JPH0228371A - 光センサー - Google Patents
光センサーInfo
- Publication number
- JPH0228371A JPH0228371A JP62320885A JP32088587A JPH0228371A JP H0228371 A JPH0228371 A JP H0228371A JP 62320885 A JP62320885 A JP 62320885A JP 32088587 A JP32088587 A JP 32088587A JP H0228371 A JPH0228371 A JP H0228371A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- electrode
- lighting window
- parallel
- sensor array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 3
- 229910006854 SnOx Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明はファクシミリ、複写機のイメージセンサ−等に
用いられる光センサーに関する。
用いられる光センサーに関する。
従来、イメージセンサ−等に用いられる光センサーにあ
っては、各ビット各に分割されたセンサーが複数ライン
状に配置されたセンサーアレイを構成している。そして
、このセンサーアレイの各センサーへの光入射は各個の
センサー毎あるいは２個のセンサー毎に断続的な採光窓
が対応し、この採光窓から入射した光が原稿面で反射し
、センサーに入射し、各センサー毎に設けた個別電極に
て光信号を電気信号に変換し、読み取るようにしている
ものである。このような従来の採光窓は電極材料が金属
で形成されているため、この電極材料か採光窓を渡って
センサーと導通されなければならず、窓の開口面積が制
限されざるを得ないものである。そのため、光の入射量
を増すために窓の形状の工夫がなされているが、いずれ
にせよ対向電極の橋渡し部分で入射光が遮断され採光窓
は断続的な、例えば矩形形状となされる。
っては、各ビット各に分割されたセンサーが複数ライン
状に配置されたセンサーアレイを構成している。そして
、このセンサーアレイの各センサーへの光入射は各個の
センサー毎あるいは２個のセンサー毎に断続的な採光窓
が対応し、この採光窓から入射した光が原稿面で反射し
、センサーに入射し、各センサー毎に設けた個別電極に
て光信号を電気信号に変換し、読み取るようにしている
ものである。このような従来の採光窓は電極材料が金属
で形成されているため、この電極材料か採光窓を渡って
センサーと導通されなければならず、窓の開口面積が制
限されざるを得ないものである。そのため、光の入射量
を増すために窓の形状の工夫がなされているが、いずれ
にせよ対向電極の橋渡し部分で入射光が遮断され採光窓
は断続的な、例えば矩形形状となされる。
第３図および第４図は上記のような従来例を示すもので
、第３図は断面で、また第４図は平面で示したものであ
る。これらの図において、１は基板、２はセンサー、３
は遮光膜、４は層間絶縁膜、６は対向電極、７は個別電
極、８は採光窓、９は保護膜、１１は原稿をそれぞれ示
すものである。
、第３図は断面で、また第４図は平面で示したものであ
る。これらの図において、１は基板、２はセンサー、３
は遮光膜、４は層間絶縁膜、６は対向電極、７は個別電
極、８は採光窓、９は保護膜、１１は原稿をそれぞれ示
すものである。
このように採光窓８は各センサー２に対向して設けられ
、対向電極６により区分された断続的矩形状をなすもの
である。従って、このような従来例ではセンサーの応答
量（信号量）、ＩＰ（光電流）が小さく、Ｓ／Ｎが小さ
いという制約を有するものである。
、対向電極６により区分された断続的矩形状をなすもの
である。従って、このような従来例ではセンサーの応答
量（信号量）、ＩＰ（光電流）が小さく、Ｓ／Ｎが小さ
いという制約を有するものである。
本発明は従来のものに比べて採光窓の面積を大きくし、
センサーの応答量、Ｉｐを大きくし、ひいてはＳ／Ｎお
よびＭＴＦ（黒白の信号比）を向上させ得る光センサー
を提供することを目的とするものである。
センサーの応答量、Ｉｐを大きくし、ひいてはＳ／Ｎお
よびＭＴＦ（黒白の信号比）を向上させ得る光センサー
を提供することを目的とするものである。
本発明者は上記目的を達成するため種々検討を重ねた結
果、従来例において採光窓の面積を制限する要因となっ
ていたのは金属製対向電極を用いることであることに着
目し、これに代えて透明電極を用いることにより、セン
サーアレイに平行に連続した採光窓が形成できることに
想到し本発明をなしたものである。
果、従来例において採光窓の面積を制限する要因となっ
ていたのは金属製対向電極を用いることであることに着
目し、これに代えて透明電極を用いることにより、セン
サーアレイに平行に連続した採光窓が形成できることに
想到し本発明をなしたものである。
第１図は本発明の実施例を示すものであり、第２図は第
１図の■−■線における断面を示す。
１図の■−■線における断面を示す。
この第１図および第２図において、基板１上にはセンサ
ー２が基板１の長手方向と平行に各ビット毎に１個配置
され、センサーアレイをなしている。センサー２は下部
電極５上に形成され、その上にはＩＴＯあるいは５ｎＯ
ｘからなる透明電極１０が、そしてその上には個別電極
７が形成されている。そして、このようなセンサーアレ
イに平行に連続した採光窓８が形成され、この採光窓８
上には同じ＜ＩＴＯあるいはＳ ｎ Ｏｘ等の透明電極
１２が形成されている。そして、この透明電極１２には
共通電極１３が形成されている。
ー２が基板１の長手方向と平行に各ビット毎に１個配置
され、センサーアレイをなしている。センサー２は下部
電極５上に形成され、その上にはＩＴＯあるいは５ｎＯ
ｘからなる透明電極１０が、そしてその上には個別電極
７が形成されている。そして、このようなセンサーアレ
イに平行に連続した採光窓８が形成され、この採光窓８
上には同じ＜ＩＴＯあるいはＳ ｎ Ｏｘ等の透明電極
１２が形成されている。そして、この透明電極１２には
共通電極１３が形成されている。
第５図および第６図は本発明の他の実施例を示し、第５
図は平面を、第６図は第５図の■−■線における断面を
それぞれ示すものである。
図は平面を、第６図は第５図の■−■線における断面を
それぞれ示すものである。
第５図および第６図において、採光窓８上に形成した透
明電極１２上にセンサー２の下部電極５の突出部１４が
導通されている。
明電極１２上にセンサー２の下部電極５の突出部１４が
導通されている。
このように、本発明では光センサーの採光窓がセンサー
アレイに平行に連続して形成されているため、採光窓か
ら入射する光量が増大し、センサーに入射する光量も増
大するという作用を有する。
アレイに平行に連続して形成されているため、採光窓か
ら入射する光量が増大し、センサーに入射する光量も増
大するという作用を有する。
以上のような本発明によれば、センサーの応答量（信号
量）およびＩｐ（光電流）が増大し、Ｓ／Ｎが向上する
とともにＭＴＦの向上が期待できる。
量）およびＩｐ（光電流）が増大し、Ｓ／Ｎが向上する
とともにＭＴＦの向上が期待できる。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、第１図
は平面説明図、第２図は断面説明図である。 第３図および第４図は従来例を示し、第３図は断面説明
図、第４図は平面説明図である。 第５図および第６図は本発明の他の実施例を示し、第５
図は平面説明図、第６図は断面説明図である。 １・・・基板 ２・・・センサー３・・・遮光
膜 ４・・・層間絶縁膜５・・・下部電極 ７・・・個別電極 ９・・・保護膜 １１・・・原稿 １４・・・突出部 ６・・・対向電極 ８・・・採光窓 ｔｏ、１２・・透明電極 １３・・・共通電極
は平面説明図、第２図は断面説明図である。 第３図および第４図は従来例を示し、第３図は断面説明
図、第４図は平面説明図である。 第５図および第６図は本発明の他の実施例を示し、第５
図は平面説明図、第６図は断面説明図である。 １・・・基板 ２・・・センサー３・・・遮光
膜 ４・・・層間絶縁膜５・・・下部電極 ７・・・個別電極 ９・・・保護膜 １１・・・原稿 １４・・・突出部 ６・・・対向電極 ８・・・採光窓 ｔｏ、１２・・透明電極 １３・・・共通電極
Claims (1)
- １、基板上にセンサーアレイが設けられた光センサーに
おいて、該センサーアレイに平行に連続した採光窓が形
成され、この採光窓を渡る電極材料が透明電極とされた
ことを特徴とする光センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62320885A JPH0228371A (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 | 光センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62320885A JPH0228371A (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 | 光センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0228371A true JPH0228371A (ja) | 1990-01-30 |
Family
ID=18126349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62320885A Pending JPH0228371A (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 | 光センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0228371A (ja) |
-
1987
- 1987-12-17 JP JP62320885A patent/JPH0228371A/ja active Pending
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