JPH02294486A - 無電解めっき法 - Google Patents
無電解めっき法Info
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- H05K3/427—Plated through-holes or plated via connections characterised by the sequence of steps for plating the through-holes or via connections in relation to the conductive pattern initial plating of through-holes in metal-clad substrates
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、無電解めっき法に関する.
(従来の技術)
ガラスやプラスチック等の絶縁物上への無電解めっき法
は、一般に、無電解めっき用触媒の絶縁物表面への吸着
力を向上させるためのコンデショニング処理に続いて、
塩化パラジウム及び塩化スズ(U)を含む水溶液等の無
電解めっき用触媒溶液に接触させ絶縁物表面に無電解め
っき用触媒を吸着させる処理を行い、次に無電解めっき
用触媒の活性促進処理を行った後、無電解めっき液に浸
漬している. 従来、この活性促進処理には、特開昭50−81927
号公報に開示されているように、硫酸と塩酸の混酸やこ
のような混酸に酒石酸を添加した処理液に浸漬する方法
や、あるいは、特開昭51−8127号公報に開示され
ているように、Na0Hとエチレンジアミン四酢酸を含
む水溶液に浸漬する方法が提案されている. (発明が解決しようとする課H) 現在、プリント配線板の製造において、無電解めっきは
、絶縁材料に隔てられた回路パターン間の接続を行うス
ルーホールを形成するために重要な技術である.ところ
で、高い信幀性が要求されるプリント配線板の絶縁材料
には、ガラス繊維等の無機酸化物繊維で強化された絶縁
樹脂が使用されているので、このような絶縁材料にスル
ーホールを形成するためには、孔あけされた内壁に露出
している絶縁樹脂と無機酸化物繊維の2種類の材料に無
電解めっきが充分にされなければならない.もしも、ど
ちらか一方に無電解めっきの析出が不十分である場合に
は、ピンホールとよばれる金属化していない部分ができ
、この無電解めっきの後に電気めっきによってスルーホ
ール内の金属層を厚くした場合でもビンホールは残り、
プリント配線板に電子部品を実装するときに用いる溶融
はんだが充分にスルーホール内の金属層と接触せず、電
子部品と回路との電気的接続が充分でない。
は、一般に、無電解めっき用触媒の絶縁物表面への吸着
力を向上させるためのコンデショニング処理に続いて、
塩化パラジウム及び塩化スズ(U)を含む水溶液等の無
電解めっき用触媒溶液に接触させ絶縁物表面に無電解め
っき用触媒を吸着させる処理を行い、次に無電解めっき
用触媒の活性促進処理を行った後、無電解めっき液に浸
漬している. 従来、この活性促進処理には、特開昭50−81927
号公報に開示されているように、硫酸と塩酸の混酸やこ
のような混酸に酒石酸を添加した処理液に浸漬する方法
や、あるいは、特開昭51−8127号公報に開示され
ているように、Na0Hとエチレンジアミン四酢酸を含
む水溶液に浸漬する方法が提案されている. (発明が解決しようとする課H) 現在、プリント配線板の製造において、無電解めっきは
、絶縁材料に隔てられた回路パターン間の接続を行うス
ルーホールを形成するために重要な技術である.ところ
で、高い信幀性が要求されるプリント配線板の絶縁材料
には、ガラス繊維等の無機酸化物繊維で強化された絶縁
樹脂が使用されているので、このような絶縁材料にスル
ーホールを形成するためには、孔あけされた内壁に露出
している絶縁樹脂と無機酸化物繊維の2種類の材料に無
電解めっきが充分にされなければならない.もしも、ど
ちらか一方に無電解めっきの析出が不十分である場合に
は、ピンホールとよばれる金属化していない部分ができ
、この無電解めっきの後に電気めっきによってスルーホ
ール内の金属層を厚くした場合でもビンホールは残り、
プリント配線板に電子部品を実装するときに用いる溶融
はんだが充分にスルーホール内の金属層と接触せず、電
子部品と回路との電気的接続が充分でない。
従来の活性促進処理である硫酸と塩酸の混酸やこのよう
な混酸に酒石酸を添加した処理液またはNaOHとエチ
レンジアミン四酢酸を含む水溶液に浸漬する方法では、
絶縁樹脂と無機酸化物繊維の2種類の材料に対して活性
促進が充分に行われないという問題があった. また、配線板を製造する場合には、前記の絶縁樹脂と無
機酸化物繊維の2種類の材料に対して無電解めっきを析
出させるのみならず、回路間の電気的接続のために、回
路を構成している金属に対しても無電解めっきの析出が
行われなければならない.しかも、熱衝撃による金属間
の剥離等が起こり易いことから、この回路を構成する金
属と無電解めっきによる析出金属との密着力が必要とさ
れるが、従来の活性促進処理法では、銅箔と無電解めっ
き被膜の密着力が低下する場合もあるという問題があっ
た. 本発明は、スルーホール内の無電解めっきの析出がが良
好であり、かつ銅箔との密着力の高い無電解銅めっき法
を提供するものである.(諜題を解決するための手段) 本発明の無電解めっき法は、被めっき体を、塩化パラジ
ウム及び塩化スズを含む水溶液の無電解めっき用触媒に
接触させ、続いて硫酸と塩化第二銅を含む水溶液に接触
させた後、無電解めっきを行うことを特徴とする. 本発明に用いる硫酸と塩化第二銅を含む水溶液において
、硫酸の濃度は、0.Ol〜5モル/lが好まし《、さ
らに好まし《はO.1〜2モル/lの範囲であり、塩化
第二銅の濃度は、0.00003〜0.03モル/2が
好ましく、さらに好ましくはo.ooot〜0.005
モル/1の範囲である.この塩化第二銅の濃度は、銅箔
と無電解めっき銅との密着力特性と活性処理液の寿命を
支配し、濃度が0.00003モル/j!より低いと銅
箔と無電解めっき銅との密着力が低下し、0.03モル
/lより高いと活性処理液の寿命が低下する.このよう
な硫酸と塩化第二銅を含む水溶液に代えて、硫酸と塩化
第二銅と有機酸を加えた水溶液を用いることもでき、ス
ルーホール内の無電解めっきの析出をさらに良好にする
ことができる.このような有機酸としては、クエン酸、
グリセリン酸、マロン酸、リンゴ酸、グリコール酸、乳
酸、酒石酸、アジピン酸等が使用でき、一種類以上を添
加して用いることもできる. この活性促進処理液において、硫酸と塩化第二銅の濃度
は前記と同欅であり、有機酸の濃度は5モル/Q以下が
好ましい範囲である. (作用) 前記の活性処理液を用いることによって、スルーホール
内の無電解めっきが良好であり、かつ銅箔との密着力の
高い無電解銅めっきを行うことができる. 実施例1 直径0.9m−の孔をあけたガラス繊維強化エボキシ樹
脂積層板であるMCLE−67(日立化成工業株式会社
、商品名)をペルオクソ硫酸アンモニウム100g/l
fiの水溶液に2分間浸漬し、3分間水洗し、無電解め
っき用触媒の吸着促進を行うコンディショナーであるC
LC−201(日立化成工業株式会社、商品名)に50
゜Cで5分間浸漬し、3分間水洗し、無電解めっき用触
媒液であるHS−202B(日立化成工業株式会社、商
品名)に10分間浸漬した後、5分間水洗した.この基
板を、濃度0.5モル/lの硫酸と濃度0.0003モ
ル/lの塩化第二銅を含む水溶液に5分間浸漬し、5分
間水洗した後、無電解銅めっき液であるCUST−20
1 (日立化成工業株式会社、商品名)に15分間浸漬
し無電解銅めっきを行った. 実施例2 活性促進処理液として、濃度0.5モル/lの硫酸と濃
度0.0006モル/iの塩化第二銅とクエン酸0.0
5モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例lと同様
とした. 実施例3 活性促進処理液として、濃度1.0モル/j!の硫酸と
濃度0.0001モル/lの塩化第二銅とグリセリン酸
2.0モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と
同様とした。
な混酸に酒石酸を添加した処理液またはNaOHとエチ
レンジアミン四酢酸を含む水溶液に浸漬する方法では、
絶縁樹脂と無機酸化物繊維の2種類の材料に対して活性
促進が充分に行われないという問題があった. また、配線板を製造する場合には、前記の絶縁樹脂と無
機酸化物繊維の2種類の材料に対して無電解めっきを析
出させるのみならず、回路間の電気的接続のために、回
路を構成している金属に対しても無電解めっきの析出が
行われなければならない.しかも、熱衝撃による金属間
の剥離等が起こり易いことから、この回路を構成する金
属と無電解めっきによる析出金属との密着力が必要とさ
れるが、従来の活性促進処理法では、銅箔と無電解めっ
き被膜の密着力が低下する場合もあるという問題があっ
た. 本発明は、スルーホール内の無電解めっきの析出がが良
好であり、かつ銅箔との密着力の高い無電解銅めっき法
を提供するものである.(諜題を解決するための手段) 本発明の無電解めっき法は、被めっき体を、塩化パラジ
ウム及び塩化スズを含む水溶液の無電解めっき用触媒に
接触させ、続いて硫酸と塩化第二銅を含む水溶液に接触
させた後、無電解めっきを行うことを特徴とする. 本発明に用いる硫酸と塩化第二銅を含む水溶液において
、硫酸の濃度は、0.Ol〜5モル/lが好まし《、さ
らに好まし《はO.1〜2モル/lの範囲であり、塩化
第二銅の濃度は、0.00003〜0.03モル/2が
好ましく、さらに好ましくはo.ooot〜0.005
モル/1の範囲である.この塩化第二銅の濃度は、銅箔
と無電解めっき銅との密着力特性と活性処理液の寿命を
支配し、濃度が0.00003モル/j!より低いと銅
箔と無電解めっき銅との密着力が低下し、0.03モル
/lより高いと活性処理液の寿命が低下する.このよう
な硫酸と塩化第二銅を含む水溶液に代えて、硫酸と塩化
第二銅と有機酸を加えた水溶液を用いることもでき、ス
ルーホール内の無電解めっきの析出をさらに良好にする
ことができる.このような有機酸としては、クエン酸、
グリセリン酸、マロン酸、リンゴ酸、グリコール酸、乳
酸、酒石酸、アジピン酸等が使用でき、一種類以上を添
加して用いることもできる. この活性促進処理液において、硫酸と塩化第二銅の濃度
は前記と同欅であり、有機酸の濃度は5モル/Q以下が
好ましい範囲である. (作用) 前記の活性処理液を用いることによって、スルーホール
内の無電解めっきが良好であり、かつ銅箔との密着力の
高い無電解銅めっきを行うことができる. 実施例1 直径0.9m−の孔をあけたガラス繊維強化エボキシ樹
脂積層板であるMCLE−67(日立化成工業株式会社
、商品名)をペルオクソ硫酸アンモニウム100g/l
fiの水溶液に2分間浸漬し、3分間水洗し、無電解め
っき用触媒の吸着促進を行うコンディショナーであるC
LC−201(日立化成工業株式会社、商品名)に50
゜Cで5分間浸漬し、3分間水洗し、無電解めっき用触
媒液であるHS−202B(日立化成工業株式会社、商
品名)に10分間浸漬した後、5分間水洗した.この基
板を、濃度0.5モル/lの硫酸と濃度0.0003モ
ル/lの塩化第二銅を含む水溶液に5分間浸漬し、5分
間水洗した後、無電解銅めっき液であるCUST−20
1 (日立化成工業株式会社、商品名)に15分間浸漬
し無電解銅めっきを行った. 実施例2 活性促進処理液として、濃度0.5モル/lの硫酸と濃
度0.0006モル/iの塩化第二銅とクエン酸0.0
5モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例lと同様
とした. 実施例3 活性促進処理液として、濃度1.0モル/j!の硫酸と
濃度0.0001モル/lの塩化第二銅とグリセリン酸
2.0モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と
同様とした。
実施例4
活性促進処理液として、濃度0.5モル/I!の硫酸と
濃度0.0003モル/lの塩化第二銅とマロン酸0.
05モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例lと同
様とした. 実施例5 活性促進処理液として、濃度0.5モル/lの硫酸と濃
度0.0003モル/iの塩化第二銅とアジピン酸0.
02モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と同
様とした. 実施例6 活性促進処理液として、濃度0.5モル/I!の硫酸と
濃度0. O O O 3モル/lの塩化第二銅とリン
ゴ酸0.1モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例
lと同様とした. 実施例7 活性促進処理液として、濃度0.5モル/lの硫酸と濃
度0.0003モル/iの塩化第二銅と乳酸0.1モル
/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と同様とした
。
濃度0.0003モル/lの塩化第二銅とマロン酸0.
05モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例lと同
様とした. 実施例5 活性促進処理液として、濃度0.5モル/lの硫酸と濃
度0.0003モル/iの塩化第二銅とアジピン酸0.
02モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と同
様とした. 実施例6 活性促進処理液として、濃度0.5モル/I!の硫酸と
濃度0. O O O 3モル/lの塩化第二銅とリン
ゴ酸0.1モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例
lと同様とした. 実施例7 活性促進処理液として、濃度0.5モル/lの硫酸と濃
度0.0003モル/iの塩化第二銅と乳酸0.1モル
/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と同様とした
。
実施例8
活性促進処理液として、濃度0.5モル/1の硫酸と濃
度0.0003モル/lの塩化第二銅とグリコール酸0
.05モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と
同様とした. 実施例9 活性促進処理液として、濃度0.5モル/2の硫酸と濃
度0.0003モル/2の塩化第二銅と酒石酸0.05
モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と同様と
した。
度0.0003モル/lの塩化第二銅とグリコール酸0
.05モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と
同様とした. 実施例9 活性促進処理液として、濃度0.5モル/2の硫酸と濃
度0.0003モル/2の塩化第二銅と酒石酸0.05
モル/lを含む水溶液を用いた以外は実施例1と同様と
した。
以上のように無電解めっきを行った基板のスルーホール
内壁のめっき状態を光学顕微鏡で観察した結果、ガラス
繊維表面及びエポキシ樹脂表面のいずれも無電解銅めっ
きが良好に析出していた.また、この無電解めっきを行
った基板に、一般のプリント配線板に使用されている電
気めっきに用いる硫酸銅に浸漬し、金属層の厚さが40
amになるまで電気めっきを行い、tJ4 faと無電
解銅めっきの引き剥がし試験を行ったところ、銅箔と無
電解銅の界面では剥離せず、銅箔と絶縁基材との間で剥
離が起こり、銅箔と無電解銅との密着力の高いことが確
認できた. (発明の効果) 以上に説明したように、本発明は、スルーホール内の無
電解めっきが良好であり、がっ銅箔との密着力の高い無
電解銅めっき法を提供することができた.
内壁のめっき状態を光学顕微鏡で観察した結果、ガラス
繊維表面及びエポキシ樹脂表面のいずれも無電解銅めっ
きが良好に析出していた.また、この無電解めっきを行
った基板に、一般のプリント配線板に使用されている電
気めっきに用いる硫酸銅に浸漬し、金属層の厚さが40
amになるまで電気めっきを行い、tJ4 faと無電
解銅めっきの引き剥がし試験を行ったところ、銅箔と無
電解銅の界面では剥離せず、銅箔と絶縁基材との間で剥
離が起こり、銅箔と無電解銅との密着力の高いことが確
認できた. (発明の効果) 以上に説明したように、本発明は、スルーホール内の無
電解めっきが良好であり、がっ銅箔との密着力の高い無
電解銅めっき法を提供することができた.
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、被めっき体を、塩化パラジウム及び塩化スズを含む
水溶液の無電解めっき用触媒に接触させ、続いて硫酸と
塩化第二銅を含む水溶液に接触させた後、無電解めっき
を行うことを特徴とする無電解めっき法。 2、硫酸と塩化第二銅を含む水溶液に代えて、硫酸と塩
化第二銅と有機酸を加えた水溶液を用いることを特徴と
する請求項1記載の無電解めっき法。 3、硫酸と塩化第二銅を含む水溶液において、硫酸の濃
度が0.01〜5モル/lでありかつ、塩化第二銅の濃
度が0.00003〜0.03モル/lである水溶液を
用いることを特徴とする請求項1または2のいずれかに
記載の無電解めっき法。 4、硫酸と塩化第二銅と有機酸を加えた水溶液において
、有機酸の濃度が5モル/l以下である水溶液を用いる
ことを特徴とする請求項2または3のうちいずれかに記
載の無電解めっき法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1115834A JP2666470B2 (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 無電解めっき法 |
US07/518,500 US5206052A (en) | 1989-03-09 | 1990-05-02 | Electroless plating process |
DE69015689T DE69015689T2 (de) | 1989-05-09 | 1990-05-04 | Stromloses Plattierverfahren. |
EP90304871A EP0397412B1 (en) | 1989-05-09 | 1990-05-04 | Electroless plating process |
KR1019900006555A KR930007387B1 (ko) | 1989-05-09 | 1990-05-09 | 무전해 도금 방법 |
US07/978,405 US5254156A (en) | 1989-05-09 | 1992-11-18 | Aqueous solution for activation accelerating treatment |
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---|---|---|---|
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---|---|
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JP2666470B2 JP2666470B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP1115834A Expired - Lifetime JP2666470B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-05-09 | 無電解めっき法 |
Country Status (5)
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---|---|
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EP (1) | EP0397412B1 (ja) |
JP (1) | JP2666470B2 (ja) |
KR (1) | KR930007387B1 (ja) |
DE (1) | DE69015689T2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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1989
- 1989-05-09 JP JP1115834A patent/JP2666470B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-05-02 US US07/518,500 patent/US5206052A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-04 EP EP90304871A patent/EP0397412B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-05-04 DE DE69015689T patent/DE69015689T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-09 KR KR1019900006555A patent/KR930007387B1/ko not_active IP Right Cessation
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JP2666470B2 (ja) | 1997-10-22 |
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US5206052A (en) | 1993-04-27 |
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EP0397412A2 (en) | 1990-11-14 |
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EP0397412A3 (en) | 1992-03-25 |
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