JP2961748B2 - ゲッタ装置 - Google Patents
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- JP2961748B2 JP2961748B2 JP11534789A JP11534789A JP2961748B2 JP 2961748 B2 JP2961748 B2 JP 2961748B2 JP 11534789 A JP11534789 A JP 11534789A JP 11534789 A JP11534789 A JP 11534789A JP 2961748 B2 JP2961748 B2 JP 2961748B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は平板型の画像表示装置における真空度を維持
するためのゲッタ装置に関するものである。
するためのゲッタ装置に関するものである。
従来の技術 陰極線管等、真空内で電子線を制御する電子管におい
て、内部構成物よりのガス放出に対して、管内の高真空
を維持するために、従来よりゲッタ装置が用いられてき
た。ゲッタ装置における従来の技術を陰極線管を例にと
り説明する。
て、内部構成物よりのガス放出に対して、管内の高真空
を維持するために、従来よりゲッタ装置が用いられてき
た。ゲッタ装置における従来の技術を陰極線管を例にと
り説明する。
まず、陰極線管の構成の概略を図を用いて説明する。
第６図は、陰極線管の断面図である。20はパネル、21は
マスク、22はコンタクトスプリング、23はファンネル、
24は電極ユニット、25はゲッタ装置である。パネル20と
ファンネル23は互いにフリットシールされ真空容器を形
成している。ファンネル23の内面はダックによって電気
的に導通がとられ、コンタクトスプリング22によってマ
スク21と同電位になっている。ゲッタ装置25は電極ユニ
ット24から出た高圧供給用の端子に保持され、ファンネ
ル23の内壁面に位置している。所定の組み立て工程を経
た後、排気された陰極線管内は一応高真空になっている
が、そのままの状態では内部構成物より徐々にガスが出
て真空度が悪くなり性能が劣化する。そこで、ゲッタ装
置25を動作させ、活性の高いゲッタ材（例えばバリウム
原子Ba）をファンネル23の内壁面に蒸着させる。活性の
高いゲッタ材が管内のガス分子と反応し、ガス分子を吸
着することで管内の真空度が保たれる。
第６図は、陰極線管の断面図である。20はパネル、21は
マスク、22はコンタクトスプリング、23はファンネル、
24は電極ユニット、25はゲッタ装置である。パネル20と
ファンネル23は互いにフリットシールされ真空容器を形
成している。ファンネル23の内面はダックによって電気
的に導通がとられ、コンタクトスプリング22によってマ
スク21と同電位になっている。ゲッタ装置25は電極ユニ
ット24から出た高圧供給用の端子に保持され、ファンネ
ル23の内壁面に位置している。所定の組み立て工程を経
た後、排気された陰極線管内は一応高真空になっている
が、そのままの状態では内部構成物より徐々にガスが出
て真空度が悪くなり性能が劣化する。そこで、ゲッタ装
置25を動作させ、活性の高いゲッタ材（例えばバリウム
原子Ba）をファンネル23の内壁面に蒸着させる。活性の
高いゲッタ材が管内のガス分子と反応し、ガス分子を吸
着することで管内の真空度が保たれる。
次にゲッタ装置25の動作を第７図を用いて説明する。
金属で作られたゲッタリング26にミクスチャー27が塗付
されている。ミクスチャー27の材料は、例えばゲッタ材
がBaの場合、Ba,Al,Ni合金等を用いている。ファンネル
23の外壁面のゲッタ装置25の近傍に、コイルを設けて高
周波電流を流すと、電磁誘導によってゲッタリング26に
も電流が流れる。この電磁誘導電流でゲッタリング26が
加熱され、クミスチャー27の構成元素が反応し、ゲッタ
材が遊離し蒸発する。この蒸発したゲッタ材がファンネ
ル23のゲッタ装置25に対向する内壁面に蒸着されるわけ
である。
金属で作られたゲッタリング26にミクスチャー27が塗付
されている。ミクスチャー27の材料は、例えばゲッタ材
がBaの場合、Ba,Al,Ni合金等を用いている。ファンネル
23の外壁面のゲッタ装置25の近傍に、コイルを設けて高
周波電流を流すと、電磁誘導によってゲッタリング26に
も電流が流れる。この電磁誘導電流でゲッタリング26が
加熱され、クミスチャー27の構成元素が反応し、ゲッタ
材が遊離し蒸発する。この蒸発したゲッタ材がファンネ
ル23のゲッタ装置25に対向する内壁面に蒸着されるわけ
である。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、以上のような構成では、ゲッタフラッ
シュ面がリング状になっているため、蒸着面積を大きく
しようとすると、ゲッタリングと蒸着面との距離を大き
くしなければならず、奥行の小さい平板型の画像表示装
置には用いることが困難であるという課題がある。
シュ面がリング状になっているため、蒸着面積を大きく
しようとすると、ゲッタリングと蒸着面との距離を大き
くしなければならず、奥行の小さい平板型の画像表示装
置には用いることが困難であるという課題がある。
また、より大きな蒸着面積を得る両面ゲッタフラッシ
ュも不可能である。
ュも不可能である。
更に、ゲッタリングの加熱に高周波による電磁誘導電
流を用いるので、ゲッタリング近傍に金属が有ると有効
に加熱できず、電極等の金属性の部材が高密度に積層さ
れている平板型の画像表示装置には、この加熱方法を用
いることができないという課題もあった。
流を用いるので、ゲッタリング近傍に金属が有ると有効
に加熱できず、電極等の金属性の部材が高密度に積層さ
れている平板型の画像表示装置には、この加熱方法を用
いることができないという課題もあった。
そこで本発明は、上記課題に鑑み、平板型の画像表示
装置にも用いることができるよう、ゲッタフラッシュ面
と蒸着面の距離を大きくすることなく蒸着面積を大きく
できるゲッタ装置を提供するものである。
装置にも用いることができるよう、ゲッタフラッシュ面
と蒸着面の距離を大きくすることなく蒸着面積を大きく
できるゲッタ装置を提供するものである。
また、本発明の他の目的は、より大きな蒸着面積を得
ることができる両面ゲッタフラッシュも可能なゲッタ装
置を提供するものである。
ることができる両面ゲッタフラッシュも可能なゲッタ装
置を提供するものである。
更に、本発明の他の目的は、高周波の電磁誘導を用い
ずゲッタ材料を加熱できるゲッタ装置を提供するもので
ある。
ずゲッタ材料を加熱できるゲッタ装置を提供するもので
ある。
課題を解決するための手段 本発明の第１の発明のゲッタ装置は、バネ性を有した
部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、前記線
状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外部端子
とから構成され、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているものである。
部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、前記線
状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外部端子
とから構成され、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているものである。
本発明の第２の発明のゲッタ装置は、バネ性を有した
部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、前記線
状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外部端子
とから構成され、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているとともに、前記複数本の線状ゲッ
タの内、少なくとも１本のゲッタ材の蒸発、飛散する
（以下ゲッタフラッシュと呼ぶ）方向が、他のゲッタフ
ラッシュ方向と異なるようにしたものである。
部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、前記線
状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外部端子
とから構成され、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているとともに、前記複数本の線状ゲッ
タの内、少なくとも１本のゲッタ材の蒸発、飛散する
（以下ゲッタフラッシュと呼ぶ）方向が、他のゲッタフ
ラッシュ方向と異なるようにしたものである。
本発明の第３の発明のゲッタ装置は、バネ性を有した
部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、前記線
状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外部端子
とから構成され、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているとともに、前記複数本の線状ゲッ
タの内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他
のゲッタフラッシュ方向と異なるようにし、前記ゲッタ
フラッシュ方向が異なる線状ゲッタの長さが、他の線状
ゲッタの長さと異なるようにしたものである。
部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、前記線
状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外部端子
とから構成され、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているとともに、前記複数本の線状ゲッ
タの内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他
のゲッタフラッシュ方向と異なるようにし、前記ゲッタ
フラッシュ方向が異なる線状ゲッタの長さが、他の線状
ゲッタの長さと異なるようにしたものである。
作用 本発明の第１の発明のゲッタ装置によれば、バネ性を
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段とを有することで、例え
ば、直線を平行配列して平面を形成するように、線状ゲ
ッタを並べて配置して、狭い空間でも広いゲッタフラッ
シュ面を得ることができ、ゲッタフラッシュ面と蒸着面
との距離が小さくとも、蒸着面積を大きくすることがで
きる。また、線状ゲッタがバネ性を有した部材で架張さ
れることで、線状ゲッタの加熱時の熱膨張を吸収して、
線状ゲッタの直線性を保持させて、常に安定したゲッタ
フラッシュ面を形成することができる。そして、電流を
流すための外部端子を有して、前記外部端子と前記線状
ゲッタが、電気的に結合されていることで、高周波電流
を用いないで、外部の電源から直接に電流を供給して加
熱することができる。
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段とを有することで、例え
ば、直線を平行配列して平面を形成するように、線状ゲ
ッタを並べて配置して、狭い空間でも広いゲッタフラッ
シュ面を得ることができ、ゲッタフラッシュ面と蒸着面
との距離が小さくとも、蒸着面積を大きくすることがで
きる。また、線状ゲッタがバネ性を有した部材で架張さ
れることで、線状ゲッタの加熱時の熱膨張を吸収して、
線状ゲッタの直線性を保持させて、常に安定したゲッタ
フラッシュ面を形成することができる。そして、電流を
流すための外部端子を有して、前記外部端子と前記線状
ゲッタが、電気的に結合されていることで、高周波電流
を用いないで、外部の電源から直接に電流を供給して加
熱することができる。
本発明の第２の発明のゲッタ装置によれば、バネ性を
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段とを有することで、例え
ば、直線を平行配列して平面を形成するように、線状ゲ
ッタを並べて配置して、狭い空間でも広いゲッタフラッ
シュ面を得ることができ、ゲッタフラッシュ面と蒸着面
との距離が小さくとも、蒸着面積を大きくすることがで
きる。また、線状ゲッタがバネ性を有した部材で架張さ
れることで、線状ゲッタの加熱時の熱膨張を吸収して、
線状ゲッタの直線性を保持させて、常に安定したゲッタ
フラッシュ面を形成することができる。そして、電流を
流すための外部端子を有して、前記外部端子と前記線状
ゲッタが、電気的に結合されていることで、高周波電流
を用いないで、外部の電源から直接に電流を供給して加
熱することができるとともに、前記複数本の線状ゲッタ
の内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他の
ゲッタフラッシュ方向と異なるようにすることで、形成
した平面の両面でゲッタフラッシュさせることができ、
狭い空間でより大きな蒸着面積を得るという目的を、効
果的に達成することができる。
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段とを有することで、例え
ば、直線を平行配列して平面を形成するように、線状ゲ
ッタを並べて配置して、狭い空間でも広いゲッタフラッ
シュ面を得ることができ、ゲッタフラッシュ面と蒸着面
との距離が小さくとも、蒸着面積を大きくすることがで
きる。また、線状ゲッタがバネ性を有した部材で架張さ
れることで、線状ゲッタの加熱時の熱膨張を吸収して、
線状ゲッタの直線性を保持させて、常に安定したゲッタ
フラッシュ面を形成することができる。そして、電流を
流すための外部端子を有して、前記外部端子と前記線状
ゲッタが、電気的に結合されていることで、高周波電流
を用いないで、外部の電源から直接に電流を供給して加
熱することができるとともに、前記複数本の線状ゲッタ
の内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他の
ゲッタフラッシュ方向と異なるようにすることで、形成
した平面の両面でゲッタフラッシュさせることができ、
狭い空間でより大きな蒸着面積を得るという目的を、効
果的に達成することができる。
本発明の第３の発明のゲッタ装置によれば、バネ性を
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段とを有することで、例え
ば、直線を平行配列して平面を形成するように、線状ゲ
ッタを並べて配置して、狭い空間でも広いゲッタフラッ
シュ面を得ることができ、ゲッタフラッシュ面と蒸着面
との距離が小さくとも、蒸着面積を大きくすることがで
きる。また、線状ゲッタがバネ性を有した部材で架張さ
れることで、線状ゲッタの加熱時の熱膨張を吸収して、
線状ゲッタの直線性を保持させて、常に安定したゲッタ
フラッシュ面を形成することができる。そして、電流を
流すための外部端子を有して、前記外部端子と前記線状
ゲッタが、電気的に結合されていることで、高周波電流
を用いないで、外部の電源から直接に電流を供給して加
熱することができるとともに、前記複数本の線状ゲッタ
の内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他の
ゲッタフラッシュ方向と異なるようにすることで、形成
した平面の両面でゲッタフラッシュさせることができ、
狭い空間でより大きな蒸着面積を得るという目的を、効
果的に達成することができ、さらに前記ゲッタフラッシ
ュ方向が異なる線状ゲッタの長さが、他の線状ゲッタの
長さと異なるようにしておけば、本発明のゲッタ装置を
組み立てる工程で、配置する線状ゲッタのゲッタフラッ
シュ方向を誤って取り付けることも防ぐことができ、本
発明のゲッタ装置の効果を歩留まり面からも確実なもの
にできる。
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段とを有することで、例え
ば、直線を平行配列して平面を形成するように、線状ゲ
ッタを並べて配置して、狭い空間でも広いゲッタフラッ
シュ面を得ることができ、ゲッタフラッシュ面と蒸着面
との距離が小さくとも、蒸着面積を大きくすることがで
きる。また、線状ゲッタがバネ性を有した部材で架張さ
れることで、線状ゲッタの加熱時の熱膨張を吸収して、
線状ゲッタの直線性を保持させて、常に安定したゲッタ
フラッシュ面を形成することができる。そして、電流を
流すための外部端子を有して、前記外部端子と前記線状
ゲッタが、電気的に結合されていることで、高周波電流
を用いないで、外部の電源から直接に電流を供給して加
熱することができるとともに、前記複数本の線状ゲッタ
の内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他の
ゲッタフラッシュ方向と異なるようにすることで、形成
した平面の両面でゲッタフラッシュさせることができ、
狭い空間でより大きな蒸着面積を得るという目的を、効
果的に達成することができ、さらに前記ゲッタフラッシ
ュ方向が異なる線状ゲッタの長さが、他の線状ゲッタの
長さと異なるようにしておけば、本発明のゲッタ装置を
組み立てる工程で、配置する線状ゲッタのゲッタフラッ
シュ方向を誤って取り付けることも防ぐことができ、本
発明のゲッタ装置の効果を歩留まり面からも確実なもの
にできる。
実施例 本発明のゲッタ装置の各実施例について、図を用いて
説明する。
説明する。
実施例１ 第１図は、本発明の第１の実施例のゲッタ装置の構成
を示す全体斜視図である。1a、1b、1cは線状ゲッタであ
る。次に、線状ゲッタ1a、1b、1cは、各々バネ性を有し
た部材としての架張バネ２で、引っ張り方向に応力を受
けるように架張されている。本実施例では、線状ゲッタ
1a、1b、1cを固定する手段の一例として、一部にフック
形状を形成した金属板で作られたゲッタ台4a、4b、4c、
4dを、平板型の容器３に接着した場合を示している。ま
た、ゲッタ台4a、4dには、外部端子5a、5bが電気的な導
通を保つように、例えば溶接やロウ付け等で接合されて
いる。以上のように構成することで、外部端子5a、5bの
間に電位差を与えると、電流が外部端子5a、ゲッタ台4
a、線状ゲッタ1a、ゲッタ台4b、線状ゲッタ1b、ゲッタ
台4c、線状ゲッタ1c、ゲッタ台4d、外部端子5bの順に流
れることになり、外部端子5a、5bと線状ゲッタ1a、1b、
1cが電気的に結合されることになる。
を示す全体斜視図である。1a、1b、1cは線状ゲッタであ
る。次に、線状ゲッタ1a、1b、1cは、各々バネ性を有し
た部材としての架張バネ２で、引っ張り方向に応力を受
けるように架張されている。本実施例では、線状ゲッタ
1a、1b、1cを固定する手段の一例として、一部にフック
形状を形成した金属板で作られたゲッタ台4a、4b、4c、
4dを、平板型の容器３に接着した場合を示している。ま
た、ゲッタ台4a、4dには、外部端子5a、5bが電気的な導
通を保つように、例えば溶接やロウ付け等で接合されて
いる。以上のように構成することで、外部端子5a、5bの
間に電位差を与えると、電流が外部端子5a、ゲッタ台4
a、線状ゲッタ1a、ゲッタ台4b、線状ゲッタ1b、ゲッタ
台4c、線状ゲッタ1c、ゲッタ台4d、外部端子5bの順に流
れることになり、外部端子5a、5bと線状ゲッタ1a、1b、
1cが電気的に結合されることになる。
次に、線状ゲッタのゲッタフラッシュ方向について図
を用いて説明する。第２図は線状ゲッタの内部構成を示
す断面図である。線状ゲッタの基材７の一面に溝８が形
成されており、溝８の内部にはミクスチャー９が充填さ
れている。ミクスチャー９の材料は従来の技術の一例で
述べたように、ゲッタ材にBaを用いる場合には、Ba,Al,
Ni合金等を用いている。線状ゲッタの基材７に電流が流
れると線状ゲッタの基材７とともにミクスチャー９が加
熱される。そして、ミクスチャー９の構成元素が反応
し、ゲッタ材が遊離し蒸発する。この蒸発したゲッタ材
は第２図の矢印で示した方向に飛散する。この飛散方向
がゲッタフラッシュ方向となる。
を用いて説明する。第２図は線状ゲッタの内部構成を示
す断面図である。線状ゲッタの基材７の一面に溝８が形
成されており、溝８の内部にはミクスチャー９が充填さ
れている。ミクスチャー９の材料は従来の技術の一例で
述べたように、ゲッタ材にBaを用いる場合には、Ba,Al,
Ni合金等を用いている。線状ゲッタの基材７に電流が流
れると線状ゲッタの基材７とともにミクスチャー９が加
熱される。そして、ミクスチャー９の構成元素が反応
し、ゲッタ材が遊離し蒸発する。この蒸発したゲッタ材
は第２図の矢印で示した方向に飛散する。この飛散方向
がゲッタフラッシュ方向となる。
本発明のゲッタ装置の動作について説明する。第３図
は本発明の第１の発明のゲッタ装置を、平板型の画像表
示装置に組み込んだ場合の構成を示す断面図である。な
お、同図において、ゲッタ装置に関係の無い部分は煩雑
になるため省略し、線状ゲッタ1a、1b、1cの各断面はゲ
ッタフラッシュ方向が分かり易いように誇張して描くと
ともに、第１図と同一物には同一番号を付し説明を省略
する。
は本発明の第１の発明のゲッタ装置を、平板型の画像表
示装置に組み込んだ場合の構成を示す断面図である。な
お、同図において、ゲッタ装置に関係の無い部分は煩雑
になるため省略し、線状ゲッタ1a、1b、1cの各断面はゲ
ッタフラッシュ方向が分かり易いように誇張して描くと
ともに、第１図と同一物には同一番号を付し説明を省略
する。
ガラス容器10と平板型の容器３で封止され、内部は排
気され真空になっている。本発明のゲッタ装置は、電極
ユニット11と平板型の容器３との間に位置している。外
部端子5a、5bの両端に電位差を与えると、電流が全ての
線状ゲッタ1a、1b、1cに流れて加熱され、内部のゲッタ
材が蒸発しゲッタフラッシュ方向の壁面に蒸着される。
この場合は線状ゲッタ1a、1b、1cのゲッタフラッシュ方
向が全て同一方向で平板型の容器３に向いているので平
板型の容器３の内面にゲッタ材が蒸着される。
気され真空になっている。本発明のゲッタ装置は、電極
ユニット11と平板型の容器３との間に位置している。外
部端子5a、5bの両端に電位差を与えると、電流が全ての
線状ゲッタ1a、1b、1cに流れて加熱され、内部のゲッタ
材が蒸発しゲッタフラッシュ方向の壁面に蒸着される。
この場合は線状ゲッタ1a、1b、1cのゲッタフラッシュ方
向が全て同一方向で平板型の容器３に向いているので平
板型の容器３の内面にゲッタ材が蒸着される。
以上に述べたような平板型の画像表示装置の狭い空間
では、従来の技術の一例で述べたゲッタリングを用いた
ゲッタ装置では、ゲッタ材を飛散させるのに十分な距離
が得られず、また、その近傍に電極ユニット11が有るた
め、高周波電流による電磁誘導で加熱することもできな
い。しかし、本構成のゲッタ装置であれば、以上に述べ
たように、平板型の画像表示装置の狭い空間の中にも配
置でき、ゲッタフラッシュ面と蒸着面との距離に関わら
ず大きな蒸着面積を得る事ができるとともに、その近傍
にある部材に関わらず、電流による加熱もできる。
では、従来の技術の一例で述べたゲッタリングを用いた
ゲッタ装置では、ゲッタ材を飛散させるのに十分な距離
が得られず、また、その近傍に電極ユニット11が有るた
め、高周波電流による電磁誘導で加熱することもできな
い。しかし、本構成のゲッタ装置であれば、以上に述べ
たように、平板型の画像表示装置の狭い空間の中にも配
置でき、ゲッタフラッシュ面と蒸着面との距離に関わら
ず大きな蒸着面積を得る事ができるとともに、その近傍
にある部材に関わらず、電流による加熱もできる。
なお、本実施例においては、線状ゲッタの本数が３本
の場合を示したが、線状ゲッタの本数は複数本であれ
ば、その本数に関わらず本発明の目的は十分に達せられ
る。
の場合を示したが、線状ゲッタの本数は複数本であれ
ば、その本数に関わらず本発明の目的は十分に達せられ
る。
実施例２ 第４図は本発明の第２の発明のゲッタ装置を平板型の
画像表示装置に組み込んだ場合の構成を示す断面図であ
る。なお、同図において、ゲッタ装置に関係の無い部分
は煩雑になるため省略し、線状ゲッタ1a、1b、1cの各断
面はゲッタフラッシュ方向が分かり易いように誇張して
描くとともに、第１図と第３図と同一物には同一番号を
付し説明を省略する。
画像表示装置に組み込んだ場合の構成を示す断面図であ
る。なお、同図において、ゲッタ装置に関係の無い部分
は煩雑になるため省略し、線状ゲッタ1a、1b、1cの各断
面はゲッタフラッシュ方向が分かり易いように誇張して
描くとともに、第１図と第３図と同一物には同一番号を
付し説明を省略する。
同図において、第３図と異なる点は、線状ゲッタ1bの
ゲッタフラッシュ方向だけがその他の線状ゲッタ1a、1c
のゲッタフラッシュ方向と異なっていて、線状ゲッタ1a
と線状ゲッタ1cは同一方向で平板型の容器３に向いてい
るのに対し、線状ゲッタ1bのゲッタフラッシュ方向がそ
の他と反対になっている点である。従って、平板型の容
器３の内面のゲッタ材の蒸着密度は小さくなるが、対向
した電極ユニット11の裏面にも蒸着されて、全体として
より大きな蒸着面積を得る事ができる。
ゲッタフラッシュ方向だけがその他の線状ゲッタ1a、1c
のゲッタフラッシュ方向と異なっていて、線状ゲッタ1a
と線状ゲッタ1cは同一方向で平板型の容器３に向いてい
るのに対し、線状ゲッタ1bのゲッタフラッシュ方向がそ
の他と反対になっている点である。従って、平板型の容
器３の内面のゲッタ材の蒸着密度は小さくなるが、対向
した電極ユニット11の裏面にも蒸着されて、全体として
より大きな蒸着面積を得る事ができる。
なお、本実施例においては、線状ゲッタの本数が２本
と１本の場合を示したが、線状ゲッタの総本数は複数本
であれば、その本数に関わらず本発明の目的は十分に達
せられる。
と１本の場合を示したが、線状ゲッタの総本数は複数本
であれば、その本数に関わらず本発明の目的は十分に達
せられる。
実施例３ 第５図は、本発明の第３の発明の一実施例のゲッタ装
置の構成を示す全体斜視図である。同図において、第１
図と同一物には同一番号を付し説明を省略する。
置の構成を示す全体斜視図である。同図において、第１
図と同一物には同一番号を付し説明を省略する。
同図において、第１図と異なる点は、線状ゲッタ1bの
長さだけが、その他の線状ゲッタ1a、1cの長さと異なっ
ている点である。線状ゲッタ1bのゲッタフラッシュ方向
がその他と異なる場合、線状ゲッタ1bの長さを同図に示
したように、他の線状ゲッタの長さと異なるようにして
おけば、本発明のゲッタ装置を組み立てる工程で、配置
する線状ゲッタのゲッタフラッシュ方向を誤って取り付
けることも防ぐことができ、本発明のゲッタ装置の効果
を歩留まり面からも確実なものにできる。
長さだけが、その他の線状ゲッタ1a、1cの長さと異なっ
ている点である。線状ゲッタ1bのゲッタフラッシュ方向
がその他と異なる場合、線状ゲッタ1bの長さを同図に示
したように、他の線状ゲッタの長さと異なるようにして
おけば、本発明のゲッタ装置を組み立てる工程で、配置
する線状ゲッタのゲッタフラッシュ方向を誤って取り付
けることも防ぐことができ、本発明のゲッタ装置の効果
を歩留まり面からも確実なものにできる。
発明の効果 本発明の第１の発明のゲッタ装置によれば、バネ性を
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段とを有することで、例え
ば、直線を平行配列して平面を形成するように、線状ゲ
ッタを並べて配置して、狭い空間でも広いゲッタフラッ
シュ面を得ることができ、ゲッタフラッシュ面と蒸着面
との距離が小さくとも、蒸着面積を大きくすることがで
きる。また、線状ゲッタがバネ性を有した部材で架張さ
れることで、線状ゲッタの加熱時の熱膨張を吸収して、
線状ゲッタの直線性を保持させて、常に安定したゲッタ
フラッシュ面を形成することができる。そして、電流を
流すための外部端子を有して、前記外部端子と前記線状
ゲッタが、電気的に結合されていることで、高周波電流
を用いないで、外部の電源から直接に電流を供給して加
熱することができる。
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段とを有することで、例え
ば、直線を平行配列して平面を形成するように、線状ゲ
ッタを並べて配置して、狭い空間でも広いゲッタフラッ
シュ面を得ることができ、ゲッタフラッシュ面と蒸着面
との距離が小さくとも、蒸着面積を大きくすることがで
きる。また、線状ゲッタがバネ性を有した部材で架張さ
れることで、線状ゲッタの加熱時の熱膨張を吸収して、
線状ゲッタの直線性を保持させて、常に安定したゲッタ
フラッシュ面を形成することができる。そして、電流を
流すための外部端子を有して、前記外部端子と前記線状
ゲッタが、電気的に結合されていることで、高周波電流
を用いないで、外部の電源から直接に電流を供給して加
熱することができる。
本発明の第２の発明のゲッタ装置によれば、バネ性を
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外
部端子を有して、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているとともに、前記複数本の線状ゲッ
タの内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他
のゲッタフラッシュ方向と異なっているので、本発明の
第１の発明で得られる効果に加えて、形成した平面の両
面でゲッタフラッシュさせることができ、狭い空間でよ
り大きな蒸着面積を得ることができる。
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外
部端子を有して、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているとともに、前記複数本の線状ゲッ
タの内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他
のゲッタフラッシュ方向と異なっているので、本発明の
第１の発明で得られる効果に加えて、形成した平面の両
面でゲッタフラッシュさせることができ、狭い空間でよ
り大きな蒸着面積を得ることができる。
本発明の第３の発明のゲッタ装置によれば、バネ性を
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外
部端子を有して、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているとともに、前記複数本の線状ゲッ
タの内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他
のゲッタフラッシュ方向と異なるようにし、さらに前記
ゲッタフラッシュ方向が異なる線状ゲッタの長さが、他
の線状ゲッタの長さと異なるようにしておけば、本発明
の第１、第２の発明で得られる効果に加えて、本発明の
ゲッタ装置を組み立てる工程で、配置する線状ゲッタの
ゲッタフラッシュ方向を誤って取り付けることも防ぐこ
とができ、本発明のゲッタ装置の効果を歩留まり面から
も確実なものにできる。
有した部材によって架張された複数本の線状ゲッタと、
前記線状ゲッタを固定する手段と、電流を流すための外
部端子を有して、前記外部端子と前記線状ゲッタが、電
気的に結合されているとともに、前記複数本の線状ゲッ
タの内、少なくとも１本のゲッタフラッシュ方向が、他
のゲッタフラッシュ方向と異なるようにし、さらに前記
ゲッタフラッシュ方向が異なる線状ゲッタの長さが、他
の線状ゲッタの長さと異なるようにしておけば、本発明
の第１、第２の発明で得られる効果に加えて、本発明の
ゲッタ装置を組み立てる工程で、配置する線状ゲッタの
ゲッタフラッシュ方向を誤って取り付けることも防ぐこ
とができ、本発明のゲッタ装置の効果を歩留まり面から
も確実なものにできる。
第１図は、本発明の第１の実施例のゲッタ装置の構成を
示す全体斜視図、第２図は線状ゲッタの内部構成を示す
断面図、第３図は本発明の第１の実施例のゲッタ装置
を、平板型の画像表示装置に組み込んだ場合の構成を示
す断面図、第４図は本発明の第２の実施例のゲッタ装置
を、平板型の画像表示装置に組み込んだ場合の構成を示
す断面図、第５図は、本発明の第３の実施例のゲッタ装
置の構成を示す全体斜視図、第６図は、従来の技術の一
例を示す陰極線管の断面図、第７図は、従来の技術のゲ
ッタ装置の一例の構造を示す斜視図である。 1a、1b、1c……線状ゲッタ、２……架張バネ、３……平
板型の容器、4a、4b、4c、4d……ゲッタ台、5a、5b……
外部端子。
示す全体斜視図、第２図は線状ゲッタの内部構成を示す
断面図、第３図は本発明の第１の実施例のゲッタ装置
を、平板型の画像表示装置に組み込んだ場合の構成を示
す断面図、第４図は本発明の第２の実施例のゲッタ装置
を、平板型の画像表示装置に組み込んだ場合の構成を示
す断面図、第５図は、本発明の第３の実施例のゲッタ装
置の構成を示す全体斜視図、第６図は、従来の技術の一
例を示す陰極線管の断面図、第７図は、従来の技術のゲ
ッタ装置の一例の構造を示す斜視図である。 1a、1b、1c……線状ゲッタ、２……架張バネ、３……平
板型の容器、4a、4b、4c、4d……ゲッタ台、5a、5b……
外部端子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関口 友宏 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 青野 博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−47937（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−101844（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−32336（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−218055（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 29/94 H01J 31/12 H01J 31/20 H01J 7/18
Claims (2)
- 【請求項１】バネ性を有した部材によって架張された複
数本の線状ゲッタと、前記線状ゲッタを固定する手段
と、電流を流すための外部端子とを備え、前記外部端子
と前記線状ゲッタは電気的に結合され、複数本の前記線
状ゲッタは平面を形成するように配置され、前記線状ゲ
ッタの少なくとも１本の線状ゲッタのゲッタ材の蒸発、
飛散させる方向が他の線状ゲッタがゲッタ材を蒸発、飛
散させる前記平面に垂直な方向と異なる前記平面に垂直
なもう一つの方向であることを特徴とするゲッタ装置。 - 【請求項２】バネ性を有した部材によって架張された複
数本の線状ゲッタと、前記線状ゲッタを固定する手段
と、電流を流すための外部端子とを備え、前記外部端子
と前記線状ゲッタは電気的に結合され、複数本の前記線
状ゲッタは平面を形成するように配置されるとともに、
前記線状ゲッタの少なくとも１本の線状ゲッタのゲッタ
材の蒸発、飛散させる方向が他の線状ゲッタがゲッタ材
を蒸発、飛散させる前記平面に垂直な方向と異なる前記
平面に垂直なもう一つの方向であるとともにその線状ゲ
ッタの長さが他の線状ゲッタの長さと異なっていること
を特徴とするゲッタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11534789A JP2961748B2 (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | ゲッタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11534789A JP2961748B2 (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | ゲッタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02295032A JPH02295032A (ja) | 1990-12-05 |
| JP2961748B2 true JP2961748B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=14660277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11534789A Expired - Fee Related JP2961748B2 (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | ゲッタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2961748B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5734226A (en) * | 1992-08-12 | 1998-03-31 | Micron Technology, Inc. | Wire-bonded getters useful in evacuated displays |
| US5865658A (en) * | 1995-09-28 | 1999-02-02 | Micron Display Technology, Inc. | Method for efficient positioning of a getter |
| WO1997017714A1 (en) * | 1995-11-08 | 1997-05-15 | Philips Electronics N.V. | Vaccuum tube provided with a line-shaped getter |
| US5931713A (en) | 1997-03-19 | 1999-08-03 | Micron Technology, Inc. | Display device with grille having getter material |
| KR100863968B1 (ko) * | 2007-04-24 | 2008-10-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 발광 장치 및 표시 장치 |
-
1989
- 1989-05-09 JP JP11534789A patent/JP2961748B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02295032A (ja) | 1990-12-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |