JPH0241682A - 超音波モータの駆動回路 - Google Patents

超音波モータの駆動回路

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JPH0241682A
JPH0241682A JP63191545A JP19154588A JPH0241682A JP H0241682 A JPH0241682 A JP H0241682A JP 63191545 A JP63191545 A JP 63191545A JP 19154588 A JP19154588 A JP 19154588A JP H0241682 A JPH0241682 A JP H0241682A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、超音波モータの駆動回路に関する。
〔発明の概要〕
この発明は、圧電素子によりステータを撓み振動させ、
この撓み振動から生ずる進行波によりロータを回転駆動
させる超音波モータの駆動回路に於いて、圧電素子を介
して流れる電流を検出すると共に、通電時間を、(tn
/l o) −(N/Nx)で定まるデユーティ比によ
って制御することにより、超音波モータを常に最大の効
率で駆動できるようにしたものである。
〔従来の技術〕
超音波モータも含め、一般にモータの効率は、第11図
に示すように或る限られた回転数と負荷トルクの時に最
大となり、それ以外の範囲では、低下傾向を値を示すの
が普通である。
〔発明が解決しようとする課題〕
モータの動作点は、通常、最大効率ηMAXでない場合
が多く、例えばVTRのリールモータなどは、極端に遅
い回転か或いは速い回転であり、いずれにしても効率の
低い範囲で使われている。超音波モータも例外ではなく
、同様に効率の低い範囲で使用されることが多い。そこ
で、かねてから使用条件の如何にかかわらず高い効率で
超音波モータを使用したいという要望があり、この点の
改善が望まれていた。
従ってこの発明の目的は、超音波モータを常に最大効率
で駆動し得る超音波モータの駆動回路を提供することに
ある。
〔課題を解決するだめの手段〕
この発明では、圧電素子によりステータを撓み振動させ
、この撓み振動から生ずる進行波によりロータを回転駆
動させる超音波モータの駆動回路に於いて、圧電素子を
介して流れる電流を検出する手段と、通電時間を(t 
n/l o) −(N/Nx)で定まるデユーティ比に
よって制?fflする手段と、を備えた構成としている
〔作用〕
超音波モータの実際の駆動電圧VDを検出して駆動電流
10を求め、これに基づいて負荷トルクTXを求める。
そして或る負荷トルクTXに於いて効率が最大となる駆
動電圧(以下、最大効率駆動電圧VXと称する)を求め
、この最大効率駆動電圧VXで超音波モータを駆動する
この最大効率駆動電圧VXに於ける回転数をNxとする
と、負荷トルクTXが変化しない限りでは、超音波モー
タの特性から、 駆動電圧VD≦最大効率駆動電圧VX の関係があるので、 設定回転数N≦回転数Nx となる。
そこで通電時間のデユーティ比(tn/to)を(N/
Nx)によって定め、設定回転数N=Nx・ (tn/
to)の条件の下で超音波モータを間欠駆動させる。即
ち、駆動電圧の変化によって生ずる回転数の変動をデユ
ーティ比の変化により解消するものである。
超音波モータは、通電時間中のみ回転数Nxで回転し、
休止時間中は停止するものの、上述の条件、即ち設定回
転数N=Nx −(t n/l o)に従って駆動され
るため、見掛は上は、設定回転数Nが得られる。
外部に対する仕事は、(N/Nx)に減少するが、超音
波モータは間欠駆動であるため、電流は駆動時間中しか
流れず、電流値も(N/Nx)に減少するので、効率は
相対的に変化しない。
上述したように、回転数Nxは、最大効率駆動電圧V×
の下での回転数であるため、上述の条件の下で駆動され
る限りでは超音波モータ全体としての効率は最大となる
〔実施例〕
以下、この発明の実施例について図面を参照して説明す
る。この実施例は、第1図乃至第10図に示すように2
枚の圧電素子を用いた超音波モータに対し、この発明を
適用したものである。尚、この説明は以下の順序でなさ
れる。
(A)超音波モータの構成について (B)超音波モータの駆動回路の構成及び動作について (C)超音波モータの駆動について (A)超音波モータの構成について 第8図及び第9図には超音波モータの全体的な構成が示
され、第10図には圧電体の構成が示されている。
第8図の構成に於いて、超音波モータ1は、ステータ2
と、圧電体3,4と、ロークロと、軸7とから主に構成
される。
ステータ2は、密着せしめられている圧電体34の夫々
に位相の異なる交流電圧が印加されることにより、撓み
振動を生じ、進行波を発生するものである。このステー
タ2の表面2A側には、多数の突起8が環状に形成され
、ステータ2の略々中央部には、軸7挿通用の円孔9が
形成され、そしてステータ2の裏面2B側には、前述の
圧電体3.4が取付けられている。上述の突起8は、ロ
ータ6の外周部10に当接してロータ6を回転させるも
のであり、突起8は一定の間隔を置いて設けられている
圧電体3,4は、位相の異なった2つの交流電圧が印加
されることでステータ2に進行波を発生させるものであ
る。第10図に示されるように、圧電体3.4は、夫々
円板形状の圧電素子11゜12によって形成され、圧電
体3.4の中心部には受座金28挿通用の円孔14が形
成されている。
そして、この圧電体3の裏面11B側には全面にわたり
図示せぬアース用電極が形成されており、圧電体3,4
は、第10図に示す順序で重ね合わされている。
圧電体3は、圧電素子(例えば圧電セラミックス)11
の表面11Aに、第10図Aに示されるように、例えば
45゛毎の領域に分割された8個の電極I6が設けられ
ることで構成される。この電極16は導電性の良い金属
材料を用いて、表面11Aに印刷、蒸着或いはメツキな
どの適宜の方法により形成されている。そして圧電体3
は、相隣合う電極16に対応する領域毎に、前述の裏面
11Bに設けられているアース用全面電極〔図示せず〕
に対して板厚方向に極性が交互に異なるようにして分極
が行われる。この結果交互にプラス極性或いはマイナス
極性とされている領域17からなる8極、4組の強制励
振振動子が構成される。
電極16は、分極後、−括して電圧を印加できるように
ステータ2の裏面2B(金属面)に接着され、ステータ
2の裏面2Bが印加電極となる。
圧電体4は、圧電体3と略々同様の構造であり、交互に
プラス極性或いはマイナス極性とされる領域5からなる
8極、4組の強制励振振動子が構成される。
圧電体4を成す圧電素子12の表面12Aには、第10
図Bに示されるように、例えば45°毎の領域に分割さ
れた8個の電極18が設けられている。第10図Cは、
圧電素子12の裏面12B側からみた圧電体4の斜視図
である。裏面12B側には、全面銀電極23が設けられ
ている。全面銀電極23は、圧電体4に電圧を供給する
ためのもので、銀フィラーを含有する導電性接着剤の塗
布・焼付けにより形成されている。この全面銀電極23
には、リード線21が上述の導電性接着剤により固着さ
れている。尚、22は全面銀電極23とリード線21の
接続部分を示す。
また、圧電体4の外周部に形成されている切欠19は、
圧電素子11の裏面11B側の図示せぬアース用電極と
リード線〔図示せず〕との接続部分の確保を容易にする
だめのものである。
この圧電体3,4の重合わせは、以下のようにして行わ
れる。
圧電体3.4の最小振幅点は、相隣合う電極16.18
の境界位置イ」近であり、最大振幅点は各電極16.1
8の中央近傍位置である。従って、圧電体3.4の配置
は、第10図に示されるように圧電体3の電極16の中
央近傍(最大振幅点)に、圧電体4の電極18の境界(
最小振幅点)が対応するように重ね合わされている。
ロータ6は、ステータ2に進行波が発生すると、ステー
タ2との間に生ずる摩擦力によって回転し、駆動力を発
生ずるものである。このロータ6の内周側は凹部24と
され、鍔状の外周部10に対し若干低い状態の段差が設
けられている。ロークロの中心部には、軸7嵌挿用の円
孔25が形成され、ロータ6の外周部10の裏面10B
には、ステータ2の突起8が当接するため、摩擦力発生
用のライナーが設けられている。
軸7は、ロータ6の円孔25に嵌挿されることにより、
ロークロの回転を伝達するもので、ヘアリング26によ
って回転自在に軸支されている。
図中、27は、超音波モータ7を支持すると共に、他の
部材(図示せず)に固定される基板を示す。また、29
は皿ハネ、30はハネ押え、31はクリップを夫々示す
超音波モータの組付けは以下のようにして行われる。
基板27の円孔32には、受座金28の下部33が嵌合
され、そして受座金28の内部には、第9図に示すよう
にベアリング26が嵌合され、夫々固定される。このヘ
アリング26は、軸7を回転自在に軸支している。この
状態では、第9図に示されているように、受座金28が
基板27に、ヘアリング26が受座金28内に、そして
軸7がヘアリング26に夫々取付けられている。
上述の軸7に対し、圧電体3.4の取付けられているス
テータ2の円孔9が挿通せしめられ、ステータ2が取付
けられる。ステータ2の裏面2Bの円孔9近傍は、第9
図に示されるように受座金28の上端面34及び、ヘア
リング26に当接し、これによりステータ2は受座金2
8及びベアリング26に固定される。
次いで、軸7は、ロータ6の円孔25に対し、摺動可能
な状態で挿入され、ロータ6の外周部10の裏面10B
がステータ2の突起8に接触する状態で位置決めされる
。上述のロータ6と軸7は、回転に対しては一緒に回る
が、軸7の長手方向にはスライドするもので、その際バ
ネ29による定圧予圧が加わることになる。更にロータ
6の凹部24に皿ハネ29が載置される。また軸7に対
しハネ押え30の円孔35が挿通せしめられ、皿ハネ2
9を上方から押圧する状態とし、次いで軸7先端の係合
部36にクリップ31を係合させハネ押え30を固定す
る。
この結果、皿バネ290弾性によって、ロータ6の外周
部10の裏面10Bが、ステータ2の突起8の端面37
に当接された状態で、超音波モータ1が構成される。
(B)超音波モータの駆動回路の構成及び動作について 第1図は超音波モータの駆動回路の一実施例である。
第1図に示す構成に於いて、発振回路45で形成され、
駆動周波数foとされる出力信号がゲート回路46Aに
供給される。
ゲート回路46Aでは、PWM回路47から供給される
パルス信号がハイレベル時のみ、ゲートがオンする。こ
のゲートがオンしている間、第3図に示されるような出
力信号がアンプ48を介してトランジスタ49のベース
に供給される。この出力信号に基づいてトランジスタ4
9から出力されるエミッタ電流IEIは、圧電体3、抵
抗50を経てアースに至る。また上述の発振回路45か
らの出力信号は、移相回路51にも供給される。
移相回路51では、発振回路45からの出力信号がπ/
2移和される。この出力信号は、ゲート回路46Bに供
給される。
ゲート回路46Bでは、PWM回路47から供給される
パルス信号がハイレベル時のみ、ゲートがオンする。こ
のゲートがオンしている間、第3図に示されるような出
力信号がアンプ52を介してトランジスタ53のベース
に供給される。また、この出力信号に基づいてトランジ
スタ53から出力されるエミッタ電流IB2は、圧電体
4、抵抗50を経てアースに至る。
トランジスタ49.53は、そのコレクタが端子54.
55に夫々接続され、エミッタが圧電体3.4に夫々接
続されている。端子54.55には夫々電源電圧十VC
Cが供給され、圧電体3,4は夫々抵抗50を介してア
ースされている。
上述の圧電体3と抵抗50間の点りに生ずる駆動電圧V
Dは、デユーティ設定回路56にフィードバックされる
デユーティ設定回路56には2つの対応関係が設定され
ている。その一つは、図示せぬものの超音波モータ1の
駆動時、負荷トルクT OPTと、駆動電流10の対応
関係(対応関係A)である。他の一つは、第5図で示さ
れるように、超音波モータ1の駆動時、負荷トルクT 
OPTと、各負荷トルクTXに於いて効率ηが最大とな
る駆動電圧、即ち最大効率駆動電圧V OPTの対応関
係(対応関係B)である。このデユーティ設定回路56
に於ける各対応関係は、専用の回路を組んでも良く、或
いはマイクロコンピュータを用いソフトウェアで設定す
るようにしてもよい。また、デユーティ設定回路56に
は端子57から設定回転数NがFCにより供給される。
デユーティ設定回路56では、検出された駆動電圧VD
から駆動電流IOの値を求める。そして、この駆動電流
IDの値と、上述の対応関係Aに基づいて負荷トルクT
Xが求められ、更にこの負荷トルクTX及び上述の対応
関係Bに基づいて第5図に示すように最大効率駆動電圧
VXが求められる。デユーティ設定回路56では、図示
せぬ電圧制御回路に制御信号を供給することにより、端
子54.55に印加される電源電圧を最大効率駆動電圧
VXとし、超音波モータ1を最大効率駆動電圧Vχで駆
動する。尚、超音波モータ1の特性より最大効率駆動電
圧VX(負荷トルクTX)に於ける超音波モータIの回
転数をNxとする。
デユーティ設定回路56では、超音波モータの特性によ
り、通常当初の駆動電圧VDより最大効率駆動電圧VX
が大きくなるか或いは等しくなることから、設定回転数
Nよりも回転数Nxが大となることもある。そこで回転
数Nχと、デユーティ比(tn/to)との積が設定回
転数Nに等しくなるように、即ちN=Nx ・ (t 
n/l o)の条件が満たされるように、デユーティ比
(tn/to)が新たに設定され、対応するレベルの制
御信号がPWM回路47に供給される。
PWM回路47では、上述の制御信号に従って、デユー
ティ比(tn/to)に基づ(パルス信号を形成し、そ
のパルス信号がゲート回路46(46A、46B)に夫
々供給される。
この結果、第3図のようなデユーティ比(tn/lO)
の出力信号がトランジスタ49.53のベースに夫々供
給され、この出力信号に基づいて超音波モータ1は、回
転数Nxで通電時間tn中のみ駆動される。
上述の回転数Nxは、最大効率駆動電圧VXO下での回
転数であるため、超音波モータ1は、常に最大効率ηm
axで駆動されることになる。
(C)超音波モータの駆動について 超音波モータ1は、普通、駆動周波数foで電圧駆動さ
れる。回転数は、第2図で示されるように、駆動電圧V
D(周波数fは、共振周波数foで一定)、或いは周波
数f(電圧一定)を変化させることにより得られる。従
って、超音波モータ1の特性は、一般のモータと全く同
様である。
−船釣に、超音波モータ1の特性は、第4図のように示
される。
今、超音波モータ1の回転数をN(rpm)、その時の
負荷l・ルクをTとし、超音波モータ1を連続運転した
とすると、駆動電圧ば■0、効率はη1−となる。この
ような場合には、超音波モータ1は、上述の効率η1の
ようなかなり低い効率で使用されることになる。
ところで、超音波モータ1の利点は、間欠駆動の可能な
ことと、超低速で安定したトルクが得られることである
そこでデユーティ設定回路56に於いて、2つ通電時間
のデユーティ比(tn/to)を(N/Nx)に等しく
定めると共に、N=Nx・ (tn/ t o )の条
件を維持するように超音波モータ1を間欠駆動させるこ
とにより、最大効率で、見掛は上、設定回転数Nで連続
回転しているようにでき、しかもトルクは連続回転させ
た場合と同じにすることができる。
デユーティ設定回路56には、前述したように2つの対
応関係が設定されており、一方デューテイ設定回路56
に於いて、検出された駆動電圧VDから駆動電流IDの
値が求められる。そしてデユーティ設定回路56に於い
て、駆動電流IDの値と前述の対応関係Aに基づいて負
荷トルクTXが求められ、そして更に、負荷トルクTX
と対応関係Bに基づいて最大効率駆動電圧VXが求めら
れる。
またデユーティ設定回路56では、最大効率駆動電圧V
Xの下での回転数Nxと、デユーティ比(tn/to)
との積が設定回転数Nに等しくなるように、即ちN=N
x −(t n/l o)の条件が満たされるように、
デユーティ比(t n / tO)が新たに設定され、
これに基づいて、通電時間tnが規定され、超音波モー
タ1が最大効率駆動電圧VXにより駆動される。このた
め、超音波モータ1は、間欠駆動しているものの、見掛
は上の回転数は、設定回転数Nとなる。
ところで、外部に対する仕事は、(N/Nx)に減少す
るが、超音波モータ1は、間欠駆動しているため、電流
は駆動時間中しか流れず、また電流値も(N/Nx)に
減少するため、全体としての効率は相対的に変化しない
。上述の回転数Nxは、最大効率駆動電圧VXの下での
回転数であるため、超音波モータ1は、常に最大効率η
MAXで駆動されることになる。
効率−トルクの関係が第6図に示すような場合には、駆
動電圧VDが上昇すれば効率も向上するため、vCCが
常に最大効率駆動電圧となる。
しかし、第7図に示すような場合には、駆動電圧VDは
、負荷トルクに応じて変化するため、駆動電圧VDを上
げても効率の向上にはならない。
このような場合には、トルクの変動に応じて最大効率駆
動電圧VXと、デユーティ比をダイナミックに変化させ
ることが必要であるが、この実施例によれば最大効率駆
動電圧VXとデユーティ比を適切に制御できるので、第
6図、第7図いずれの場合にあっても超音波モータ1を
常に最大効率で駆動でき、また省電力化できる。そして
超音波モータ1の発熱を最小限に抑えられる。
尚、この実施例では、駆動周波数foを一定とし最大効
率駆動電圧vxを変化させる例について説明しているが
、これに限定されるものではなく、たとえば最大効率駆
動電圧VXを一定とし駆動周波数foを変化させるよう
にしても良い。
〔発明の効果〕
この発明に係る超音波モータの駆動回路では、圧電素子
を介して流れる電流を検出すると共に、通電時間を(t
n/1o)−(N/Nx)で定まるデユーティ比によっ
て制御しているので、超音波モータを常に最大効率で駆
動できるという効果がある。また超音波モータは、電流
が駆動時間中しか流れず、また電流値も(N/Nx)に
減少するため、省電力化できるという効果がある。更に
上述の効果により、超音波モータの発熱を最小限に抑え
ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の第1実施例を示すブロック図、第2
図は超音波モータの特性図、第3図は通電時間と休止時
間の状態を示す路線図、第4図は超音波モータの特性図
、第5図は負荷トルクと最大効率駆動電圧の関係を示す
特性図、第6図及び第7図は効率とトルクの関係を示す
特性図、第8図は超音波モータを示す分解斜視図、第9
図は超音波モータの概略断面図、第10図は夫々圧電体
の構成を説明する斜視図、第11図は一般的なモータの
特性図である。 図面に於ける主要な符号の説明 1:超音波モータ、  2:ステータ、3.4:圧電体
、 6:ロータ、 11.12:圧電素子、 50:抵抗、56:デユーテ
ィ設定回路、  IO:駆動電流。 代理人   弁理士 杉 浦 正 知 2 ] 区 萌岬1く右ミ七ト ≦;巾oL!:l O ポロ 中 製機

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  圧電素子によりステータを撓み振動させ、この撓み振
    動から生ずる進行波によりロータを回転駆動させる超音
    波モータの駆動回路に於いて、上記圧電素子を介して流
    れる電流を検出する手段と、 通電時間を、(tn/to)=(N/Nx)で定まるデ
    ューテイ比によって制御する手段と、を備えたことを特
    徴とする超音波モータの駆動回路。 (但し、tn:通電時間、to:通電時間と休止時間の
    合計時間、N:設定回転数、Nx:或る負荷トルクに於
    いて効率が最大となる駆動電圧の下での回転数。)
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010263788A (ja) * 2010-08-25 2010-11-18 Konica Minolta Holdings Inc 駆動装置
CN108225389A (zh) * 2017-12-22 2018-06-29 联创汽车电子有限公司 超声波传感器驱动装置及其驱动方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60170474A (ja) * 1984-02-10 1985-09-03 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS637174A (ja) * 1986-06-27 1988-01-13 Hitachi Ltd 圧電モ−タの速度制御装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60170474A (ja) * 1984-02-10 1985-09-03 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS637174A (ja) * 1986-06-27 1988-01-13 Hitachi Ltd 圧電モ−タの速度制御装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010263788A (ja) * 2010-08-25 2010-11-18 Konica Minolta Holdings Inc 駆動装置
CN108225389A (zh) * 2017-12-22 2018-06-29 联创汽车电子有限公司 超声波传感器驱动装置及其驱动方法
CN108225389B (zh) * 2017-12-22 2020-10-23 联创汽车电子有限公司 超声波传感器驱动装置及其驱动方法

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