JPH0230181A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH0230181A JPH0230181A JP63180791A JP18079188A JPH0230181A JP H0230181 A JPH0230181 A JP H0230181A JP 63180791 A JP63180791 A JP 63180791A JP 18079188 A JP18079188 A JP 18079188A JP H0230181 A JPH0230181 A JP H0230181A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 11
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/85909—Post-treatment of the connector or wire bonding area
- H01L2224/8592—Applying permanent coating, e.g. protective coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16195—Flat cap [not enclosing an internal cavity]
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔1既 要〕
半導体装置の構造に特にCCD等の固体撮像デバイスに
用いる透光性キャンプを有する半導体装置の構造に関し
、 フィルタを変質させることなく耐湿性の良い半導体装置
の提供を目的とし、 外部リードピンを有するパッケージの上面に透光性キャ
ンプを備え、有機材料からなるフィルタを被着された受
光素子を前記透光性キャップに対向配置してなる半導体
装置において、前記透光性キャップに対向しない側の前
記受光素子の面にチップ付けされる導通パターンを有す
るセラミック板と、該導通パターンの一端に前記受光素
子の入出力端子をワイヤボンディング接続すると共に、
該導通パターンの各他端を前記外部リードピンに接続可
能に前記セラミック板に設けた中継ビンと、該セラミッ
ク板を前記パッケージの下面から挿入して前記パッケー
ジの内側面に封着する封止レジンと、前記セラミック板
に対向して前記パッケージの下面に設けたシームウェル
ドキャップとから構成する。
用いる透光性キャンプを有する半導体装置の構造に関し
、 フィルタを変質させることなく耐湿性の良い半導体装置
の提供を目的とし、 外部リードピンを有するパッケージの上面に透光性キャ
ンプを備え、有機材料からなるフィルタを被着された受
光素子を前記透光性キャップに対向配置してなる半導体
装置において、前記透光性キャップに対向しない側の前
記受光素子の面にチップ付けされる導通パターンを有す
るセラミック板と、該導通パターンの一端に前記受光素
子の入出力端子をワイヤボンディング接続すると共に、
該導通パターンの各他端を前記外部リードピンに接続可
能に前記セラミック板に設けた中継ビンと、該セラミッ
ク板を前記パッケージの下面から挿入して前記パッケー
ジの内側面に封着する封止レジンと、前記セラミック板
に対向して前記パッケージの下面に設けたシームウェル
ドキャップとから構成する。
本発明は、半導体装置の構造に特にCCD等の固体撮像
デバイスに用いる透光性キャップを有する半導体装置の
構造に関する。
デバイスに用いる透光性キャップを有する半導体装置の
構造に関する。
第2図は従来の固体撮像デバイスの要部断面図を示す。
図において、■は透光性キャップであってサファイヤ等
の透光性部材からなる。2は半導体素子を収容するパフ
ケージであってセラミック等にて形成される。3はCO
D等の固体損保デバイス等からなるカラー用の受光素子
であって、その表面には有機材料からなるフィルタ4が
被着されている。5は接着剤を示す。パッケージ2の上
面には段差を設け、その段差部を利用して接着剤5にて
透光性キャップ1を接着し、外部からの光を封止された
受光素子3が受光できる構造になっている。6は複数の
リードピンであってパッケージ2の内部に積層形成され
た導通パターン2′と接続され、その導通パターン2”
の他端は受光素子3の入出力端子にそれぞれワイヤボン
デング付けされている。
の透光性部材からなる。2は半導体素子を収容するパフ
ケージであってセラミック等にて形成される。3はCO
D等の固体損保デバイス等からなるカラー用の受光素子
であって、その表面には有機材料からなるフィルタ4が
被着されている。5は接着剤を示す。パッケージ2の上
面には段差を設け、その段差部を利用して接着剤5にて
透光性キャップ1を接着し、外部からの光を封止された
受光素子3が受光できる構造になっている。6は複数の
リードピンであってパッケージ2の内部に積層形成され
た導通パターン2′と接続され、その導通パターン2”
の他端は受光素子3の入出力端子にそれぞれワイヤボン
デング付けされている。
第3図は第2図の接着剤付近の拡大図を示す。
透光性キャップ1をパッケージ2に接着する際に接着剤
5としてガラス性接着剤を用いると、封止温度が約40
0℃になり、前記受光素子3に被着された有機材料から
なるフィルタ4が変質してしまう欠点がある。また、樹
脂性接着剤を用いると、封止温度は約150℃となりフ
ィルタ4の変質の心配はないが封止後、高湿度雰囲気中
で装置を使用すると、パッケージ2内に水分が侵入する
ことがあり、装置の信頬性を劣化させる欠点がある。
5としてガラス性接着剤を用いると、封止温度が約40
0℃になり、前記受光素子3に被着された有機材料から
なるフィルタ4が変質してしまう欠点がある。また、樹
脂性接着剤を用いると、封止温度は約150℃となりフ
ィルタ4の変質の心配はないが封止後、高湿度雰囲気中
で装置を使用すると、パッケージ2内に水分が侵入する
ことがあり、装置の信頬性を劣化させる欠点がある。
本発明は上記従来の欠点に鑑みてなされたもので、フィ
ルタを変質させることなく耐湿性の良い半導体装置の提
供を目的とする。
ルタを変質させることなく耐湿性の良い半導体装置の提
供を目的とする。
第1図は、本発明の構成を示す要部断面図である。外部
リードビン6を有するパンケージ7の上面に透光性キャ
ップ1を備え、有機材料からなるフィルタ4を被着され
た受光素子3を前記透光性キャップlに対向配置してな
る半導体装置において、前記透光性キャップ1に対向し
ない側の前記受光素子3の面にチップ付けされる導通パ
ターン12を有するセラミック板9と、該導通パターン
12の一端に前記受光素子3の入出力端子をワイヤボン
ディング接続すると共に、該導通パターン12の各他端
を前記外部リードピン6に接続可能に前記セラミック板
9に設けた中継ピン13と、該セラミック板9を前記パ
ッケージ7の下面から挿入して前記パッケージ7の内側
面に封着する封止レジンlOと、前記セラミック板9に
対向して前記パッケージ7の下面に設けたシームウェル
ドキャップ11とから構成する。
リードビン6を有するパンケージ7の上面に透光性キャ
ップ1を備え、有機材料からなるフィルタ4を被着され
た受光素子3を前記透光性キャップlに対向配置してな
る半導体装置において、前記透光性キャップ1に対向し
ない側の前記受光素子3の面にチップ付けされる導通パ
ターン12を有するセラミック板9と、該導通パターン
12の一端に前記受光素子3の入出力端子をワイヤボン
ディング接続すると共に、該導通パターン12の各他端
を前記外部リードピン6に接続可能に前記セラミック板
9に設けた中継ピン13と、該セラミック板9を前記パ
ッケージ7の下面から挿入して前記パッケージ7の内側
面に封着する封止レジンlOと、前記セラミック板9に
対向して前記パッケージ7の下面に設けたシームウェル
ドキャップ11とから構成する。
受光素子3をセラミック板9にチップ付けすることによ
り、受光素子3をパッケージ7から分離した状態でパッ
ケージ7の上面に透光性キャップ1を接着可能となり封
止温度の高いガラス性接着剤8を使用でき、これにより
透光性キャップ1の接着部分からの湿気侵入問題は解決
できる。また受光素子3の入出力端子は中継ビン13を
セラミック板9にもうけることにより外部リードビン6
と接続可能となり、シームウェルドキャップ11をパッ
ケージ7の下面に設けることによりパッケージ7の内側
面にセラミック板9を封着する封止レジンIOは大気に
晒されることなく、かつ受光素子3に熱を加えることな
く封止が可能となる。
り、受光素子3をパッケージ7から分離した状態でパッ
ケージ7の上面に透光性キャップ1を接着可能となり封
止温度の高いガラス性接着剤8を使用でき、これにより
透光性キャップ1の接着部分からの湿気侵入問題は解決
できる。また受光素子3の入出力端子は中継ビン13を
セラミック板9にもうけることにより外部リードビン6
と接続可能となり、シームウェルドキャップ11をパッ
ケージ7の下面に設けることによりパッケージ7の内側
面にセラミック板9を封着する封止レジンIOは大気に
晒されることなく、かつ受光素子3に熱を加えることな
く封止が可能となる。
以下本発明の実施例を図面によって詳述する。
なお、構成、動作の説明を理解し易くするために全図を
通じて同一部分には同一符号を付してその重複説明を省
略する。
通じて同一部分には同一符号を付してその重複説明を省
略する。
第1図は本発明の構成を示す要部断面図である。
図において、7はパッケージであって第2図のパッケー
ジ2と異なる点は底部が抜けていることと、外部リード
ピン6の接続パターンが後述する中継ピン13と接続さ
れるようになったこと、および後述するセラミック板9
とシームウェルドキャップ11とを下面側に設ける構造
になった点である。8はガラス性の接着剤、9は受光素
子3をチップ付けするセラミック板、10はセラミック
板9を前記パッケージ7の下面から挿入して前記パッケ
ージ7の内側面に封着する封止レジンであって、例えば
封止温度の低い樹脂性接着剤を用いる。
ジ2と異なる点は底部が抜けていることと、外部リード
ピン6の接続パターンが後述する中継ピン13と接続さ
れるようになったこと、および後述するセラミック板9
とシームウェルドキャップ11とを下面側に設ける構造
になった点である。8はガラス性の接着剤、9は受光素
子3をチップ付けするセラミック板、10はセラミック
板9を前記パッケージ7の下面から挿入して前記パッケ
ージ7の内側面に封着する封止レジンであって、例えば
封止温度の低い樹脂性接着剤を用いる。
11はパッケージ7の下面にセラミック板9をカバーす
るように設けたシームウェルドキャンプであって、スポ
ット溶接式に加熱されるため温度上昇は少なく、セラミ
ック板9を密封できる。
るように設けたシームウェルドキャンプであって、スポ
ット溶接式に加熱されるため温度上昇は少なく、セラミ
ック板9を密封できる。
12はセラミック板9に設けられた導通パターンであっ
て、その一端は受光素子3の入出力端子とをワイヤボン
ディング接続され、その各他端は外部リードピン6と接
続可能に設けられた中継ピン13に接続されている。中
継ピン13は挿抜自在のコネクタ構造でセラミック板9
に植設されたものである。
て、その一端は受光素子3の入出力端子とをワイヤボン
ディング接続され、その各他端は外部リードピン6と接
続可能に設けられた中継ピン13に接続されている。中
継ピン13は挿抜自在のコネクタ構造でセラミック板9
に植設されたものである。
組み立ての手順としては、まずパッケージ7と透光性キ
ャップ1をガラス性接着剤8にて一体化する。次に導通
パターン12のあるセラミック板9に受光素子3をチッ
プ付けし、その入出力端子を導通パターン12とワイヤ
ボンディング接続し、さらにその他端は植設された中継
ピンと接続する。
ャップ1をガラス性接着剤8にて一体化する。次に導通
パターン12のあるセラミック板9に受光素子3をチッ
プ付けし、その入出力端子を導通パターン12とワイヤ
ボンディング接続し、さらにその他端は植設された中継
ピンと接続する。
次に透光性キャップ1と一体化されたパッケージ7の下
面からセラミック板9の中継ピン13を嵌合させながら
挿入して前記パッケージ7の内側面に封止レジン10に
て封着する。次にシームウェルドキャップ11にてパッ
ケージ7の下面を密封する。
面からセラミック板9の中継ピン13を嵌合させながら
挿入して前記パッケージ7の内側面に封止レジン10に
て封着する。次にシームウェルドキャップ11にてパッ
ケージ7の下面を密封する。
この密封はあらかじめパッケージ7の下面をメタライズ
しておき、低融点金属の金属ロー材を選択することによ
り行う。
しておき、低融点金属の金属ロー材を選択することによ
り行う。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、良好な
耐湿性が得られ装置の信顛性を向上させることができる
効果がある。
耐湿性が得られ装置の信顛性を向上させることができる
効果がある。
第1図は本発明の構成を示す要部断面図、第2図は従来
の固体撮像デバイスの要部断面図、第3図は第2図の接
着剤付近の拡大図を示す。 第1図において、1は透光性キャップ、3は受光素子、
4はフィルタ、6は外部リードピン、7はパッケージ、
9はセラミック板、■0は封止レジン、11はシームウ
ェルドキャップ、12は導通パターン、13は中継ピン
をそれぞれ示す。
の固体撮像デバイスの要部断面図、第3図は第2図の接
着剤付近の拡大図を示す。 第1図において、1は透光性キャップ、3は受光素子、
4はフィルタ、6は外部リードピン、7はパッケージ、
9はセラミック板、■0は封止レジン、11はシームウ
ェルドキャップ、12は導通パターン、13は中継ピン
をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 外部リードピン(6)を有するパッケージ(7)の上面
に透光性キャップ(1)を備え、有機材料からなるフィ
ルタ(4)を被着された受光素子(3)を前記透光性キ
ャップ(1)に対向配置してなる半導体装置において、
前記透光性キャップ(1)に対向しない側の前記受光素
子(3)の面にチップ付けされる導通パターン(12)
を有するセラミック板(9)と、 該導通パターン(2)の一端に前記受光素子(3)の入
出力端子をワイヤボンディング接続すると共に、該導通
パターン(2)の各他端を前記外部リードピン(6)に
接続可能に前記セラミック板(9)に設けた中継ピン(
13)と、 該セラミック板(9)を前記パッケージ(7)の下面か
ら挿入して前記パッケージ(7)の内側面に封着する封
止レジン(10)と、 前記セラミック板(9)に対向して前記パッケージ(7
)の下面に設けたシームウエルドキャップ(11)とか
ら構成されてなることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63180791A JPH0230181A (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63180791A JPH0230181A (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0230181A true JPH0230181A (ja) | 1990-01-31 |
Family
ID=16089393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63180791A Pending JPH0230181A (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0230181A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000076001A1 (en) * | 1999-06-04 | 2000-12-14 | Silicon Film Technologies, Inc. | Image sensor package with image plane reference |
US6268231B1 (en) | 1996-04-08 | 2001-07-31 | Eastman Kodak Company | Low cost CCD packaging |
WO2004068592A1 (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Ngk Insulators, Ltd. | 光デバイス |
US7174062B2 (en) | 2002-03-29 | 2007-02-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical device and method of manufacturing same |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP63180791A patent/JPH0230181A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6268231B1 (en) | 1996-04-08 | 2001-07-31 | Eastman Kodak Company | Low cost CCD packaging |
WO2000076001A1 (en) * | 1999-06-04 | 2000-12-14 | Silicon Film Technologies, Inc. | Image sensor package with image plane reference |
US7174062B2 (en) | 2002-03-29 | 2007-02-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical device and method of manufacturing same |
WO2004068592A1 (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Ngk Insulators, Ltd. | 光デバイス |
US7287915B2 (en) | 2003-01-27 | 2007-10-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical device |
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