JPH02312147A - 凍結試料移送装置 - Google Patents
凍結試料移送装置Info
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- JPH02312147A JPH02312147A JP1133549A JP13354989A JPH02312147A JP H02312147 A JPH02312147 A JP H02312147A JP 1133549 A JP1133549 A JP 1133549A JP 13354989 A JP13354989 A JP 13354989A JP H02312147 A JPH02312147 A JP H02312147A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、電子顕微鏡観察用の凍結試料を電子顕微鏡ま
で移送すると共に、該試料を電子顕微鏡内部へ導入する
ための凍結試料移送装置に関する。
で移送すると共に、該試料を電子顕微鏡内部へ導入する
ための凍結試料移送装置に関する。
[従来の技術]
従来、電子顕微鏡観察用の凍結試料を電子顕微鏡まで移
送するための装置として、第3図及び第4図に示すよう
な構成の装置が知られている。
送するための装置として、第3図及び第4図に示すよう
な構成の装置が知られている。
第3図に示す装置では、試料導入棒1の先端部に取り付
けられた試料2が熱伝導棒3を介して冷媒槽4に接続さ
れており、該試料2は一160℃程度に保たれている。
けられた試料2が熱伝導棒3を介して冷媒槽4に接続さ
れており、該試料2は一160℃程度に保たれている。
また、該試料導入棒1の試料取り付は位置には、第4図
に示すようなシールドカバー(着霜防止カバー)5がス
ライド可能に取り付けられている。
に示すようなシールドカバー(着霜防止カバー)5がス
ライド可能に取り付けられている。
このカバー5は前記凍結試料が大気中にある場合には試
料を覆うように閉じられ、大気中の水分等により凍結試
料が汚染されることを防止している。
料を覆うように閉じられ、大気中の水分等により凍結試
料が汚染されることを防止している。
また、このカバー5は試料導入棒が電子顕微鏡内部へ導
入された際にスライドされ、該導入棒に取り付けられた
試料の電子線通路が開放される。
入された際にスライドされ、該導入棒に取り付けられた
試料の電子線通路が開放される。
[発明が解決しようとする課題]
上述のような構成の凍結試料移送装置の場合、試料導入
棒1とカバー5との間には該カバーをスライドさせるた
めの僅かな間隙が設けられている。
棒1とカバー5との間には該カバーをスライドさせるた
めの僅かな間隙が設けられている。
そのため、大気中を移送する際に該隙間から大気が試料
保持部分に流れ込み、凍結試料が大気中の水分等により
汚染されてしまうことがある。また、熱伝導棒3は試料
導入棒1の内部に通されており、直接大気には触れない
構造となっているが、試料導入棒1が常に大気にさらさ
れているため温度変化を受は易く、該導入棒1内の熱伝
導棒3にも間接的に温度上昇を与でしまうことがある。
保持部分に流れ込み、凍結試料が大気中の水分等により
汚染されてしまうことがある。また、熱伝導棒3は試料
導入棒1の内部に通されており、直接大気には触れない
構造となっているが、試料導入棒1が常に大気にさらさ
れているため温度変化を受は易く、該導入棒1内の熱伝
導棒3にも間接的に温度上昇を与でしまうことがある。
そのため、凍結試料の温度が僅かに上昇し、凍結試料(
例えば生体試料)中の非晶質の氷が再結晶を起こし、試
料内部で構造破壊が発生することがある。
例えば生体試料)中の非晶質の氷が再結晶を起こし、試
料内部で構造破壊が発生することがある。
そして、数回使用すると熱伝導棒の先端に着霜するため
、除霜の操作が必要となる。しかし、前記熱伝導棒の熱
容量が大きいため、除霜を行なう場合には1時間程度の
昇温が必要で、操作上不便となっている。
、除霜の操作が必要となる。しかし、前記熱伝導棒の熱
容量が大きいため、除霜を行なう場合には1時間程度の
昇温が必要で、操作上不便となっている。
本発明は、上記問題点を考慮し、電子顕微鏡観察に用い
られる凍結試料を最良の状態で電子顕微鏡まで移送する
と共に、該試料を電子顕微鏡内部へ導入することのでき
る操作性の良い凍結試料移送装置を提供することを目的
としている。
られる凍結試料を最良の状態で電子顕微鏡まで移送する
と共に、該試料を電子顕微鏡内部へ導入することのでき
る操作性の良い凍結試料移送装置を提供することを目的
としている。
[課題を解決するための手段]
本発明は、試料片を保持する試料ホルダと、該試料ホル
ダを冷媒に浸した状態で保持するための断熱容器と、該
断熱容器を電子顕微鏡の試料予備排気室に導入するため
の試料導入手段とを備え、前記予備排気室内で前記断熱
容器内を排気すると共に前記容器内冷媒を予備排気室外
部に排出するようになしたことを特徴とする。
ダを冷媒に浸した状態で保持するための断熱容器と、該
断熱容器を電子顕微鏡の試料予備排気室に導入するため
の試料導入手段とを備え、前記予備排気室内で前記断熱
容器内を排気すると共に前記容器内冷媒を予備排気室外
部に排出するようになしたことを特徴とする。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図及び第2図は本発明の一実施例を説明するための装置
構成図であり、第1図は凍結試料の移送時の状態を示し
、また、第2図は凍結試料を電子顕微鏡の試料予備排気
室に導入した際の状態を示している。
図及び第2図は本発明の一実施例を説明するための装置
構成図であり、第1図は凍結試料の移送時の状態を示し
、また、第2図は凍結試料を電子顕微鏡の試料予備排気
室に導入した際の状態を示している。
第1図において、凍結試料11は円筒状の試料ホルダ1
2内に保持されている。そして、該試料ホルダ12は冷
媒溜用カップ13内に設けられた試料ホルダ台26上に
載置される。また、前記カップ13は第1の筒状容器1
4内に収容されている。該容器14からは前記カップ1
3に接続された試料導入棒15がOリングパツキン16
を介して取り出きれており、前記カップ13は導入棒1
5によって導入棒の軸方向に移動可能及び該軸の回りに
回転可能に設けられている。
2内に保持されている。そして、該試料ホルダ12は冷
媒溜用カップ13内に設けられた試料ホルダ台26上に
載置される。また、前記カップ13は第1の筒状容器1
4内に収容されている。該容器14からは前記カップ1
3に接続された試料導入棒15がOリングパツキン16
を介して取り出きれており、前記カップ13は導入棒1
5によって導入棒の軸方向に移動可能及び該軸の回りに
回転可能に設けられている。
また、前記第1の筒状容器14は第2の筒状容器18に
嵌合されており、前記第1の筒状容器14と第2の筒状
容器18とは0リングパツキン17を介して滑動可能に
設けられている。さらに、第2の筒状容器18には前記
第1の筒状容器14及び該容器内に収容されたカップ1
3が第2の筒状容器18内に収容された際に該容器を密
閉して大気を遮断するための蓋19が開閉可能に設けら
れている。
嵌合されており、前記第1の筒状容器14と第2の筒状
容器18とは0リングパツキン17を介して滑動可能に
設けられている。さらに、第2の筒状容器18には前記
第1の筒状容器14及び該容器内に収容されたカップ1
3が第2の筒状容器18内に収容された際に該容器を密
閉して大気を遮断するための蓋19が開閉可能に設けら
れている。
上述のような構成の装置において、試料ホルダ12は試
料ホルダ台14に着脱可能に載置されており、冷媒溜用
カップ13内には液体窒素などの冷媒が導入されている
。該冷媒溜用カップ13は冷媒を溜め易く、また、短時
間で昇温するために比熱の小さい樹脂などにより構成さ
れている。そのため、該カップ内に収容された試料11
及び試料ホルダ12は一196℃程度に冷却される。該
カップ内の液体窒素には第1の筒状容器14や試料導入
棒15及び蓋19などから熱(輻射熱や熱伝導)が侵入
するため、該液体窒素が少しずつ蒸発して、該第1の筒
状容器14内は窒素ガスで満たされる。これにより、容
器14内は窒素ガスによる加圧状態となるため該容器内
への空気の侵入が防止される。
料ホルダ台14に着脱可能に載置されており、冷媒溜用
カップ13内には液体窒素などの冷媒が導入されている
。該冷媒溜用カップ13は冷媒を溜め易く、また、短時
間で昇温するために比熱の小さい樹脂などにより構成さ
れている。そのため、該カップ内に収容された試料11
及び試料ホルダ12は一196℃程度に冷却される。該
カップ内の液体窒素には第1の筒状容器14や試料導入
棒15及び蓋19などから熱(輻射熱や熱伝導)が侵入
するため、該液体窒素が少しずつ蒸発して、該第1の筒
状容器14内は窒素ガスで満たされる。これにより、容
器14内は窒素ガスによる加圧状態となるため該容器内
への空気の侵入が防止される。
さて、第1図に示すような凍結試料が収容された試料移
送装置は次に、第2図に示すように電子顕微鏡の予備排
気室20に接続される。第2図において、予備排気室2
0には電磁弁21を介してはロータリーポンプ22が接
続されている。また、電子顕微鏡の試料室23内の真空
を保つために、前記試料室23と予備排気室20との間
にゲート弁24が設けられている。25はOリングであ
る。
送装置は次に、第2図に示すように電子顕微鏡の予備排
気室20に接続される。第2図において、予備排気室2
0には電磁弁21を介してはロータリーポンプ22が接
続されている。また、電子顕微鏡の試料室23内の真空
を保つために、前記試料室23と予備排気室20との間
にゲート弁24が設けられている。25はOリングであ
る。
試料移送装置の第2の筒状容器18の端部が電子顕微鏡
の予備排気室20に接続されると、まず、第2の筒状容
器18に設けられたN19が開放される。そして、該蓋
19の開放後、第1の筒状容器14が第2の筒状容器1
8に沿って移動されて予備排気室20の開口部にOリン
グ25を介して接続される。該第1の筒状容器14が予
備排気室20の開口部に接続されると、該開口部に設け
られたスイッチ(図示せず)が作動して電磁弁21が開
放されて、予備排気室20内の排気が開始される。これ
により、予備排気室20内が減圧されてカップ13内の
液体窒素が激しく沸騰し始める。
の予備排気室20に接続されると、まず、第2の筒状容
器18に設けられたN19が開放される。そして、該蓋
19の開放後、第1の筒状容器14が第2の筒状容器1
8に沿って移動されて予備排気室20の開口部にOリン
グ25を介して接続される。該第1の筒状容器14が予
備排気室20の開口部に接続されると、該開口部に設け
られたスイッチ(図示せず)が作動して電磁弁21が開
放されて、予備排気室20内の排気が開始される。これ
により、予備排気室20内が減圧されてカップ13内の
液体窒素が激しく沸騰し始める。
このとき、第1の筒状容器14の内壁面に付着していた
水分も該壁面より離脱するが、この水分も容器14内の
蒸発した液体窒素と共にロータリーポンプ22によって
予備排気室20の外へ排気される。この予備排気中に、
凍結試料は液体窒素及び窒素ガスによって完全に覆われ
るため、汚染物質の試料への付着が防止される。さらに
、排気を続けるとカップ13内の液体窒素は固化するた
め、該液体窒素は固化する前に、試料導入棒15によっ
てカップ13を90度程度回転して液体窒素をカップか
ら予備排気室20内に捨てる。これにより、液体窒素は
一気に気化されて、短時間で予備排気室より排気される
。そして、予備排気が完了した後にゲート弁24が開放
されて、前記試料導入棒15によってカップ13内に収
容された試料ホルダ12が電子顕微鏡の試料室23内に
導入され、図示しない低温度試料ステージに装着される
。
水分も該壁面より離脱するが、この水分も容器14内の
蒸発した液体窒素と共にロータリーポンプ22によって
予備排気室20の外へ排気される。この予備排気中に、
凍結試料は液体窒素及び窒素ガスによって完全に覆われ
るため、汚染物質の試料への付着が防止される。さらに
、排気を続けるとカップ13内の液体窒素は固化するた
め、該液体窒素は固化する前に、試料導入棒15によっ
てカップ13を90度程度回転して液体窒素をカップか
ら予備排気室20内に捨てる。これにより、液体窒素は
一気に気化されて、短時間で予備排気室より排気される
。そして、予備排気が完了した後にゲート弁24が開放
されて、前記試料導入棒15によってカップ13内に収
容された試料ホルダ12が電子顕微鏡の試料室23内に
導入され、図示しない低温度試料ステージに装着される
。
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、試料
片を保持する試料ホルダと、該試料ホルダを冷媒に浸し
た状態で保持するための断熱容器と、該断熱容器を電子
顕微鏡の試料予備排気室に導入するための試料導入手段
とを備え、前記予備排気室内で前記断熱容器内を排気す
ると共に前記容器内冷媒を予備排気室外部に排出するよ
うにしたことにより、凍結試料を移送する際に大気中の
水分等による凍結試料の汚染を防止することができる。
片を保持する試料ホルダと、該試料ホルダを冷媒に浸し
た状態で保持するための断熱容器と、該断熱容器を電子
顕微鏡の試料予備排気室に導入するための試料導入手段
とを備え、前記予備排気室内で前記断熱容器内を排気す
ると共に前記容器内冷媒を予備排気室外部に排出するよ
うにしたことにより、凍結試料を移送する際に大気中の
水分等による凍結試料の汚染を防止することができる。
また、試料ホルダを冷媒に浸した状態(冷媒温度)で移
送するようになしているため、試料は温度変化を受は難
く、温度上昇による凍結試料の破壊を防止することをか
できる。さらに、予備排気室内に試料ホルダを冷媒に浸
した状態で導入するようにしているため、予備排気時に
予備排気室壁面から離脱する水分等の汚染物質が試料に
付着することを防止できる。
送するようになしているため、試料は温度変化を受は難
く、温度上昇による凍結試料の破壊を防止することをか
できる。さらに、予備排気室内に試料ホルダを冷媒に浸
した状態で導入するようにしているため、予備排気時に
予備排気室壁面から離脱する水分等の汚染物質が試料に
付着することを防止できる。
また、断熱容器等の冷却部品の除霜の必要が生じた場合
においても、冷却部品の熱容量が小さいため、5分程度
で除霜でき、操作性が向上する。
においても、冷却部品の熱容量が小さいため、5分程度
で除霜でき、操作性が向上する。
を説明するための図である。
11:凍結試料 12:試料ホルダ13:冷媒
溜用カップ
溜用カップ
Claims (1)
- 試料片を保持する試料ホルダと、該試料ホルダを冷媒に
浸した状態で保持するための断熱容器と、該断熱容器を
電子顕微鏡の試料予備排気室に導入するための試料導入
手段とを備え、前記予備排気室内で前記断熱容器内を排
気すると共に前記容器内冷媒を予備排気室外部に排出す
るようになしたことを特徴とする凍結試料移送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1133549A JP2766667B2 (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 | 凍結試料移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1133549A JP2766667B2 (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 | 凍結試料移送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02312147A true JPH02312147A (ja) | 1990-12-27 |
JP2766667B2 JP2766667B2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=15107412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1133549A Expired - Fee Related JP2766667B2 (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 | 凍結試料移送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2766667B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009283461A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | E Hong Instruments Co Ltd | 電子顕微鏡の予冷型試料台 |
WO2012120726A1 (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡用試料ホルダーおよび試料観察方法 |
JP6127191B1 (ja) * | 2016-10-03 | 2017-05-10 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー |
JP2022106482A (ja) * | 2021-01-07 | 2022-07-20 | 日本電子株式会社 | 試料導入方法および荷電粒子線装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4852466A (ja) * | 1971-11-02 | 1973-07-23 |
-
1989
- 1989-05-25 JP JP1133549A patent/JP2766667B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4852466A (ja) * | 1971-11-02 | 1973-07-23 |
Cited By (8)
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US9159530B2 (en) | 2011-03-04 | 2015-10-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope sample holder and sample observation method |
JP6127191B1 (ja) * | 2016-10-03 | 2017-05-10 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー |
JP2018060614A (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー |
US10242841B2 (en) | 2016-10-03 | 2019-03-26 | Mel-Build Corporation | Specimen holder |
JP2022106482A (ja) * | 2021-01-07 | 2022-07-20 | 日本電子株式会社 | 試料導入方法および荷電粒子線装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2766667B2 (ja) | 1998-06-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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