JPH0522517A - 密着型イメージセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 密着型イメージセンサにおいて、導電膜が形
成されている薄板ガラスを用いることなく、静電誘導を
防止することを実現する。 【構成】 透光性絶縁基板１上に、遮光性下部電極２、
光電変換層３、透光性上部電極４よりなる光電変換素子
部と、電極５、接地電極６等を形成し、その上に保護層
として透光性パッシベーション膜９を設ける。薄板ガラ
ス１３を接着する接着剤として、導電性接着剤１０を用
いることにより、原稿と薄板ガラスとの摩擦により発生
した静電気を除去できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ファクシミリやスキャ
ナ等の画像入力部に用いる密着型イメージセンサに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】完全密着型イメージセンサは、原稿を薄
板ガラス等の透明カバーに密着させて読み取るものであ
る。原稿と透明カバーとが、副走査方向に相対移動する
ことによって、２次元的な走査が行なわれ、原稿が読み
取られる。原稿が、透明カバー、例えば、薄板ガラスと
移動接触することによる摩擦によって、静電誘導による
電位が蓄積される。静電誘導に蓄積電位は、ノイズの原
因となるから、これを低減する必要があり、薄板ガラス
の表面に透明導電膜を着膜したり、あるいは、特開昭６
４−７１１７３号公報に記載されているように、透明導
電膜付きの薄板ガラスを用いて、透明導電膜をアース電
位に接続することが行なわれている。

【０００３】図２は、透明導電膜付きの薄板ガラスを用
いた密着型イメージセンサの一例の断面図である。図
中、１は透光性絶縁基板、２は遮光性下部電極、３は光
電変換層、４は透光性上部電極、５は電極、６は接地電
極、７は透光性層間絶縁膜、８は引き出し配線、９は透
光性パッシベーション膜、１１は透光性接着剤、１２は
透光性導電膜、１３は薄板ガラス、１５は採光用窓部、
１６は光源である。

【０００４】ガラスを用いた透光性絶縁基板１の上に、
Ｃｒ等の金属電極が遮光性下部電極２として設けられ、
その上に、ａ−Ｓｉの光電変換層３、ＩＴＯの透光性上
部電極４が形成され、これらによって、光電変換素子部
が構成されている。この光電変換素子部上には、ポリイ
ミドによって形成される透光性層間絶縁膜７が設けら
れ、引き出し配線８が、透光性層間絶縁膜７が設けられ
ていない部分において、透光性上部電極４に接続されて
いる。電極５、接地電極６は、周辺回路やコンデンサを
構成しているが、透光性の電極を用いることができる
が、必ずしも、透光性である必要はない。これらの上
に、透光性パッシベーション膜９が形成され、透光性接
着剤１１により、透光性導電膜１２を施した薄板ガラス
１３が接着されている。透光性パッシベーション膜９に
は、ポリイミドや、ＳｉＯ₂ 、ＳｉＮ_x などが用いら
れ、透光性接着剤１１としては、エポキシ樹脂系などの
接着剤が用いられるのが普通である。

【０００５】原稿は、薄板ガラス１３上に載置され、光
源１６よりの照明光が採光用窓部１５を通して原稿に照
射される。原稿からの反射光は、原稿の明暗に応じたも
のであるから、反射光を光電変換素子部に入射させるこ
とにより、原稿の１ライン分の読み取りが行なわれる。
薄板ガラス１３の下面に設けられた透光性導電膜１２
は、接地電極に接続されているから、原稿の摩擦により
薄板ガラス１３に発生した静電気を、透光性導電膜１２
により逃がすことができる。

【０００６】しかしながら、上述したような透明導電膜
付きの薄板ガラスを用いる場合は、コスト高の原因とな
り、また、透明導電膜とアース電位部分との接続を行な
う必要があり、その接続のために、上記公報第２図
（Ａ）に記載するように、薄板ガラスの側部から上面ま
で設けたり、導電ゴムを用いたり、半田付けによるな
ど、余分な工程を要するという問題がある。薄板ガラス
の表面に透明導電膜を着膜したものは、原稿との摩擦に
より、透明導電膜に傷が付いたり、摩耗するという問題
がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した問
題点を解決するためになされたもので、導電膜が形成さ
れた薄板ガラスを用いることなく、静電誘導を防止でき
る密着型イメージセンサを提供することを目的とするも
のである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、光電変換素子
部と、該光電素子部上に設けられた透明保護層と、該透
明保護層上に設けられた透明カバーを有する密着型イメ
ージセンサにおいて、前記透明カバーが導電性接着剤に
より接着されていることを特徴とするものである。

【０００９】導電性接着剤として不透明な接着剤を用
い、原稿読み取り部を避けて接着剤層を設けることがで
きる。また、導電性接着剤として、透光性の接着剤を用
いることもできる。

【００１０】

【作用】本発明は、密着型イメージセンサにおいて、透
明カバーを導電性接着剤により接着したことにより、透
明カバーと原稿との摩擦により発生した静電気を導電性
接着剤の層を介して逃がすことができる。したがって、
透明カバーに透光性導電膜を施す必要はない。

【００１１】導電性接着剤の塗布の際に、透明保護層に
穴を開けておき、接地電極に直接導電性接着剤を接触さ
せるなど、導電性接着剤の流動性を利用することによっ
て、接地電極等、特定の電位に導電性接着剤層を接続す
ることが容易にできる。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明の密着型イメージセンサの一
実施例の断面図であり、図３は、外観の斜視図である。
図中、図２と同様な部分には同じ符号を付して説明を省
略する。１０は導電性接着剤である。この実施例では、
導電性接着剤として、不透光性のものを用いたので、１
４で図示した原稿読み取り部分の領域には、導電性接着
剤を設けないようにした。この部分１４は、透光性の樹
脂等を充填してもよいが、後述するように、導電性接着
剤の層の厚みが僅かであるから、そのままとしておいて
もよい。

【００１３】図２で説明したように、透光性絶縁基板１
としてガラス基板を用い、その上に、Ｃｒの下部電極
２、ａ−Ｓｉの光電変換層３、ＩＴＯの透光性上部電極
４よりなるａ−Ｓｉフォトダイオードの光電変換素子部
を形成した。採光用窓部１５および、その他の回路を作
成し、透光性パッシペーション膜９を形成した後、導電
性接着剤１０をディスペンサなどにより３０μｍ厚程度
に塗布した。導電性接着剤１０としては、スズ含有酸化
インジウムや、アンチモン含有酸化スズ超微粒子などを
フィラーとする接着剤を用いた。接着剤が透光性の場合
には、全面に塗布してよいが、金、銀、銀パラジウム、
ニッケル、カーボンブラックなどをフィラーとする遮光
性の接着剤の場合には、光電変換素子部および採光用窓
部の部分を避けて、それ以外の部分に塗布する必要があ
る。導電性接着剤の塗布後、その上に、厚さ５０μｍ程
度の薄板ガラスを貼り付け、その後、接着剤硬化のため
のベークを行なった。ベーク条件は、１５０℃、１時間
とした。また、導電性接着剤による導電層を接地するた
めに、接地電極６との間の透光性パッシベーション膜の
一部に、膜を形成せずに、通路１７を設けるようにし
て、導電性接着剤１０を接地電極６に接触させて電気的
接続を行なった。この実施例では、接地電極６は、アル
ミニウム電極を用いた。

【００１４】導電性接着剤１０と接地電極６との接続
は、通路を形成することに限られるものではない。接地
電極６から、導電性接着剤１０の少なくとも下部に達す
る電極部材を設けておいて、塗布した導電性接着剤がそ
の電極部材に接続されるようにしてもよい。また、セン
サの端部近傍等において、接続を行なうようにしてもよ
い。

【００１５】なお、実施例における材料や数値は一例で
あり、本発明がこの例に限られるものでないことは明か
なことである。また、導電性接着剤が接続される電極
も、接地電極に限らず、適当な電位の電極であってもよ
いことは勿論である。

【００１６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、静電気対策のための導電膜が、透明カバーの
接着剤を導電性としたことにより形成できるので、従来
のように、薄板ガラスに透光性導電膜を設ける必要がな
く、電極との接続も容易であるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の密着型イメージセンサの一実施例の
断面図である。

【図２】 従来の密着型イメージセンサの一例の断面図
である。

【図３】 本発明の密着型イメージセンサの一実施例の
外観の斜視図である。

【符号の説明】

１ 透光性絶縁基板、２ 遮光性下部電極、３ 光電変
換層、４ 透光性上部電極、５ 電極、６ 接地電極、
７ 透光性層間絶縁膜、８ 引き出し配線、９ 透光性
パッシベーション膜、１０ 導電性接着剤、１１ 透光
性接着剤、１３ 薄板ガラス、１５ 採光用窓部、１６
光源。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 光電変換素子部と、該光電素子部上に設
   けられた透明保護層と、該透明保護層上に設けられた透
   明カバーを有する密着型イメージセンサにおいて、前記
   透明カバーが導電性接着剤により接着されていることを
   特徴とする密着型イメージセンサ。