JPH02288381A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPH02288381A JPH02288381A JP1107802A JP10780289A JPH02288381A JP H02288381 A JPH02288381 A JP H02288381A JP 1107802 A JP1107802 A JP 1107802A JP 10780289 A JP10780289 A JP 10780289A JP H02288381 A JPH02288381 A JP H02288381A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電磁器組成物に係り、より詳しく述べると自
動車などに圧電アクチュエータとして適用することを目
的として圧電歪み定数が大きく、耐熱性(キュリー温度
)の高い圧電磁器組成物を提供するものである。
動車などに圧電アクチュエータとして適用することを目
的として圧電歪み定数が大きく、耐熱性(キュリー温度
)の高い圧電磁器組成物を提供するものである。
PbTi0.−PbZrO,系圧電磁器材料は優れた圧
電特性から、広く音響ピックアップ、圧電点火装置、フ
ィルター、圧電アクチュエータ等に用いられている。こ
れに様々の添加剤を加えて圧電特性の改良が図られてい
る。例えば、Nb、Ta、W、希土類元素などを添加す
ると圧電性が向上することが知られている(例えば、米
国特許第2911370号明細書、特開昭63−767
7号公報)。また、Pbの一部をBa、 Sr、
Caなどのアルカリ土類金属と置換するとに定数、誘電
率が高められることも知られている(特公昭36−16
673号公報)。
電特性から、広く音響ピックアップ、圧電点火装置、フ
ィルター、圧電アクチュエータ等に用いられている。こ
れに様々の添加剤を加えて圧電特性の改良が図られてい
る。例えば、Nb、Ta、W、希土類元素などを添加す
ると圧電性が向上することが知られている(例えば、米
国特許第2911370号明細書、特開昭63−767
7号公報)。また、Pbの一部をBa、 Sr、
Caなどのアルカリ土類金属と置換するとに定数、誘電
率が高められることも知られている(特公昭36−16
673号公報)。
このような圧電磁器材料を自動車等に例えば圧電アクチ
ュエータとして利用する場合、アクチュエータの特性上
から圧電歪み定数、特にd33が大きいことが望ましく
、また自動車部品の使用温度が150℃付近になること
からキュリー温度が200℃以上であることが必要であ
る。
ュエータとして利用する場合、アクチュエータの特性上
から圧電歪み定数、特にd33が大きいことが望ましく
、また自動車部品の使用温度が150℃付近になること
からキュリー温度が200℃以上であることが必要であ
る。
しかしながら、従来提案されている圧電磁器材料は、い
ずれも、このように自動車等に圧電アクチユエータ等と
して利用するのに適した大きな圧電歪み定数と高いキ5
1J−温度とを有していない。
ずれも、このように自動車等に圧電アクチユエータ等と
して利用するのに適した大きな圧電歪み定数と高いキ5
1J−温度とを有していない。
そこで、本発明は圧電歪み定数が大きくキュリー温度が
高い圧電磁器材料を提供することを目的とする。
高い圧電磁器材料を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段及び作用〕本発明は、上記
目的を達成するために、(Pb+−xSr+t)(2r
yTi+−yMg)03.z−C式中、MはNb。
目的を達成するために、(Pb+−xSr+t)(2r
yTi+−yMg)03.z−C式中、MはNb。
Sb、Ta又はLaから選ばれる1種以上の元素を表わ
し、0.08≦x≦0.14.0.49≦y−0,5x
≦0.51.0.005≦z≦0.02、z′はMがL
aのとき3/2 zSMがSb、 Ta又はNbのと
き5/2zのようにMzOz ’を化学量論的化合物に
する値である。〕で表わされる組成を有することを特徴
とする圧電磁器組成物を提供する。
し、0.08≦x≦0.14.0.49≦y−0,5x
≦0.51.0.005≦z≦0.02、z′はMがL
aのとき3/2 zSMがSb、 Ta又はNbのと
き5/2zのようにMzOz ’を化学量論的化合物に
する値である。〕で表わされる組成を有することを特徴
とする圧電磁器組成物を提供する。
この圧電磁器組成物は400X10”−12m/V以上
の圧電歪み定数d33.200℃以上のキ5 リー温度
を有することができ、特にこの圧電歪みd33を利用し
た圧電アクチュエータは自動車用等として好適である。
の圧電歪み定数d33.200℃以上のキ5 リー温度
を有することができ、特にこの圧電歪みd33を利用し
た圧電アクチュエータは自動車用等として好適である。
前記の如< 、PbTiO3−PbZrO3系固溶体に
Nb。
Nb。
Sb、Ta又はLaを加えるとに定数誘電率が向上し、
それにともない圧電歪み定数も大きくなることは知られ
ている。またPbをSrで置換することにより誘電率が
高くなることも知られている。
それにともない圧電歪み定数も大きくなることは知られ
ている。またPbをSrで置換することにより誘電率が
高くなることも知られている。
しかしながら、これまで知られている材料組成において
圧電アクチユエータに適した圧電特性(圧電歪み定数と
キュリー温度がともに高いこと)を有する組成は見い出
されていない。
圧電アクチユエータに適した圧電特性(圧電歪み定数と
キュリー温度がともに高いこと)を有する組成は見い出
されていない。
本発明では、先ず、PbT+0.、 PbZrO3系
固溶体にNb、Sb、Ta又はLaを加え、圧電歪み定
数の変化からその有効添加量が各元素とも0.5mo1
%〜2.0mo1%であることを求めた。次に、この組
成物を基本組成として、PbをSrで一部置換し、圧電
歪み定数を高める際、Srの置換量とZr/Zr+Ti
組成比との関係において、著しく圧電歪み定数の高い圧
電アクチュエータ用材料に適した組成が存在することを
見い出し、本発明を完成するに至った。
固溶体にNb、Sb、Ta又はLaを加え、圧電歪み定
数の変化からその有効添加量が各元素とも0.5mo1
%〜2.0mo1%であることを求めた。次に、この組
成物を基本組成として、PbをSrで一部置換し、圧電
歪み定数を高める際、Srの置換量とZr/Zr+Ti
組成比との関係において、著しく圧電歪み定数の高い圧
電アクチュエータ用材料に適した組成が存在することを
見い出し、本発明を完成するに至った。
このような本発明にもとづいて、従来、圧電歪み定数と
キュリー温度がともに高い圧電磁器材料が見い出されて
いない理由は、各添加元素単体の圧電特性への効果は知
られているが、複合での効果が明確になっていないこと
と、元素添加(置換)において、5mo1%以上と比較
的多い量添加(置換)する場合にZr/Zr+Tiの最
適組成比が変動することが知られていなかったためであ
ると考えられる。
キュリー温度がともに高い圧電磁器材料が見い出されて
いない理由は、各添加元素単体の圧電特性への効果は知
られているが、複合での効果が明確になっていないこと
と、元素添加(置換)において、5mo1%以上と比較
的多い量添加(置換)する場合にZr/Zr+Tiの最
適組成比が変動することが知られていなかったためであ
ると考えられる。
実施例1
主成分の成分比がPt1(Zro、 52T10. *
a)0*で表わされるように酸化鉛(PbO) 50
モル%、酸化ジルコニウム(ZrO2) 26モル%、
酸化チタン(T102) 24モル%の割合にした粉末
、およびこれに副成分として五酸化ニオブ(Nb2os
)を0.1〜3モル%加えた粉末をボールミルにて48
時時間式混合した。
a)0*で表わされるように酸化鉛(PbO) 50
モル%、酸化ジルコニウム(ZrO2) 26モル%、
酸化チタン(T102) 24モル%の割合にした粉末
、およびこれに副成分として五酸化ニオブ(Nb2os
)を0.1〜3モル%加えた粉末をボールミルにて48
時時間式混合した。
これを脱水乾燥後、空気中で900℃、1時間仮焼を行
なった。仮焼粉は再び48時時間式混合し、脱水乾燥し
た、乾燥粉末にバインダーとしてPVA(ポリビニルア
ルコール)を1wt%加え造粒後、成形圧力1000k
g/c[IIで直径20mm、厚さ1mmの円板に成形
し、1250℃で1時間焼成した。このようにして得ら
れた磁器に銀電極を付け、100℃で5QkV/cmの
印加電圧でシリコンオイル中で30分分極処理を行なっ
た。24時間放置後、磁器に印加する電圧を0=500
Vと切り換えて磁器の歪み量を表面粗さ計にて直接計測
し、圧電歪み定数d3コを直接求めた。
なった。仮焼粉は再び48時時間式混合し、脱水乾燥し
た、乾燥粉末にバインダーとしてPVA(ポリビニルア
ルコール)を1wt%加え造粒後、成形圧力1000k
g/c[IIで直径20mm、厚さ1mmの円板に成形
し、1250℃で1時間焼成した。このようにして得ら
れた磁器に銀電極を付け、100℃で5QkV/cmの
印加電圧でシリコンオイル中で30分分極処理を行なっ
た。24時間放置後、磁器に印加する電圧を0=500
Vと切り換えて磁器の歪み量を表面粗さ計にて直接計測
し、圧電歪み定数d3コを直接求めた。
得られた結果を第1図に示す。
第1図からNb添加量が0.5モル%〜2.0モル%と
限られた範囲内においてのみ圧電歪み定数d33が有効
に向上することがわかった。このことは、これまで−殻
内に知られているNb添加量がQ、1wt%以上で圧電
特性(k定数、誘電率)が向上するというだけの知見(
米国特許第2.911.370号)からは、当業者にも
予見できないことである。
限られた範囲内においてのみ圧電歪み定数d33が有効
に向上することがわかった。このことは、これまで−殻
内に知られているNb添加量がQ、1wt%以上で圧電
特性(k定数、誘電率)が向上するというだけの知見(
米国特許第2.911.370号)からは、当業者にも
予見できないことである。
第2〜4図に、上記実施例において副成分として、五酸
化ニオブに代えて五酸化アンチモン(SbzOs) 、
五酸化タンタル(’ra2os) 、酸化ランタン(L
azOa>を添加した場合の圧電歪み定数633の変化
を示す。各添加元素ともNbと同様に有効添加量は0.
5モル%〜2.0モル%と限られることがわかった。
化ニオブに代えて五酸化アンチモン(SbzOs) 、
五酸化タンタル(’ra2os) 、酸化ランタン(L
azOa>を添加した場合の圧電歪み定数633の変化
を示す。各添加元素ともNbと同様に有効添加量は0.
5モル%〜2.0モル%と限られることがわかった。
次に副成分としてNb 1モル%を含んだ組成を基準
として、PbをSrで6〜16モル%置換し、Zr/Z
r+Ti組成比を0.51〜0.60まで同時に変更し
た組成系C(PI)+−H3rX)(ZryTil−y
Nbo、 01)03. o2s ;x=0.06〜0
.16 ; y 〜0.51〜0.60:]の粉末を同
様に調製した。調製した組成点を第5図白丸で示す。
として、PbをSrで6〜16モル%置換し、Zr/Z
r+Ti組成比を0.51〜0.60まで同時に変更し
た組成系C(PI)+−H3rX)(ZryTil−y
Nbo、 01)03. o2s ;x=0.06〜0
.16 ; y 〜0.51〜0.60:]の粉末を同
様に調製した。調製した組成点を第5図白丸で示す。
なお、ストロンチウム原料としては、炭酸ストロンチウ
ム(SrCO3)を用いた。これらの粉末原料を用いて
磁器を同様に作製し、電圧歪み定数を求めた。また磁器
のキュリー温度を誘電率の温度変化から求めた。
ム(SrCO3)を用いた。これらの粉末原料を用いて
磁器を同様に作製し、電圧歪み定数を求めた。また磁器
のキュリー温度を誘電率の温度変化から求めた。
第5図の各組成点の粉末の特性結果を表1に示す。
表1
(Pfi+−wsr−) (Zr、Ti、Nb、、。1
)03.。22組成物の材料特性この結果から圧電歪み
定数が大幅に向上する組成域があることがわかった。圧
電アクチユエータとしてこの磁器材料を用いることを考
えると、使用部位にもよるが、特に自動車等への応用を
はかる上で、使用温度は150℃近くなることから、分
極劣化を防ぐためには材料のキュリー温度は200℃以
上であることが必要である。したがって圧電歪み定数が
高< (do3≧400xlO−12m/V) 、キ
、リー温度が高い(Tc2200℃)要件を満足する組
成域は次の様に特定された。
)03.。22組成物の材料特性この結果から圧電歪み
定数が大幅に向上する組成域があることがわかった。圧
電アクチユエータとしてこの磁器材料を用いることを考
えると、使用部位にもよるが、特に自動車等への応用を
はかる上で、使用温度は150℃近くなることから、分
極劣化を防ぐためには材料のキュリー温度は200℃以
上であることが必要である。したがって圧電歪み定数が
高< (do3≧400xlO−12m/V) 、キ
、リー温度が高い(Tc2200℃)要件を満足する組
成域は次の様に特定された。
(Pb+−++Sr、)(ZryTI +−yNbo−
o +)Os、 025系で(x、y)=(0,08,
0,53)、 (0,08,0,55)、 (0,
14,0,56>。
o +)Os、 025系で(x、y)=(0,08,
0,53)、 (0,08,0,55)、 (0,
14,0,56>。
(0,14、0,58>の各組成点で囲まれる領域で、
第5図の斜線部分に相当する。
第5図の斜線部分に相当する。
実施例2
組成系((Pb+−*Sr、) (zr、’ril−、
sb0.01)03.025x 〜0.06〜0.16
; V 〜0.51〜0.601の粉末調製及び磁器
作製を実施例工と同様に行なった。第5図と表2に結果
を示す。
sb0.01)03.025x 〜0.06〜0.16
; V 〜0.51〜0.601の粉末調製及び磁器
作製を実施例工と同様に行なった。第5図と表2に結果
を示す。
この結果においても、圧電歪み定数d33≧400XI
O−”m/Vで、キュリー温度Tc≧200℃の要件を
満足する組成域は実施例1と同様で、第5図の斜線部分
に対応した。
O−”m/Vで、キュリー温度Tc≧200℃の要件を
満足する組成域は実施例1と同様で、第5図の斜線部分
に対応した。
表2 (Pb+−xsr、)(ZryTi+−ysbo
、o+)Os、o25組成物の材料特性組成系((pt
、−xsr、) (ZryTi+−yTao、 o+)
Op、 ozs ;x =0.06〜0.16 ; y
=0.51〜0.60)の粉末調製及び磁器作製を実
施例1と同様に行なった。結果を表3に示す。表3から
圧電歪み定数d33≧400×10−”m/V、キュリ
ー温度Tc≧200℃を満足する組成域は、実施例1と
同様で第5図の斜線部ス1」1 組成系((pbl−ash) (ZryTi+−yLa
a、 o+)Os、 ops ;x =0. Of+〜
0.16 ; ’l =0.51〜0.60)の粉末調
製及び磁器作製を実施例1と同様に行なった。結果を表
4に示す。表3から圧電歪み定数、キュリー温度を満足
する組成域は、実施例1と同様で第5図の斜線部分に対
応した。
、o+)Os、o25組成物の材料特性組成系((pt
、−xsr、) (ZryTi+−yTao、 o+)
Op、 ozs ;x =0.06〜0.16 ; y
=0.51〜0.60)の粉末調製及び磁器作製を実
施例1と同様に行なった。結果を表3に示す。表3から
圧電歪み定数d33≧400×10−”m/V、キュリ
ー温度Tc≧200℃を満足する組成域は、実施例1と
同様で第5図の斜線部ス1」1 組成系((pbl−ash) (ZryTi+−yLa
a、 o+)Os、 ops ;x =0. Of+〜
0.16 ; ’l =0.51〜0.60)の粉末調
製及び磁器作製を実施例1と同様に行なった。結果を表
4に示す。表3から圧電歪み定数、キュリー温度を満足
する組成域は、実施例1と同様で第5図の斜線部分に対
応した。
表4 (pbl−Nsr、) (ZryTi+−yLa
o、 at)Os、 ops組成物の材料特性分に対応
した。
o、 at)Os、 ops組成物の材料特性分に対応
した。
表3 (pb、−xsr+t) (Zr、T+yTa。
、。、)03.。23組成物の材料特性実施例5
実施例1〜4はNb、 Sb、 Ta、 Laの
各元素1モル%を添加した系であるが、添加量0.5モ
ル%〜2モル%ではその効果に差がないことがわがって
いるので、まずNbを0.5モル%添加した系について
検討した。組成系((Pb、−*Sr*) (Zr、T
i、−。
各元素1モル%を添加した系であるが、添加量0.5モ
ル%〜2モル%ではその効果に差がないことがわがって
いるので、まずNbを0.5モル%添加した系について
検討した。組成系((Pb、−*Sr*) (Zr、T
i、−。
Nbo、 ass)Os、 o+2s ; X =0.
06〜0.16 ; V =0.51〜0.60)の粉
末調製及び磁器作製を実施例1と同様に行なった。結果
を表5に示す。表5から、圧電歪み定数dコク≧400
Xl0−12m/V、キュリー温度Tc≧200℃を
満足する組成域は実施例1と同様で第5図の斜線部分に
対応した。
06〜0.16 ; V =0.51〜0.60)の粉
末調製及び磁器作製を実施例1と同様に行なった。結果
を表5に示す。表5から、圧電歪み定数dコク≧400
Xl0−12m/V、キュリー温度Tc≧200℃を
満足する組成域は実施例1と同様で第5図の斜線部分に
対応した。
表5 (Pb+−msr、)(ZryTil−yNbo
−005)03. or2s組成物の材料特性組成系(
(pb、−wsrx) (2ryTl r−yNbo、
o*)L、 O5:x=0.06〜0.16 ; y
=0.51〜0.60)の粉末調製及び磁器作製を実
施例1と同様に行なった。結果を表6に示す。表6から
、圧電歪み定数d33≧400XIO−”m/V、キュ
リー温度Tc≧200℃を満足する組成域は実施例1と
同様で第5図の斜線部分に対応した。
−005)03. or2s組成物の材料特性組成系(
(pb、−wsrx) (2ryTl r−yNbo、
o*)L、 O5:x=0.06〜0.16 ; y
=0.51〜0.60)の粉末調製及び磁器作製を実
施例1と同様に行なった。結果を表6に示す。表6から
、圧電歪み定数d33≧400XIO−”m/V、キュ
リー温度Tc≧200℃を満足する組成域は実施例1と
同様で第5図の斜線部分に対応した。
表6 (Pb+−+tSrw) (Zr、Ti 1、N
b、、。z)Os、。1組成物の材料特性以上、実施例
1〜6までの結果から、組成系((pb+−wsrx)
(Zr、Ti+−、Mw)03+、; y + z
= 1 ; M=Nb、 Sb、 Ta、又はLa )
において第5図の斜線部分に対応する組成域において、
圧電歪み定数、キュリー温度がともに向上することがわ
かった。
b、、。z)Os、。1組成物の材料特性以上、実施例
1〜6までの結果から、組成系((pb+−wsrx)
(Zr、Ti+−、Mw)03+、; y + z
= 1 ; M=Nb、 Sb、 Ta、又はLa )
において第5図の斜線部分に対応する組成域において、
圧電歪み定数、キュリー温度がともに向上することがわ
かった。
添加元素Mの添加量は、0.5〜2モル%であれば同様
の効果が得られる。また実施例1〜6では添加元素Mは
1種のみとしたが、Mを1種のみならず複数組み合わせ
ても同様の効果が得られる。
の効果が得られる。また実施例1〜6では添加元素Mは
1種のみとしたが、Mを1種のみならず複数組み合わせ
ても同様の効果が得られる。
表7に7ツクセンサに用いる時の性能の尺度である圧電
歪み定数d31をC(pbo、 5osro、 to)
(Zr、TiN1lo、 o+)Os、 o*1 ;
V =0.53〜0.57]系(第5図の組成点■o
O■■に対応)について調べたところ、やはり第5図の
斜線域においてd31は4割以上向上することがわかっ
た。この時、センサの作動状態はd31が低い場合は誤
作動が発生する。
歪み定数d31をC(pbo、 5osro、 to)
(Zr、TiN1lo、 o+)Os、 o*1 ;
V =0.53〜0.57]系(第5図の組成点■o
O■■に対応)について調べたところ、やはり第5図の
斜線域においてd31は4割以上向上することがわかっ
た。この時、センサの作動状態はd31が低い場合は誤
作動が発生する。
表7
本発明の圧電磁器材料は圧電アクチュエータ用のみなら
ず、振動子、センサとしても適用することができる。
ず、振動子、センサとしても適用することができる。
第1〜4図はPb(Zro、 52T10.48)03
にNb2O,、5b205゜Ta2O,、La20+を
添加したときの圧電歪みを示すグラフ図、第5図は各種
圧電磁器組成物の組成を示す図である。 〔発明の効果〕 本発明の圧電磁器材料は圧電歪み定数が高く、キュリー
温度が高いため、特に自動車等に用いる圧電アクチュエ
ータとして非常に適した材料である。
にNb2O,、5b205゜Ta2O,、La20+を
添加したときの圧電歪みを示すグラフ図、第5図は各種
圧電磁器組成物の組成を示す図である。 〔発明の効果〕 本発明の圧電磁器材料は圧電歪み定数が高く、キュリー
温度が高いため、特に自動車等に用いる圧電アクチュエ
ータとして非常に適した材料である。
Claims (1)
- 1.(Pb_1_−_xSr_x)(Zr_yTi_1
_−_yM_z)O_3_+_z,〔式中、MはNb,
Sb,Ta又はLaからばれる1種以上の元素を表わし
、0.08≦x≦0.14、0.49≦y−0.5x≦
0.51、0.005≦z≦0.02、z′はMがLa
のとき3/2z、MがSb,Ta又はNbのとき5/2
zのようにMzOz′を化学量論的化合物にする値であ
る。〕で表わされる組成を有することを特徴とする圧電
磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1107802A JPH07110786B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1107802A JPH07110786B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02288381A true JPH02288381A (ja) | 1990-11-28 |
JPH07110786B2 JPH07110786B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=14468404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1107802A Expired - Lifetime JPH07110786B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07110786B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5378382A (en) * | 1993-12-09 | 1995-01-03 | Mitsubishi Kasei Corporation | Piezoelectric ceramic composition for actuator |
JP2009239245A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-10-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電体 |
JP2010520137A (ja) * | 2007-03-02 | 2010-06-10 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電材料、多層アクチュエータ、および、圧電素子の製造方法 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP1107802A patent/JPH07110786B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5378382A (en) * | 1993-12-09 | 1995-01-03 | Mitsubishi Kasei Corporation | Piezoelectric ceramic composition for actuator |
JP2010520137A (ja) * | 2007-03-02 | 2010-06-10 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電材料、多層アクチュエータ、および、圧電素子の製造方法 |
JP2009239245A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-10-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07110786B2 (ja) | 1995-11-29 |
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