JPH08171871A - 真空外囲器および画像表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ゲッタ剤コンテナ固定治具やゲッタ剤コンテ
ナのない、製造が簡単で、真空外囲器内の圧力均一性に
優れた真空外囲器および画像表示装置を提供する。 【構成】 対向して設けられる基板１およびフェースプ
レート２とこれらの間に設けられる外枠３とによって構
成された外囲器と、外囲器内に発生する残留ガスを吸着
して排気効果を得るゲッタ７とを有する真空外囲器にお
いて、基板１にゲッタ７が固定されるゲッタ溝部６を形
成する。真空外囲器内には、耐大気圧構造とするための
複数の細長い平板状の大気圧支持部材５が、基板１とフ
ェースプレート２との間に、最長辺部が接するように設
けられており、ゲッタ溝部６の形成は、基板１の複数の
大気圧支持部材が設けられた領域の周辺部に、周辺部に
沿って、溝の長さ方向と前記複数の大気圧支持部材のう
ちの所定の大気圧支持部材の長手方向とのなす角度が略
直角となるよう行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、テレビ、コンピュータ
用表示装置等の画像表示装置およびこれに具備される真
空外囲器に関する。

【０００２】

【従来の技術】自発光型平板状画像表示装置にはプラズ
マディスプレイ、ＥＬ表示装置、電子線を用いたものが
あり、いずれのものにおいても大画面化、高精細化の要
求が高まっている。これらの装置のうち、電子線を用い
るものとしては、例えば特開平2-299136号公報に開示さ
れている薄型の画像表示装置が知られている。この公報
に開示されている装置は、フェースプレート、基板及び
外枠からなる真空外囲器内に電子ビームを発生する電子
源として表面伝導型電子放出素子を配した構成となって
おり、該表面伝導型電子放出素子から放出される電子ビ
ームを加速してフェースプレート上に形成されている蛍
光体に照射し、発光させて画像表示するものである。以
下、この薄型の画像表示装置の構成について詳しく説明
する。

【０００３】図７は、上記公報に開示される表面伝導型
電子放出素子を用いた平板状画像表示装置の部分断面図
である。

【０００４】図７において、８０１はソーダガラス等の
絶縁材で構成された基板、８０２は表面伝導型電子放出
素子、８０３は感光ガラスでできた大気圧支持部材、８
０４はアルミ薄膜のメタルバック８０６で覆われた蛍光
体８０５をパネル内側に有するソーダガラスからなるフ
ェースプレート、８０７はフリットガラス、８０８は外
枠である。

【０００５】基板８０１とフェイスプレート８０４は大
気圧支持部材８０３によって所定の間隔に支持されてお
り、これらと外枠８０８とによって真空外囲器が形成さ
れている。この真空外囲器は、該真空外囲器の所定部に
取り付けられた排気管（不図示）を通して外部の真空ポ
ンプにより真空排気され、所定の真空圧のものとなって
いる。なお、基板８０１とフェイスプレート８０４は大
気圧支持部材８０３によって支持されており、これによ
り、大面積に渡って多数素子を配列形成された場合にお
ける大気圧によるフェイスプレート８０４等の歪みが緩
和される。

【０００６】表面伝導型電子放出素子８０２は外部駆動
回路（不図示）に接続され、メタルバック８０６は高圧
ケーブルを介して高圧電源に接続されている。

【０００７】図８は、図７に示した表面伝導型電子放出
素子８０２の概略構成を示す部分拡大図である。

【０００８】図８において、９０２，９０３は一定間隔
（２ミクロン程度）を隔てて設置された素子電極、９０
４は有機Ｐｄ（ＣＣＰ４２３０奥野製薬株式会社製）を
塗布して形成した薄膜、９０５はフォーミングと呼ぶ通
電処理によって薄膜９０４上に形成された電子放出部で
ある。

【０００９】ここで、フォーミングとは素子電極９０
２，９０３間に電圧を印加して局所的に薄膜９０４を破
壊、変形もしくは変質せしめて、該薄膜９０４に電気的
に高抵抗状態となる部分を形成することをいい、この形
成された電気的に高抵抗状態となる部分が電子放出部９
０５である。なお、電子放出部９０５としては、薄膜９
０４の一部に発生した亀裂を用いることもある。この場
合、亀裂付近から電子放出が行なわれる。

【００１０】上述の薄膜の他、表面伝導型電子放出素子
を形成することができる薄膜としては、ＳｎＯ₂薄膜、
Ａｕ薄膜によるもの（G.Ditter: "Thin Solid Films",
9, 317(1972)）、Ｉｎ₂Ｏ₃／ＳｎＯ₂薄膜によるもの
（M.Hartwell and C.G.Fonstad:"IEEE Trans. ED Con
f.", 519(1975)）、カーボン薄膜によるもの（荒木久
他：真空、第２６巻、第１号、22(1983)）等が報告され
ている。

【００１１】上述のように構成される画像表示装置で
は、真空外囲器形成後（封着後）に真空外囲器内に残留
ガスが発生するため、以下のようなゲッタの処理が施さ
れる。

【００１２】図９は、図７示した従来の画像表示装置に
おけるゲッタによる高真空維持を説明するための図で、
基板８０１上に設けられたゲッタ剤コンテナ固定治具１
０２が遮蔽板となるように、ゲッタ剤コンテナ１０３が
ゲッタ剤コンテナ固定治具１０２の側面に取り付けられ
たものが示されている。

【００１３】図９に示す画像表示装置では、フラッシュ
によりゲッタを飛散させ、該飛散ゲッタを真空外囲器内
の外枠壁面、ゲッタ剤コンテナ固定治具１０２等に被着
させて、その被着したゲッタにより真空外囲器内に発生
する残留ガスが捕獲される。この被着ゲッタによる残留
ガスの捕獲により真空外囲器形成後（封着後）に真空外
囲器内に発生する残留ガスの除去が行なわれて、残留ガ
スによる真空外囲器内の真空度低下を防いでいる。この
ようなゲッタの排気効果により、真空外囲器内がおよそ
１×１０^-6torr程度の真空度に維持される。

【００１４】上述のようにして真空外囲器内がおよそ１
×１０^-6torr程度の真空度に維持された画像表示装置で
は、画像表示が以下のようにして行なわれる。

【００１５】真空外囲器内が所定の真空度に保たれた状
態で、外部駆動回路（不図示）によって表面伝導型電子
放出素子８０２の素子電極９０２，９０３に駆動パルス
を印加すると、電子放出部９０５から電子がビーム状に
放出される。このとき、蛍光体８０５およびメタルバッ
ク８０６には高電圧（１ｋＶ〜１０ｋＶ）が印加されて
おり、これによって電子放出部９０５から放出された電
子が加速されて、蛍光体８０５に衝突する。この衝突に
より、蛍光体８０５が発光し、画像が表示される。

【００１６】なお、上述の画像表示装置に用いられる電
子源としては、表面伝導型電子放出素子の他、熱カソー
ドを用いた熱電子源、電界放出型電子放出素子（W.P.Dy
ke &W.W.Dolan,"Field emission",Advance in Electron
Physics,8,89(1956)、またはC.A.Spindt,"Physical pr
operties of thin-film field emission cathodeswith
molybdenum cones",J.Appl.Phys.,47,5248(1976)等）、
金属／絶縁層／金属型電子放出素子（C.A.Mead,"The tu
nnel-emission amplifier,J.Appl.Phys.,32,646(1961)
等）が知られている。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように真空外囲器内の圧力をゲッタによって高真空状態
に維持する画像表示装置には、以下のような問題点があ
る。

【００１８】図９に示した画像表示装置では、ゲッタ剤
コンテナ固定治具１０２は遮蔽板となるように基板８０
１上に設けられており、該ゲッタ剤コンテナ固定治具１
０２にゲッタが格納されたゲッタ剤コンテナ１０３が取
り付けられている。このように、飛散ゲッタが電子放出
素子等に被着されることのないようにゲッタ剤コンテナ
１０３が遮蔽板として用いられる従来の画像表示装置に
は、ゲッタによる排気効果を得る際においてもゲッタ剤
コンテナ固定治具１０２が遮蔽板として作用するため、
真空外囲器内の圧力が不均一なものとなっていまい、表
示画像に輝度ムラが生じるという問題点がある。さらに
は、ゲッタ剤コンテナ固定治具１０２およびゲッタ剤コ
ンテナ１０３が設けられているため、真空外囲器の製造
に手間がかかるという問題点がある。なお、ゲッタ剤コ
ンテナ固定治具１０２を遮蔽板として用いない場合に
は、飛散ゲッタの電子放出素子等への被着の問題が生じ
る。本発明は、上記各問題に鑑みてなされたものであっ
て、ゲッタ剤コンテナ固定治具およびゲッタ剤コンテナ
を必要としない、製造が簡単で、真空外囲器内の圧力均
一性に優れた真空外囲器およびこれを具備した画像表示
装置を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の真空外囲器は、対向して設けられる基板お
よびフェースプレートと該基板およびフェースプレート
の間に設けられる外枠とによって構成された外囲器と、
上記外囲器内に発生する残留ガスを吸着して排気効果を
得るゲッタとを有する真空外囲器において、上記基板
に、上記ゲッタが固定されるゲッタ溝部が形成されたこ
とを特徴とする。

【００２０】上記ゲッタ溝部は上記フェースプレートに
形成されてもよい。

【００２１】上記の真空外囲器において、真空外囲器内
には、耐大気圧構造とするための複数の細長い平板状の
大気圧支持部材が、基板とフェースプレートとの間に、
最長辺部が接するように設けられており、ゲッタ溝部
は、上記基板の上記複数の大気圧支持部材が設けられた
領域の周辺部に、該周辺部に沿って形成され、溝の長さ
方向と上記複数の大気圧支持部材のうちの所定の大気圧
支持部材の長手方向とのなす角度が略直角となっていて
もよい。

【００２２】さらに、ゲッタ溝部が複数形成されていて
もよい。

【００２３】さらに、複数の大気圧支持部材が、長手方
向が一定の方向となるように設けられており、ゲッタ溝
部は、溝の長さ方向と大気圧支持部材の長手方向とのな
す角度が直角となる、上記複数の大気圧支持部材が設け
られた領域の周辺部に対向して配設された第１および第
２の溝からなるものであってもよい。

【００２４】また、上述の目的を達成するため、本発明
の画像表示装置は上述の各真空外囲器を具備した画像表
示装置であって、上記真空外囲器内には、電子ビームに
より蛍光体を励起して発光させ、上記フェースプレート
上に画像を表示するための画像表示部材が設けられてお
り、ゲッタが固定される溝が、基板上の複数の大気圧支
持部材および上記画像表示部材が設けられた領域の周辺
部に設けられていることを特徴とする。

【００２５】

【作用】本発明の真空外囲器では、基板にゲッタ溝部が
形成され、該ゲッタ溝部内にゲッタが固定されているの
で、フラッシュにより飛散したゲッタは被着範囲がその
ゲッタ溝部の淵によって制限され、所定の領域に被着さ
れる。このゲッタ被着領域は、ゲッタ溝部の形成位置お
よび大きさによって決定される。このように、基板に形
成されたゲッタ溝部にゲッタが固定される本発明では、
従来のように真空外囲器内にゲッタ剤コンテナやゲッタ
剤コンテナ固定治具が設けられることはないので、ゲッ
タによる排気が行なわれる際の真空外囲器内の圧力を均
一なものとすることができる。また、本発明では、ゲッ
タ剤コンテナやゲッタ剤コンテナ固定治具を設ける必要
がないことに加えて、ゲッタが固定されるゲッタ溝部は
基板に一体的に形成されているので、真空外囲器の製造
が簡単になる。

【００２６】本発明のうち真空外囲器内に大気圧支持部
材が設けられたものにおいては、ゲッタ溝部は、基板の
各大気圧支持部材が設けられた領域の周辺部に、該周辺
部に沿って形成され、溝の長さ方向と大気圧支持部材の
長手方向とのなす角度は直角となっている。そのため、
残留ガス（気体分子）は大気圧支持部材に沿って浮遊し
て、ゲッタ溝部から飛散したゲッタが被着した領域に到
達することになる。したがって、本発明では、大気圧支
持部材が遮蔽板として作用することはないので、ゲッタ
による排気効果を得る際の排気コンダクタンスを大きく
することができ、到達真空度の高い真空外囲器の作製が
可能となる。

【００２７】上記各作用を奏する真空外囲器が用いられ
た本発明の画像表示装置においては、ゲッタ溝部は、基
板上の大気圧支持部材および画像表示部材が設けられた
領域の周辺部に設けられいるので、上記のフラッシュに
よる飛散ゲッタの被着範囲の制限により、飛散ゲッタが
画像表示部に被着することはない。さらに、ゲッタ溝部
が、基板の大気圧支持部材および画像表示部材が設けら
れた領域の周辺部に、該周辺部に沿って形成され、溝の
長さ方向と大気圧支持部材の長手方向とのなす角度は直
角となっているので、真空外囲器内に大気圧支持部材が
設けられていても、ゲッタによる排気効果を得る際の排
気コンダクタンスを大きくすることができ、到達真空度
の高い真空外囲器の作製が可能となる。

【００２８】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００２９】図１は、本発明の一実施例の画像表示装置
の概略構成を示す平面図、図２は図１に示す画像表示装
置のＡ−Ａ断面図である。

【００３０】図１および図２において、１は基板、２は
フェースプレート、３は外枠、４は基板１上に配置され
た電子放出素子、５は基板１とフェースプレート２とを
所定の間隔に支持する大気圧支持部材、６はゲッタ７を
格納するためのゲッタ溝部である。

【００３１】本実施例の画像表示装置では、基板１とフ
ェースプレート２と外枠３とによって真空外囲器が形成
されている。この真空外囲器には、基板１とフェースプ
レート２との間に大気圧支持部材５が設けられており、
これにより、大面積に渡って多数素子を配列形成された
場合における大気圧によるフェイスプレート２等の歪み
が防止される。

【００３２】上記大気圧支持部材５は細長い平板状のも
のであり、長手方向が同一方向となるように所定の間隔
で複数配置されている。ゲッタ溝部６は、大気圧支持部
材５が設けられた領域の周辺に基板１の辺に沿って基板
１上に形成された溝であり、ここでは、ゲッタ溝部６
は、その長手方向が大気圧支持部材５の長手方向と直角
となる、排気抵抗（大気圧支持部材５の向きによって決
る排気抵抗）が最も小さな位置（基板１の両端部）にそ
れぞれ形成されている。本実施例では、フラッシュ時の
ゲッタの被着範囲がこのゲッタ溝部６の淵によって制限
される。なお、大気圧支持部材５は、図３に示すような
ゲッタ溝部間を一方向に分割した大気圧支持部材５’の
ような構成のものであってもよい。

【００３３】上記真空外囲器内に設けられる表面伝導型
電子放出素子は、以下のような構成のものとなってい
る。

【００３４】図４（ａ）は本実施例の画像表示装置に用
いられた表面伝導型電子放出素子の概略構造を示す平面
図、図４（ｂ）は図４（ａ）に示す表面伝導型電子放出
素子のＢ−Ｂ断面図である。

【００３５】図４において、１１は基板、１２，１３は
一定の間隔で基板１１上に配置された素子電極、１４は
薄膜、１５は薄膜１４にフォーミングによって形成され
た電子放出部、１６は素子配線である。

【００３６】素子電極１２，１３は膜厚１０００ÅのＡ
ｕで形成されており、素子電極間隔Ｌを２ミクロン、素
子電極長さＷを５００ミクロンとするものとなってい
る。薄膜１４は、有機金属溶液である有機パラジウム
（ＣＣＰ４２３０、奥野製薬株式会社製）含有溶液を塗
布した後、３００℃で１０分間の加熱処理をして形成さ
れたパラジウムを主成分とする微粒子（平均微粒径７０
Å）からなる膜で形成されている。電子放出部１５は、
粒径が数十Åの導電性微粒子からなる膜で形成されてい
る。

【００３７】なお、本実施例の画像表示装置に用いられ
る電子源には、上記表面伝導型電子放出素子の代わり
に、熱カソードを用いた熱電子源や電界放出型電子放出
素子等が用いられてもよい。

【００３８】次に、上述の本実施例の画像表示装置の具
体的な構成、およびその構成をとることによる具体的な
作用について説明する。

【００３９】基板１、フェースプレート２および大気圧
支持部材５は、それぞれ材質がソーダガラスからなって
いる。基板１の大きさは３００ｍｍ×３５０ｍｍとなっ
ており、フェースプレート２の大きさは２６０ｍｍ×２
８６ｍｍとなっている。大気圧支持部材５は、厚さが２
００μｍ、大きさが４０ｍｍ×３．８ｍｍとなってい
る。なお、フェースプレート２上には蛍光体（不図示）
が塗布され、さらにメタルバック（不図示）形成されて
いる。

【００４０】ゲッタ溝部６は、基板１上に削り出し加工
により形成され、あるいは基板ガラス形成時に溝付きの
プレートとして一体形成されたものである。なお、ゲッ
タ溝部６は、図５に示すように、基板として金属基板２
１を用いて、溝部を凹凸形状とすることにより作成した
ものであってもよい。このゲッタ溝部６には、ＢａＡｌ
を主成分とするゲッタ７が不図示の固定治具によって設
置されている。

【００４１】上述のように構成される画像表示装置は、
以下のようにして作製されている。

【００４２】まず、ゲッタ溝部６および電子放出素子４
が形成された基板１と、蛍光体およびメタルバックが設
けられたフェースプレート２と、外枠３とにより外囲器
を形成し、該外囲器内に耐大気圧補強部材として大気圧
支持部材５を一定方向に所定間隔で配置する。そして、
基板１、フェースプレート２、外枠３、および大気圧支
持部材５のそれぞれが接する部分にフリットガラスＬＳ
−０２０６（日本電気硝子（株）製）を塗布し、４５０
℃で１０分間加熱した後、封着して真空外囲器を形成す
る。

【００４３】続いて、排気管（不図示）を通して外部の
真空ポンプにより上記真空外囲器内を１×１０^-5torr程
度まで真空排気する。真空外囲器内が１×１０^-5torr程
度まで真空排気されると、電子放出素子４を構成する薄
膜に三角波形（底辺１msec、周期１０msec、波高値５
Ｖ）の電圧パルスを６０秒間印加してフォーミングを行
ない、電子放出部を形成する。

【００４４】上記のようにして電子放出部を形成した
後、真空外囲器全体を１３０℃で２４時間加熱処理し
て、脱ガスを行なう。そして、ゲッタ溝部６に設けられ
ているゲッタ７を３５０ｋＨｚの高周波でフラッシュし
た後、上記排気管を封止切る。これにより、高真空に維
持された画像表示装置が形成される。

【００４５】以下、本発明の特徴である、上記フラッシ
ュにおけるゲッタの被着およびその作用について説明す
る。

【００４６】上述の画像表示装置では、ゲッタ７はゲッ
タ溝部６内に固定されているので、上述のフラッシュに
よって飛散したゲッタは、ゲッタ溝部６の淵によってそ
の飛散が制限され、被着領域が限定される。よって、こ
こでは、飛散ゲッタは、ゲッタ溝部６の内壁・底部、お
よびフェースプレート２および外枠３の一部（ゲッタ溝
部６の形状とゲッタの飛散量等の関係から想定されるフ
ェースプレート２内面および外枠３壁面へのゲッタ被着
部分）にのみ被着され、ゲッタ被着領域がゲッタ溝部６
に沿って形成される。このようなゲッタ溝部６からの飛
散ゲッタの被着を用いることにより、広範囲に渡るゲッ
タ被着領域を形成することができる。

【００４７】上記のようにして形成されたゲッタ被着領
域では、上述の排気管を封止切った後に真空外囲器内に
発生する残留ガス（気体分子）の捕獲が行なわれる。本
実施例の画像表示装置では、各大気圧支持部材５はその
長手方向が上記ゲッタ被着領域へ向かって一定に設けら
れているので、残留ガス（気体分子）は大気圧支持部材
５に沿って浮遊してゲッタ被着領域に到達し、ゲッタに
よって捕獲される。このゲッタの残留ガス（気体分子）
の捕獲により排気効果が生じ、真空外囲器内は均一な高
真空状態に維持される。

【００４８】以上説明した本実施例の画像表示装置で
は、ゲッタ溝部６と大気圧支持部材５の配置関係が、ゲ
ッタ被着領域における残留ガス（気体分子）捕獲効率
（または、排気効果）および真空外囲器内の圧力の均一
性に大きく影響する。以下に、上述の画像表示装置とは
ゲッタ溝部と大気圧支持部材の配置が異なる画像表示装
置の例（比較例）を挙げ、表示される画像について比較
する。

【００４９】＜比較例＞図６は、ゲッタ溝部６’が大気
圧支持部材とその長手方向が平行となるように基板の辺
に沿って配置された以外は、図１に示した画像表示装置
と同様の構成のものである。なお、図１に示した画像表
示装置と同様の構成部については、同じ符号を付してあ
る。

【００５０】図６に示す画像表示装置では、ゲッタ溝部
６’は、基板１の辺に沿ってその長手方向が大気圧支持
部材５の長手方向と平行となるように配置されている。
このような配置とすると、排気抵抗（被着ゲッタによる
排気における、大気圧支持部材５の向きによって決る排
気抵抗）が最も大きくなる。以下、その理由について説
明する。

【００５１】ゲッタがフラッシュにより飛散されると、
図１に示した画像表示装置の場合と同様にしてゲッタ被
着領域が形成され、該ゲッタ被着領域により残留ガス
（気体分子）の捕獲が行なわれる。しかし、図６に示す
画像表示装置では、各大気圧支持部材５はその長手方向
が上記ゲッタ被着領域と平行となるように設けられてい
るため、この大気圧支持部材５によって残留ガス（気体
分子）のゲッタ被着領域への到達が妨げられる（大気圧
支持部材５の遮蔽作用）。そのため、この画像表示装置
では、残留ガス（気体分子）の捕獲効率が低下し、ゲッ
タによる排気効果が低下する。さらには、大気圧支持部
材５の遮蔽作用によって、ゲッタの排気作用による真空
外囲器内の排気が不均一なものとなる。

【００５２】以上説明した図１および図６に示した各画
像表示装置を、前述した画像表示装置の具体的な作製手
順に従って同様に作製して一定時間駆動させた。その結
果、図１に示した画像表示装置においては、輝度ムラは
発生せず、良好な画像が表示され、図６に示した画像表
示装置においては、画像表示面内に輝度ムラが発生し
た。

【００５３】上記の結果から、ゲッタ溝部と大気圧支持
部材との配置の関係を図１に示した画像表示装置のもの
のようにすれば、ゲッタによる排気の際の真空外囲器内
の排気抵抗を最も小さな状態とすることができ、これに
より、画像表示装置内部（真空外囲器内部）の真空度を
均一な状態に維持でき、輝度ムラのない良好な表示画像
を提供することができることになる。

【００５４】なお、以上説明した本実施例の画像表示装
置におけるゲッタ溝部は断面形状が凹状で帯状に長い溝
としたが、十分なゲッタ面積が確保できるくぼみであれ
ばよく、例えば丸穴を点在させてもよい。

【００５５】さらに、本実施例では、ゲッタ溝部は、基
板の辺に沿って設けられた１対の溝からなっているが、
これに限定されるものではなく、真空外囲器の構造によ
っては複数の溝を設けてもよい。

【００５６】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００５７】請求項１から請求項４に記載の真空外囲器
においては、従来のようにゲッタ剤コンテナやゲッタ剤
コンテナ固定治具が設けられることはないので、ゲッタ
による排気が行なわれる際の真空外囲器内の圧力を均一
なものにすることができるという効果がある。このよう
にゲッタ剤コンテナやゲッタ剤コンテナ固定治具が設け
られることのないものにおいては、上記効果に加えて、
真空外囲器の製造が簡単になるという効果がある。

【００５８】さらに、請求項２および請求項４に記載の
ものにおいては、上記各効果に加えて、大気圧支持部材
が遮蔽板として作用することはないので、ゲッタによる
排気効果を得る際の排気コンダクタンスを大きくするこ
とができ、到達真空度の高い真空外囲器を提供すること
ができるという効果がある。これらのうち、請求項３に
記載のものにおいては、ゲッタ溝が複数設けられること
によりゲッタ被着量およびその被着領域が拡大されるの
で、ゲッタによる排気効果が向上し、上記のものよりさ
らに到達真空度の高い真空外囲器を提供することができ
るという効果がある。

【００５９】請求項５に記載のものにおいては、上記と
同様、ゲッタ剤コンテナやゲッタ剤コンテナ固定治具が
設けられることはないので、ゲッタによる排気が行なわ
れる際の真空外囲器内の圧力を均一なものにすることが
できる効果、および真空外囲器の製造が簡単になるとい
う効果がある。

【００６０】さらに、ゲッタ溝部は、基板上の大気圧支
持部材および画像表示部材が設けられた領域の周辺部に
設けられ、フラッシュによる飛散ゲッタの被着範囲が該
ゲッタ溝部によって制限されるので、飛散ゲッタの画像
表示部への被着を防止することができ、良好な表示画像
を提供することができるという効果がある。

【００６１】さらに、真空外囲器内に大気圧支持部材が
設けられていても、ゲッタによる排気効果を得る際の排
気コンダクタンスを大きなものとすることができるの
で、画像表示装置内部の到達真空度の高いものとするこ
とができ、良好な画像が提供できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の画像表示装置の概略構成を
示す平面図である。

【図２】図１に示す画像表示装置のＡ−Ａ断面図であ
る。

【図３】大気圧支持部材の構成の一例を示した図であ
る。

【図４】（ａ）は本実施例の画像表示装置に用いられた
表面伝導型電子放出素子の概略構造を示す平面図、
（ｂ）は（ａ）に示す表面伝導型電子放出素子のＢ−Ｂ
断面図である。

【図５】真空外囲器の構成の一例として、基板に金属基
板を用いた例を示した図である。

【図６】ゲッタ溝部が大気圧支持部材とその長手方向が
平行となるように基板の辺に沿って配置された真空外囲
器の一例を示した構成図である。

【図７】表面伝導型電子放出素子を用いた平板状画像表
示装置の部分断面図である。

【図８】図７に示した表面伝導型電子放出素子８０２の
概略構成を示す部分拡大図である。

【図９】図７に示した従来の画像表示装置におけるゲッ
タによる高真空維持を説明するための図である。

【符号の説明】

１，１１，８０１ 基板 ２，２２，８０４ フェースプレート ３，２３，８０８ 外枠 ４，８０２ 電子放出素子 ５，５’ 大気圧支持部材 ６，６’ ゲッタ溝部 １２，１３，９０２，９０３ 素子電極 １４，９０４ 薄膜 １５，９０５ 電子放出部 １６ 素子配線 ２１ 金属基板 ７，２４ ゲッタ ２５ ゲッタ凹凸部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向して設けられる基板およびフェース
   プレートと該基板およびフェースプレートの間に設けら
   れる外枠とによって構成された外囲器と、前記外囲器内
   に発生する残留ガスを吸着して排気効果を得るゲッタと
   を有する真空外囲器において、 前記基板もしくは前記フェースプレートに、前記ゲッタ
   が固定されるゲッタ溝部が形成されたことを特徴とする
   真空外囲器。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の真空外囲器において、 真空外囲器内には、耐大気圧構造とするための複数の細
   長い平板状の大気圧支持部材が、基板とフェースプレー
   トとの間に、最長辺部が接するように設けられており、 ゲッタ溝部は、前記基板の前記複数の大気圧支持部材が
   設けられた領域の周辺部に、該周辺部に沿って形成さ
   れ、溝の長さ方向と前記複数の大気圧支持部材のうちの
   所定の大気圧支持部材の長手方向とのなす角度が略直角
   となっていることを特徴とする真空外囲器。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の真空外
   囲器において、 ゲッタ溝部が複数形成されていることを特徴とする真空
   外囲器。
4. 【請求項４】 請求項２に記載の真空外囲器において、 複数の大気圧支持部材は、長手方向が一定の方向となる
   ように設けられており、 ゲッタ溝部は、溝の長さ方向
   と大気圧支持部材の長手方向とのなす角度が直角とな
   る、前記複数の大気圧支持部材が設けられた領域の周辺
   部に対向して配設された第１および第２の溝からなるこ
   とを特徴とする真空外囲器。
5. 【請求項５】 請求項１乃至請求項４のいずれか１項に
   記載の真空外囲器を具備した画像表示装置であって、 前記真空外囲器内には、電子ビームにより蛍光体を励起
   して発光させ、前記フェースプレート上に画像を表示す
   るための画像表示部材が設けられており、 ゲッタが固定される溝が、基板上の複数の大気圧支持部
   材および前記画像表示部材が設けられた領域の周辺部に
   設けられていることを特徴とする画像表示装置。