JP2552940Y2 - 微粒子測定装置 - Google Patents
微粒子測定装置Info
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- JP2552940Y2 JP2552940Y2 JP5638792U JP5638792U JP2552940Y2 JP 2552940 Y2 JP2552940 Y2 JP 2552940Y2 JP 5638792 U JP5638792 U JP 5638792U JP 5638792 U JP5638792 U JP 5638792U JP 2552940 Y2 JP2552940 Y2 JP 2552940Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、例えば半導体の製造工
程におけるウエハの洗浄などに使用される超純水や、ク
リーンルームなどで使用される清浄空気などの流体に含
まれた微粒子の測定装置に関する。
程におけるウエハの洗浄などに使用される超純水や、ク
リーンルームなどで使用される清浄空気などの流体に含
まれた微粒子の測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記の微粒子測定装置として、図５に示
すように、互いに平行平板のセル窓２１，２２を備えた
フローセル２３と、このセル２３内の観測領域Ｒに照射
光を入射させる照射光学系２４と、前記照射光がセル２
３内の試料流体中の微粒子に照射されて生じる散乱光の
検出光学系（図示せず）とを備えると共に、前記照射光
学系２４を、光源２５から照射された光を平行光にする
コリメータレンズ２６と、この平行光を前記観測領域Ｒ
において集光させる集光レンズ２７とから構成し、か
つ、前記フローセル２３のセル窓２１，２２を照射光学
系２４の光軸Ｑに対して傾斜させたものが知られてい
る。
すように、互いに平行平板のセル窓２１，２２を備えた
フローセル２３と、このセル２３内の観測領域Ｒに照射
光を入射させる照射光学系２４と、前記照射光がセル２
３内の試料流体中の微粒子に照射されて生じる散乱光の
検出光学系（図示せず）とを備えると共に、前記照射光
学系２４を、光源２５から照射された光を平行光にする
コリメータレンズ２６と、この平行光を前記観測領域Ｒ
において集光させる集光レンズ２７とから構成し、か
つ、前記フローセル２３のセル窓２１，２２を照射光学
系２４の光軸Ｑに対して傾斜させたものが知られてい
る。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】かゝる構成の微粒子測
定装置は、前記フローセル２３のセル窓２１，２２を照
射光学系２４の光軸Ｑに対して傾斜させて、セル窓２
１，２２で反射した光の光源２５側への戻り光を少なく
し、もって光源ノイズを低減させてＳ／Ｎ比を改善させ
るように考慮されたものであるが、戻り光の影響を完全
になくすためにはセル窓２１，２２の傾斜角を大きくす
るか、あるいは、フローセル２３を照射光学系２４と光
源２５とから大きく離して設置するかの何れかを選択せ
ざるを得ず、而して、傾斜角を大きくすると大面積のセ
ル窓２１，２２を要することから装置コストが高くつ
き、あるいは、フローセル２３を照射光学系２４と光源
２５とから大きく離すと装置が大型化する点で問題があ
った。
定装置は、前記フローセル２３のセル窓２１，２２を照
射光学系２４の光軸Ｑに対して傾斜させて、セル窓２
１，２２で反射した光の光源２５側への戻り光を少なく
し、もって光源ノイズを低減させてＳ／Ｎ比を改善させ
るように考慮されたものであるが、戻り光の影響を完全
になくすためにはセル窓２１，２２の傾斜角を大きくす
るか、あるいは、フローセル２３を照射光学系２４と光
源２５とから大きく離して設置するかの何れかを選択せ
ざるを得ず、而して、傾斜角を大きくすると大面積のセ
ル窓２１，２２を要することから装置コストが高くつ
き、あるいは、フローセル２３を照射光学系２４と光源
２５とから大きく離すと装置が大型化する点で問題があ
った。
【０００４】本考案は、かゝる実情に鑑みて成されたも
のであって、極めて簡単な改良によって上記の不都合を
伴わせずに、光源ノイズの低減ひいてはＳ／Ｎ比の改善
が達成されるに至った微粒子測定装置を提供することを
目的としている。
のであって、極めて簡単な改良によって上記の不都合を
伴わせずに、光源ノイズの低減ひいてはＳ／Ｎ比の改善
が達成されるに至った微粒子測定装置を提供することを
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本考案は、平行平板のセル窓を備えたフローセル
と、このセル内の観測領域に照射光を入射させる照射光
学系と、前記照射光がセル内の試料流体中の微粒子に照
射されて生じる散乱光の検出光学系とを備えると共に、
前記照射光学系を、光源から照射された光を平行光にす
るコリメータレンズと、この平行光を前記観測領域にお
いて集光させる集光レンズとから構成し、かつ、前記フ
ローセルのセル窓を照射光学系の光軸に対して傾斜させ
て成る微粒子測定装置において、前記照射光の一部を割
円状に遮光するスリットを光源からフローセルに至る前
記照射光学系の光路内に挿入して、当該遮光スリットに
よってセル窓からの戻り光を遮光させるようにした点に
特徴がある。
めに本考案は、平行平板のセル窓を備えたフローセル
と、このセル内の観測領域に照射光を入射させる照射光
学系と、前記照射光がセル内の試料流体中の微粒子に照
射されて生じる散乱光の検出光学系とを備えると共に、
前記照射光学系を、光源から照射された光を平行光にす
るコリメータレンズと、この平行光を前記観測領域にお
いて集光させる集光レンズとから構成し、かつ、前記フ
ローセルのセル窓を照射光学系の光軸に対して傾斜させ
て成る微粒子測定装置において、前記照射光の一部を割
円状に遮光するスリットを光源からフローセルに至る前
記照射光学系の光路内に挿入して、当該遮光スリットに
よってセル窓からの戻り光を遮光させるようにした点に
特徴がある。
【０００６】
【作用】即ち、断面強度がガウシャン分布を呈する照射
光の裾の一部を遮光させて、その遮光部分に戻り光を照
射させるものであって、これによって照射光学系の光軸
に対するセル窓の緩傾斜化が達成され、これによってセ
ル窓の小径化あるいは光源に対するフローセルの近接設
置が可能となる。
光の裾の一部を遮光させて、その遮光部分に戻り光を照
射させるものであって、これによって照射光学系の光軸
に対するセル窓の緩傾斜化が達成され、これによってセ
ル窓の小径化あるいは光源に対するフローセルの近接設
置が可能となる。
【０００７】
【実施例】以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明
する。図１，２は微粒子測定装置の原理図を示し、１は
互いに平行平板のセル窓２，３を備えたフローセルで、
セル窓２，３が相対する方向と直交する方向の側部には
散乱光検出窓４が設けられている。５はフローセル１の
下部に形成された試料流体の導入口、６はフローセル１
の上部に形成された試料流体の導出口である。７はフロ
ーセル１内の観測領域Ｒに照射光を入射させる照射光学
系で、例えば半導体レーザーからなる光源８と、この光
源８から照射された光を平行光にするコリメータレンズ
９と、上記の平行光を前記観測領域Ｒにおいて集光させ
る集光レンズ１０とから成る。１１は前記散乱光検出窓
４と相対してフローセル１外に設けられた検出光学系
で、試料流体の微粒子から生じた散乱光を集光する集光
レンズ１２と、散乱光を検出する光検出器１３とから成
る。１４は遮光スリットで、光源８からフローセル１に
至る照射光学系７の光路内に挿入されている。
する。図１，２は微粒子測定装置の原理図を示し、１は
互いに平行平板のセル窓２，３を備えたフローセルで、
セル窓２，３が相対する方向と直交する方向の側部には
散乱光検出窓４が設けられている。５はフローセル１の
下部に形成された試料流体の導入口、６はフローセル１
の上部に形成された試料流体の導出口である。７はフロ
ーセル１内の観測領域Ｒに照射光を入射させる照射光学
系で、例えば半導体レーザーからなる光源８と、この光
源８から照射された光を平行光にするコリメータレンズ
９と、上記の平行光を前記観測領域Ｒにおいて集光させ
る集光レンズ１０とから成る。１１は前記散乱光検出窓
４と相対してフローセル１外に設けられた検出光学系
で、試料流体の微粒子から生じた散乱光を集光する集光
レンズ１２と、散乱光を検出する光検出器１３とから成
る。１４は遮光スリットで、光源８からフローセル１に
至る照射光学系７の光路内に挿入されている。
【０００８】 上記構成の微粒子測定装置においては、前
記導入口５を通してフローセル１内の観測領域Ｒに試料
流体を導入させると共に、集光レンズ１０によって集光
させたレーザ光を、前記観測領域Ｒを流れる試料流体の
中心部に向けて照射させるのであり、このとき、試料流
体に微粒子が含まれていると、その微粒子によって散乱
された光が集光レンズ１２で集光され、これが光検出器
１３によって検出されるもので、この光検出器１３から
の出力信号に基づいて微粒子数がカウントされ、かつ、
その粒度分布が測定されるのである。
記導入口５を通してフローセル１内の観測領域Ｒに試料
流体を導入させると共に、集光レンズ１０によって集光
させたレーザ光を、前記観測領域Ｒを流れる試料流体の
中心部に向けて照射させるのであり、このとき、試料流
体に微粒子が含まれていると、その微粒子によって散乱
された光が集光レンズ１２で集光され、これが光検出器
１３によって検出されるもので、この光検出器１３から
の出力信号に基づいて微粒子数がカウントされ、かつ、
その粒度分布が測定されるのである。
【０００９】 かゝる構成の微粒子測定装置において、図
３にも示すように、前記フローセル１のセル窓２，３を
例えば下向きに傾斜させる一方、光源８からフローセル
１に至る照射光学系７の光路途中、具体的にはコリメー
タレンズ９と集光レンズ１０との間に、その間の平行光
の一部を割円状に遮光するスリット１４をフローセル１
の傾斜方向とは逆方向から光路内に挿入している。尚、
上記の遮光スリット１４は、受光面部分を斜めにカット
させたナイフエッジの形状を呈し、斜めの受光面１４ａ
で反射した光を両レンズ９，１０間から上方に逃がすよ
うにして、反射光を光源８側に戻させないようにしてい
る。
３にも示すように、前記フローセル１のセル窓２，３を
例えば下向きに傾斜させる一方、光源８からフローセル
１に至る照射光学系７の光路途中、具体的にはコリメー
タレンズ９と集光レンズ１０との間に、その間の平行光
の一部を割円状に遮光するスリット１４をフローセル１
の傾斜方向とは逆方向から光路内に挿入している。尚、
上記の遮光スリット１４は、受光面部分を斜めにカット
させたナイフエッジの形状を呈し、斜めの受光面１４ａ
で反射した光を両レンズ９，１０間から上方に逃がすよ
うにして、反射光を光源８側に戻させないようにしてい
る。
【００１０】 かゝる構成によれば、図４に示すように、
集光レンズ１０からの照射光の下部側ａが一部カットさ
れて観測領域Ｒに照射されると共に、セル窓２，３の内
外面で反射して集光レンズ１０側に戻ってくる光（便宜
上、入射側のセル窓２の外面で反射した光のみを図示す
る。）も一部（上部側）ｂがカットされた状態となる。
而して、照射光ならびに戻り光を重ならせない状態で、
カットされた遮光部分ａ，ｂを互いの光路内に入り込ま
せるように、前記フローセル１のセル窓２，３を照射光
学系７の光軸Ｑに対して傾斜させることによって、図
３，５に照らして明らかなように、光源８側への戻り光
の入り込みを確実に防止させた状態で、セル窓２，３の
緩傾斜化ならびに小径化が達成される。あるいは、セル
窓２，３の緩傾斜化だけを選択するならば、集光レンズ
１０に対するフローセル１の近接設置ひいては装置の小
型化が達成されるのであり、勿論、セル窓２，３の適度
な緩傾斜化によって、セル窓２，３の小径化と装置の小
型化を図る折衷形態をとることも可能である。
集光レンズ１０からの照射光の下部側ａが一部カットさ
れて観測領域Ｒに照射されると共に、セル窓２，３の内
外面で反射して集光レンズ１０側に戻ってくる光（便宜
上、入射側のセル窓２の外面で反射した光のみを図示す
る。）も一部（上部側）ｂがカットされた状態となる。
而して、照射光ならびに戻り光を重ならせない状態で、
カットされた遮光部分ａ，ｂを互いの光路内に入り込ま
せるように、前記フローセル１のセル窓２，３を照射光
学系７の光軸Ｑに対して傾斜させることによって、図
３，５に照らして明らかなように、光源８側への戻り光
の入り込みを確実に防止させた状態で、セル窓２，３の
緩傾斜化ならびに小径化が達成される。あるいは、セル
窓２，３の緩傾斜化だけを選択するならば、集光レンズ
１０に対するフローセル１の近接設置ひいては装置の小
型化が達成されるのであり、勿論、セル窓２，３の適度
な緩傾斜化によって、セル窓２，３の小径化と装置の小
型化を図る折衷形態をとることも可能である。
【００１１】 しかも、遮光スリット１４によって照射光
の一部をカットさせる形態をとりながらも、その照射光
の断面強度がガウシャン分布を呈することから、その周
囲の裾の一部をカットしても光源光量の低下は極めて少
なく、光量面で微粒子測定に悪影響が及ぶことは殆どな
い。尚、上記の遮光スリット１４を集光レンズ１０の下
流側に設置させる形態とするもよく、かつ、当該遮光ス
リット１４を光路への挿入方向に位置変更自在と成すも
よい。
の一部をカットさせる形態をとりながらも、その照射光
の断面強度がガウシャン分布を呈することから、その周
囲の裾の一部をカットしても光源光量の低下は極めて少
なく、光量面で微粒子測定に悪影響が及ぶことは殆どな
い。尚、上記の遮光スリット１４を集光レンズ１０の下
流側に設置させる形態とするもよく、かつ、当該遮光ス
リット１４を光路への挿入方向に位置変更自在と成すも
よい。
【００１２】
【考案の効果】以上説明したように本考案は、断面強度
がガウシャン分布を呈する照射光の裾の一部を遮光させ
て、その遮光部分に戻り光を照射させるようにした合理
的な改良によって、光源光量の低下を殆ど伴わせないで
戻り光を完全に遮光させて、光源ノイズの低減によるＳ
／Ｎ比の改善を図りながら、セル窓の緩傾斜化による小
径化あるいは光源に対するフローセルの近接設置が可能
となり、これによって装置のコストダウンまたは小型化
が達成されるに至ったのである。
がガウシャン分布を呈する照射光の裾の一部を遮光させ
て、その遮光部分に戻り光を照射させるようにした合理
的な改良によって、光源光量の低下を殆ど伴わせないで
戻り光を完全に遮光させて、光源ノイズの低減によるＳ
／Ｎ比の改善を図りながら、セル窓の緩傾斜化による小
径化あるいは光源に対するフローセルの近接設置が可能
となり、これによって装置のコストダウンまたは小型化
が達成されるに至ったのである。
【図１】微粒子測定装置の原理的な平面図である。
【図２】微粒子測定装置の原理的な側面図である。
【図３】一部がカットされた照射光と戻り光の光学説明
図である。
図である。
【図４】図３におけるＶ−Ｖ線視の光学説明図である。
【図５】従来例の微粒子測定装置の照射光と戻り光の光
学説明図である。
学説明図である。
１…フローセル、２，３…セル窓、７…照射光学系、８
…光源、９…コリメータレンズ、１０…集光レンズ、１
１…検出光学系、１４…遮光スリット、Ｑ…光軸、Ｒ…
観測領域。
…光源、９…コリメータレンズ、１０…集光レンズ、１
１…検出光学系、１４…遮光スリット、Ｑ…光軸、Ｒ…
観測領域。
Claims (1)
- 【請求項１】 平行平板のセル窓を備えたフローセル
と、このセル内の観測領域に照射光を入射させる照射光
学系と、前記照射光がセル内の試料流体中の微粒子に照
射されて生じる散乱光の検出光学系とを備えると共に、
前記照射光学系を、光源から照射された光を平行光にす
るコリメータレンズと、この平行光を前記観測領域にお
いて集光させる集光レンズとから構成し、かつ、前記フ
ローセルのセル窓を照射光学系の光軸に対して傾斜させ
て成る微粒子測定装置において、前記照射光の一部を割
円状に遮光するスリットを光源からフローセルに至る前
記照射光学系の光路内に挿入して、当該遮光スリットに
よってセル窓からの戻り光を遮光させるように構成して
あることを特徴とする微粒子測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5638792U JP2552940Y2 (ja) | 1992-07-18 | 1992-07-18 | 微粒子測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5638792U JP2552940Y2 (ja) | 1992-07-18 | 1992-07-18 | 微粒子測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0612942U JPH0612942U (ja) | 1994-02-18 |
| JP2552940Y2 true JP2552940Y2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=13025839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5638792U Expired - Fee Related JP2552940Y2 (ja) | 1992-07-18 | 1992-07-18 | 微粒子測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2552940Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011220947A (ja) * | 2010-04-14 | 2011-11-04 | Hitachi Engineering & Services Co Ltd | 微生物検査装置及び微生物検査チップ |
| CN110064446B (zh) | 2013-12-06 | 2022-02-01 | Ip专家有限公司 | 用于对液体样品内粒子的特性进行光学测量的试管组件 |
| JP7078115B2 (ja) * | 2018-07-26 | 2022-05-31 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置 |
| JP7139781B2 (ja) * | 2018-08-23 | 2022-09-21 | 富士電機株式会社 | レーザ分析計 |
-
1992
- 1992-07-18 JP JP5638792U patent/JP2552940Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0612942U (ja) | 1994-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |