JPH0240535A - 部分測定型微粒子カウンター - Google Patents
部分測定型微粒子カウンターInfo
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- JPH0240535A JPH0240535A JP63191282A JP19128288A JPH0240535A JP H0240535 A JPH0240535 A JP H0240535A JP 63191282 A JP63191282 A JP 63191282A JP 19128288 A JP19128288 A JP 19128288A JP H0240535 A JPH0240535 A JP H0240535A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
-
- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば半導体製造におけるウェハー洗浄工程
等において用いられる超純水とか、クリーンルームにお
ける清浄空気といった流体の管理などを行うために、そ
の流体中に含まれる微粒子（有機物、 ３１１．埃、バ
クテリア等）の濃度（量）や粒径分布を測定可能に構成
された流体中機粒子カウンターのうち、特□に二所定の
流速で流動させた測定対象流体における涛速分布が可及
的に均一となる中心部分にに対してその測定対象流体の
流動方向゛に直交する方向における側方からレーザービ
ームを照射するための照射光学系と、前記測定対象流体
中に含まれ為微□粒子による前記レーザービームの散乱
光を検出するための検出光学系とを備えている部分測定
型微粒子カウンターに関する。
等において用いられる超純水とか、クリーンルームにお
ける清浄空気といった流体の管理などを行うために、そ
の流体中に含まれる微粒子（有機物、 ３１１．埃、バ
クテリア等）の濃度（量）や粒径分布を測定可能に構成
された流体中機粒子カウンターのうち、特□に二所定の
流速で流動させた測定対象流体における涛速分布が可及
的に均一となる中心部分にに対してその測定対象流体の
流動方向゛に直交する方向における側方からレーザービ
ームを照射するための照射光学系と、前記測定対象流体
中に含まれ為微□粒子による前記レーザービームの散乱
光を検出するための検出光学系とを備えている部分測定
型微粒子カウンターに関する。
従来のこの種の部分側★型微粒子カウンターは、−例を
示すと、第４図ｅ＋の要部を概略的に示しているように
、ノズル１を用いて所定の流速でフローセル（図では省
略している）内に測定対象流体Ｓを流動させ、その流動
測定対象流体Ｓにおける流速分布が可及的に均一となる
中心部分に対してその測定対象流体Ｓの流動方向２ （
以下、第１方向という）に直交する方向ｙ（以下、第２
方向という）における側方からレーザービームＬを照射
するための照射光学系ａが設けられる一方、前記測定対
象流体Ｓ中に含まれる微粒子による前記レーザービーム
Ｌの散乱光Ｌ°を、前記第１方向２における側方から検
出するための検出光学系すが設けられており、前記測定
対象流体Ｓ中に含まれる微粒子の濃度や粒径分布を測定
するように構成されている。
示すと、第４図ｅ＋の要部を概略的に示しているように
、ノズル１を用いて所定の流速でフローセル（図では省
略している）内に測定対象流体Ｓを流動させ、その流動
測定対象流体Ｓにおける流速分布が可及的に均一となる
中心部分に対してその測定対象流体Ｓの流動方向２ （
以下、第１方向という）に直交する方向ｙ（以下、第２
方向という）における側方からレーザービームＬを照射
するための照射光学系ａが設けられる一方、前記測定対
象流体Ｓ中に含まれる微粒子による前記レーザービーム
Ｌの散乱光Ｌ°を、前記第１方向２における側方から検
出するための検出光学系すが設けられており、前記測定
対象流体Ｓ中に含まれる微粒子の濃度や粒径分布を測定
するように構成されている。
そして、前記照射光学系ａには、前記レーザービームＬ
を偏平な（前記第１方向２において短く、かつ、前記第
１方向２と第２図方向ｙとに直交する方向Ｘ−以下、第
３方向という−において長い）ビームにするための例え
ばシリンドリカルレンズ２が設けられ、また、前記検出
光学系すには、受光用レンズ３．３が設けられると共に
、その結像位置（実像を結ぶ位置）に、前記散乱光Ｌ°
の入射を前記第２方向ｙおよび第３方向Ｘにおいて制限
することにより検出領域ｒを画定するためのスリット４
゛を備えたスリット部材５°が設けられている。
を偏平な（前記第１方向２において短く、かつ、前記第
１方向２と第２図方向ｙとに直交する方向Ｘ−以下、第
３方向という−において長い）ビームにするための例え
ばシリンドリカルレンズ２が設けられ、また、前記検出
光学系すには、受光用レンズ３．３が設けられると共に
、その結像位置（実像を結ぶ位置）に、前記散乱光Ｌ°
の入射を前記第２方向ｙおよび第３方向Ｘにおいて制限
することにより検出領域ｒを画定するためのスリット４
゛を備えたスリット部材５°が設けられている。
しかしながら、上記従来構成の部分測定型微粒子カウン
ターにおいては、必要な分解能（特に粒径分解能）を確
保するために、照射レーザービームＬのできるだけ強度
が略均−な部分（第５図に模式的に示すように第３方向
Ｘにおけるガウス分布の中心のピーク付近：ハンチング
部分）のみを用いて測定する必要があることから、検出
光学系すに非常に狭小なスリット４°を備えたスリット
部材５゛を設けることにより、検出領域ｒをレーザービ
ームＬの照射方向（第２方向ｙ）においてのみならずレ
ーザービームＬの径方向（第３方向Ｘ）においても制限
して十分に狭く画定しなければならない（第６図を参照
）と共に、散乱光Ｌ゛を測定対象流体Ｓの流動方向（第
１方向）２における側方から検出しなければならなかっ
たため、次のような欠点、即ち、 （ア）検出領域ｒを、前記第６図に示すようなスリット
部材５゛を用いた入射散乱光Ｌ゛の制限により画定する
という手法を用いていることに起因して、検出光学系す
の収差のために必要な像！の外縁部がスリット４′の全
周辺部においてカットされることになり、それによる分
解能の低下を避けることはできないため、基本的に分解
能に劣っており、従って、検出光学系Ｂを格別の収差補
正手段を設けるなどして極めて収差が小さいものに構成
しなければならず、非常に高価につく、 （イ）しかも、測定対象流体Ｓの屈折率が少しでも変化
すると、スリット部材５”におけるピントがずれて、そ
れによるスリット４′の周辺部における像■の外縁部の
カット現象が更に加わるため、その度にスリット部材５
°を移動させてピント調整をしなければ、より一層分解
能が低下してしまうことになる。従って、測定対象流体
Ｓの屈折率の変化に応じてスリット部材５゛を精密に移
動させ得るような格別のピント微調整手段を設けるなど
の必要があり、検出光学系すの構造の複雑化を招くと共
に一層高価につく、 （つ）また、分解能を確保するためには前記（ア）で説
明したように収差の小さい検出光学系すを構成しなくて
はならないが、その場合、開口を大きくとることが難し
くなり、散乱光Ｌ〕の受光量が少なくならざるを得ず、
そのためにＳ／Ｎ比が悪くなってしまう、 （１）更に、検出光学系すを測定対象流体Ｓの流動方向
（第１方向）２における側方に設ける必要があるため、
前記第４図には示していないが、測定部であるフローセ
ル以降の流路を屈曲させたり、旋回流を用いるなどしな
くてはならず、そのために、全体構造が複雑化および大
型化すると共に、流速制御も困難となり易い、 という種々の問題があった。
ターにおいては、必要な分解能（特に粒径分解能）を確
保するために、照射レーザービームＬのできるだけ強度
が略均−な部分（第５図に模式的に示すように第３方向
Ｘにおけるガウス分布の中心のピーク付近：ハンチング
部分）のみを用いて測定する必要があることから、検出
光学系すに非常に狭小なスリット４°を備えたスリット
部材５゛を設けることにより、検出領域ｒをレーザービ
ームＬの照射方向（第２方向ｙ）においてのみならずレ
ーザービームＬの径方向（第３方向Ｘ）においても制限
して十分に狭く画定しなければならない（第６図を参照
）と共に、散乱光Ｌ゛を測定対象流体Ｓの流動方向（第
１方向）２における側方から検出しなければならなかっ
たため、次のような欠点、即ち、 （ア）検出領域ｒを、前記第６図に示すようなスリット
部材５゛を用いた入射散乱光Ｌ゛の制限により画定する
という手法を用いていることに起因して、検出光学系す
の収差のために必要な像！の外縁部がスリット４′の全
周辺部においてカットされることになり、それによる分
解能の低下を避けることはできないため、基本的に分解
能に劣っており、従って、検出光学系Ｂを格別の収差補
正手段を設けるなどして極めて収差が小さいものに構成
しなければならず、非常に高価につく、 （イ）しかも、測定対象流体Ｓの屈折率が少しでも変化
すると、スリット部材５”におけるピントがずれて、そ
れによるスリット４′の周辺部における像■の外縁部の
カット現象が更に加わるため、その度にスリット部材５
°を移動させてピント調整をしなければ、より一層分解
能が低下してしまうことになる。従って、測定対象流体
Ｓの屈折率の変化に応じてスリット部材５゛を精密に移
動させ得るような格別のピント微調整手段を設けるなど
の必要があり、検出光学系すの構造の複雑化を招くと共
に一層高価につく、 （つ）また、分解能を確保するためには前記（ア）で説
明したように収差の小さい検出光学系すを構成しなくて
はならないが、その場合、開口を大きくとることが難し
くなり、散乱光Ｌ〕の受光量が少なくならざるを得ず、
そのためにＳ／Ｎ比が悪くなってしまう、 （１）更に、検出光学系すを測定対象流体Ｓの流動方向
（第１方向）２における側方に設ける必要があるため、
前記第４図には示していないが、測定部であるフローセ
ル以降の流路を屈曲させたり、旋回流を用いるなどしな
くてはならず、そのために、全体構造が複雑化および大
型化すると共に、流速制御も困難となり易い、 という種々の問題があった。
本発明は、かかる従来実情に鑑みてなされたものであっ
て、検出領域をできるだけ広くとれるように、かつ、検
出光学系において多かれ少なかれ避けることができない
収差やピントずれによる影響を受は難いように、しかも
、検出光学系を測定対象流体の流動方向における側方以
外の任意の位置に設けられるように工夫することにより
、分解能およびＳ／Ｎを共に改善できると共に、全体と
して簡素かつ小型で安価なものに構成できる部分測定型
微粒子カウンターを開発・提供せんとすることにある。
て、検出領域をできるだけ広くとれるように、かつ、検
出光学系において多かれ少なかれ避けることができない
収差やピントずれによる影響を受は難いように、しかも
、検出光学系を測定対象流体の流動方向における側方以
外の任意の位置に設けられるように工夫することにより
、分解能およびＳ／Ｎを共に改善できると共に、全体と
して簡素かつ小型で安価なものに構成できる部分測定型
微粒子カウンターを開発・提供せんとすることにある。
上記目的を達成するために、本発明は、冒頭に記載した
ような基本的構成を有する部分測定型微粒子カウンター
において、照射光学系に、測定対象流体の流動方向とレ
ーザービームの照射方向とに直交する方向における光強
度積分値（測定対象流体の流動方向に積分したもの）の
分布を方形状にするための光強度補正手段を設ける一方
、検出光学系における結像位置には、前記レーザービー
ムの照射方向に直交する方向に十分な余裕を有する幅の
スリット備えたスリット部材を設けてある、という特徴
を備えている。
ような基本的構成を有する部分測定型微粒子カウンター
において、照射光学系に、測定対象流体の流動方向とレ
ーザービームの照射方向とに直交する方向における光強
度積分値（測定対象流体の流動方向に積分したもの）の
分布を方形状にするための光強度補正手段を設ける一方
、検出光学系における結像位置には、前記レーザービー
ムの照射方向に直交する方向に十分な余裕を有する幅の
スリット備えたスリット部材を設けてある、という特徴
を備えている。
上記特徴構成により発揮される作用は下記の通りである
。
。
即ち、上記本発明による部分測定型微粒子カウンターに
おいては、後述する実施例の記載からもより一層明らか
となるように、照射光学系に上述のような光強度補正手
段を設けることにより、測定対象流体における流速分布
が可及的に均一となる中心部分に対して、光強度積分値
（測定対象流体の流動方向に積分したもの）の分布を方
形状に補正した、つまり、測定対象流体の流動方向とレ
ーザービームの照射方向とに直交する方向において全体
として略均−となるように補正したレーザービームを照
射するように構成したから、従来構成の部分測定型微粒
子カウンターのように照射レーザービームの一部分（強
度が略均−な中心部分）のみを検出領域として制限する
必要がなく、つまり、少なくともレーザービームの径方
向において制限せずに検出領域を画定することができ、
しかも、検出光学系における結像位置に設けられるスリ
ット部材としては、レーザービームの照射方向に直交す
る方向に十分な余裕を有する幅の、つまり、検出領域の
レーザービームの照射方向における制限はするがレーザ
ービームの径方向における制限はしない幅広のスリット
を備えたものを採用しているから、検出光学系の収差や
測定対象流体の屈折率変化によるピントずれに起因する
像外縁部のカット現象は、レーザービームの照射方向に
直交する方向におけるスリットの周辺部では依然として
生じるが、レーザービームの照射方向におけるスリット
の周辺部では生じないため、前記収差やピントずれによ
る影響を従来に比べて格段に小さく抑えることができ、
これにより、たとえ検出光学系がある程度大きな収差を
有していたとしても、また、測定対象流体の屈折率の変
化によりスリット部材における多少のピントずれが生じ
たとしでも、分解能を従来に比べて大幅に向上させるこ
とができ、従って、検出光学系を、格別の収差補正手段
やピント微調整機樽を設ける必要のない、簡素かつ安価
なものに構成できるようになり、更に、本発明による部
分測定型微粒子カウンターの場合には、検出光学系を、
必ずしも測定対象流体の流動方向における側方に設ける
必要は無く、測定対象流体の流動方向に直交する方向に
おける側方の任意の位置に設けることができるから、測
定部であるフローセル以降の流路を、従来のように屈曲
させなくてもよくなり、以って、全体構造のより一層の
簡素化および小型化を達成することができる。
おいては、後述する実施例の記載からもより一層明らか
となるように、照射光学系に上述のような光強度補正手
段を設けることにより、測定対象流体における流速分布
が可及的に均一となる中心部分に対して、光強度積分値
（測定対象流体の流動方向に積分したもの）の分布を方
形状に補正した、つまり、測定対象流体の流動方向とレ
ーザービームの照射方向とに直交する方向において全体
として略均−となるように補正したレーザービームを照
射するように構成したから、従来構成の部分測定型微粒
子カウンターのように照射レーザービームの一部分（強
度が略均−な中心部分）のみを検出領域として制限する
必要がなく、つまり、少なくともレーザービームの径方
向において制限せずに検出領域を画定することができ、
しかも、検出光学系における結像位置に設けられるスリ
ット部材としては、レーザービームの照射方向に直交す
る方向に十分な余裕を有する幅の、つまり、検出領域の
レーザービームの照射方向における制限はするがレーザ
ービームの径方向における制限はしない幅広のスリット
を備えたものを採用しているから、検出光学系の収差や
測定対象流体の屈折率変化によるピントずれに起因する
像外縁部のカット現象は、レーザービームの照射方向に
直交する方向におけるスリットの周辺部では依然として
生じるが、レーザービームの照射方向におけるスリット
の周辺部では生じないため、前記収差やピントずれによ
る影響を従来に比べて格段に小さく抑えることができ、
これにより、たとえ検出光学系がある程度大きな収差を
有していたとしても、また、測定対象流体の屈折率の変
化によりスリット部材における多少のピントずれが生じ
たとしでも、分解能を従来に比べて大幅に向上させるこ
とができ、従って、検出光学系を、格別の収差補正手段
やピント微調整機樽を設ける必要のない、簡素かつ安価
なものに構成できるようになり、更に、本発明による部
分測定型微粒子カウンターの場合には、検出光学系を、
必ずしも測定対象流体の流動方向における側方に設ける
必要は無く、測定対象流体の流動方向に直交する方向に
おける側方の任意の位置に設けることができるから、測
定部であるフローセル以降の流路を、従来のように屈曲
させなくてもよくなり、以って、全体構造のより一層の
簡素化および小型化を達成することができる。
以下、本発明に係る部分測定型微粒子カウンターの一実
施例を図面に基いて説明する。
施例を図面に基いて説明する。
第１図に示しているように、例えばノズルｌを用いて所
定の流速でフローセル（図では省略している）内に測定
対象流体Ｓを流動させ、その流動測定対象流体Ｓにおけ
る流速分布が可及的に均一となる中心部分を検出領域Ｒ
とし、その検出領域Ｒに対してその測定対象流体Ｓの流
動方向２ （以下、第１方向という）に直交する（正確
な直交は勿論、略直交をも含む）方向ｙ（以下、第２方
向という）における側方からレーザービームＬ（例えば
、ヘリウム−ネオンレーザ−、アルゴンレーザーあるい
はヘリウム−カドミウムレーザー）を照射するための照
射光学系Ａが設けられる一方、前記測定対象流体Ｓ中に
含まれる微粒子による前記レーザービームＬの散乱光Ｌ
°を、前記第１方向２と第２方向に直交する（正値な直
交は勿論、略直交をも含む）方向Ｘ（以下、第３方向と
いう）における側方から検出するための検出光学系Ｂが
設けられており、前記測定対象流体Ｓ中に含まれる微粒
子の濃度や粒径分布を測定するように構成されている。
定の流速でフローセル（図では省略している）内に測定
対象流体Ｓを流動させ、その流動測定対象流体Ｓにおけ
る流速分布が可及的に均一となる中心部分を検出領域Ｒ
とし、その検出領域Ｒに対してその測定対象流体Ｓの流
動方向２ （以下、第１方向という）に直交する（正確
な直交は勿論、略直交をも含む）方向ｙ（以下、第２方
向という）における側方からレーザービームＬ（例えば
、ヘリウム−ネオンレーザ−、アルゴンレーザーあるい
はヘリウム−カドミウムレーザー）を照射するための照
射光学系Ａが設けられる一方、前記測定対象流体Ｓ中に
含まれる微粒子による前記レーザービームＬの散乱光Ｌ
°を、前記第１方向２と第２方向に直交する（正値な直
交は勿論、略直交をも含む）方向Ｘ（以下、第３方向と
いう）における側方から検出するための検出光学系Ｂが
設けられており、前記測定対象流体Ｓ中に含まれる微粒
子の濃度や粒径分布を測定するように構成されている。
そして、前記照射光学系Ａには、前記レーザービームＬ
を偏平な（前記第１方向２において短く、かつ、前記第
３方向において長い）ビームにするための例えばシリン
ドリカルレンズ２が設けられると共に、そのシリンドリ
カルレンズ２と前記検出領域Ｒとの間には、第２図に模
式的に示しているように、前記第３方向Ｘにおける光強
度積分値（第１方向Ｚに積分したもの）の分布を方形状
にする（例えば、スリットによりガウス分布の両端部分
をカントするとか、あるいは、スペースフィルターとか
ソフトアパチャーなどのビーム整形手段を用いて全体を
方形状にする）ように構成された光強度補正手段６が設
けられており、また、前記検出光学系Ｂには、受光用レ
ンズ３．３が設けられると共に、その結像位置（実像を
結ぶ位置）には、前記第２方向ｙに直交（正確な直交は
勿論、略直交をも含む）する方向２゛に十分な余裕を有
する幅の、つまり、検出領域ＲのレーザービームＬの照
射方向（第２方向ｙ）における制限はするがレーザービ
ームの径方向における制限はしない幅広のスリット４を
備えたスリット部材５ （第３図の拡大図を参照）を設
けて、前記散乱光Ｌ°の入射を前記第２方向ｙのみにお
いて制限することにより前記検出領域Ｒをできるだけ広
く画定すると共に、前記第３図に示しているように、ス
リット部材５において結ばれる像■のカット現象が、レ
ーザービームＬの照射方向（第２方向ｙ）におけるスリ
ット４の周辺部では生じないようにして、検出光学系Ｂ
における収差やピントずれによる影響を従来に比べて格
段に小さく抑えられるようにしである。
を偏平な（前記第１方向２において短く、かつ、前記第
３方向において長い）ビームにするための例えばシリン
ドリカルレンズ２が設けられると共に、そのシリンドリ
カルレンズ２と前記検出領域Ｒとの間には、第２図に模
式的に示しているように、前記第３方向Ｘにおける光強
度積分値（第１方向Ｚに積分したもの）の分布を方形状
にする（例えば、スリットによりガウス分布の両端部分
をカントするとか、あるいは、スペースフィルターとか
ソフトアパチャーなどのビーム整形手段を用いて全体を
方形状にする）ように構成された光強度補正手段６が設
けられており、また、前記検出光学系Ｂには、受光用レ
ンズ３．３が設けられると共に、その結像位置（実像を
結ぶ位置）には、前記第２方向ｙに直交（正確な直交は
勿論、略直交をも含む）する方向２゛に十分な余裕を有
する幅の、つまり、検出領域ＲのレーザービームＬの照
射方向（第２方向ｙ）における制限はするがレーザービ
ームの径方向における制限はしない幅広のスリット４を
備えたスリット部材５ （第３図の拡大図を参照）を設
けて、前記散乱光Ｌ°の入射を前記第２方向ｙのみにお
いて制限することにより前記検出領域Ｒをできるだけ広
く画定すると共に、前記第３図に示しているように、ス
リット部材５において結ばれる像■のカット現象が、レ
ーザービームＬの照射方向（第２方向ｙ）におけるスリ
ット４の周辺部では生じないようにして、検出光学系Ｂ
における収差やピントずれによる影響を従来に比べて格
段に小さく抑えられるようにしである。
ところで、本発明の上記実施例に係る部分測定型微粒子
カウンターにおいては、検出光学系Ｂは、従来のように
第１方向２における側方に設けるのではなく、第３方向
Ｘにおける側方に設けであるから、測定部であるフロー
セル以降の流路を、従来のように屈曲させる必要はない
し、また、旋回流を用いる場合のような大きなセルも不
要である。
カウンターにおいては、検出光学系Ｂは、従来のように
第１方向２における側方に設けるのではなく、第３方向
Ｘにおける側方に設けであるから、測定部であるフロー
セル以降の流路を、従来のように屈曲させる必要はない
し、また、旋回流を用いる場合のような大きなセルも不
要である。
以上詳述したところから明らかなように、本発明に係る
部分測定型微粒子カウンターによれば、照射光学系に、
測定対象流体の流動方向とレーザービームの照射方向と
に直交する方向における光強度積分値（測定対象流体の
流動方向に積分したもの）の分布を方形状にするための
光強度補正手段を設ける一方、検出光学系における結像
位置には、前記レーザービームの照射方向に直交する方
向に十分な余裕を有する幅のスリット備えたスリット部
材を設けてある、という特異な構成を採用したことによ
り、従来に比べて、検出光学系において多かれ少なかれ
避けることができない収差やピントずれによる影響を受
は難いようにすることができ、しかも、検出光学系を測
定対象流体の流動方向における側方以外の任意の位置に
設けられるようになり、全体として簡素かつ小型で安価
なものに構成できる、という顕著に優れた効果が発揮さ
れる。
部分測定型微粒子カウンターによれば、照射光学系に、
測定対象流体の流動方向とレーザービームの照射方向と
に直交する方向における光強度積分値（測定対象流体の
流動方向に積分したもの）の分布を方形状にするための
光強度補正手段を設ける一方、検出光学系における結像
位置には、前記レーザービームの照射方向に直交する方
向に十分な余裕を有する幅のスリット備えたスリット部
材を設けてある、という特異な構成を採用したことによ
り、従来に比べて、検出光学系において多かれ少なかれ
避けることができない収差やピントずれによる影響を受
は難いようにすることができ、しかも、検出光学系を測
定対象流体の流動方向における側方以外の任意の位置に
設けられるようになり、全体として簡素かつ小型で安価
なものに構成できる、という顕著に優れた効果が発揮さ
れる。
第１図ないし第３図は本発明に係る部分測定型微粒子カ
ウンターの一実施例を説明するためのものであって、第
１図は要部の概略構成図（斜視図）第２図はその検出領
域に照射されるレーザービームの強度分布を示す特性図
、第３図はその検出光学系におけるスリット部材の拡大
正面図を夫々示している。 また、第４図ないし第６図は本発明の技術的背景ならび
に従来技術の問題点を説明するためのものであって、第
４図は従来の部分測定型微粒子カウンターの要部の概略
構成図（斜視図）を示し、第５図はその検出領域に照射
されるレーザービームの光強度積分値（測定対象流体の
流動方向に積分したもの）の分布を示す特性図、第６図
はその検出光学系におけるスリット部材の拡大正面図を
夫々示している。 Ａ・・・照射光学系、Ｂ・・・検出光学系、Ｌ・・・照
射レーザービーム、Ｌｏ・・・散乱光、Ｓ・・・測定対
象流体、２・・−・測定対象流体の流動方向、ｙ・・・
照射レーザービームの照射方向、Ｘ・・・測定対象流体
の流動方向および照射レーザービームの照射方向に直交
する方向、４・・・スリット、５・・・スリット部材、
６・・・光強度補正手段。 出願人 株式会社 堀 場 製 作 所代理人 弁理士
藤 本 英 火 弟２図 第１図 Ａ・・・・・・照射光学系、 Ｂ・・・・・・検出光学系、 Ｌ・・・・・・照射レーザービーム、 Ｌ”・・・散乱光、 Ｓ・・・・・・測定対象流体、 ２・・・・・・Ｊす定刻象流体の流動方向、照射レーザ
ービームの照射方向 に直交する方向、 ４−・ ・スリット、 ５・・・・・・スリット部材、 ６・・・・・・光強度補正手段。 第４図
ウンターの一実施例を説明するためのものであって、第
１図は要部の概略構成図（斜視図）第２図はその検出領
域に照射されるレーザービームの強度分布を示す特性図
、第３図はその検出光学系におけるスリット部材の拡大
正面図を夫々示している。 また、第４図ないし第６図は本発明の技術的背景ならび
に従来技術の問題点を説明するためのものであって、第
４図は従来の部分測定型微粒子カウンターの要部の概略
構成図（斜視図）を示し、第５図はその検出領域に照射
されるレーザービームの光強度積分値（測定対象流体の
流動方向に積分したもの）の分布を示す特性図、第６図
はその検出光学系におけるスリット部材の拡大正面図を
夫々示している。 Ａ・・・照射光学系、Ｂ・・・検出光学系、Ｌ・・・照
射レーザービーム、Ｌｏ・・・散乱光、Ｓ・・・測定対
象流体、２・・−・測定対象流体の流動方向、ｙ・・・
照射レーザービームの照射方向、Ｘ・・・測定対象流体
の流動方向および照射レーザービームの照射方向に直交
する方向、４・・・スリット、５・・・スリット部材、
６・・・光強度補正手段。 出願人 株式会社 堀 場 製 作 所代理人 弁理士
藤 本 英 火 弟２図 第１図 Ａ・・・・・・照射光学系、 Ｂ・・・・・・検出光学系、 Ｌ・・・・・・照射レーザービーム、 Ｌ”・・・散乱光、 Ｓ・・・・・・測定対象流体、 ２・・・・・・Ｊす定刻象流体の流動方向、照射レーザ
ービームの照射方向 に直交する方向、 ４−・ ・スリット、 ５・・・・・・スリット部材、 ６・・・・・・光強度補正手段。 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所定の流速で流動させた測定対象流体における流速分布
が可及的に均一となる中心部分に対してその測定対象流
体の流動方向に直交する方向における側方からレーザー
ビームを照射するための照射光学系と、前記測定対象流
体中に含まれる微粒子による前記レーザービームの散乱
光を検出するための検出光学系とを備えている部分測定
型微粒子カウンターであって、 前記照射光学系に、前記測定対象流体の流動方向とレー
ザービームの照射方向とに直交する方向における光強度
積分値（測定対象流体の流動方向に積分したもの）の分
布を方形状にするための光強度補正手段を設ける一方、
前記検出光学系における結像位置には、前記レーザービ
ームの照射方向に直交する方向に十分な余裕を有する幅
のスリット備えたスリット部材を設けてある、ことを特
徴とする部分測定型微粒子カウンター。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191282A JPH0240535A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | 部分測定型微粒子カウンター |
| US07/382,548 US4990795A (en) | 1988-07-30 | 1989-07-19 | Particle counter with photointensity compensation |
| DE3925148A DE3925148C2 (de) | 1988-07-30 | 1989-07-28 | Teilchenzähler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191282A JPH0240535A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | 部分測定型微粒子カウンター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240535A true JPH0240535A (ja) | 1990-02-09 |
| JPH0583858B2 JPH0583858B2 (ja) | 1993-11-29 |
Family
ID=16271966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63191282A Granted JPH0240535A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | 部分測定型微粒子カウンター |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4990795A (ja) |
| JP (1) | JPH0240535A (ja) |
| DE (1) | DE3925148C2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004085573A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Particle Measuring Syst Inc | ストラップレーザダイオードを備える粒子カウンタ |
| JP2006250686A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | フローサイトメータ及びレーザ光照射方法 |
| CN102853764A (zh) * | 2012-08-20 | 2013-01-02 | 沈阳博兴亚达科技有限公司 | 圆柱体、曲面物体表面痕迹展平照相提取方法 |
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| JPH03107745A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-08 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 光散乱測定方法およびその装置 |
| US5120979A (en) * | 1991-03-25 | 1992-06-09 | Becton, Dickinson And Company | Apparatus and method for analysis of a sample medium in a gap between a tube and a float |
| US5262841A (en) * | 1991-10-16 | 1993-11-16 | Tsi Incorporated | Vacuum particle detector |
| US5396333A (en) * | 1992-05-21 | 1995-03-07 | General Electric Company | Device and method for observing and analyzing a stream of material |
| US5940178A (en) * | 1996-07-03 | 1999-08-17 | Beckman Instruments, Inc. | Nephelometer and turbidimeter combination |
| DE19628156A1 (de) * | 1996-07-12 | 1998-01-15 | Palas Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Messen eines Teilchenstromes in einem Fluid |
| US5870190A (en) * | 1997-11-25 | 1999-02-09 | Venturedyne, Ltd. | Particle sensor and related method offering improved particle discrimination |
| DE102005028893B4 (de) * | 2005-06-19 | 2007-12-06 | Stiftung Alfred-Wegener-Institut für Polar- und Meeresforschung Stiftung des öffentlichen Rechts | Vorrichtung zur Partikeldetektion in einer tiefenbegrenzten Lichtscheibe |
| CN101153868B (zh) * | 2006-09-30 | 2012-05-30 | 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 流式细胞分析仪 |
| CN101236150B (zh) * | 2007-02-02 | 2012-09-05 | 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 用于基于流式细胞术的仪器的光电传感器及其照射单元 |
| CN101126701B (zh) * | 2007-09-13 | 2010-05-26 | 浙江大学 | 基于太赫兹发射与探测装置的气固两相流颗粒浓度的检测装置及方法 |
| EP2232231A4 (en) | 2007-12-04 | 2015-12-02 | Particle Measuring Syst | SYSTEMS AND METHODS FOR DETECTION OF NON-ORTHOGONAL PARTICLES |
| US8248609B2 (en) * | 2008-11-04 | 2012-08-21 | The Johns Hopkins University | Cylindrical illumination confocal spectroscopy system |
| CN104833620B (zh) * | 2015-04-20 | 2018-03-13 | 江苏苏净集团有限公司 | 一种大气颗粒物浓度的监测装置 |
| CN106018206A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-10-12 | 江苏苏净集团有限公司 | 一种液体颗粒检测装置 |
| CN106053311B (zh) * | 2016-08-16 | 2019-04-30 | 广东美的制冷设备有限公司 | 一种粉尘传感器 |
| JP7071849B2 (ja) * | 2018-03-09 | 2022-05-19 | リオン株式会社 | パーティクルカウンタ |
| CN112601948A (zh) | 2018-08-31 | 2021-04-02 | 粒子监测系统有限公司 | 流体折射率优化粒子计数器 |
| CN109990834A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-07-09 | 东南大学 | 高温飞行颗粒温度、速度、粒径的原位测量方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| US3786261A (en) * | 1971-10-12 | 1974-01-15 | Coulter Electronics | Optical scanning device |
| US3901602A (en) * | 1974-05-13 | 1975-08-26 | Us Commerce | Light scattering method and apparatus for the chemical characterization of particulate matter |
| DE2624977A1 (de) * | 1976-06-03 | 1977-12-08 | Rumpf Hans Prof Dr Ing | Streulichtmesseinrichtung zur ermittlung von partikelgroessenverteilungen und partikelstromdichten disperser phasen in stroemungen |
| SU873041A1 (ru) * | 1978-01-24 | 1981-10-15 | Предприятие П/Я А-7555 | Фотоэлектрический преобразователь |
| SE7806922L (sv) * | 1978-06-15 | 1979-12-16 | Svenska Traeforskningsinst | Forfarande och anordning for att indikera storleksfordelningen av i ett strommande medium befintliga partiklar |
| DE2852978C3 (de) * | 1978-12-07 | 1981-06-04 | Raimund Dr. 4005 Meerbusch Kaufmann | Vorrichtung zur spektroskopischen Bestimmung der Geschwindigkeit von in einer Flüssigkeit bewegten Teilchen |
| US4265538A (en) * | 1979-10-18 | 1981-05-05 | Leeds & Northrup Company | Optical sample cell for analysis of particles in liquid suspension |
| JPH0336914Y2 (ja) * | 1985-05-17 | 1991-08-05 | ||
| US4676641A (en) * | 1986-01-08 | 1987-06-30 | Coulter Electronics Of New England, Inc. | System for measuring the size distribution of particles dispersed in a fluid |
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-
1988
- 1988-07-30 JP JP63191282A patent/JPH0240535A/ja active Granted
-
1989
- 1989-07-19 US US07/382,548 patent/US4990795A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-07-28 DE DE3925148A patent/DE3925148C2/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3925148A1 (de) | 1990-02-01 |
| DE3925148C2 (de) | 1994-04-21 |
| JPH0583858B2 (ja) | 1993-11-29 |
| US4990795A (en) | 1991-02-05 |
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