
性表面波素子。 25 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第7項に記載の弾
性表面波素子。 26 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第8項に記載の弾
性表面波素子。 27 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に形成されたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第9項に記載の弾
性表面波素子。 28 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項に記載の弾性表面波素
子。 29 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第2項に記載の弾性表面波素
子。 30 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第3項に記載の弾性表面波素
子。 31 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第4項に記載の弾性表面波素
子。 32 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第5項に記載の弾性表面波素
子。 33 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第6項に記載の弾性表面波素
子。 34 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第7項に記載の弾性表面波素
子。 35 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第8項に記載の弾性表面波素
子。 36 上記電極が窒化アルミニウム単結晶エピタ
キシヤル層の表面部に一対の第1電極として形成
され、上記シリコン単結晶層と窒化アルミニウム
単結晶エピタキシヤル層間に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第9項に記載の弾性表面波素
子。 37 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項に記載の弾性表面波素
子。 38 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第2項に記載の弾性表面波素
子。 39 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第3項に記載の弾性表面波素
子。 40 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第4項に記載の弾性表面波素
子。 41 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第5項に記載の弾性表面波素
子。 42 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第6項に記載の弾性表面波素
子。 43 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第7項に記載の弾性表面波素
子。 44 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第8項に記載の弾性表面波素
子。 45 上記電極がシリコン単結晶層と窒化アルミ
ニウム単結晶エピタキシヤル層間に一対の第1電
極として形成され、上記窒化アルミニウム単結晶
エピタキシヤル層の表面部に他に第2電極として
一対のしやへい電極が形成されたことを特徴とす
る特許請求の範囲第9項に記載の弾性表面波素
子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15759581A JPS5859618A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15759581A JPS5859618A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 弾性表面波素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5859618A JPS5859618A (ja) | 1983-04-08 |
JPH0249566B2 true JPH0249566B2 (ja) | 1990-10-30 |
Family
ID=15653139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15759581A Granted JPS5859618A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5859618A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59231911A (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-26 | Clarion Co Ltd | 表面弾性波素子 |
JPH0388406A (ja) * | 1989-04-11 | 1991-04-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波素子 |
US6349454B1 (en) * | 1999-07-29 | 2002-02-26 | Agere Systems Guardian Corp. | Method of making thin film resonator apparatus |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5778206A (en) * | 1980-11-04 | 1982-05-15 | Nobuo Mikoshiba | Surface acoustic wave element and its production |
-
1981
- 1981-10-05 JP JP15759581A patent/JPS5859618A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5778206A (en) * | 1980-11-04 | 1982-05-15 | Nobuo Mikoshiba | Surface acoustic wave element and its production |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5859618A (ja) | 1983-04-08 |
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