JPH0228270B2 - - Google Patents
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- JPH0228270B2 JPH0228270B2 JP59133202A JP13320284A JPH0228270B2 JP H0228270 B2 JPH0228270 B2 JP H0228270B2 JP 59133202 A JP59133202 A JP 59133202A JP 13320284 A JP13320284 A JP 13320284A JP H0228270 B2 JPH0228270 B2 JP H0228270B2
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- JP
- Japan
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- crystal semiconductor
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- single crystal
- insulating layer
- semiconductor region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59133202A JPS6113661A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 半導体装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59133202A JPS6113661A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6113661A JPS6113661A (ja) | 1986-01-21 |
JPH0228270B2 true JPH0228270B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-06-22 |
Family
ID=15099114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59133202A Granted JPS6113661A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6113661A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5060035A (en) * | 1989-07-13 | 1991-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Silicon-on-insulator metal oxide semiconductor device having conductive sidewall structure |
JP5130596B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2013-01-30 | 国立大学法人東北大学 | 半導体装置 |
JP5122212B2 (ja) * | 2007-08-02 | 2013-01-16 | ユニサンティス エレクトロニクス シンガポール プライベート リミテッド | 半導体装置 |
US8598650B2 (en) | 2008-01-29 | 2013-12-03 | Unisantis Electronics Singapore Pte Ltd. | Semiconductor device and production method therefor |
WO2009110049A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-09-11 | 日本ユニサンティスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置とその製造方法 |
US8241976B2 (en) | 2008-02-15 | 2012-08-14 | Unisantis Electronics Singapore Pte Ltd. | Semiconductor surrounding gate transistor device and production method therefor |
US8158468B2 (en) | 2008-02-15 | 2012-04-17 | Unisantis Electronics Singapore Pte Ltd. | Production method for surrounding gate transistor semiconductor device |
WO2009110050A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-09-11 | 日本ユニサンティスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US8163605B2 (en) | 2008-02-15 | 2012-04-24 | Unisantis Electronics Singapore Pte Ltd. | Production method for semiconductor device |
US8211758B2 (en) | 2008-02-15 | 2012-07-03 | Unisantis Electronics Singapore Pte Ltd. | Semiconductor device and method of producing the same |
WO2009110048A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-09-11 | 日本ユニサンティスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP6014726B2 (ja) * | 2008-02-15 | 2016-10-25 | ユニサンティス エレクトロニクス シンガポール プライベート リミテッドUnisantis Electronics Singapore Pte Ltd. | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2009101704A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Unisantis Electronics (Japan) Ltd. | 半導体装置の製造方法 |
JP2011066109A (ja) | 2009-09-16 | 2011-03-31 | Unisantis Electronics Japan Ltd | 半導体記憶装置 |
US8916478B2 (en) | 2011-12-19 | 2014-12-23 | Unisantis Electronics Singapore Pte. Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device |
US8772175B2 (en) | 2011-12-19 | 2014-07-08 | Unisantis Electronics Singapore Pte. Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6050064B2 (ja) * | 1982-08-24 | 1985-11-06 | 株式会社東芝 | 相補型mos半導体装置及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP59133202A patent/JPS6113661A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6113661A (ja) | 1986-01-21 |
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