JPH08171873A - 真空外囲器および画像表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 十分な量のゲッタをフラッシュしても飛散ゲ
ッタが電子放出素子等に被着することがなく、かつ、真
空外囲器内を均一な高真空状態に維持する。 【構成】 対向して設けられる基板１およびフェースプ
レート２とこれらの間に設けられる外枠３とによって構
成された外囲器と、該外囲器内に発生する残留ガス（気
体分子９）を吸着して排気効果を得るゲッタとを有する
真空外囲器において、外囲器内のゲッタが設けられた領
域を遮蔽する第１の形態（平板状の形状）と気体分子９
を自由に通過させる第２の形態（螺旋状の形状）のそれ
ぞれ異なる形態に展開可能であり、ゲッタが被着される
ゲッタ被着部材５を有している。ゲッタ被着部材５は、
ゲッタの被着が行なわれる際は第１の形態をとり、ゲッ
タが被着した後は第２の形態をとる。このゲッタ被着部
材５は、元形状が螺旋状の形状のものを低融点金属によ
って平板状に固定したものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、テレビ、コンピュータ
用表示装置等の画像表示装置およびこれに具備される真
空外囲器に関する。

【０００２】

【従来の技術】自発光型平板状画像表示装置にはプラズ
マディスプレイ、ＥＬ表示装置、電子線を用いたものが
あり、いずれのものにおいても大画面化、高精細化の要
求が高まっている。これらの装置のうち、電子線を用い
るものとしては、例えば特開平2-299136号公報に開示さ
れている薄型の画像表示装置がある。この公報に開示さ
れている装置は、フェースプレート、基板及び外枠から
なる真空外囲器内に電子ビームを発生する電子源として
表面伝導型電子放出素子が配置された構成となってお
り、該表面伝導型電子放出素子から放出される電子ビー
ムを加速してフェースプレート上に形成されている蛍光
体に照射し、発光させて画像表示するものである。以
下、この薄型の画像表示装置の構成について詳しく説明
する。

【０００３】図６は、上記公報に開示される表面伝導型
電子放出素子を用いた平板状画像表示装置の部分断面図
である。

【０００４】図６において、８０１はソーダガラス等の
絶縁材で構成された基板、８０２は表面伝導型電子放出
素子、８０３は感光ガラスでできた大気圧支持部材、８
０４はアルミ薄膜のメタルバック８０６で覆われた蛍光
体８０５をパネル内側に有するソーダガラスからなるフ
ェースプレート、８０７はフリットガラス、８０８は外
枠である。

【０００５】基板８０１とフェイスプレート８０４は大
気圧支持部材８０３によって所定の間隔に支持されてお
り、これらと外枠８０８とによって真空外囲器が形成さ
れている。この真空外囲器は、該真空外囲器の所定部に
取り付けられた排気管（不図示）を通して外部の真空ポ
ンプにより真空排気され、所定の真空圧のものとなって
いる。なお、基板８０１とフェイスプレート８０４は大
気圧支持部材８０３によって支持されており、これによ
り、大面積に渡って多数素子を配列形成された場合にお
ける大気圧によるフェイスプレート８０４等の歪みが防
止される。

【０００６】表面伝導型電子放出素子８０２は外部駆動
回路（不図示）に接続され、メタルバック８０６は高圧
ケーブルを介して高圧電源に接続されている。

【０００７】図７は、図６に示した表面伝導型電子放出
素子８０２の概略構成を示す部分拡大図である。

【０００８】図７において、９０２，９０３は一定間隔
（２ミクロン程度）を隔てて設置された素子電極、９０
４は有機Ｐｄ（ＣＣＰ４２３０奥野製薬株式会社製）を
塗布して形成した薄膜、９０５はフォーミングと呼ぶ通
電処理によって薄膜９０４上に形成された電子放出部で
ある。

【０００９】ここで、フォーミングとは素子電極９０
２，９０３間に電圧を印加して局所的に薄膜９０４を破
壊、変形もしくは変質せしめて、該薄膜９０４に電気的
に高抵抗状態となる部分を形成することをいい、この形
成された電気的に高抵抗状態となる部分が電子放出部９
０５である。なお、電子放出部９０５としては、薄膜９
０４の一部に発生した亀裂を用いることもある。この場
合、亀裂付近から電子放出が行なわれる。

【００１０】上述の薄膜の他、表面伝導型電子放出素子
を形成することができる薄膜としては、ＳｎＯ₂薄膜、
Ａｕ薄膜によるもの（G.Ditter: "Thin Solid Films",
9, 317(1972)）、Ｉｎ₂Ｏ₃／ＳｎＯ₂薄膜によるもの
（M.Hartwell and C.G.Fonstad:"IEEE Trans. ED Con
f.", 519(1975)）、カーボン薄膜によるもの（荒木久
他：真空、第２６巻、第１号、22(1983)）等が報告され
ている。

【００１１】上述のように構成される画像表示装置で
は、真空外囲器内はおよそ１×１０^-6torr程度の真空度
にゲッタ（不図示）によって維持されており、以下のよ
うにして画像表示が行なわれる。

【００１２】真空外囲器内が所定の真空度に保たれた状
態で、外部駆動回路（不図示）によって表面伝導型電子
放出素子８０２の素子電極９０２，９０３に駆動パルス
を印加すると、電子放出部９０５から電子がビーム状に
放出される。このとき、蛍光体８０５およびメタルバッ
ク８０６には高電圧（１ｋＶ〜１０ｋＶ）が印加されて
おり、これによって電子放出部９０５から放出された電
子が加速されて、蛍光体８０５に衝突する。この衝突に
より、蛍光体８０５が発光し、画像が表示される。

【００１３】なお、上述の画像表示装置に用いられる電
子源としては、表面伝導型電子放出素子の他、熱カソー
ドを用いた熱電子源、電界放出型電子放出素子（W.P.Dy
ke &W.W.Dolan,"Field emission",Advance in Electron
Physics,8,89(1956)、またはC.A.Spindt,"Physical pr
operties of thin-film field emission cathodeswith
molybdenum cones",J.Appl.Phys.,47,5248(1976)等）、
金属／絶縁層／金属型電子放出素子（C.A.Mead,"The tu
nnel-emission amplifier,J.Appl.Phys.,32,646(1961)
等）が知られている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように真空外囲器内の圧力をゲッタによって高真空状態
に維持する画像表示装置には、以下のような問題点があ
る。

【００１５】図８は、図６に示した従来の画像表示装置
におけるゲッタによる高真空維持を説明するための図
で、基板８０１上にゲッタ剤コンテナ固定治具１０２お
よびゲッタ剤コンテナ１０３がＴ字状に設けられたもの
が示されている。図８に示すようなものの場合、ゲッタ
をフラッシュさせて飛散させると、飛散ゲッタが被着さ
せてはならない部分、例えば電子放出素子８０２等にま
で被着してしまう。そのため、良好な画像表示が得られ
ないという問題点がある。

【００１６】上記飛散ゲッタの電子放出素子等への被着
の問題を、ゲッタ剤コンテナ固定治具を遮蔽板として兼
用することによって解決したものがある。図９は、ゲッ
タ剤コンテナ固定治具を遮蔽板として兼用する従来の画
像表示装置におけるゲッタによる真空維持を説明するた
めの図で、基板８０１上に設けられたゲッタ剤コンテナ
固定治具１０２が遮蔽板となるように、ゲッタ剤コンテ
ナ１０３’がゲッタ剤コンテナ固定治具１０２の側面に
取り付けられたものが示されている。

【００１７】しかし、図９に示すようなものの場合、飛
散ゲッタはゲッタ剤コンテナ固定治具１０２およびゲッ
タ剤コンテナ１０３’によって囲まれた領域以外へは被
着しないものの、ゲッタ剤コンテナ固定治具１０２およ
びゲッタ剤コンテナ１０３’が遮蔽板となるため、真空
外囲器内に浮遊している気体分子のゲッタが付着された
領域への侵入が困難となってしまう。そのため、ゲッタ
剤被着領域における残留ガスの捕獲が不十分となり、高
真空維持が難しくなるという問題点がある。さらには、
ゲッタ剤コンテナ固定治具１０２およびゲッタ剤コンテ
ナ１０３’の遮蔽作用により、真空外囲器内の圧力が不
均一なものとなってしまい、表示画像に輝度ムラが生じ
るという問題点がある。なお、このような問題は画面サ
イズが大きければ大きいほど、また画面が薄型になれば
なるほど顕著なものとなる。

【００１８】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
であって、十分な量のゲッタをフラッシュしても飛散ゲ
ッタが電子放出素子等に被着することがなく、かつ、真
空外囲器内を均一な高真空状態に維持することができる
真空外囲器およびこれを具備した画像表示装置を提供す
ることを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の真空外囲器は、対向して設けられる基板お
よびフェースプレートと該基板およびフェースプレート
の間に設けられる外枠とによって構成された外囲器と、
該外囲器内に発生する残留ガスを吸着して排気効果を得
るゲッタとを有する真空外囲器において、上記外囲器内
のゲッタが設けられた領域を遮蔽する第１の形態と上記
残留ガスを自由に通過させる第２の形態のそれぞれ異な
る形態に展開可能であり、上記ゲッタが被着されるゲッ
タ被着部材を有し、上記ゲッタ被着部材は、上記ゲッタ
の被着が行なわれる際は上記第１の形態をとり、ゲッタ
が被着した後は上記第２の形態をとることを特徴とす
る。

【００２０】この場合、ゲッタ被着部材は、平板状の形
状を第１の形態とし、螺旋状の形状を第２の形態とする
ものであって、外囲器内のゲッタが設けられた領域を遮
蔽するように上記平板状の形状で設けられており、ゲッ
タの被着が行なわれた後に上記螺旋状の形状に展開され
るようにしてもよい。

【００２１】さらに、ゲッタ被着部材は、元形状が螺旋
状の形状のものを低融点金属によって平板状に固定した
ものであり、該ゲッタ被着部材の螺旋状の形状への展開
を上記低融点金属の溶融によって行なうことにしてもよ
い。

【００２２】また、上述の目的を達成するため、本発明
の画像表示装置は、上述の真空外囲器を具備した画像表
示装置であって、上記真空外囲器内には、電子ビームに
より蛍光体を励起して発光させ、前記フェースプレート
上に画像を表示する画像表示部材が設けられており、前
記真空外囲器内のゲッタが設けられた領域と前記画像表
示部材が設けられた領域とが前記ゲッタ被着部材の第１
の形態によって遮蔽されていることを特徴とする。

【００２３】

【作用】上述のように構成される本発明の真空外囲器で
は、外囲器内のゲッタが設けられた領域はゲッタ被着部
材により遮蔽されているので、フラッシュによりゲッタ
が飛散した際、飛散ゲッタが遮蔽された領域以外の領域
へ侵入することはない。

【００２４】また、本発明の真空外囲器では、ゲッタ被
着部材はフラッシュにより飛散したゲッタが被着された
後、螺旋状に展開される。この展開によってゲッタ被着
部材の遮蔽作用がなくなり、該ゲッタ被着部材を残留ガ
スが自由に通過することとなる。このようにゲッタ被着
部材を残留ガスが自由に通過することになると、ゲッタ
被着部材および真空外囲器内面に被着したゲッタの残留
ガスの捕獲効率が向上するので、排気効果を大きなもの
とすることができ、真空外囲器内の到達圧力を低くする
ことができる。さらに、ゲッタ被着部材が螺旋状に展開
されることによってゲッタ被着部材による遮蔽作用がな
くなるので、ゲッタによって排気された真空外囲器内の
圧力は均一なものとなる。

【００２５】上記作用を有する真空外囲器が具備される
本発明の画像表示装置では、真空外囲器内のゲッタが設
けられた領域と画像表示部材が設けられた領域とがゲッ
タ被着部材によって遮蔽されているので、フラッシュに
よりゲッタが飛散した際、該飛散ゲッタが画像表示部材
が設けられた領域に侵入して該画像表示部材に被着する
ことはない。このように飛散ゲッタが画像表示部材に被
着することのない画像表示装置では、十分なゲッタ量を
フラッシュしてゲッタによる排気効果を大きなものとす
ることができるので、真空外囲器内の到達圧力を低くす
ることができ、良好な表示画像を提供することができ
る。

【００２６】また、本発明の画像表示装置では、ゲッタ
被着後、ゲッタ被着部材は上述の如く螺旋状に展開され
るので、ゲッタによって排気された真空外囲器内の圧力
は均一なものとなる。よって、本発明の画像表示では、
従来のように真空外囲器内の圧力が不均一になって表示
画像に輝度ムラが生じることはない。

【００２７】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００２８】図１（ａ）は本発明の一実施例の画像表示
装置の概略を示す構成図、図１（ｂ）はゲッタ被着部材
の一例を示す図である。

【００２９】図１において、１は基板、２はフェースプ
レート、３は外枠、４は基板１上に設けられた電子放出
素子、５はゲッタ被着部材である。同図では、基板１と
フェースプレート２および外枠３によって真空外囲器が
形成されており、電子放出素子４が設けられている領域
とゲッタ領域６とがゲッタ被着部材５によって遮蔽され
たものとなっている。

【００３０】ここで用いられているゲッタ被着部材５
は、図１（ｂ）に示めすように、長方形の板に切れ目を
入れて螺旋状に展開できるようにしたもので、螺旋状に
引き伸ばした状態を元形状とするよう加工されている。

【００３１】以下、上述のように構成される画像表示装
置におけるゲッタ被着部材５の作用について説明する。

【００３２】図２は、図１（ａ）に示す画像表示装置の
Ａ−Ａ断面図で、（ａ）はゲッタが被着される状態（ゲ
ッタ被着部材５が低融点金属で平板状に固着された状
態）を示す図、（ｂ）は気体分子が捕獲される状態（ゲ
ッタ被着部材５が螺旋状に展開された状態）を示す図で
ある。

【００３３】図２において、７はフェースプレート２に
取り付けられたゲッタ剤コンテナ固定治具、８はゲッタ
剤コンテナ固定治具７に取り付けられたゲッタ剤コンテ
ナ、９は真空外囲器内を浮遊している気体分子である。
ゲッタ剤コンテナ固定治具７およびゲッタ剤コンテナ８
は、カギ状にフェースプレート２に取り付けられてい
る。

【００３４】本実施例の画像表示装置では、まず、図２
（ａ）に示す状態でゲッタをフラッシュして飛散させ
る。このとき、図２（ａ）に示す状態では、ゲッタ被着
部材５は低融点金属で平板状に固着された状態となって
いるので、ゲッタ剤コンテナ固定治具７およびゲッタ剤
コンテナ８が設けられた領域（図中のゲッタ領域６）が
ゲッタ被着部材５によって遮蔽されている。そのため、
フラッシュにより飛散したゲッタは、電子放出素子４等
が設けられた領域に侵入することなく、ゲッタ被着部材
５によって遮蔽されたゲッタ領域６内の基板１、フェー
スプレート２、外枠３およびゲッタ被着部材５のそれぞ
れの表面へ被着する。このように、本実施例では、ゲッ
タ被着部材５が電子放出素子領域とゲッタ領域６とを完
全に隔離しているので、飛散ゲッタの回り込みがなく、
フラッシュゲッタ量を制限する必要がない。

【００３５】上記のようにしてゲッタの被着が行なわれ
た後、図２（ｂ）に示すように、平板状に固着されたゲ
ッタ被着部材５を螺旋状に展開させる。平板状に固着さ
れていたゲッタ被着部材５が螺旋状に展開されると、遮
蔽板としての作用がなくなり、真空外囲器内の気体分子
９が螺旋状に展開されたゲッタ被着部材５を自由に通過
できるようになる。このゲッタ被着部材５を通過した気
体分子９は、上記ゲッタ領域６内の基板１、フェースプ
レート２、外枠３およびゲッタ被着部材５のそれぞれの
表面へ被着したゲッタによって捕獲される。この結果、
真空外囲器内は、均一な高真空の状態に維持される。

【００３６】なお、上記のようにしてゲッタ被着部材５
を螺旋状に展開させる場合、その展開によってゲッタ被
着部材５の一部がゲッタ剤コンテナ固定治具７あるいは
ゲッタ剤コンテナ８にぶつかることが想定される。この
問題は、図１（ｂ）に示すゲッタ被着部材５の寸法ｂと
図２（ａ）に示すゲッタ剤コンテナ固定治具７およびゲ
ッタ剤コンテナ８で構成される部分の寸法ａとを ｂ＞
ａ の条件を満たす値に設定することにより解決するこ
とができる。

【００３７】上述のようにして真空外囲器内が比較的均
一な高真空の状態に維持された画像表示装置では、電子
放出部４から放出された電子が加速されて蛍光体（不図
示）に衝突し、この衝突により蛍光体が発光し、画像が
表示される。

【００３８】ここで、本実施例の画像表示装置に用いら
れる表面伝導型電子放出素子の具体的な構成について説
明する。

【００３９】図３（ａ）は本実施例の画像表示装置に用
いられた表面伝導型電子放出素子の概略構造を示す平面
図、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す表面伝導型電子放出
素子のＢ−Ｂ断面図である。

【００４０】図３において、１１は基板、１２，１３は
一定の間隔で基板１１上に配置された素子電極、１４は
薄膜、１５は薄膜１４にフォーミングによって形成され
た電子放出部、１６は素子配線である。

【００４１】素子電極１２，１３は膜厚１０００ÅのＡ
ｕで形成されており、素子電極間隔Ｌを２ミクロン、素
子電極長さＷを５００ミクロンとしてある。薄膜１４
は、有機金属溶液である有機パラジウム（ＣＣＰ４２３
０、奥野製薬株式会社製）含有溶液を塗布した後、３０
０℃で１０分間の加熱処理をして形成されたパラジウム
を主成分とする微粒子（平均微粒径７０Å）からなる膜
で形成されている。電子放出部１５は、粒径が数十Åの
導電性微粒子からなる膜で形成されている。

【００４２】なお、本実施例の画像表示装置に用いられ
る電子源には、上記表面伝導型電子放出素子の代わり
に、熱カソードを用いた熱電子源や電界放出型電子放出
素子等が用いられてもよい。

【００４３】次に、上述のように構成される本実施例の
画像表示装置の具体的な実験例、および従来の画像表示
装置の具体的な比較例を挙げ、これらを比較して本発明
の具体的な特徴について説明する。

【００４４】＜実験例＞図４は、本発明の具体的な実験
例の画像表示装置の概略を示した構成図である。

【００４５】図４において、２１は基板、２２はフェー
スプレート、２３は外枠、２４はゲッタ被着部材、２５
はフェースプレート２２に取り付けられたゲッタ剤コン
テナ固定治具、２６はゲッタ剤コンテナ固定治具２５に
取り付けられたゲッタ剤コンテナである。

【００４６】基板２１およびフェースプレート２２は、
材質がソーダガラスからなっている。基板２１の大きさ
は３００ｍｍ×３５０ｍｍとなっており、フェースプレ
ート２２の大きさは２６０ｍｍ×２８６ｍｍとなってい
る。基板２１とフェースプレート２２との間隙は４ｍｍ
である。なお、フェースプレート２２上には蛍光体（不
図示）が塗布され、さらにメタルバック（不図示）形成
されている。

【００４７】ゲッタ剤コンテナ２６には、ＢａＡｌを主
成分とするゲッタが配置されており、ゲッタ剤コンテナ
固定治具２５によりフェースプレート２２にカギ状に固
定されている。

【００４８】ゲッタ被着部材２４は、図１（ａ）に示し
たものと同様の螺旋状に展開できるものであり、中心が
低融点金属で固着されて平板状のものとなっている。こ
のゲッタ被着部材２４は、後述する真空外囲器内の、ゲ
ッタ剤コンテナ２６がゲッタ剤コンテナ固定治具２５に
より固定された領域と電子放出部等が形成された領域と
を遮蔽するように設けられている。

【００４９】本実験例の画像表示装置では、上記のよう
に構成される真空外囲器が以下の手順により作製され
る。

【００５０】まず、基板２１とフェースプレート２２と
で外枠２３を挟み、それぞれが接する部分にフリットガ
ラスＬＳ−０２０６（日本電気硝子（株）製）を塗布し
て４５０℃で１０分間加熱した後、封着して真空外囲器
を形成する。続いて、排気管（不図示）を通して外部の
真空ポンプにより真空外囲器内を １×１０^-5 torr程度
まで真空排気する。

【００５１】真空外囲器内が１×１０^-5 torr程度まで
真空排気されると、三角波形（底辺１msec、周期１０ms
ec、波高値５Ｖ）の電圧パルスを６０秒間印加してフォ
ーミングを行ない、電子放出部を形成する。

【００５２】電子放出部を形成した後、真空外囲器全体
を１３０℃で２４時間加熱脱ガス処理を行なう。さら
に、ゲッタを３５０ｋＨｚの高周波でフラッシュしてゲ
ッタ被着部材２４等に被着させた後、上記排気管を封止
切る。

【００５３】最後に、ゲッタ被着部材２４の中心を固着
していた低融点金属を５００ｋＨｚの高周波で誘導加熱
により溶かし、ゲッタ被着部材２４を螺旋状に展開させ
る。以上の手順によって、高真空な真空外囲器を作製し
た。

【００５４】＜比較例＞図５は図４に示した画像表示装
置と対比するための従来の画像表示装置の概略構成図
で、図９に示した画像表示装置と同様、ゲッタ剤コンテ
ナ固定治具を遮蔽板として兼用するものを示した図であ
る。

【００５５】図５において、３１は基板、３２はフェー
スプレート、３３は外枠、３５はフェースプレート３２
に取り付けられたゲッタ剤コンテナ固定治具、３６はゲ
ッタ剤コンテナ固定治具３５に取り付けられたゲッタ剤
コンテナである。

【００５６】本比較例の画像表示装置は、ゲッタ被着部
材が設けられていない以外は図４に示した画像表示装置
とほぼ同様の構成のものであり、同様の手順によって作
製されたものである。

【００５７】なお、本比較例では、ゲッタ剤コンテナ３
６はゲッタ剤コンテナ固定治具３５によって基板３１に
カギ状に固定されている。また、ゲッタ剤コンテナ固定
治具３５とフェースプレート３２との間隙Ｃは１ｍｍ
（基板３１とフェースプレート３２との間隙４ｍｍの４
分の１）としてある。これは、ゲッタリング面積が上述
の実験例のものに比べて著しく小さくならないようにす
ることと、電子放出素子が形成された領域内の残留ガス
がゲッタ領域（ゲッタ剤コンテナ固定治具３５により遮
蔽された領域）に侵入可能な最低限の間隔とすることを
考慮したものである。

【００５８】上述の＜実験例＞の画像表示装置と＜比較
例＞の画像表示装置のそれぞれを一定時間駆動した結
果、＜実験例＞のものにおいては良好な表示画像が得ら
れ、＜比較例＞のものにおいては画像表示面内に輝度ム
ラが発生した。この結果から、＜実験例＞の画像表示装
置に関し、以下のような特徴がいえる。

【００５９】＜実験例＞の画像表示装置においては、
ゲッタの被着の際、飛散ゲッタは平板状のゲッタ被着部
材によって完全に遮蔽されており、この遮蔽作用によっ
て電子放出素子等へのゲッタ被着が防止されるととも
に、ゲッタ被着部材等への十分なゲッタの被着を可能と
している。よって、＜実験例＞のものは、構造上の理由
からゲッタ被着量の制限を受ける＜比較例＞のものに比
べて、十分なゲッタの被着が行なわれている。

【００６０】また、＜実験例＞の画像表示装置におい
ては、ゲッタ被着後、ゲッタ被着部材が螺旋状に展開さ
れるため、この展開によって気体分子（残留ガス）の通
過が自由となり、これにより、ゲッタ被着部材に被着し
たゲッタの気体分子の捕獲が効率良く行なわれる。よっ
て、＜実験例＞のものは＜比較例＞のものに比べて、ゲ
ッタによる排気効果が優れたものとなっており、到達圧
力が低くなっている。

【００６１】さらに、上記のゲッタ被着部材が螺旋
状に展開されることから、＜実験例＞のものは、ゲッタ
剤コンテナ固定治具の遮蔽作用を受ける＜比較例＞のも
のに比べて、真空外囲器内の圧力が均一なものとなって
いる。

【００６２】以上説明した本実施例の画像表示装置おい
て、ゲッタ被着部材は、平板状のものを螺旋状に展開で
きるようにしたものとなっているが、このゲッタ被着部
材の展開は真空外囲器内の残留ガスが自由に通過するこ
とができる形状であればよく、螺旋状に限定されるもの
ではない。

【００６３】また、本実施例に用いられるゲッタ被着部
材は、形状記憶効果を有する熱弾性型マルテンサイト変
態系合金を用いたものであってもよく、この場合は、熱
を用いた形状記憶効果による部材の伸縮が利用される。

【００６４】さらに、本実施例の画像表示装置における
ゲッタ被着部材の設置方法は、ゲッタの設置方法との兼
ね合いから種々の方法が選択されるものであり、上述の
説明または図面に記載された構成に限定されるものでは
ない。

【００６５】なお、本発明の画像表示装置を大画面の平
板状画像表示装置とする場合は、基板とフェースプレー
トの間に図６に示したような大気圧支持部材を設けるこ
とが望ましい。

【００６６】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００６７】請求項１乃至請求項３に記載のものにおい
ては、ゲッタ被着部材はゲッタが被着された後に螺旋状
等に展開され、この展開によってゲッタ被着部材を残留
ガスが自由に通過することとなり、ゲッタ被着部材およ
び真空外囲器内面に被着したゲッタの残留ガスの捕獲効
率が向上する。したがって、排気効果を大きなものとす
ることができ、真空外囲器内の到達圧力を低くすること
ができるという効果がある。さらには、ゲッタ被着部材
が展開されることによって、ゲッタによって排気された
真空外囲器内の圧力を均一なものとすることができると
いう効果がある。

【００６８】請求項４に記載のものにおいては、ゲッタ
被着部材の遮蔽効果によって飛散ゲッタが画像表示部材
に被着することがないので、良質の画像を表示すること
ができるという効果がある。

【００６９】さらに、飛散ゲッタが画像表示部材に被着
することのない画像表示装置では、十分なゲッタ量をフ
ラッシュしてゲッタによる排気効果を大きなものとする
ことができるので、真空外囲器内の到達圧力を低くする
ことができ、良好な表示画像を提供することができると
いう効果がある。

【００７０】さらに、ゲッタ被着部材は飛散ゲッタが被
着された後、螺旋状等に展開されるので、真空外囲器内
をゲッタによって均一に排気することができ、輝度ムラ
のない良好な画像を表示することができるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の一実施例の画像表示装置の概
略を示す構成図、（ｂ）はゲッタ被着部材の一例を示す
図である。

【図２】図１（ａ）に示す画像表示装置のＡ−Ａ断面図
で、（ａ）はゲッタが被着される状態（ゲッタ被着部材
５が低融点金属で平板状に固着された状態）を示す図、
（ｂ）は気体分子が捕獲される状態（ゲッタ被着部材５
が螺旋状に展開された状態）を示す図である。

【図３】（ａ）は本実施例の画像表示装置に用いられた
表面伝導型電子放出素子の概略構造を示す平面図、
（ｂ）は図３（ａ）に示す表面伝導型電子放出素子のＢ
−Ｂ断面図である。

【図４】本発明の具体的な実験例の画像表示装置の概略
を示した構成図である。

【図５】図４に示した画像表示装置と対比するための従
来の画像表示装置の概略構成図で、図９に示した画像表
示装置と同様、ゲッタ剤コンテナ固定治具を遮蔽板とし
て兼用するものを示した図である。

【図６】従来の表面伝導型電子放出素子を用いた平板状
画像表示装置の部分断面図である。

【図７】図６に示した表面伝導型電子放出素子８０２の
概略構成を示す部分拡大図である。

【図８】図６に示した画像表示装置における従来のゲッ
タによる真空維持を説明するための図で、基板８０１上
にゲッタ剤コンテナ固定治具１０２およびゲッタ剤コン
テナ１０３がＴ字状に設けられたものが示されている。

【図９】図８における飛散ゲッタの電子放出素子８０２
への被着を防止した従来のゲッタによる真空維持を説明
するための図で、基板８０１上に設けられたゲッタ剤コ
ンテナ固定治具１０２が遮蔽板となるように、ゲッタ剤
コンテナ１０３’がゲッタ剤コンテナ固定治具１０２の
側面に取り付けられたものが示されている。

【符号の説明】

１，１１，２１，３１ 基板 ２，２２，３２ フェースプレート ３，２３，３３ 外枠 ４，８０２ 電子放出素子 ５，２４ ゲッタ被着部材 ６ ゲッタ領域 ７，２５，３５ ゲッタ剤コンテナ固定治具 ８，２６，３６ ゲッタ剤コンテナ ９ 気体分子 １２，１３，９０２，９０３ 素子電極 １４，９０４ 薄膜 １５，９０５ 電子放出部 １６ 素子配線

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向して設けられる基板およびフェース
   プレートと該基板およびフェースプレートの間に設けら
   れる外枠とによって構成された外囲器と、該外囲器内に
   発生する残留ガスを吸着して排気効果を得るゲッタとを
   有する真空外囲器において、 前記外囲器内のゲッタが設けられた領域を遮蔽する第１
   の形態と前記残留ガスを自由に通過させる第２の形態の
   それぞれ異なる形態に展開可能であり、前記ゲッタが被
   着されるゲッタ被着部材を有し、 前記ゲッタ被着部材は、前記ゲッタの被着が行なわれる
   際は前記第１の形態をとり、ゲッタが被着した後は前記
   第２の形態をとることを特徴とする真空外囲器。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の真空外囲器において、 ゲッタ被着部材は、平板状の形状を第１の形態とし、螺
   旋状の形状を第２の形態とするものであって、外囲器内
   のゲッタが設けられた領域を遮蔽するように前記平板状
   の形状で設けられており、ゲッタの被着が行なわれた後
   に前記螺旋状の形状に展開されることを特徴とする真空
   外囲器。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の真空外囲器において、 ゲッタ被着部材は、元形状が螺旋状の形状のものを低融
   点金属によって平板状に固定したものであり、該ゲッタ
   被着部材の螺旋状の形状への展開を前記低融点金属の溶
   融によって行なうことを特徴とする真空外囲器。
4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に
   記載の真空外囲器を具備した画像表示装置であって、 前記真空外囲器内には、電子ビームにより蛍光体を励起
   して発光させ、前記フェースプレート上に画像を表示す
   る画像表示部材が設けられており、 前記真空外囲器内のゲッタが設けられた領域と前記画像
   表示部材が設けられた領域とが前記ゲッタ被着部材の第
   １の形態によって遮蔽されていることを特徴とする画像
   表示装置。