JPH0245324B2 - - Google Patents
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- JPH0245324B2 JPH0245324B2 JP56214795A JP21479581A JPH0245324B2 JP H0245324 B2 JPH0245324 B2 JP H0245324B2 JP 56214795 A JP56214795 A JP 56214795A JP 21479581 A JP21479581 A JP 21479581A JP H0245324 B2 JPH0245324 B2 JP H0245324B2
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- JP
- Japan
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- wafer
- wavelength light
- reticle
- light
- objective lens
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- Expired - Lifetime
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- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 12
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7049—Technique, e.g. interferometric
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は集積回路の製造に用いられる投影型露
光装置、特にそのアライメント装置に関する。
光装置、特にそのアライメント装置に関する。
一般にIC、LSI等の集積回路の製作工程は、レ
ジスト塗布→アライメント→露光→現像→エツチ
ングの複数回の繰り返しが基本になつている。そ
して、ここでのアライメントとは各回の露光の際
に前回の露光で形成されたパターンに対して所定
の位置関係を正確に維持するための確認作業であ
り、回路の集積度が高いほど露光パターンが微細
になりより正確なアライメントが必要とされる。
ジスト塗布→アライメント→露光→現像→エツチ
ングの複数回の繰り返しが基本になつている。そ
して、ここでのアライメントとは各回の露光の際
に前回の露光で形成されたパターンに対して所定
の位置関係を正確に維持するための確認作業であ
り、回路の集積度が高いほど露光パターンが微細
になりより正確なアライメントが必要とされる。
従来、投影対物レンズによる露光光と同一波長
の光により、投影対物レンズを通してレテイクル
上とウエハ上とにそれぞれ形成されたアライメン
トマークを重複観察するアライメント方法、いわ
ゆるTTLアライメントが知られている。しかし
このアライメントではアライメント時にウエハー
上のレジストを露光してしまうという欠点がある
ため、アライメント時にアライメントマークのみ
の露光ですむよう絞りなどで露光域を制約しなけ
ればならなかつた。またアライメントマークが露
光されてしまうと、ポジ型レジストの場合現像で
アライメントマークが消滅してしまい、毎回アラ
イメントマークを未露光域に移す必要がある等
種々の問題があつた。
の光により、投影対物レンズを通してレテイクル
上とウエハ上とにそれぞれ形成されたアライメン
トマークを重複観察するアライメント方法、いわ
ゆるTTLアライメントが知られている。しかし
このアライメントではアライメント時にウエハー
上のレジストを露光してしまうという欠点がある
ため、アライメント時にアライメントマークのみ
の露光ですむよう絞りなどで露光域を制約しなけ
ればならなかつた。またアライメントマークが露
光されてしまうと、ポジ型レジストの場合現像で
アライメントマークが消滅してしまい、毎回アラ
イメントマークを未露光域に移す必要がある等
種々の問題があつた。
他方、露光波長と異なる波長光でアライメント
を行なう装置も提案されており、この場合にはア
ライメント光はフオトレジストに感光せず前述の
ごとき問題を生ずることがない。しかしながら、
投影対物レンズを露光波長とアライメント光の波
長との両波長に対して完全に収差補正することは
極めて困難なため、いわゆる色収差によつてアラ
イメントの精度を高く維持することは難しく、ま
た装置も複雑になり末だ十分満足できるものでは
なかつた。
を行なう装置も提案されており、この場合にはア
ライメント光はフオトレジストに感光せず前述の
ごとき問題を生ずることがない。しかしながら、
投影対物レンズを露光波長とアライメント光の波
長との両波長に対して完全に収差補正することは
極めて困難なため、いわゆる色収差によつてアラ
イメントの精度を高く維持することは難しく、ま
た装置も複雑になり末だ十分満足できるものでは
なかつた。
本発明の目的は、露光波長と異なる波長光でア
ライメントを行なう投影型露光装置において、投
影対物レンズの色収差にもかかわらず簡単な構成
で優れたアライメント精度を維持する装置を提供
することにある。
ライメントを行なう投影型露光装置において、投
影対物レンズの色収差にもかかわらず簡単な構成
で優れたアライメント精度を維持する装置を提供
することにある。
本発明は投影対物レンズにより所定の第１波長
光でレテイクル上のパターンをウエハ上に投影
し、該第１波長光と異なる第２波長光によつて前
記投影対物レンズを通してレテイクルとウエハと
の位置合せを行なう投影型露光装置において、ウ
エハ上にフレネルゾーンパターンとして知られる
回折格子パターンを、そのフレネルゾーンパター
ンによる前記第２波長光のフオーカス像と該ウエ
ハとの距離が前記投影対物レンズにおける前記第
１波長光に対する第２波長光の縦の色収差量に一
致するよう形成するとともに、該ウエハ上のフレ
ネルゾーンパターンに向けて前記第２波長光を前
記投影対物レンズを通して供給する照明光学系
と、前記第２波長光により前記投影対物レンズに
よつて前記レテイクル上に投影される前記フレネ
ルゾーンパターンのフオーカス像と該レテイクル
上の所定のアライメントマークとを観察する観察
光学系とを設けたものである。
光でレテイクル上のパターンをウエハ上に投影
し、該第１波長光と異なる第２波長光によつて前
記投影対物レンズを通してレテイクルとウエハと
の位置合せを行なう投影型露光装置において、ウ
エハ上にフレネルゾーンパターンとして知られる
回折格子パターンを、そのフレネルゾーンパター
ンによる前記第２波長光のフオーカス像と該ウエ
ハとの距離が前記投影対物レンズにおける前記第
１波長光に対する第２波長光の縦の色収差量に一
致するよう形成するとともに、該ウエハ上のフレ
ネルゾーンパターンに向けて前記第２波長光を前
記投影対物レンズを通して供給する照明光学系
と、前記第２波長光により前記投影対物レンズに
よつて前記レテイクル上に投影される前記フレネ
ルゾーンパターンのフオーカス像と該レテイクル
上の所定のアライメントマークとを観察する観察
光学系とを設けたものである。
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。第
１図は本発明による装置のアライメント光学系の
概略光路図である。露光パターンの原版としての
レテイクル１は図示なき露光照明光学系により供
給される短波長光、例えばｇ線（λ1＝435.8nｍ）
で均一に照明され、レテイクル１上のパターンが
投影対物レンズ１０によつてウエハー２上に投影
される。これによつてウエハ２に塗布されたレジ
ストが感光しこのレテイクル１上のパターンの焼
付露光が行なわれ、前述したプロセスの繰り返し
ごとにレテイクルを取り換えて焼付露光がなされ
る。そして、ウエハ２上には１回目の焼付露光に
より第２図の平面図に示すごとき同心円状のフレ
ネルゾーンパターンＰが形成されており、このフ
レネルゾーンパターンＰに向けてレジストに感光
域を持たない波長域の光、例えばHe−Neレーザ
ー（λ2＝632.8nｍ）等の光源２０から比較的長波
長の光が投影対物レンズ１０を通して供給され
る。すなわち、光源２０からの光束は偏向プリズ
ム２１によりシフトしてコンデンサーレンズ２２
により集光されハーフミラー２３を透過して、第
１対物レンズ２４、ミラー２５を介してレテイク
ル１を透過し投影対物レンズ１０の波長λ2に対す
る入射瞳に集光され、ウエハ２上のフレネルゾー
ンパターンＰをテレセントリツクに照明する。こ
こで偏向プリズム２１は光源２０をコンデンサー
レンズ２２の光軸上に配置するためのものであ
り、不可欠のものではない。投影対物レンズ１０
に供給される光源２０からの光λ2は投影対物レン
ズ１０中の第１レンズ群１１の収斂作用により波
長λ2に対する仮想絞り１３の位置に集光され、第
２レンズ群１２によりテレセントリツクな平行光
束となつてウエハ２へ向かつて射出する。フレネ
ルゾーンパターンＰは後記するごとくウエハ２か
ら距離△だけ離れた位置にフオーカス像Ｆを形成
し、このフオーカス像Ｆは投影対物レンズ１０に
よつてレテイクル１上に投影される。レテイクル
１上には所定のアライメントマークが設けられて
おり、第１対物レンズ２４、ハーフミラー２３、
ミラー２６、第２対物レンズ２７によりITV等
の撮像装置２８の撮像面にフオーカス像Ｆの像と
レテイクル１上のアライメントマークとが形成さ
れる。第１図中にはアライメントに用いられる波
長λ2の照明光が点線で、観察光が実線でそれぞれ
示されている。
１図は本発明による装置のアライメント光学系の
概略光路図である。露光パターンの原版としての
レテイクル１は図示なき露光照明光学系により供
給される短波長光、例えばｇ線（λ1＝435.8nｍ）
で均一に照明され、レテイクル１上のパターンが
投影対物レンズ１０によつてウエハー２上に投影
される。これによつてウエハ２に塗布されたレジ
ストが感光しこのレテイクル１上のパターンの焼
付露光が行なわれ、前述したプロセスの繰り返し
ごとにレテイクルを取り換えて焼付露光がなされ
る。そして、ウエハ２上には１回目の焼付露光に
より第２図の平面図に示すごとき同心円状のフレ
ネルゾーンパターンＰが形成されており、このフ
レネルゾーンパターンＰに向けてレジストに感光
域を持たない波長域の光、例えばHe−Neレーザ
ー（λ2＝632.8nｍ）等の光源２０から比較的長波
長の光が投影対物レンズ１０を通して供給され
る。すなわち、光源２０からの光束は偏向プリズ
ム２１によりシフトしてコンデンサーレンズ２２
により集光されハーフミラー２３を透過して、第
１対物レンズ２４、ミラー２５を介してレテイク
ル１を透過し投影対物レンズ１０の波長λ2に対す
る入射瞳に集光され、ウエハ２上のフレネルゾー
ンパターンＰをテレセントリツクに照明する。こ
こで偏向プリズム２１は光源２０をコンデンサー
レンズ２２の光軸上に配置するためのものであ
り、不可欠のものではない。投影対物レンズ１０
に供給される光源２０からの光λ2は投影対物レン
ズ１０中の第１レンズ群１１の収斂作用により波
長λ2に対する仮想絞り１３の位置に集光され、第
２レンズ群１２によりテレセントリツクな平行光
束となつてウエハ２へ向かつて射出する。フレネ
ルゾーンパターンＰは後記するごとくウエハ２か
ら距離△だけ離れた位置にフオーカス像Ｆを形成
し、このフオーカス像Ｆは投影対物レンズ１０に
よつてレテイクル１上に投影される。レテイクル
１上には所定のアライメントマークが設けられて
おり、第１対物レンズ２４、ハーフミラー２３、
ミラー２６、第２対物レンズ２７によりITV等
の撮像装置２８の撮像面にフオーカス像Ｆの像と
レテイクル１上のアライメントマークとが形成さ
れる。第１図中にはアライメントに用いられる波
長λ2の照明光が点線で、観察光が実線でそれぞれ
示されている。
第２図の平面図に示したフレネルゾーンパター
ンＰは第３図の断面図に示すごとく半径R1、R2、
R3…の同心円で形成された輪帯状凸部と凹部が
交互に設けられたものである。このフレネルゾー
ンパターンはフレネルゾーンプレートとして知ら
れているように、回折現象によりレンズと同等の
作用を有し、波長λの光に対する焦点距離をｆと
するとき各同心円の半径Rn（ｎ＝１、２、３、
…）は Rn＝√ で決定されている。本実施例ではフレネルゾーン
パターンＰを平行光束で照明するため、フオーカ
ス像Ｆとウエハ２との距離△は焦点距離ｆに一致
している。フレネルゾーンパターンに照射される
光束は平行光束ではなく収斂性又は発散性の光束
であつても通常のレンズと同等に扱うことができ
照射される光束の状態に応じてフオーカス像の位
置が変わる。以下では平行光束の照明光を照射す
るものとして説明する。尚、フレネルゾーンパタ
ーンによるフオーカス像は＋１次と−１次との回
折光により２ケ所に形成されることも知られてい
る。そして、フレネルゾーンパターンとしては上
記の凹凸に限らず明暗のパターンにより同様の効
果を得ることができることはいうまでもない。
ンＰは第３図の断面図に示すごとく半径R1、R2、
R3…の同心円で形成された輪帯状凸部と凹部が
交互に設けられたものである。このフレネルゾー
ンパターンはフレネルゾーンプレートとして知ら
れているように、回折現象によりレンズと同等の
作用を有し、波長λの光に対する焦点距離をｆと
するとき各同心円の半径Rn（ｎ＝１、２、３、
…）は Rn＝√ で決定されている。本実施例ではフレネルゾーン
パターンＰを平行光束で照明するため、フオーカ
ス像Ｆとウエハ２との距離△は焦点距離ｆに一致
している。フレネルゾーンパターンに照射される
光束は平行光束ではなく収斂性又は発散性の光束
であつても通常のレンズと同等に扱うことができ
照射される光束の状態に応じてフオーカス像の位
置が変わる。以下では平行光束の照明光を照射す
るものとして説明する。尚、フレネルゾーンパタ
ーンによるフオーカス像は＋１次と−１次との回
折光により２ケ所に形成されることも知られてい
る。そして、フレネルゾーンパターンとしては上
記の凹凸に限らず明暗のパターンにより同様の効
果を得ることができることはいうまでもない。
さて、このような構成においてフレネルゾーン
パターンＰによるフオーカス像Ｆとウエハ２との
距離△（＝ｆ）が投影対物レンズ１０の露光光λ1
に対するアライメント照明光λ2の縦の色収差量に
一致しているため、第４図に示すごとく、露光光
λ1によつてマスク１とウエハ２とが共役であると
同時に、マスク１とフレネルゾーンパターンＰに
よるフオーカス像Ｆとも共役になつている。従つ
て、露光光λ1と異なる波長の光λ2によつて投影対
物レンズの色収差にかかわらず高精度のアライメ
ントを行うことができる。
パターンＰによるフオーカス像Ｆとウエハ２との
距離△（＝ｆ）が投影対物レンズ１０の露光光λ1
に対するアライメント照明光λ2の縦の色収差量に
一致しているため、第４図に示すごとく、露光光
λ1によつてマスク１とウエハ２とが共役であると
同時に、マスク１とフレネルゾーンパターンＰに
よるフオーカス像Ｆとも共役になつている。従つ
て、露光光λ1と異なる波長の光λ2によつて投影対
物レンズの色収差にかかわらず高精度のアライメ
ントを行うことができる。
第５図はレテイクル１上に設けられているアラ
イメントマーク３１，３２，３３，３４とウエハ
２上に設けられるフレネルゾーンパターンP1，
P2との位置関係を示すために、レテイクルとウ
エハとの平面図の概略を重複して表わしている。
レテイクル１の周辺部にはその中心点３０即ち投
影対物レンズの光軸位置に関して互いに直交する
位置に２対の直線状アライメントマーク３１，３
２及び３３，３４が設けられており、これらに対
応してウエハ２上に同じく中心点３０に関して互
いに直交する位置で２つのフレネルゾーンパター
ンP1，P2が設けられている。レテイクル１上の
２対のアライメントマークは中心点３０を通る同
一直線上に位置しなければどこでも良いが、互い
に直交する位置に設けることがアライメント誤差
を最も小さくでき望ましい。第４図に示したごと
く、露光光λ1に対してレテイクル１とウエハ２と
が共役であるため、ウエハへの最初の露光の際に
２つのフレネルゾーンパターンP1，P2がウエハ
２上に図示なき最初の露光用レテイクルに形成さ
れたフレネルゾーンパターンの投影により形成さ
れる。そしてその後の露光ごとに波長λ2の照明光
により各フレネルゾーンパターンP1，P2のフオ
ーカス像とレテイクル上のアライメントマーク３
１〜３４とにより、アライメントが繰り返され
る。すなわち、第６図に示すごとく撮像装置２８
による観察視野においてレテイクル上に形成され
た１対の直線状アライメントマーク３１，３２の
像３１′，３２′との中央にフレネルゾーンパター
ンP1によるフオーカス像Ｆの像F′が位置すれば、
第５図中横方向の位置合せがなされる。同様にレ
テイクル上のアライメントマーク３３と３４との
中央にフレネルゾーンパターンP2によるフオー
カス像が位置すれば縦方向での位置合せがなさ
れ、これら２ケ所での位置合せによりレテイクル
１とウエハ２の露光領域とのアライメントが達成
される。
イメントマーク３１，３２，３３，３４とウエハ
２上に設けられるフレネルゾーンパターンP1，
P2との位置関係を示すために、レテイクルとウ
エハとの平面図の概略を重複して表わしている。
レテイクル１の周辺部にはその中心点３０即ち投
影対物レンズの光軸位置に関して互いに直交する
位置に２対の直線状アライメントマーク３１，３
２及び３３，３４が設けられており、これらに対
応してウエハ２上に同じく中心点３０に関して互
いに直交する位置で２つのフレネルゾーンパター
ンP1，P2が設けられている。レテイクル１上の
２対のアライメントマークは中心点３０を通る同
一直線上に位置しなければどこでも良いが、互い
に直交する位置に設けることがアライメント誤差
を最も小さくでき望ましい。第４図に示したごと
く、露光光λ1に対してレテイクル１とウエハ２と
が共役であるため、ウエハへの最初の露光の際に
２つのフレネルゾーンパターンP1，P2がウエハ
２上に図示なき最初の露光用レテイクルに形成さ
れたフレネルゾーンパターンの投影により形成さ
れる。そしてその後の露光ごとに波長λ2の照明光
により各フレネルゾーンパターンP1，P2のフオ
ーカス像とレテイクル上のアライメントマーク３
１〜３４とにより、アライメントが繰り返され
る。すなわち、第６図に示すごとく撮像装置２８
による観察視野においてレテイクル上に形成され
た１対の直線状アライメントマーク３１，３２の
像３１′，３２′との中央にフレネルゾーンパター
ンP1によるフオーカス像Ｆの像F′が位置すれば、
第５図中横方向の位置合せがなされる。同様にレ
テイクル上のアライメントマーク３３と３４との
中央にフレネルゾーンパターンP2によるフオー
カス像が位置すれば縦方向での位置合せがなさ
れ、これら２ケ所での位置合せによりレテイクル
１とウエハ２の露光領域とのアライメントが達成
される。
上記実施例ではウエハ上に設けるフレネルゾー
ンパターンＰを第２図に示したごとく同心円形状
としたが、これに限らず、第７図の平面図に示す
ごとく、直線状のフレネルゾーンパターンP′とす
ることも可能である。この場合のフオーカス像は
１本の直線状になり、レテイクル上の１対の直線
状アライメントマークで挾み込むことによつて同
様に正確なアライメントを行なうことができる。
ンパターンＰを第２図に示したごとく同心円形状
としたが、これに限らず、第７図の平面図に示す
ごとく、直線状のフレネルゾーンパターンP′とす
ることも可能である。この場合のフオーカス像は
１本の直線状になり、レテイクル上の１対の直線
状アライメントマークで挾み込むことによつて同
様に正確なアライメントを行なうことができる。
以上のごとき本発明による装置では、レジスト
に感光する波長域外の光によりアライメントが可
能であるため、焼付露光領域とアライメントに用
いる領域とを明確に区別する必要がなく、また各
回の露光時に際してフレネルゾーンパターンを露
光しない限り毎回これによるフオーカス像によつ
てアライメントを行なうことができる。しかも、
投影対物レンズの色収差量だけフレネルゾーンパ
ターンのフオーカス像をウエハから変位させる構
成、実施例では色収差量だけの焦点距離を有する
フレネルゾーンパターンを形成することとしたた
め、フレネルゾーンパターンによるフオーカス像
をウエハのアライメントマークとしてアライメン
トを行なうことができ、あたかも露光波長とアラ
イメント光の波長との両者に対して収差補正され
た投影対物レンズを用いているごとく扱うことが
できる。このため、投影対物レンズを露光光とア
ライメント光との両方に対して色収差補正する必
要がなくなり、レンズ構成を極端に複雑化するこ
となしに露光波長に対して本来的に要求される結
像性能を格段に向上させることが可能となる。し
かも、投影対物レンズの色収差補正のためにレン
ズやプリズムをアライメント光路中に配置する場
合には、それらの支持部材が別途に必要となるの
に対し、本発明の場合には、レテイクルとウエハ
との一方に、アライメント用マークとして所定の
回折格子パターンを設けるだけであつて何ら新し
い部材を設ける必要がなく、簡単な構成で高精度
のアライメントが可能となる。従つて、投影対物
レンズを通してのいわゆるTTLアライメントを
露光波長と同一波長の光線で行なう場合と実質的
に同等の優れた位置合せ精度を得ることができ、
特に縮小投影型の露光装置において効果が著し
い。さらに、アライメント光としてHe−Neレー
ザー等長波長領域の非常に高強度の光源を使用す
ることができるため、SN比の高いアライメント
信号を得ることができ、オートアライメントにも
極めて有効である。
に感光する波長域外の光によりアライメントが可
能であるため、焼付露光領域とアライメントに用
いる領域とを明確に区別する必要がなく、また各
回の露光時に際してフレネルゾーンパターンを露
光しない限り毎回これによるフオーカス像によつ
てアライメントを行なうことができる。しかも、
投影対物レンズの色収差量だけフレネルゾーンパ
ターンのフオーカス像をウエハから変位させる構
成、実施例では色収差量だけの焦点距離を有する
フレネルゾーンパターンを形成することとしたた
め、フレネルゾーンパターンによるフオーカス像
をウエハのアライメントマークとしてアライメン
トを行なうことができ、あたかも露光波長とアラ
イメント光の波長との両者に対して収差補正され
た投影対物レンズを用いているごとく扱うことが
できる。このため、投影対物レンズを露光光とア
ライメント光との両方に対して色収差補正する必
要がなくなり、レンズ構成を極端に複雑化するこ
となしに露光波長に対して本来的に要求される結
像性能を格段に向上させることが可能となる。し
かも、投影対物レンズの色収差補正のためにレン
ズやプリズムをアライメント光路中に配置する場
合には、それらの支持部材が別途に必要となるの
に対し、本発明の場合には、レテイクルとウエハ
との一方に、アライメント用マークとして所定の
回折格子パターンを設けるだけであつて何ら新し
い部材を設ける必要がなく、簡単な構成で高精度
のアライメントが可能となる。従つて、投影対物
レンズを通してのいわゆるTTLアライメントを
露光波長と同一波長の光線で行なう場合と実質的
に同等の優れた位置合せ精度を得ることができ、
特に縮小投影型の露光装置において効果が著し
い。さらに、アライメント光としてHe−Neレー
ザー等長波長領域の非常に高強度の光源を使用す
ることができるため、SN比の高いアライメント
信号を得ることができ、オートアライメントにも
極めて有効である。
第１図は本発明による一実施例のアライメント
光学系の概略光路図、第２図はウエハ上に形成さ
れるフレネルゾーンパターンの一例を示す平面
図、第３図はその断面図、第４図は投影対物レン
ズについての共役関係を示す光路図、第５図はレ
テイクルとウエハとを重複して示した平面図、第
６図はアライメント光学系により観察される像の
例を示す視野図、第７図はフレネルゾーンパター
ンの他の例を示す平面図である。 〔主要部分の符号の説明〕、１……レテイクル、
２……ウエハ、１０……投影対物レンズ、２０…
…光源、２８……撮像装置、Ｐ……フレネルゾー
ンパターン。
光学系の概略光路図、第２図はウエハ上に形成さ
れるフレネルゾーンパターンの一例を示す平面
図、第３図はその断面図、第４図は投影対物レン
ズについての共役関係を示す光路図、第５図はレ
テイクルとウエハとを重複して示した平面図、第
６図はアライメント光学系により観察される像の
例を示す視野図、第７図はフレネルゾーンパター
ンの他の例を示す平面図である。 〔主要部分の符号の説明〕、１……レテイクル、
２……ウエハ、１０……投影対物レンズ、２０…
…光源、２８……撮像装置、Ｐ……フレネルゾー
ンパターン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 投影対物レンズに関して所定の第１波長光に
関して互いに共役に配置されるレテイクルとウエ
ハとを有し、該投影対物レンズにより前記第１波
長光によつて前記レテイクル上のパターンを前記
ウエハ上に投影し、前記第１波長光と異なる第２
波長光によつて前記投影対物レンズを通して該レ
テイクルとウエハとの位置合せを行なう投影型露
光装置において、該レテイクルとウエハとの一方
には所定のアライメントマークを設け、他方には
所定の回折格子パターンを設け、該回折格子パタ
ーンによる前記第２波長光の回折光が集光するフ
オーカス像と該回折格子パターンを有する該他方
のものとの距離が前記投影対物レンズにおける前
記第１波長光に対する前記第２波長光の色収差量
に一致させて構成するとともに、前記回折格子パ
ターンに向けて前記第２波長光を供給する照明光
学系と、前記第２波長光により前記アライメント
マークの像と前記回折格子パターンによるフオー
カス像との位置関係を検出する検出手段とを設け
たことを特徴とする投影型露光装置。 ２ 前記レテイクルが前記アライメントマークを
有し、前記ウエハが前記回折格子パターンを有
し、該回折格子パターンによる前記第２波長光の
回折光が集光するフオーカス像と該ウエハとの距
離が前記投影対物レンズにおける前記第１波長光
に対する前記第２波長光の該ウエハ側での縦の色
収差量に一致するよう形成するとともに、前記照
明光学系は前記投影対物レンズを通して前記第２
波長光を前記ウエハ上の回折格子パターンに向け
て供給することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の投影型露光装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56214795A JPS58112330A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 投影型露光装置 |
| US06/451,394 US4498762A (en) | 1981-12-25 | 1982-12-20 | Projection type exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56214795A JPS58112330A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 投影型露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58112330A JPS58112330A (ja) | 1983-07-04 |
| JPH0245324B2 true JPH0245324B2 (ja) | 1990-10-09 |
Family
ID=16661648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56214795A Granted JPS58112330A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 投影型露光装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4498762A (ja) |
| JP (1) | JPS58112330A (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5979527A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-08 | Hitachi Ltd | パタ−ン検出装置 |
| JPS6098623A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-01 | Hitachi Ltd | 投影式露光方法及びその装置 |
| DE3402177A1 (de) * | 1984-01-23 | 1985-07-25 | Werner Dr. Vaduz Tabarelli | Einrichtung zum kopieren einer maske auf ein halbleitersubstrat |
| JPS6175522A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-17 | Hitachi Ltd | 縮小投影式アライメント装置 |
| US4702994A (en) * | 1984-10-01 | 1987-10-27 | W. R. Grace & Co. | Projection imaged relief printing plates |
| JPS61236116A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-21 | Hitachi Ltd | 縮小投影式アライメント方法 |
| US4795244A (en) * | 1985-09-20 | 1989-01-03 | Nikon Corporation | Projection type exposure apparatus |
| JPH0642448B2 (ja) * | 1987-09-30 | 1994-06-01 | 株式会社東芝 | 位置合わせ方法 |
| US5319444A (en) * | 1988-02-16 | 1994-06-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Position detecting method and apparatus |
| JPS6432625A (en) * | 1988-05-06 | 1989-02-02 | Hitachi Ltd | Exposure method for semiconductor |
| US5734478A (en) * | 1988-10-12 | 1998-03-31 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus |
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| JPS56157033A (en) * | 1980-04-11 | 1981-12-04 | Western Electric Co | Method and device for positioning mask and wafer |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56130707A (en) * | 1980-03-18 | 1981-10-13 | Canon Inc | Photo-printing device |
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1981
- 1981-12-25 JP JP56214795A patent/JPS58112330A/ja active Granted
-
1982
- 1982-12-20 US US06/451,394 patent/US4498762A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4498762A (en) | 1985-02-12 |
| JPS58112330A (ja) | 1983-07-04 |
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