JPH01263534A - 微粒子計数装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、浮遊微粒子の計数装置に係り、特に真空中で
ミクロンオーダの微粒子を計数するのに好適な計数装置
に関する。

〔従来の技術〕

レーザ光を用いた微粒子測定装置として１例えば特開昭
５８−１１５３４７号に記載されているように、被検査
体の前方に光吸収体、集光レンズ、光検出器の順に配置
し、入射光を光吸収体に吸収させ、強度の大きい前方散
乱光を集光して微小粒子の検出を行っている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術ではビーム強度が増大したときの迷光レベ
ルの増加について十分に配慮がされておらず、微細な粒
子を計数する場合にビーム強度を増加させると信号レベ
ルとともに迷光によるノイズレベルも増大してＳＮ比が
とれず、微小粒子の検出が困難となる問題があった。

本発明の目的は、迷光ノイズを大幅に減少させてさらに
微小な粒子の検出を可能にすることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、照射ビームの光路と、散乱光受光系の光路
に、偏光板をそれぞれの偏光方向が異なるように配置す
ることにより、達成される。

〔作用〕

照射系の偏光板は、特定の偏光方向（例えば水平方向）
をもつ照射ビームのみを通過させる。散乱光受光系の偏
光板は、異なる偏光方向（例えば垂直方向）に配置する
ので、照射光を通過させない。さらに容器内面での反射
による迷光は主に照射ビームと同じ偏光方向をもつので
、迷光をも通過させない。一方、微粒子からの散乱光は
。照射光とは異なる偏光成分を多く持つので、散乱光受
光系の偏光板を通過する成分が多い。このように散乱光
受光系の偏光板は、照射光や反射光は通さず１粒子から
の散乱光のみを選択的に通過させるので、迷光が有効に
除去できる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すもので、この図におい
て、真空容器１内の微粒子発生部２の下方に設けた検出
領域３にレーザビーム４を照射し、微粒子５が通過する
ときの散乱光６を受光系７で受光して電気信号に変換し
、信号処理により粒子を計数する。ここで、照射系、受
光系は真空容器１の外部に配置し、透明窓８を通して、
照射と受光を行う。ここまでの構成は従来と同様であり
、本発明の本質は次の点にある。すなわち、照射系。

受光系の光路上に偏光板９を設け、しかもこの偏光方向
を互に直交するよう配置する。例えば照射光の偏光方向
を水平に、受光系の偏光方向を垂直になるように偏光板
を配置した場合、照射光の透明窓での反射９回折による
迷光１０は水平成分のみを持つため、受光系の偏光板で
遮断される。−方、微粒子からの散乱光６は水平垂直の
同成分を持つので垂直成分は受光系の偏光板で遮光され
ず検出器７に到達する。かくして検出器では迷光１０は
検出されず、微粒子がのら散乱光６のみが検出されるの
で、ＳＮ比が向上し微小な粒子の検出が可能になる効果
がある。

なお、偏光板８の位置は透明窓による偏光への影響をさ
けるため、容器】内が望ましい。また本実施例ではラン
ダム偏光のレーザ光を偏光板により偏光したが、例えば
半導体レーザのように偏光ビームの照射されるレーザを
用いてもよい、また受光方向は本実施例では、照射光軸
の下方４５゜としであるが、方向は問わない。また、容
器は真空容器とは限らず、液体、気体の場合にも適用で
きる。もちろん、気体、液体の流れるパイプ中に適用す
ることもできる。またレーザビームは偏光性ともつ電磁
波であればよい。さらに照射系、受光系は容器外部に配
置するとは限らない、また照射透明窓でレーザビームが
すでに偏光している場合、ビームを面に対しブリュスタ
角で入射してもよい。この場合、ビームが窓表面で反射
されない。

第２図は本発明を、液体、気体中の微粒子計数に適用し
た例である。液体、気体にのって一定位　４置を通過す
る微粒子１１に水平方向の偏光レーザビーム１２を照射
する。受光系の光路上に垂直偏向方向の偏光板１３が設
けられ、照射ビームはここで遮断される。一方、微粒子
１１からの散乱光は１両方向の偏光成分をもつので、水
平偏光は偏光板１３で遮断され、垂直偏光のみが検出器
１４で検出される。この場合、強度の大きい前方散乱光
を受光できるので微小粒子の検出が可能であり。

構成も簡単である。なお、照射ビームの光路上にビーム
ストッパ１５を設けて強度の大きい中心光を遮光し、周
辺光のみを偏光板で遮光してもよい。

この場合偏光板がビームの熱の影響をうけないので、ビ
ーム強度を大きくしてさらに微小粒子の検出が可能にな
る。また照射系受光系の光軸は必らずしも一致する必要
はない。

〔発明の効果〕 本発明によれば、迷光と信号光を分離できるので、ＳＮ
比が向上して微小な粒子の検出が可能になる効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図で、真空内での微粒
子計数に適用した例を示す図、第２図は本発明の他の実
施例で、液体、気体中の微粒子計数に適用した例である
。 ｌ・・・真空容器、２・・・微粒子発生部、３・・・検
出領域、４・・・レーザビーム、５・・・微粒子、６・
・・散乱光、７・・・受光系、８・・・透明窓、９・・
・偏光板、１０・・・迷光。 １１・・・微粒子、１２・・・偏光レーザビーム、１３
・・。 偏光板、１４・・・検出器、１５・・・ビームストッパ
。 第　ｌ　り 第　２　ロ ア　受先、嵌 １０　　迷え

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、微粒子からの散乱光を検出する微粒子計数装置にお
   いて、照射光を偏光させ、受光系の光路上に偏光板を設
   けて照射光の偏光方向と直交する成分のみを通過できる
   よう配置したことを特徴とする微粒子計数装置。 ２、微粒子検出領域を容器内に配置した請求項１記載の
   微粒子計数装置。 ３、照射系、受光系のいずれかまたは両方を容器外に配
   置した請求項２記載の微粒子計数装置。 ４、容器の照射口、受光口に透明窓を設けて密封可能と
   した請求項３記載の微粒子計数装置。 ５、容器内部を真空状態にした請求項４記載の微粒子計
   数装置。