JPH0233837A - 電子ビーム発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、カラーテレビジョン、計算機等の端末デイス
プレィ等に用いる平板型表示装置の電子ビーム発生装置
に間するものである。

従来の技術 第３図、第４図は従来の平板型表示装置の一例の断面図
である。５１はフェースプレートで内面に蛍光Ｎ５２、
メタルバック５３を有する。５４は背面板で、フェース
プレート５１に対して所定の距離を離すと共に略平行に
設けられている。

５５は外囲器をなす側壁で、フェースプレート５１と背
面板５４とで真空容器を形成している。

５６は線状カソード電極で、所定の電圧条件で電子ビー
ムが発生する。５７は電極群で、電子ビームの取り出し
・偏向等を行う。５８は支持手段であり、第５図に示す
ように前記線状カソード電極５６に当接させることによ
り前記線状カソード電極５６の振動を防ごうとするもの
である。５９は例えはＢａゲッターであり、前記側壁５
５に設けられており、上述のような真空容器を形成する
工程の最終工程でゲッターフラッシュさせて容器内の真
空度をさらに上げようとするものである。

発明が解決しようとする課題 この様な従来構成では、例えば、第４図のように電子ビ
ーム照射や放電発生等により「ガス」が発生する場合、
ゲッターは容器の側壁にのみしかないので発生したガス
は十分には吸着されず、その結果線状カソード電極は発
生ガスにより劣化してしまい画像表示の上で画質が安定
しないという課題が発生した。

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり
、簡易な構成で、発生ガスによる線状カソード電極の劣
化を防ぐことの出来る電子ビーム発生装置を提供するこ
とを目的とする。

課題を解決するための手段 本発明は、電子ビーム取り出し電極と、線状カソード電
極と、前記線状カソード電極を支持するため前記線状カ
ソード電極に当接する部分を有する支持手段を備え、少
なくとも前記支持手段の前記線状カソード電極当接部表
層にバルクゲッター層を設けたことを特徴とする電子ビ
ーム発生装置である。

作用 本発明は、発生したガスを容器側壁のゲッターで吸着し
きれない場合でも線状カソード電極の極近傍にゲッター
が配設されているため、吸収しきれなかった発生ガスは
このゲッターに吸着され、従って線状カソード電極には
発生ガスによる劣化は生じない。またバルクゲッター活
性化に際しては、その熱源として線状カソード電極を用
いるため、簡易な構成でバルクゲッターの活性化をおこ
なえる。

実施例 以下に、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する
。

第１図、第２図は本発明の電子ビーム発生装置の一実施
例における要部斜視図および同断面図である・　ｌはフ
ェースプレートで内面に蛍光Ｎ２、メタルバックＮ３を
有する。４は背面板で、フェースプレート１に対して所
定の距離を離すと共に略平行に設けられている。５は外
囲器をなす側壁で、フェースプレート１と背面板４とで
真空容器を形成している。６は線状カソード電極で、所
定の電圧条件で電子ビームが発生するものである。

７は電極群で、電子ビームの取り出し・偏向などを行う
。８は支持手段であり、前記線状カソード電極６に当接
させることにより前記線状カソード電極６の振動を防ご
うとするものである。前記支持手段８の、前記線状カソ
ード電極６との当接部表層にはバルクゲッター層９が設
けられている。

このバルクゲッター層９は、活性化温度にまで加熱する
ことによりガス吸着作用（ゲッター作用）を有するよう
になるものであり、その活性化温度としては前記線状カ
ソード電極６の活性化温度より低めに、且つ本電子ビー
ム発生装置の製造工程熱プロセスにより空気中で活性化
されないように選んである。バルクゲッターとしては、
例えば、セス−ゲッタ（ｓａｅｓ　　ｇｅｔｔｅｒｓ）
社５Ｔｌｏｔ　（Ｚｒ−ＡＩ）などが挙げられる。

また１０は例えはＢａゲッターてあり前記側壁５に設け
られている。このＢａゲッター１０は所定の電流を流す
（ゲッターフラッシュ）ことによリゲッター効果を出す
。

以上のような構成において、また前記線状カソード電極
６は例えばタングステン線に酸化物電子放射材料を被着
したもので、ある温度にまで加熱する「活性化」を行う
ことにより電子を放出するようになる。ところが前記バ
ルクゲッター層９と前記線状カソード電極６とは当接し
！でいるので、前記線状カソード電極６の「活性化」に
おいて前記バルクゲッター層９も同時に加熱され、従っ
て前記バルクゲッター層９は活性化され、ゲッター作用
を有するようになる。以上のような過程を経ることによ
り前記線状カソード電極６の極近傍にゲッター層が形成
されるため、電子ビーム照射時等にガスが発生し容器側
壁のゲッターで吸着しきれない場合でも発生ガスはこの
ゲッターに吸着され、その結果前記線状カソード電極６
には発生カスによる劣化は生じなくなる。

なお、上記実施例ではバルクゲッター層９の活性化を、
線状カソード電極６の活性化と同時におこなう場合を示
したが、もちろん同時におこなう必然性は全くなく、線
状カソード電極６はバルクゲッター層９活性化のための
熱源として用いれはよい。

発明の効果 本発明によれば、線状カソード電極の極近傍にゲッター
層を設けることができ、ガスが発生した場合でも吸着を
十分に行うことが出来、線状カソード電極が発生ガスで
劣化することはなくなる。

その結果線状カソード電極の性能は安定し、高品質な画
像の表示を安定して行えるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における電子ビーム発生装置
の要部斜視図、第２図は同実施例の断面図、第３図およ
び第４図は従来の電子ビーム発生装置の断面図、第５図
は同要部斜視図である。 ６・・・線状カソード電極、７・・・電極群、８・・・
支持手段、９・・・バルクゲッター層 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名第１図 第３図 第４図 第５図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子ビーム取り出し電極と、線状カソード電極と
   、前記線状カソード電極を支持するため前記線状カソー
   ド電極に当接する部分を有する支持手段を備え、少なく
   とも前記支持手段の前記線状カソード電極当接部表層に
   バルクゲッター層を設けたことを特徴とする電子ビーム
   発生装置。
2. （２）バルクゲッター層の活性化温度は前記線状カソー
   ド電極の活性化温度より低めで、且つ前記バルクゲッタ
   ー層自身がガス雰囲気中で経験する熱プロセスの最高温
   度より高めであることを特徴とする請求項１記載の電子
   ビーム発生装置。
3. （３）活性化温度が、電子源として線状カソードを用い
   た電子ビーム発生装置の前記線状カソード電極の活性化
   温度より低めであるバルクゲッター層を前記線状カソー
   ド電極と当接するように設け、前記線状カソード電極に
   より前記バルクゲッター層を活性化することを特徴とす
   るバルクゲッターの活性化方法。