JPH0239874B2 - - Google Patents
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- JPH0239874B2 JPH0239874B2 JP59097822A JP9782284A JPH0239874B2 JP H0239874 B2 JPH0239874 B2 JP H0239874B2 JP 59097822 A JP59097822 A JP 59097822A JP 9782284 A JP9782284 A JP 9782284A JP H0239874 B2 JPH0239874 B2 JP H0239874B2
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- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
- Discharge-Lamp Control Circuits And Pulse- Feed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、レーザ発生装置に係り、特に複数の
レーザ発振器を励起するパルス放電制御装置に関
する。
レーザ発振器を励起するパルス放電制御装置に関
する。
従来、レーザ発生装置には、例えば実公昭58−
55665号公報などに記載されているような各種構
成のものがある。実公昭58−55665号公報に記載
されているレーザ装置は、交流電力を直流電力に
変換して複数のコンデンサに充電し、この充電電
力を複数のサイリスタから構成される制御回路に
よりパルス状の放電電力に変換してレーザ共振器
に平行に設けられたフラツシユランプに供給す
る。なお、パルス状の放電電力の波形は、例えば
レーザ加工を行なう場合の被加工物に応じて整形
される。そして放電電力が供給されたフラツシユ
ランプにトリガ信号が印加されるとフラツシユラ
ンプは閃光発光し、これによりレーザ共振器は光
励起されてレーザを出力する。以上のようなレー
ザ装置は１つのレーザ共振器つまり１つのレーザ
ロツドを１系統の制御回路により光励起する構成
となつている。
55665号公報などに記載されているような各種構
成のものがある。実公昭58−55665号公報に記載
されているレーザ装置は、交流電力を直流電力に
変換して複数のコンデンサに充電し、この充電電
力を複数のサイリスタから構成される制御回路に
よりパルス状の放電電力に変換してレーザ共振器
に平行に設けられたフラツシユランプに供給す
る。なお、パルス状の放電電力の波形は、例えば
レーザ加工を行なう場合の被加工物に応じて整形
される。そして放電電力が供給されたフラツシユ
ランプにトリガ信号が印加されるとフラツシユラ
ンプは閃光発光し、これによりレーザ共振器は光
励起されてレーザを出力する。以上のようなレー
ザ装置は１つのレーザ共振器つまり１つのレーザ
ロツドを１系統の制御回路により光励起する構成
となつている。
ところが、実際のレーザ加工などでは、複数の
レーザ共振器からレーザを出力させることが多
い。したがつて、複数のレーザ共振器を光励起す
る場合、直流化電源回路の構成は同一でもよい
が、制御回路は各レーザ共振器ごとに設けなくて
はならない。このため、レーザ装置の回路構成が
複雑になつてしまう。また、制御回路には大容量
の電力が供給されるので、サイリスタは耐圧が大
きく、かつ高価なものである。したがつて、制御
回路を複数設けるとコスト的に高価なものとなつ
てしまう。
レーザ共振器からレーザを出力させることが多
い。したがつて、複数のレーザ共振器を光励起す
る場合、直流化電源回路の構成は同一でもよい
が、制御回路は各レーザ共振器ごとに設けなくて
はならない。このため、レーザ装置の回路構成が
複雑になつてしまう。また、制御回路には大容量
の電力が供給されるので、サイリスタは耐圧が大
きく、かつ高価なものである。したがつて、制御
回路を複数設けるとコスト的に高価なものとなつ
てしまう。
本発明は上記事情に基づいてなされたもので、
その目的とするところは、１系統の制御回路によ
り複数のレーザ共振器を励起し得る構成の簡単な
パルス放電制御装置を提供することにある。
その目的とするところは、１系統の制御回路によ
り複数のレーザ共振器を励起し得る構成の簡単な
パルス放電制御装置を提供することにある。
本発明は、放電開始および放電終了が制御され
たパルス状の放電電流を出力するパルス放電制御
部の出力側に複数の放電灯を接続し、さらにこれ
ら放電灯と前記パルス放電制御部の出力側との間
にそれぞれスイツチング素子を接続し、これらス
イツチング素子を選択導通回路により選択的に導
通されて前記放電灯に放電電流を供給し、これに
より前記放電灯を閃光発生させるパルス放電制御
装置である。
たパルス状の放電電流を出力するパルス放電制御
部の出力側に複数の放電灯を接続し、さらにこれ
ら放電灯と前記パルス放電制御部の出力側との間
にそれぞれスイツチング素子を接続し、これらス
イツチング素子を選択導通回路により選択的に導
通されて前記放電灯に放電電流を供給し、これに
より前記放電灯を閃光発生させるパルス放電制御
装置である。
以下、本発明に係るパルス放電制御装置の一実
施例をレーザ発生装置に適用した場合について第
１図および第２図を参照して説明する。第１図は
パルス放電制御装置の構成図である。同図におい
て１はダイオードから構成された整流回路であつ
て、この整流回路１の出力側には平滑コンデンサ
２が接続され、さらに平滑コンデンサ２にはパル
ス放電制御部１０が接続されている。このパルス
放電制御部１０は、放電開始および配電終了を制
御してパルス状の放電電流を出力するものであ
る。具体的な構成は次のようになつている。平滑
コンデンサ２には、第１のサイリスタＳ１と充放
電回路を構成する充電用コイルＬ１と充放電用コ
ンデンサＣとの直列回路が接続されている。な
お、第１のサイリスタＳ１は、アノード側が平滑
コンデンサ２に接続されている。そして、充電用
コイルＬ１と充放電用コンデンサＣとの接続端に
は第２のサイリスタＳ２のアノード側が接続され
ており、さらに第３のサイリスタＳ３がアノード
側を第１のサイリスタＳ１のアノード側に、カソ
ード側を第２のサイリスタＳ２のカソード側にし
て接続されている。さらに、パルス放電制御部１
０には次のような回路が設けられている。すなわ
ち、クロツクパルス発生回路１１と、このクロツ
クパルス発生回路１１から出力されたクロツクパ
ルス信号を受けて第１のサイリスタＳ１を導通制
御するゲートパルス信号を第１のサイリスタＳ１
のゲートに出力する第１のゲートパルス発生回路
１２と、クロツクパルス発生回路１１から出力さ
れたクロツクパルス信号を所定時間遅延して第２
のゲートパルス発生回路１３および第２の遅延回
路１４に送出す第１の遅延回路１５と、この第１
の遅延回路１５から送出されたクロツクパルス信
号を受けて第３のサイリスタＳ３のゲートにゲー
トパルス信号を送出する第２のゲートパルス発生
回路１３と、第１の遅延回路１５から送出された
クロツクパルス信号をさらに所定時間遅延して送
出する第２の遅延回路１４と、この第２の遅延回
路１４から送出されたクロツクパルス信号を受け
て第２のサイリスタＳ２のゲートにゲートパルス
信号を送出する第３のゲートパルス発生回路１６
とから構成されている。
施例をレーザ発生装置に適用した場合について第
１図および第２図を参照して説明する。第１図は
パルス放電制御装置の構成図である。同図におい
て１はダイオードから構成された整流回路であつ
て、この整流回路１の出力側には平滑コンデンサ
２が接続され、さらに平滑コンデンサ２にはパル
ス放電制御部１０が接続されている。このパルス
放電制御部１０は、放電開始および配電終了を制
御してパルス状の放電電流を出力するものであ
る。具体的な構成は次のようになつている。平滑
コンデンサ２には、第１のサイリスタＳ１と充放
電回路を構成する充電用コイルＬ１と充放電用コ
ンデンサＣとの直列回路が接続されている。な
お、第１のサイリスタＳ１は、アノード側が平滑
コンデンサ２に接続されている。そして、充電用
コイルＬ１と充放電用コンデンサＣとの接続端に
は第２のサイリスタＳ２のアノード側が接続され
ており、さらに第３のサイリスタＳ３がアノード
側を第１のサイリスタＳ１のアノード側に、カソ
ード側を第２のサイリスタＳ２のカソード側にし
て接続されている。さらに、パルス放電制御部１
０には次のような回路が設けられている。すなわ
ち、クロツクパルス発生回路１１と、このクロツ
クパルス発生回路１１から出力されたクロツクパ
ルス信号を受けて第１のサイリスタＳ１を導通制
御するゲートパルス信号を第１のサイリスタＳ１
のゲートに出力する第１のゲートパルス発生回路
１２と、クロツクパルス発生回路１１から出力さ
れたクロツクパルス信号を所定時間遅延して第２
のゲートパルス発生回路１３および第２の遅延回
路１４に送出す第１の遅延回路１５と、この第１
の遅延回路１５から送出されたクロツクパルス信
号を受けて第３のサイリスタＳ３のゲートにゲー
トパルス信号を送出する第２のゲートパルス発生
回路１３と、第１の遅延回路１５から送出された
クロツクパルス信号をさらに所定時間遅延して送
出する第２の遅延回路１４と、この第２の遅延回
路１４から送出されたクロツクパルス信号を受け
て第２のサイリスタＳ２のゲートにゲートパルス
信号を送出する第３のゲートパルス発生回路１６
とから構成されている。
そして、パルス放電制御部１０の出力端つまり
第２のサイリスタのカソードには、放電波形整形
用コイルＬ２を介して２個のフラツシユランプ２
０，２１が並列接続されている。これらフラツシ
ユランプ２０，２１はそれぞれレーザ共振器２
２，２３を光励起させるもので、これらフラツシ
ユランプ２０，２１は予備放電用の放電安定化抵
抗２４，２５を介して直流電源回路２６に共通接
続されている。例えば、直流電源回路２６の供給
電圧は、フラツシユランプ２０，２１がキセノン
ガス封入でその放電部の長さが70mm、封入圧が
450Torrであり、また放電電流が100mmＡであれ
ば約80Vである。なお、この電圧はフラツシユラ
ンプ２０，２１の放電部の長さ、封入圧によつて
異なる。また、フラツシユランプ２０，２１のト
リガ電極２０ａ，２１ａには、それぞれトリガ信
号発生回路２７，２８からトリガ信号が印加され
るようになつている。なお、前記レーザ共振器２
２，２３は、それぞれ、レーザロツド２２ａ，２
３ａ、反射鏡２２ｂ，２２ｃ，２３ｂ，２３ｃか
ら構成されている。
第２のサイリスタのカソードには、放電波形整形
用コイルＬ２を介して２個のフラツシユランプ２
０，２１が並列接続されている。これらフラツシ
ユランプ２０，２１はそれぞれレーザ共振器２
２，２３を光励起させるもので、これらフラツシ
ユランプ２０，２１は予備放電用の放電安定化抵
抗２４，２５を介して直流電源回路２６に共通接
続されている。例えば、直流電源回路２６の供給
電圧は、フラツシユランプ２０，２１がキセノン
ガス封入でその放電部の長さが70mm、封入圧が
450Torrであり、また放電電流が100mmＡであれ
ば約80Vである。なお、この電圧はフラツシユラ
ンプ２０，２１の放電部の長さ、封入圧によつて
異なる。また、フラツシユランプ２０，２１のト
リガ電極２０ａ，２１ａには、それぞれトリガ信
号発生回路２７，２８からトリガ信号が印加され
るようになつている。なお、前記レーザ共振器２
２，２３は、それぞれ、レーザロツド２２ａ，２
３ａ、反射鏡２２ｂ，２２ｃ，２３ｂ，２３ｃか
ら構成されている。
さて、各フラツシユランプ２０，２１と放電波
形整形用コイルＬ２の間には、それぞれスイツチ
ング素子としての第４のサイリスタＳ４および第
５のサイリスタＳ５が接続されている。そして、
これら第４および第５のサイリスタＳ４，Ｓ５の
導通は、選択導通回路３０により選択的に行なわ
れる。この選択導通回路３０は、第４および第５
のサイリスタＳ４，Ｓ５の各ゲートに接続された
第４および第５のゲートパルス発生回路３１，３
２と、前記第１の遅延回路１５から送出されたク
ロツクパルス信号を放電出力開始信号として第４
または第５のゲートパルス発生回路３１，３２の
いずれかに切換えて送る切換スイツチ３３とから
構成されている。
形整形用コイルＬ２の間には、それぞれスイツチ
ング素子としての第４のサイリスタＳ４および第
５のサイリスタＳ５が接続されている。そして、
これら第４および第５のサイリスタＳ４，Ｓ５の
導通は、選択導通回路３０により選択的に行なわ
れる。この選択導通回路３０は、第４および第５
のサイリスタＳ４，Ｓ５の各ゲートに接続された
第４および第５のゲートパルス発生回路３１，３
２と、前記第１の遅延回路１５から送出されたク
ロツクパルス信号を放電出力開始信号として第４
または第５のゲートパルス発生回路３１，３２の
いずれかに切換えて送る切換スイツチ３３とから
構成されている。
次に上記の如く構成された装置の動作について
説明する。そこで、各フラツシユランプ２０，２
１には、直流電源回路２６から各放電安定化抵抗
２４，２５を介して直流電圧が印加されるととも
に、各フラツシユランプ２０，２１のトリガ電極
２０ａ，２１ａに各トリガ信号発生回路２７，２
８からトリガ信号が加えられている状態にある。
ここで、切換スイツチ３３が切換端３３ａ側に接
続されているとする。
説明する。そこで、各フラツシユランプ２０，２
１には、直流電源回路２６から各放電安定化抵抗
２４，２５を介して直流電圧が印加されるととも
に、各フラツシユランプ２０，２１のトリガ電極
２０ａ，２１ａに各トリガ信号発生回路２７，２
８からトリガ信号が加えられている状態にある。
ここで、切換スイツチ３３が切換端３３ａ側に接
続されているとする。
交流電力ｖは整流回路１により整流され直流電
力となつて平滑コンデンサ２に充電される。ここ
で、クロツクパルス発生回路１１から第２図に示
す時刻ｔ１においてクロツクパルス信号CKが出
力されると、第１のゲートパルス発生回路１２か
らゲートパルス信号が送出されて第１のサイリス
タＳ１は導通状態となる。これにより、平滑コン
デンサ２に充電された電力が第１のサイリスタＳ
１を介して充電用コイルＬ１および充放電用コン
デンサＣに供給される。これらコイルＬ１および
コンデンサＣ間では共振充電が行なわれ、コンデ
ンサＣには、第２図に示すように平滑コンデンサ
２の充電電圧Ｖ１のおよそ２倍の電圧２Ｖ１に達
するまで充電が行なわれる。このコンデンサＣの
充電電圧Vcが２Ｖ１に達すると、この電圧Vcは
第１のサイリスタＳ１のしや断電圧となるので第
１のサイリスタＳ１はしや断状態となる。そうし
て、時刻ｔ１に送出されたクロツクパルスCKが
第１の遅延回路１５により遅延されて第２のゲー
トパルス発生回路１３に送られ、この第２のゲー
トパルス発生回路１３が時刻ｔ２においてゲート
パルス信号を送出すると、この時刻ｔ２に第３の
サイリスタＳ３は導通状態となる。これにより、
平滑コンデンサ２から第３のサイリスタＳ３およ
び放電波形整形用コイルＬ２を通つて第２図に示
すような放電電流ISが第４および第５のサイリス
タＳ４，Ｓ５に供給される。
力となつて平滑コンデンサ２に充電される。ここ
で、クロツクパルス発生回路１１から第２図に示
す時刻ｔ１においてクロツクパルス信号CKが出
力されると、第１のゲートパルス発生回路１２か
らゲートパルス信号が送出されて第１のサイリス
タＳ１は導通状態となる。これにより、平滑コン
デンサ２に充電された電力が第１のサイリスタＳ
１を介して充電用コイルＬ１および充放電用コン
デンサＣに供給される。これらコイルＬ１および
コンデンサＣ間では共振充電が行なわれ、コンデ
ンサＣには、第２図に示すように平滑コンデンサ
２の充電電圧Ｖ１のおよそ２倍の電圧２Ｖ１に達
するまで充電が行なわれる。このコンデンサＣの
充電電圧Vcが２Ｖ１に達すると、この電圧Vcは
第１のサイリスタＳ１のしや断電圧となるので第
１のサイリスタＳ１はしや断状態となる。そうし
て、時刻ｔ１に送出されたクロツクパルスCKが
第１の遅延回路１５により遅延されて第２のゲー
トパルス発生回路１３に送られ、この第２のゲー
トパルス発生回路１３が時刻ｔ２においてゲート
パルス信号を送出すると、この時刻ｔ２に第３の
サイリスタＳ３は導通状態となる。これにより、
平滑コンデンサ２から第３のサイリスタＳ３およ
び放電波形整形用コイルＬ２を通つて第２図に示
すような放電電流ISが第４および第５のサイリス
タＳ４，Ｓ５に供給される。
これと同時に、第１の遅延回路１５から送出さ
れたクロツクパルス信号CKは切換スイツチ３３
の切換端３３ａを通つて第４のゲートパルス信号
発生回路３２に送られる。第４のゲートパルス信
号発生回路３２はクロツクパルス信号を受けると
ゲートパルス信号を第５のサイリスタＳ５のゲー
トに送出する。これにより、第５のサイリスタＳ
５は時刻ｔ２に導通状態となる。この結果、パル
ス放電制御部１０から出力された放電電流ISは第
５のサイリスタＳ５を通つてフラツシユランプ２
１に供給される。これによつて、フラツシユラン
プ２１は、トリガ信号の印加時に閃光発光してレ
ーザロツド２３ａを光励起する。このように光励
起されると反射鏡２３ｂ，２３ｃの間でレーザ発
振が起こつてレーザ２３ｄが出力される。
れたクロツクパルス信号CKは切換スイツチ３３
の切換端３３ａを通つて第４のゲートパルス信号
発生回路３２に送られる。第４のゲートパルス信
号発生回路３２はクロツクパルス信号を受けると
ゲートパルス信号を第５のサイリスタＳ５のゲー
トに送出する。これにより、第５のサイリスタＳ
５は時刻ｔ２に導通状態となる。この結果、パル
ス放電制御部１０から出力された放電電流ISは第
５のサイリスタＳ５を通つてフラツシユランプ２
１に供給される。これによつて、フラツシユラン
プ２１は、トリガ信号の印加時に閃光発光してレ
ーザロツド２３ａを光励起する。このように光励
起されると反射鏡２３ｂ，２３ｃの間でレーザ発
振が起こつてレーザ２３ｄが出力される。
さらに、第１の遅延回路１５から送出されたク
ロツクパルス信号が、さらに第２の遅延回路１４
により遅延されて第３のゲートパルス信号発生回
路１６に送られ、この第３のゲートパルス信号発
生回路１６が時刻ｔ３においてゲートパルス信号
を送出すると、この時刻ｔ３に第２のサイリスタ
Ｓ２が導通状態となる。この第２のサイリスタＳ
２が導通状態になると、充放電コンデンサＣから
第２のサイリスタＳ２、放電波形整形用コイルＬ
２および第５のサイリスタＳ５を通してフラツシ
ユランプ２１に放電電流ISが流れる。このとき、
充放電コンデンサＣの充電電圧Vcが第３のサイ
リスタＳ３のカソード側に加わるので、第３のサ
イリスタＳ３は逆バイアス電圧が印加されるので
しや断状態となる。そうして、充放電用コンデン
サＣからの放電電流がサイリスタの保持電流以下
に減少すると第２および第５のサイリスタＳ２，
Ｓ５は共にしや断状態となる。
ロツクパルス信号が、さらに第２の遅延回路１４
により遅延されて第３のゲートパルス信号発生回
路１６に送られ、この第３のゲートパルス信号発
生回路１６が時刻ｔ３においてゲートパルス信号
を送出すると、この時刻ｔ３に第２のサイリスタ
Ｓ２が導通状態となる。この第２のサイリスタＳ
２が導通状態になると、充放電コンデンサＣから
第２のサイリスタＳ２、放電波形整形用コイルＬ
２および第５のサイリスタＳ５を通してフラツシ
ユランプ２１に放電電流ISが流れる。このとき、
充放電コンデンサＣの充電電圧Vcが第３のサイ
リスタＳ３のカソード側に加わるので、第３のサ
イリスタＳ３は逆バイアス電圧が印加されるので
しや断状態となる。そうして、充放電用コンデン
サＣからの放電電流がサイリスタの保持電流以下
に減少すると第２および第５のサイリスタＳ２，
Ｓ５は共にしや断状態となる。
一方、切換スイツチ３３を例えば時刻t0におい
て、切換端３３ｂに接続した場合は、上記した動
作と同様に第２および第３のサイリスタＳ２，Ｓ
３が導通状態にある期間つまり時刻ｔ５〜ｔ６の
間第４のサイリスタＳ４が導通状態となつて、フ
ラツシユランプ２０に放電電流IS′が供給される。
これにより、レーザ共振器２２からレーザ２２ｄ
が出力される。
て、切換端３３ｂに接続した場合は、上記した動
作と同様に第２および第３のサイリスタＳ２，Ｓ
３が導通状態にある期間つまり時刻ｔ５〜ｔ６の
間第４のサイリスタＳ４が導通状態となつて、フ
ラツシユランプ２０に放電電流IS′が供給される。
これにより、レーザ共振器２２からレーザ２２ｄ
が出力される。
このように本発明の装置においては、パルス放
電制御部１０の出力端と各フラツシユランプ２
０，２１との間にそれぞれ第４および第５のサイ
リスタＳ４，Ｓ５を接続し、これら第４および第
５のサイリスタＳ４，Ｓ５の導通を選択導通回路
３０により選択的に行なつて各フラツシユランプ
２０，２１を閃光発生させるようにしたので、１
つのパルス放電制御部１０を用いて各フラツシユ
ランプ２０，２１の閃光発生を制御できる。その
うえ、選択導通回路３０は、ゲートパルス信号発
生回路３１，３２および切換スイツチ３３から構
成される簡単な回路により実現できる。このよう
な構成の装置であれば、各レーザ共振器２２，２
３から出力されるレーザが照射される被加工物の
状態等に応じて選択的にいずれかのレーザ共振器
２２，２３からレーザを出力できる。
電制御部１０の出力端と各フラツシユランプ２
０，２１との間にそれぞれ第４および第５のサイ
リスタＳ４，Ｓ５を接続し、これら第４および第
５のサイリスタＳ４，Ｓ５の導通を選択導通回路
３０により選択的に行なつて各フラツシユランプ
２０，２１を閃光発生させるようにしたので、１
つのパルス放電制御部１０を用いて各フラツシユ
ランプ２０，２１の閃光発生を制御できる。その
うえ、選択導通回路３０は、ゲートパルス信号発
生回路３１，３２および切換スイツチ３３から構
成される簡単な回路により実現できる。このよう
な構成の装置であれば、各レーザ共振器２２，２
３から出力されるレーザが照射される被加工物の
状態等に応じて選択的にいずれかのレーザ共振器
２２，２３からレーザを出力できる。
また、遅延回路１４，１５の遅延時間を可変す
ることにより各フラツシユランプ２０，２１に供
給する放電電流ISのパルス幅を可変できる。これ
により、レーザ加工にとつて重要なパラメータと
なるレーザ光のパルス幅を制御でき、被加工物の
加工目的に応じて長いパルス幅のレーザ光から短
いパルス幅のレーザ光を出力できる。
ることにより各フラツシユランプ２０，２１に供
給する放電電流ISのパルス幅を可変できる。これ
により、レーザ加工にとつて重要なパラメータと
なるレーザ光のパルス幅を制御でき、被加工物の
加工目的に応じて長いパルス幅のレーザ光から短
いパルス幅のレーザ光を出力できる。
さらに、互いに離れた位置に設けられたレーザ
ロツド２２ａ，２３ａに対して選択的に光励起す
ることができる。
ロツド２２ａ，２３ａに対して選択的に光励起す
ることができる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるもの
ではない。上記一実施例では、フラツシユランプ
が２個の場合について説明したが、所望の個数だ
け設けて選択的に閃光発光させてもよい。
ではない。上記一実施例では、フラツシユランプ
が２個の場合について説明したが、所望の個数だ
け設けて選択的に閃光発光させてもよい。
また、放電電流ISの放電開始および放電終了の
制御を第１ないし第３のサイリスタＳ１〜Ｓ３に
より行なつているが、別の１個のスイツチング素
子例えばゲートターンオフサイリスタGTO、ジ
ヤイアントトランジスタGTrを用いてもよい。
以上のように構成しても上記一実施例と同様の効
果を奏することができる。
制御を第１ないし第３のサイリスタＳ１〜Ｓ３に
より行なつているが、別の１個のスイツチング素
子例えばゲートターンオフサイリスタGTO、ジ
ヤイアントトランジスタGTrを用いてもよい。
以上のように構成しても上記一実施例と同様の効
果を奏することができる。
本発明によれば、パルス放電制御部の出力端と
複数の放電灯との間にそれぞれスイツチング素子
を接続し、これらスイツチング素子を選択導通回
路により選択的に導通させて放電灯を発光させる
ので、１系統の制御回路により複数のレーザ共振
器を励起し得、さらにレーザ光のパルス幅を制御
できる構成の簡単なパルス放電制御装置を提供で
きる。
複数の放電灯との間にそれぞれスイツチング素子
を接続し、これらスイツチング素子を選択導通回
路により選択的に導通させて放電灯を発光させる
ので、１系統の制御回路により複数のレーザ共振
器を励起し得、さらにレーザ光のパルス幅を制御
できる構成の簡単なパルス放電制御装置を提供で
きる。
第１図は本発明に係るパルス放電制御装置の一
実施例を示す構成図、第２図は第１図に示す装置
の動作を説明するための図である。 １……整流回路、２……平滑コンデンサ、１０
……パルス放電制御部、１１……クロツクパルス
発生回路、１２，１３，１６……ゲートパルス発
生回路、１４，１５……遅延回路、Ｓ１，Ｓ２，
Ｓ３……サイリスタ、Ｌ１……充電用コイル、Ｃ
……充放電用コンデンサ、２０，２１……フラツ
シユランプ、２２，２３……レーザ共振器、Ｓ
４，Ｓ５……サイリスタ、３０……選択導通回
路、３１，３２……ゲートパルス発生回路、３３
……切換スイツチ。
実施例を示す構成図、第２図は第１図に示す装置
の動作を説明するための図である。 １……整流回路、２……平滑コンデンサ、１０
……パルス放電制御部、１１……クロツクパルス
発生回路、１２，１３，１６……ゲートパルス発
生回路、１４，１５……遅延回路、Ｓ１，Ｓ２，
Ｓ３……サイリスタ、Ｌ１……充電用コイル、Ｃ
……充放電用コンデンサ、２０，２１……フラツ
シユランプ、２２，２３……レーザ共振器、Ｓ
４，Ｓ５……サイリスタ、３０……選択導通回
路、３１，３２……ゲートパルス発生回路、３３
……切換スイツチ。
Claims (1)
- １ 直流電源から供給される電力を充放電する充
放電回路を有し、この充放電回路の放電開始及び
放電終了を制御してパルス状の放電電流を出力す
るパルス放電制御部と、このパルス放電制御部の
出力側に並列接続された複数の放電灯と、これら
放電灯に対して共通接続されて前記各放電灯に予
備放電用の電流を供給するための直流電源回路
と、前記パルス放電制御部の出力側と前記複数の
放電灯との間にそれぞれ接続された複数のスイツ
チング素子と、前記パルス放電制御部から出力さ
れる放電出力開始信号を切換えて送出する切換ス
イツチ及び前記複数のスイツチング素子ごとに設
けられ前記切換スイツチの切換えにより供給され
た前記放電出力開始信号により前記スイツチング
素子を導通させるゲート信号を送出する複数のゲ
ート信号発生回路から構成される選択導通回路と
を具備したことを特徴とするパルス放電制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9782284A JPS60241282A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | パルス放電制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9782284A JPS60241282A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | パルス放電制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60241282A JPS60241282A (ja) | 1985-11-30 |
| JPH0239874B2 true JPH0239874B2 (ja) | 1990-09-07 |
Family
ID=14202424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9782284A Granted JPS60241282A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | パルス放電制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60241282A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51110991A (ja) * | 1975-03-25 | 1976-09-30 | Tokyo Shibaura Electric Co | Reezasochi |
| JPS557345U (ja) * | 1978-06-30 | 1980-01-18 | ||
| JPS5653876A (en) * | 1979-10-08 | 1981-05-13 | Kawasaki Steel Corp | Flying start method of spot scarfer |
| JPS5716514A (en) * | 1980-07-04 | 1982-01-28 | Tokyo Shibaura Electric Co | Gas insulated bus device and method of assembling same |
-
1984
- 1984-05-16 JP JP9782284A patent/JPS60241282A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51110991A (ja) * | 1975-03-25 | 1976-09-30 | Tokyo Shibaura Electric Co | Reezasochi |
| JPS557345U (ja) * | 1978-06-30 | 1980-01-18 | ||
| JPS5653876A (en) * | 1979-10-08 | 1981-05-13 | Kawasaki Steel Corp | Flying start method of spot scarfer |
| JPS5716514A (en) * | 1980-07-04 | 1982-01-28 | Tokyo Shibaura Electric Co | Gas insulated bus device and method of assembling same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60241282A (ja) | 1985-11-30 |
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