JPH0243796A - パターン形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はパターン形成方法に関し、特に回線配線板表面
の配線パターンの短絡、開放を検査する際に用いられる
変換基板のパターン形成に用いられる方法に係わる。

［従来の技術と課題］ 従来、彼検査基板表面に形成された複数の配線パターン
の任意の２点間の短絡、開放を検査するため、被検査基
板のターミナル位置に合せて検査用接点を格子状に配列
していた。しかし、全ての被検査基板が一定の企画に統
一されているわけではなく、個々の被検査基板により多
種多様のターミナル間隔を有していた。従って、被検査
基板ごとに検査用接点を用意しなければならかった。こ
こで、検査用接点としては通常プローブが用いられてい
るが、その数は数万本にも及ぶことがある。

そのため、個々の被検査基板ごとに検査用接点を用意し
、配列を行うことは極めて繁雑である。

そこで、第２図及び第３図に示すような検査装置が提案
されている（特開昭６２−２９５９８０）。

図中の１は、被検査基板である。この被検査基板１の表
面には、配線、ランドなどの配線パターン２が形成され
ている。前記被検査基板１の上方には、垂直異方導電性
を有する感圧導電性ゴム３、変換基板４、感圧導電性ゴ
ム５、検査治具６が順次重ねられている。ここで、前記
感圧導電性ゴム３．５は垂直方向に導電性を有する物質
である。

前記変換基板４の材質としては、例えばフェノール、ガ
ラスエポキシ、ポリイミドなどが用いられている。前記
変換基板４の上面には第３図に示す如く第１の接点７が
格子状に形成され、かつ同基板４の下面には第２の接点
８が形成され、これらの両接点７．８は変換基板４を上
下げ方向に貫通する穴内に設けられた導電部材により電
気的に接続されている。前記検査治具６の下面側には中
継用端子９が格子状に配置され、これら中継用端子９は
接続線１０を介してＣＰＵを有した検査回路（図示せず
）に接続されている。ここで、この検査回路は、信号線
ＩＯを介して前記被検査基板１の所定の配線パターン２
に信号を与え、またその配線パターン２からの信号を受
取り、被検査基板１の良否を判断する。

ところで、こうした検査装置においては、変換基板４は
被検査基板１表面の配線パターン２の接点と検査治具６
の下面の中継用端子９を電気的に接続するために用いら
れるが、変換基板４の下面側の接点８は披検査基板表面
の配線パターン２の接点を基準にして形成している。し
かし、被検査基板１表面の配線パターン２の接点は無数
にあるため、変換基板４の下面側の接点８を配線パター
ン２の接点に合せるのが困難である。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、被検査基板
の配線パターンを形成する際に用いたマスクを反転して
用いるか、あるいは被検査基板物のマスクを作製するた
めの図形データを用いて前記変換基板の被検査基板側の
第２の接点を形成することにより、前記接点の形成が容
易なパターン形成方法を提供することを目的とする。

Ｃ課題を解決するための手段］ 本発明は、中継用端子を格子状に形成した検査治具及び
この検査治具と対向する面に配線パターンを有した彼検
査基板間に配置され、前記検査治具側の面に前記中継用
端子と電気的に接続する第１の接点を有しかつ被検査基
板側の面に該被検査基板の配線パターンと電気的に接続
する第２の接点を有する変換基板をパターン形成する方
法において、前記被検査基板の配線パターンを形成する
際に用いたマスクを反転して用いるか、あるいは被検査
基板物のマスクを作製するための図形ブタを用いて前記
変換基板の第２の接点を形成することを要旨とする。

［作用］ 本発明によれば、被検査基板の配線パターンを形成する
際に用いたマスクを反転して用いるか、あるいは被検査
基板物のマスクを作製するための図形データを用いて前
記変換基板の被検査基板側の第２の接点を形成すること
により、前記接点の形成が容易で、かつ被検査基板の良
否の検査を確実にできる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。

まず、本発明に係る検査装置について説明するつ図中の
１１は、被検査基板である。この被検査基板１１の表面
には、配線、ランドなどの配線パターン１２が形成され
ている。前記被検査基板１１の上方には、垂直異方導電
性を有する感圧導電性ゴム１３、変換基板１４、感圧導
電性ゴム１５、検査治具１６が順次重ねられている。こ
こで、前記感圧導電性ゴム１３、１５は垂直方向に導電
性を有する物質である。

前記変換基板１４の材質としては、例えばフェノール、
ガラスエポキシ、ポリイミドなどが用いられている。前
記変換基板１４の上面には第１の接点Ｉ７が格子状に形
成され、かつ同基板１４の下面には第２の接点１８が形
成され、これらの両接点１７．１８は変換基板１４を上
下げ方向に貫通する穴内に設けられた導電部材１９によ
り電気的に接続されている。

ここで、基板１４下面の第２の接点Ｉ８は、被検査基板
１１の表面の配線パターン１２と対称的に形成されてい
る。前記検査治具１６の下面側には中継用端子２０が格
子状に配置され、これら中継用端子１９は接続線２１を
介してＣＰＵを有した検査回路（図示せず）に接続され
ている。ここで、この検査回路は、信号線２１を介して
前記被検査基板Ｉｆの所定の配線パターン１２に信号を
与え、またその配線パターン１２からの信号を受取り、
被検査基板１１の良否を判断する。

即ち、本実施例では、前記変換基板１４の第１゜第２の
接点１７．１８を形成するに際し、まず前記変換基板１
４の基材（図示せず）に貫通穴の形成、メツキ処理を行
った後、所定のマスクを用いて前記基材の表面に露光、
現像等を行なって第１の接点１７を形成した。次に、前
記変換基板１４の基材の裏面側に、例えば前記被検査基
板１１表面の配線パターン１２の形成に使用したマスク
を反転して用いて露光、現像を行ない、更にエツチング
などの一連の処理を施し、被検査基板１１の表面の配線
パターン１２と対称的でしかも導電部材１９を介して第
１の接点１７と接続する第２の接点１８を形成し、所定
の変換基板１４を得た。

このように、上記実施例では、前記変換基板１４の裏面
の第２の接点１８を形成するに際し、前記被検査基板１
１表面の配線パターン１２の形成に使用したマスクを反
転して用いて露光、現像を行なうため、変換基板１４の
裏面に前記配線パターン１２と対称的な第２の接点１８
を形成できる。従って、第２の接点１８を第１の接点１
７と接続するように容易にかつ正確に形成でき、もって
被検査基板１１の検査に際し検査治具１６の中継用端子
２０を変換基板１４の第１の接点１７．導電部材１９及
び第２の接点１８を介して確実に被検査基板１１表面の
配線パターン１２と電気的に接続することが可能となる
。

なお、上記実施例では、変換基板の第２の接点を形成す
る際に被検査基板の配線パターンを作製する際に用いた
マスクを反転して用いた場合について述べたが、これに
限定されない。例えば、被検査基板のマスクを作製する
ための図形データを用いて前記変換基板の第２の接点を
形成してもよい。

［発明の効果］ 以上詳述した如く本発明によれば、被検査基板の配線パ
ターンを形成する際に用いたマスクを反転して用いるか
、あるいは彼検査基板物のマスクを作製するための図形
データを用いて前記変換基板の彼検査基板側の第２の接
点を形成することにより、前記接点の形成が容易で、か
つ被検査基板の良否の検査が確実になし得るパターン形
成方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る検査装置の説明図、第２図は従来
の検査装置の説明図、第３図は同検査装置の検査治具の
説明図である。 １１・・・被検査基板、１２・・・配線パターン、１３
゜１５・・・感圧導電性ゴム、１４・・変換基板、１Ｂ
・・・検査治具、１７．１８・・・接点、１９・・・導
電部材、２０・・・中継用端子、２１・・・信号線。 第１図 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 中継用端子を格子状に形成した検査治具及びこの検査治
   具と対向する面に配線パターンを有した被検査基板間に
   配置され、前記検査治具側の面に前記中継用端子と電気
   的に接続する第１の接点を有しかつ被検査基板側の面に
   該被検査基板の配線パターンと電気的に接続する第２の
   接点を有する変換基板をパターン形成する方法において
   、前記被検査基板の配線パターンを形成する際に用いた
   マスクを反転して用いるか、あるいは被検査基板物のマ
   スクを作製するための図形データを用いて前記変換基板
   の第２の接点を形成することを特徴とするパターン形成
   方法。