JPH02276907A - Ｃｃｄ固体撮像素子を用いたアークセンサ - Google Patents
Ｃｃｄ固体撮像素子を用いたアークセンサInfo
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- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
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- G01C3/02—Details
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- G—PHYSICS
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- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
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- B23K9/095—Monitoring or automatic control of welding parameters
- B23K9/0956—Monitoring or automatic control of welding parameters using sensing means, e.g. optical
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、溶接ロボットにおいて、溶接トーチに取付【
ノで対象物までの距離を測定するアークセンサに関する
。
ノで対象物までの距離を測定するアークセンサに関する
。
従来の技術
第４図は、従来から使用されている位置検出素子として
ＰＳＤを用いたアークセンサ°の構成を示すブロック図
である。
ＰＳＤを用いたアークセンサ°の構成を示すブロック図
である。
図中、３０はＰＳＤで構成されるイひ置検出素子、３１
はレーザ発振器、３２は揺動ミラー、３３はレンズ、３
４はワーク、３５はｇ１測処理回路、３６は復調、検出
回路、３７は変調、駆動回路、３８はミラー駆動回路で
ある。
はレーザ発振器、３２は揺動ミラー、３３はレンズ、３
４はワーク、３５はｇ１測処理回路、３６は復調、検出
回路、３７は変調、駆動回路、３８はミラー駆動回路で
ある。
変調、駆動回路３７は、レーザ発振器３１を駆動し、数
十ＫＨ７以上に変調（オン、オフ）したパルス光を揺動
ミラー３２を介して対象物のワーク３４に投射する。ワ
ーク３４からの反射光はレンズ３３で集光され、ＰＳＤ
３０に入力される。
十ＫＨ７以上に変調（オン、オフ）したパルス光を揺動
ミラー３２を介して対象物のワーク３４に投射する。ワ
ーク３４からの反射光はレンズ３３で集光され、ＰＳＤ
３０に入力される。
揺動ミラー３２はミラー駆動回路３８で駆動され、レー
ザ発振器３１からのレーザ光をワーク３４上の溶接線に
対し垂直の方向に振るように揺動される。
ザ発振器３１からのレーザ光をワーク３４上の溶接線に
対し垂直の方向に振るように揺動される。
ＰＳＤ３０は入力されたレーザ光をＰＳＤ３０上の反射
像の位置に応じて電気信号に変え出力を出し、復調、検
出回路３６はＰＳＤ３０からの出力をレーザ光の変調と
同期をとって、レーザ光のオン時とオフ時の電気信号の
差を求めてアーク光の影響を取り除き、レーザ光が入力
されたＰＳＤ３０上の反射像の位置を検出する。
像の位置に応じて電気信号に変え出力を出し、復調、検
出回路３６はＰＳＤ３０からの出力をレーザ光の変調と
同期をとって、レーザ光のオン時とオフ時の電気信号の
差を求めてアーク光の影響を取り除き、レーザ光が入力
されたＰＳＤ３０上の反射像の位置を検出する。
そして、３１測処理回路３５では、復調、検出回路３６
で検出されたレー）ア光のＰＳＤ３０上の入力位置と、
そのときの揺動ミラー３２の向きとにより、三角測ω方
式にてワーク３４までの距離を計算し、出力する。
で検出されたレー）ア光のＰＳＤ３０上の入力位置と、
そのときの揺動ミラー３２の向きとにより、三角測ω方
式にてワーク３４までの距離を計算し、出力する。
発明が解決しようとする課題
上述した従来の方式であると、ＰＳＤ３０から出力され
る電気信号出力は、ワーク３４の反射率にもよるが、数
十ｎＡと極めて小さいため、安定した検出が難しい。ま
た、ＰＳＤ３０の電気信号出力を大きくするために、レ
ーザ光を強くする方法もあるが、この場合、レーザ光が
人体、特に眼部に悪影響を及ぼすため好ましくない。
る電気信号出力は、ワーク３４の反射率にもよるが、数
十ｎＡと極めて小さいため、安定した検出が難しい。ま
た、ＰＳＤ３０の電気信号出力を大きくするために、レ
ーザ光を強くする方法もあるが、この場合、レーザ光が
人体、特に眼部に悪影響を及ぼすため好ましくない。
さらに、上述した従来の方法では、レーザ光を高周波に
変調し、かつ、この変調と同期をとって復調を行うため
、複雑な回路を必要とし、また、増幅器等の回路も必要
となる。
変調し、かつ、この変調と同期をとって復調を行うため
、複雑な回路を必要とし、また、増幅器等の回路も必要
となる。
また、ＰＳＤ３０は入力されたレーザ光の積分値によっ
て出力され、その入力位置を検出するようになっている
ため、２次反射光の彩彎を取り除くことができず、反射
率の良いワークでは対象面の誤認識や測定精度の低下を
招く。例えば、第５図に示すように、レーザ発振器３１
から出力されたレーザ光が揺動ミラー３２で反射し、ワ
ーク３４の一方の面３４ａに投射されたレーザ光は一次
反射光４０としてレンズ３３を介してＰＳＤ３０の位ｆ
ｆｆｆＰａに入力する。一方、而３４ａで反射したレー
ザ光が、而３４ｂで反射して、二次反射光４１としてレ
ンズ３３を介してＰＳＤ３０の位置Ｐｂに入力されると
、ＰＳＤ３０の出力はこれら入力光の積分値として一次
、二次反射光４０゜４１が合成され、あたかも位置Ｐｃ
にレーザの反射光が入力されたように出力を出す。その
ため、ワーク３４が位置ｐｃに対応する位置３４′にあ
るかのように誤認識してしまうという欠点を有している
。
て出力され、その入力位置を検出するようになっている
ため、２次反射光の彩彎を取り除くことができず、反射
率の良いワークでは対象面の誤認識や測定精度の低下を
招く。例えば、第５図に示すように、レーザ発振器３１
から出力されたレーザ光が揺動ミラー３２で反射し、ワ
ーク３４の一方の面３４ａに投射されたレーザ光は一次
反射光４０としてレンズ３３を介してＰＳＤ３０の位ｆ
ｆｆｆＰａに入力する。一方、而３４ａで反射したレー
ザ光が、而３４ｂで反射して、二次反射光４１としてレ
ンズ３３を介してＰＳＤ３０の位置Ｐｂに入力されると
、ＰＳＤ３０の出力はこれら入力光の積分値として一次
、二次反射光４０゜４１が合成され、あたかも位置Ｐｃ
にレーザの反射光が入力されたように出力を出す。その
ため、ワーク３４が位置ｐｃに対応する位置３４′にあ
るかのように誤認識してしまうという欠点を有している
。
そこで、本発明の目的は、受光素子として一次元ＣＣＤ
素子を用いて、簡単な回路によって正確に対象物の位置
を測定できるＣＣＤＣＤ撮像素子いたアークセンサを提
供することにある。
素子を用いて、簡単な回路によって正確に対象物の位置
を測定できるＣＣＤＣＤ撮像素子いたアークセンサを提
供することにある。
課題を解決するための手段
揺動ミラーを揺動させながらレーザ発振器からのレーザ
光を反射させ、対象物に投射し、対象物からの反射レー
ザ光をレンズを介して受光素子で検出して、対象物まで
の距離を求めるために反射レーザ光を受光した受光素子
位置を求めるようにしたアークセンサにおいて、本発明
は、上記受光素子をＣＣＤ固体撮像素子とし、該ＣＣＤ
固体撮像素子の受光前面にレーザ光の波長帯域近傍のみ
通過させるフィルタを設け、上記ＣＣＤＣＤ撮像素子査
し、少なくとも１回前の走査時と今回の走査時の出力を
順次比較し、共にピークが生じるＣＣＤ固体撮像素子ル
位置を求めることによって、上記課題を解決した。
光を反射させ、対象物に投射し、対象物からの反射レー
ザ光をレンズを介して受光素子で検出して、対象物まで
の距離を求めるために反射レーザ光を受光した受光素子
位置を求めるようにしたアークセンサにおいて、本発明
は、上記受光素子をＣＣＤ固体撮像素子とし、該ＣＣＤ
固体撮像素子の受光前面にレーザ光の波長帯域近傍のみ
通過させるフィルタを設け、上記ＣＣＤＣＤ撮像素子査
し、少なくとも１回前の走査時と今回の走査時の出力を
順次比較し、共にピークが生じるＣＣＤ固体撮像素子ル
位置を求めることによって、上記課題を解決した。
作 用
アーク溶接のアークセンサに対する影響は、アーク光と
スパッタによるものに大別できる。すなわち、受光素子
としてのＣＣＤ固体撮像素子力される光は、レーザ光の
一次反射光、二次反射光及びアーク光、スパッタとなる
が、本発明においては、レーザ光の波長帯域近傍のみ通
過させるよう波長を合わせた干渉フィルタがあるため、
レーザ光に比べ、アーク光の透過率が悪く、極度に強度
が減少し、はとんどアーク光の彰費はなくなる。
スパッタによるものに大別できる。すなわち、受光素子
としてのＣＣＤ固体撮像素子力される光は、レーザ光の
一次反射光、二次反射光及びアーク光、スパッタとなる
が、本発明においては、レーザ光の波長帯域近傍のみ通
過させるよう波長を合わせた干渉フィルタがあるため、
レーザ光に比べ、アーク光の透過率が悪く、極度に強度
が減少し、はとんどアーク光の彰費はなくなる。
そのため、レンズによってＣＣＤ固体囮像索子上に作ら
れる像は、−船釣にレーザ光の一次反射光と二次反射光
及びスパッタによるものとなる。
れる像は、−船釣にレーザ光の一次反射光と二次反射光
及びスパッタによるものとなる。
ＣＣＤ固体撮像素子は該素子の各セルに入力された光に
応じて出力を出すので、受光素子をＰＳＤとした場合の
ように、入力された光位置を合成して出力しないから、
第３図に示すように、スパッタの影響による出力２２及
び反射率の良い対象物（ワーク）のときに特に生じる二
次反射像２１及び−次位射像２０がＣＣＤ固体撮像素子
の各セルから出力されることとなる。
応じて出力を出すので、受光素子をＰＳＤとした場合の
ように、入力された光位置を合成して出力しないから、
第３図に示すように、スパッタの影響による出力２２及
び反射率の良い対象物（ワーク）のときに特に生じる二
次反射像２１及び−次位射像２０がＣＣＤ固体撮像素子
の各セルから出力されることとなる。
一方、揺動ミラーを揺動させてレーザ光を対象物の溶接
線に対し、垂直に移動させ、この揺動ミラーの揺動周期
、即ち、対象物に投射させるレーザ光の移動周期より速
い周期でＣＣＤ固体撮像素子を走査すると（例えば、１
回の揺動ミラーの揺動期間中に２００〜３００回走査す
ると）、１回前の走査と今回の走査におけるＣＣＤ固体
撮像素子の各セルの出力には大きな変化はない。即ち、
投射されるレーザ光の移動が走査周期に比べ遅いため、
−次位射光や二次反射光を受けるＣＣＤ固体撮像素子の
セルの位置は格別変化はない。
線に対し、垂直に移動させ、この揺動ミラーの揺動周期
、即ち、対象物に投射させるレーザ光の移動周期より速
い周期でＣＣＤ固体撮像素子を走査すると（例えば、１
回の揺動ミラーの揺動期間中に２００〜３００回走査す
ると）、１回前の走査と今回の走査におけるＣＣＤ固体
撮像素子の各セルの出力には大きな変化はない。即ち、
投射されるレーザ光の移動が走査周期に比べ遅いため、
−次位射光や二次反射光を受けるＣＣＤ固体撮像素子の
セルの位置は格別変化はない。
これに対し、スパッタは瞬間的に出力されるものであり
、また、スパッタが生じる位置も変るため、１回前と今
回のＣＣＤ固体撮像素子の走査時におけるスパッタの影
響により出力されるセル位置は変動する。
、また、スパッタが生じる位置も変るため、１回前と今
回のＣＣＤ固体撮像素子の走査時におけるスパッタの影
響により出力されるセル位置は変動する。
その結果、１回前の走査時と今回の走査時を順次比較し
、共にピークが生じるＣＣＤ固体撮像素子のセル位置を
求めれば、スパッタの影響を除去した一次、二次反射像
が生じるセル位置を検出することができる。そして、−
次位射像のピーク値は、二次位１ｌ）ｌ像のピーク値よ
り大きいので、このピーク値の大小によって一次反射像
のセル位置を検出することが可能となり、この−次位射
像のセル位置より対象物までの距離を従来と同じように
三角測量方式にて８１算し求めることができる。
、共にピークが生じるＣＣＤ固体撮像素子のセル位置を
求めれば、スパッタの影響を除去した一次、二次反射像
が生じるセル位置を検出することができる。そして、−
次位射像のピーク値は、二次位１ｌ）ｌ像のピーク値よ
り大きいので、このピーク値の大小によって一次反射像
のセル位置を検出することが可能となり、この−次位射
像のセル位置より対象物までの距離を従来と同じように
三角測量方式にて８１算し求めることができる。
実施例
第１図は、本発明の一実施例のレーザ光投射及び受光部
の構成を示すブロック図で、第２図は同実施例における
ピークを出力するＣＣＤ固体撮像素子のセル位置を検出
する処理回路図である。
の構成を示すブロック図で、第２図は同実施例における
ピークを出力するＣＣＤ固体撮像素子のセル位置を検出
する処理回路図である。
第１図において、１は受光素子としての一次元ＣＣＤ固
体撮像素子である。また、２はレーザ発振器で、図示し
ない制御回路中のレーザ発振器駆動回路に接続され、レ
ーザ光を発生させるもので、該レーザ発振器は従来のよ
うに変調されることなく、単にレーザ光を発生するもの
である。また、３は揺動ミラーで、該揺動ミラーも制御
回路中のミラー駆動回路に接続され、従来と同じように
、Ｉ駆動させられて、レーザ光を対象物のワーク６の溶
接線に対し垂直に撮動させるものである。
体撮像素子である。また、２はレーザ発振器で、図示し
ない制御回路中のレーザ発振器駆動回路に接続され、レ
ーザ光を発生させるもので、該レーザ発振器は従来のよ
うに変調されることなく、単にレーザ光を発生するもの
である。また、３は揺動ミラーで、該揺動ミラーも制御
回路中のミラー駆動回路に接続され、従来と同じように
、Ｉ駆動させられて、レーザ光を対象物のワーク６の溶
接線に対し垂直に撮動させるものである。
４は、レーザ光の波長に合わせた狭い帯域幅の干渉フィ
ルタであり、レーザ光の波長帯域近傍のみを通過さμる
。５はレンズであり、ワーク６から反射してきたレーザ
光を干渉フィルタ４を介して集光し、ＣＣＤ固体撮像素
子１上に像を作る。
ルタであり、レーザ光の波長帯域近傍のみを通過さμる
。５はレンズであり、ワーク６から反射してきたレーザ
光を干渉フィルタ４を介して集光し、ＣＣＤ固体撮像素
子１上に像を作る。
第２図にＪ３いて、１０はＣＣＤ駆動回路、１１はメモ
リアドレスカウンタ、１２はフリップフロップ、１３．
１４は夫々ＣＣＤ固体撮像素子のセル数以十のメ［り部
を有するメモリバッフ？であり、フリップフロップ１２
の出力によって一方のメモリバッファ１３（１４）が書
込み状態にされたとき、他方のメモリバッファ１４（１
３）は読出し状態にセットされるようになっている。１
５はＣＣＤＣＤ撮像素子１力と基準値を比較し、基準値
以上の出力がＣＣＤ固体撮像素子１から出力されると、
出力を出しメモリバッファ１３または１４のメモリアド
レスカウンタ１１で指定されるアドレスに入力するもの
である。１６はＣＣＤ固体撮像素子１の出力とメモリバ
ッファ１３または１４の出力のアンドをとるアンド回路
、１７はピーク検出回路である。
リアドレスカウンタ、１２はフリップフロップ、１３．
１４は夫々ＣＣＤ固体撮像素子のセル数以十のメ［り部
を有するメモリバッフ？であり、フリップフロップ１２
の出力によって一方のメモリバッファ１３（１４）が書
込み状態にされたとき、他方のメモリバッファ１４（１
３）は読出し状態にセットされるようになっている。１
５はＣＣＤＣＤ撮像素子１力と基準値を比較し、基準値
以上の出力がＣＣＤ固体撮像素子１から出力されると、
出力を出しメモリバッファ１３または１４のメモリアド
レスカウンタ１１で指定されるアドレスに入力するもの
である。１６はＣＣＤ固体撮像素子１の出力とメモリバ
ッファ１３または１４の出力のアンドをとるアンド回路
、１７はピーク検出回路である。
以上の構成において、レーザ発振器２を駆動し、レーザ
光を発生させると共に、揺動ミラー３を１工動さＵて、
レーザ光をワーク６の溶接線に対し垂直に揺動させる。
光を発生させると共に、揺動ミラー３を１工動さＵて、
レーザ光をワーク６の溶接線に対し垂直に揺動させる。
ワーク６で反射した反射光は干渉フィルタを通り、レン
ズ５で集光されて、ＣＣＤ固体撮像素子１に反射像を作
る。ＣＣＤ固体ｌｉｄ像素子１上には、前述したように
ワーク６而から反射した一次位ｒＡ像２０．二次反射像
２１及びスパッタの影響による像等を第３図に示すよう
に作ることとなるが、アーク光の影響は干渉フィルタに
よって除去され、はとんど影響を受けない。
ズ５で集光されて、ＣＣＤ固体撮像素子１に反射像を作
る。ＣＣＤ固体ｌｉｄ像素子１上には、前述したように
ワーク６而から反射した一次位ｒＡ像２０．二次反射像
２１及びスパッタの影響による像等を第３図に示すよう
に作ることとなるが、アーク光の影響は干渉フィルタに
よって除去され、はとんど影響を受けない。
一方、ＣＣＤ駆動回路１０は走査開始信号ＴＧを所定回
期毎出力し、ＣＣＤ固体撮像素子１の走査を開始すると
共に、該走査開始信号ＴＧによってメモリアドレスカウ
ンタ１１をリセットし、かつ、フリップフロップ１２を
反転させ、一方のメモリバッファ、例えばメモリバッフ
ァ１３を書込み状態にし、他方のメモリバッファ１４を
読出し状態にする。また、ＣＣＤ駆動回路１０はサンプ
ルホールド信号ＳＨを順次出力し、該サンプルホールド
信号ＳＨに合わせてＣＣＤ固体撮像素子１は各セルから
電気出力を出力する。また、サンプルボールド信号ＳＨ
は、メモリアドレスカウンタ１１にも入力され、該カウ
ンタ１１を歩進させる。
期毎出力し、ＣＣＤ固体撮像素子１の走査を開始すると
共に、該走査開始信号ＴＧによってメモリアドレスカウ
ンタ１１をリセットし、かつ、フリップフロップ１２を
反転させ、一方のメモリバッファ、例えばメモリバッフ
ァ１３を書込み状態にし、他方のメモリバッファ１４を
読出し状態にする。また、ＣＣＤ駆動回路１０はサンプ
ルホールド信号ＳＨを順次出力し、該サンプルホールド
信号ＳＨに合わせてＣＣＤ固体撮像素子１は各セルから
電気出力を出力する。また、サンプルボールド信号ＳＨ
は、メモリアドレスカウンタ１１にも入力され、該カウ
ンタ１１を歩進させる。
このＣＣＤ固体撮像素子１の走査の周期は揺動ミラーの
揺動周期より〒く設定されており、例えば、揺動ミラー
の１回の揺動期間中に２００〜３００回走査するように
設定されている。即ち、ＣＣＤ固体撮像素子１に入力さ
れるレーザ光の反射光が揺動ミラーによって各セル間を
移動するとき、１つのセルから次のセルへ移ＷＪする時
間内に少なくとも２回以上のＣＣＤ固体撮像素子１の走
査が行われるように設定されている。
揺動周期より〒く設定されており、例えば、揺動ミラー
の１回の揺動期間中に２００〜３００回走査するように
設定されている。即ち、ＣＣＤ固体撮像素子１に入力さ
れるレーザ光の反射光が揺動ミラーによって各セル間を
移動するとき、１つのセルから次のセルへ移ＷＪする時
間内に少なくとも２回以上のＣＣＤ固体撮像素子１の走
査が行われるように設定されている。
一方、サンプルホールド信号５ｔ−（に合わせてＣＣＤ
固体撮像素子１の各セルから出力される電気信号はコン
パレータ１５で１値と比較され、出力電気信号が基準伯
以上であると、コンパレータ１５から出力され、フリッ
プフロップ１２で書込み状態にセットされているメモリ
バッファ、上記の例でメモリバッファ１３のメモリアド
レスカウンタ１１で指定されるアドレスを「１」にセッ
トする。また、読取り状態にセットされているメモリバ
ッフ？、上記例ではメモリバッフ？１４のメモリアドレ
スカウンタ１１で指定されるアドレスの記憶データとＣ
ＣＤ固体撮像素子１の出力はアンド回路１６でアンドが
とられ、メモリバッファ１４から「１」が出力されてい
れば、アンド回路１６からはＣＣＤ固体躍＆素子１の出
力がピーク検出回路１７へ入力される。即ち、アンド回
路１６はアナログスイッチの機能を行う。
固体撮像素子１の各セルから出力される電気信号はコン
パレータ１５で１値と比較され、出力電気信号が基準伯
以上であると、コンパレータ１５から出力され、フリッ
プフロップ１２で書込み状態にセットされているメモリ
バッファ、上記の例でメモリバッファ１３のメモリアド
レスカウンタ１１で指定されるアドレスを「１」にセッ
トする。また、読取り状態にセットされているメモリバ
ッフ？、上記例ではメモリバッフ？１４のメモリアドレ
スカウンタ１１で指定されるアドレスの記憶データとＣ
ＣＤ固体撮像素子１の出力はアンド回路１６でアンドが
とられ、メモリバッファ１４から「１」が出力されてい
れば、アンド回路１６からはＣＣＤ固体躍＆素子１の出
力がピーク検出回路１７へ入力される。即ち、アンド回
路１６はアナログスイッチの機能を行う。
上記したように、走査開始信号ＴＧで走査を開始し、メ
モリアドレスカウンタ１１をリセットした後、ＣＣＤ固
体撮像素子１をサンプルホールド信号ＳＨに合わせて各
セルから順次出力を出し、かつ、サンプルホールド信号
によってメモリアドレスカウンタ１１は歩進するから、
メモリバッファ１３．１４の指定アドレスとＣＣＤ固体
撮像素子１力するセルとは１対１に対応することとなる
。そして、走査開始信号ＴＧによって７リツプフロツプ
１２を反転させ、メモリバッファ１３゜１４の一方を書
込み状態、他方を読出し状態に交互にセットするから、
ＣＣＤ固体搬＠索子１の各セルの状態、即ち、コンパレ
ータ１５で比較するｍＱ値より大きいとぎは、書込み状
態のメモリバッファの各セルに対応するアドレスに［１
１が書込まれ、基準値より小さいとぎは１゛０」にセッ
トされることとなる。また、アンド回路１６によって現
在出力中のセルの出力と１つ前の走査時に各セルの状態
を記憶した読出し状態のメモリバッファの出力中のセル
に対応するアドレスの状態が比較され、メモリバッファ
から「１」が出力されているセルの出力のみがピーク検
出回路１７へ入力されることとなる。
モリアドレスカウンタ１１をリセットした後、ＣＣＤ固
体撮像素子１をサンプルホールド信号ＳＨに合わせて各
セルから順次出力を出し、かつ、サンプルホールド信号
によってメモリアドレスカウンタ１１は歩進するから、
メモリバッファ１３．１４の指定アドレスとＣＣＤ固体
撮像素子１力するセルとは１対１に対応することとなる
。そして、走査開始信号ＴＧによって７リツプフロツプ
１２を反転させ、メモリバッファ１３゜１４の一方を書
込み状態、他方を読出し状態に交互にセットするから、
ＣＣＤ固体搬＠索子１の各セルの状態、即ち、コンパレ
ータ１５で比較するｍＱ値より大きいとぎは、書込み状
態のメモリバッファの各セルに対応するアドレスに［１
１が書込まれ、基準値より小さいとぎは１゛０」にセッ
トされることとなる。また、アンド回路１６によって現
在出力中のセルの出力と１つ前の走査時に各セルの状態
を記憶した読出し状態のメモリバッファの出力中のセル
に対応するアドレスの状態が比較され、メモリバッファ
から「１」が出力されているセルの出力のみがピーク検
出回路１７へ入力されることとなる。
その結果、前述したように、揺動ミラーの揺動周期より
ＣＣＤ固体撮像素子査周期の方が格段に早く設定されて
いるから、レーザ光の一次。
ＣＣＤ固体撮像素子査周期の方が格段に早く設定されて
いるから、レーザ光の一次。
二次反射光を受け、１つ前の走査周期でコンパレータの
基準値以上の出力を出したセルは次の走査周期でも基準
値以上の出力を出すこととなるから、ピーク検出回路１
７でピークを検出したときのメモリアドレスカウンタ１
１の値がレーザ光の一次。
基準値以上の出力を出したセルは次の走査周期でも基準
値以上の出力を出すこととなるから、ピーク検出回路１
７でピークを検出したときのメモリアドレスカウンタ１
１の値がレーザ光の一次。
二次の反射像の位置として検出できることとなる。
一方、スパッタによる影響は、スパッタが瞬間的に生じ
、かつ、生じる位置も変るため、アンド回路１６から出
力が出されることがない。
、かつ、生じる位置も変るため、アンド回路１６から出
力が出されることがない。
ピーク検出回路１７はアンド回路１６から出力が出され
たときのＣＣＤ固体撮像素子１の出力値を溶接ロボット
等の制御装置へ出力し、制′ｎ装置はこのピーク検出回
路１７から出力信号を受信する毎にメモリアドレスカウ
ンタ１１の値を読み取れば、−次、二次反射像のＣＣＤ
ＣＤ撮像素子１上置を読取ることができ、最大のピーク
値のとぎ、即ち、−次位射像のピーク値を受信したとぎ
のメモリアドレスカウンタ１１の（直により、−次位射
像の位置を検出することができる。そして、この位置よ
り従来と同様の三角測ω方式でワーク６までの距餌をＨ
ｆ算することができる。
たときのＣＣＤ固体撮像素子１の出力値を溶接ロボット
等の制御装置へ出力し、制′ｎ装置はこのピーク検出回
路１７から出力信号を受信する毎にメモリアドレスカウ
ンタ１１の値を読み取れば、−次、二次反射像のＣＣＤ
ＣＤ撮像素子１上置を読取ることができ、最大のピーク
値のとぎ、即ち、−次位射像のピーク値を受信したとぎ
のメモリアドレスカウンタ１１の（直により、−次位射
像の位置を検出することができる。そして、この位置よ
り従来と同様の三角測ω方式でワーク６までの距餌をＨ
ｆ算することができる。
その結果、揺動ミラー３が１揺動の往または復時にそれ
ぞれ２００〜３００回の一次、二次の反射像を受けるこ
とになるから、揺動ミラー３を揺動さＵながら、ＣＣＤ
固体撮像素子査して行けば、対蒙物のワーク６までの距
離を、溶接線に対し垂直な線に冶って順次検出できるこ
ととなる。
ぞれ２００〜３００回の一次、二次の反射像を受けるこ
とになるから、揺動ミラー３を揺動さＵながら、ＣＣＤ
固体撮像素子査して行けば、対蒙物のワーク６までの距
離を、溶接線に対し垂直な線に冶って順次検出できるこ
ととなる。
なΔ３、手記実施例では、メモリアドレスカウンタ１１
の値をｉ、ＩＩ Ｍ装置へ入力するようにしたが、ＣＣ
Ｄ駆動回路１０の走査開始信号ＴＧ、ザンプル１ｊｓ−
ルド信号ＳＨを制御装置に入力し、制御装置では走査開
始信号ＴＧでリセットし、サンプルホールド信号Ｓ ｌ
−１をカウンタすることによって一次、二次位ＱＪ ｌ
ｉ＝の位置を検出するようにしてもよい。また、メモリ
バッファを３個設け、１つのメモリバッファを占込み状
態に、他の２つを読出し状態に順次切換えて、アンド回
路によって今回と前２回の走査時にピークを検出した時
のみピーク検出回路から出力を出すようにしてもよい。
の値をｉ、ＩＩ Ｍ装置へ入力するようにしたが、ＣＣ
Ｄ駆動回路１０の走査開始信号ＴＧ、ザンプル１ｊｓ−
ルド信号ＳＨを制御装置に入力し、制御装置では走査開
始信号ＴＧでリセットし、サンプルホールド信号Ｓ ｌ
−１をカウンタすることによって一次、二次位ＱＪ ｌ
ｉ＝の位置を検出するようにしてもよい。また、メモリ
バッファを３個設け、１つのメモリバッファを占込み状
態に、他の２つを読出し状態に順次切換えて、アンド回
路によって今回と前２回の走査時にピークを検出した時
のみピーク検出回路から出力を出すようにしてもよい。
発明の効果
本発明においては、スパッタの影響は干渉フィルタで除
去するので、レーザ光の変調、復調を必要とせず、回路
構成が簡単となる。また、−次。
去するので、レーザ光の変調、復調を必要とせず、回路
構成が簡単となる。また、−次。
二次の反射像を受けても、この−次、二次位Ｄｌ Ｉを
合成することなく一次位ｒＪＪ像の位置を正確に検出で
きるから、ｇ度の高い検出を行うことができる。
合成することなく一次位ｒＪＪ像の位置を正確に検出で
きるから、ｇ度の高い検出を行うことができる。
第１図は本発明の一実施例のレーザ光投射及び受光部の
（１４成を示すブロック図、第２図は同実施例における
反（ト）像を検出するための処狸回路図、第３図は、同
実施例におけるＣＣＤ固体撮像素子出力されるスパッタ
、−次、二次反射像の一例を示ず図、第４図は従来のア
ークセンザのブロック図、第５図は従来のアークセンザ
において、二次反射光によって誤検出を行う理由の説明
図である。 １・・・ＣＣＤ固体踊象素子、２・・・レーザ光発振器
、３・・・揺動ミラー ４・・・干がフィルタ、５・・
・レンズ、１０・・・ＣＣＤ駆動回路、１１・・・メモ
リアドレスカウンタ、１２・・・フリップフロップ、１
３．１４・・・メモリバッフ？、１５・・・コンパレー
タ、１６・・・アンド回路、１７・・・ピーク検出回路
。 第 １ 区 （ほか２名） 第 呪
（１４成を示すブロック図、第２図は同実施例における
反（ト）像を検出するための処狸回路図、第３図は、同
実施例におけるＣＣＤ固体撮像素子出力されるスパッタ
、−次、二次反射像の一例を示ず図、第４図は従来のア
ークセンザのブロック図、第５図は従来のアークセンザ
において、二次反射光によって誤検出を行う理由の説明
図である。 １・・・ＣＣＤ固体踊象素子、２・・・レーザ光発振器
、３・・・揺動ミラー ４・・・干がフィルタ、５・・
・レンズ、１０・・・ＣＣＤ駆動回路、１１・・・メモ
リアドレスカウンタ、１２・・・フリップフロップ、１
３．１４・・・メモリバッフ？、１５・・・コンパレー
タ、１６・・・アンド回路、１７・・・ピーク検出回路
。 第 １ 区 （ほか２名） 第 呪
Claims (1)
- 揺動ミラーを揺動させながらレーザ発振器からのレーザ
光を反射させ、対象物に投射し、対象物からの反射レー
ザ光をレンズを介して受光素子で検出して、対象物まで
の距離を求めるために反射レーザ光を受光した受光素子
のセル位置を求めるようにしたアークセンサにおいて、
上記受光素子をＣＣＤ固体撮像素子とし、該ＣＣＤ固体
撮像素子の受光前面にレーザ光の波長帯域近傍のみ通過
させるフィルタを設け、上記ＣＣＤ固体撮像素子を走査
し、少なくとも１回前の走査時と今回の走査時の出力を
順次比較し、共にピークが生じるＣＣＤ固体撮像素子の
セル位置を求めることを特徴とするＣＣＤ固体撮像素子
を用いたアークセンサ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1097383A JP2660929B2 (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | Ｃｃｄ固体撮像素子を用いたアークセンサ |
| EP19900906344 EP0422249A4 (en) | 1989-04-19 | 1990-04-18 | Optical distance sensor |
| PCT/JP1990/000505 WO1990013001A1 (fr) | 1989-04-19 | 1990-04-18 | Capteur optique de distances |
| US07/613,751 US5151608A (en) | 1989-04-19 | 1990-04-18 | Optical distance sensor using a laser beam and processing means |
| CA002032416A CA2032416A1 (en) | 1989-04-19 | 1990-04-18 | Optical distance sensor |
| KR1019900702546A KR920700391A (ko) | 1989-04-19 | 1990-12-01 | 광학식 거리 센서 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1097383A JP2660929B2 (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | Ｃｃｄ固体撮像素子を用いたアークセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02276907A true JPH02276907A (ja) | 1990-11-13 |
| JP2660929B2 JP2660929B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=14190988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1097383A Expired - Fee Related JP2660929B2 (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | Ｃｃｄ固体撮像素子を用いたアークセンサ |
Country Status (6)
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|---|---|
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| EP (1) | EP0422249A4 (ja) |
| JP (1) | JP2660929B2 (ja) |
| KR (1) | KR920700391A (ja) |
| CA (1) | CA2032416A1 (ja) |
| WO (1) | WO1990013001A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993021497A1 (en) * | 1992-04-10 | 1993-10-28 | Omron Corporation | Apparatus for measuring distance |
| JP2012061503A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | 溶接位置検出装置及び溶接位置検出方法 |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5739912A (en) * | 1991-04-26 | 1998-04-14 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Object profile measuring method and apparatus |
| JP2722287B2 (ja) * | 1991-05-15 | 1998-03-04 | ファナック株式会社 | レーザセンサにおける位置検出方法 |
| US5729345A (en) * | 1996-09-11 | 1998-03-17 | Caterpillar Inc. | Apparatus and method for determining distortion of a welded member |
| US5815272A (en) * | 1996-10-23 | 1998-09-29 | Harding; Kevin G. | Filter for laser gaging system |
| US6115128A (en) * | 1997-09-17 | 2000-09-05 | The Regents Of The Univerity Of California | Multi-dimensional position sensor using range detectors |
| CA2346336A1 (en) * | 1998-10-07 | 2000-04-13 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Method for shaping materials with plasma-inducing high-energy radiation |
| SE9900742L (sv) * | 1999-03-02 | 2000-09-03 | Inst Verkstadstek Forsk Ivf | Anordning för inmätning av en laserstråle |
| US6124694A (en) * | 1999-03-18 | 2000-09-26 | Bancroft; Allen J. | Wide area navigation for a robot scrubber |
| US6441908B1 (en) * | 1999-08-06 | 2002-08-27 | Metron Systems, Inc. | Profiling of a component having reduced sensitivity to anomalous off-axis reflections |
| JP2002139304A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Honda Motor Co Ltd | 距離測定装置、及び距離測定方法 |
| DE10060903C2 (de) * | 2000-12-07 | 2002-10-31 | Moba Mobile Automation Gmbh | Laser-Höhenregeleinrichtung für eine Baumaschine |
| US6812479B2 (en) * | 2001-06-05 | 2004-11-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Sample positioning method for surface optical diagnostics using video imaging |
| KR100400476B1 (ko) * | 2001-12-17 | 2003-10-01 | 엘지전자 주식회사 | 이송체 성능 평가시스템 및 그 평가방법 |
| US6825922B2 (en) | 2002-09-26 | 2004-11-30 | Metron Systems, Inc. | Determination of the angular position of a laser beam |
| WO2004040335A2 (en) * | 2002-10-28 | 2004-05-13 | Metron Systems, Inc. | High precision optical imaging systems and related systems |
| AU2003285098A1 (en) | 2002-10-29 | 2004-05-25 | Metron Systems, Inc. | Calibration for 3d measurement system |
| JP2004314137A (ja) * | 2003-04-17 | 2004-11-11 | Fanuc Ltd | レーザ加工ロボット |
| US8665325B2 (en) | 2003-10-08 | 2014-03-04 | Qwest Communications International Inc. | Systems and methods for location based image telegraphy |
| EP1533629A3 (de) * | 2003-11-21 | 2006-05-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Entfernungsmessung mit einem mobilen Endgerät |
| CN1331642C (zh) * | 2004-07-15 | 2007-08-15 | 上海交通大学 | 焊接机器人单目视觉传感器 |
| JP3935898B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2007-06-27 | 竹中電子工業株式会社 | 光電センサ |
| US7327440B2 (en) * | 2004-08-16 | 2008-02-05 | James N. Horn | Distance measuring device |
| DE102009040990A1 (de) * | 2009-09-10 | 2011-03-17 | Carl Zeiss Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen einer Oberfläche |
| TWI431252B (zh) | 2010-07-14 | 2014-03-21 | Pixart Imaging Inc | 測距裝置及測距方法 |
| CN102384736B (zh) * | 2010-09-01 | 2015-06-17 | 原相科技股份有限公司 | 测距装置及测距方法 |
| US10112258B2 (en) * | 2012-03-30 | 2018-10-30 | View, Inc. | Coaxial distance measurement via folding of triangulation sensor optics path |
| EP3216552B1 (en) * | 2016-03-09 | 2018-12-12 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Laser welding methods, method of manufacturing a welded body, method of manufacturing electrode for spark plug, and method of manufacturing spark plug based on such laser welding methods |
| JP6496340B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2019-04-03 | ファナック株式会社 | スキャナ制御装置、ロボット制御装置及びリモートレーザ溶接ロボットシステム |
| JP7135495B2 (ja) * | 2018-06-26 | 2022-09-13 | セイコーエプソン株式会社 | 三次元計測装置、制御装置およびロボットシステム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62261903A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Toshiba Corp | 位置検出装置 |
| JPS6316892A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置用測距装置 |
| JPS63200011A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-18 | Mitsutoyo Corp | 光電式位置検出装置 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56138206A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-28 | Anritsu Corp | Displacement measuring equipment |
| JPS5871404A (ja) * | 1981-10-23 | 1983-04-28 | Canon Inc | 測距装置 |
| US4521106A (en) * | 1982-08-18 | 1985-06-04 | Eastman Kodak Company | Image sensor and rangefinder device with background subtraction using interlaced analog shift register |
| US4527891A (en) * | 1982-08-18 | 1985-07-09 | Eastman Kodak Company | Rangefinder device with serial readout linear image sensor and peak detector with threshold setting means |
| JPS60128304A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Nippon Tsushin Gijutsu Kk | 溶接機計測ヘツド |
| US4677302A (en) * | 1985-03-29 | 1987-06-30 | Siemens Corporate Research & Support, Inc. | Optical system for inspecting printed circuit boards wherein a ramp filter is disposed between reflected beam and photodetector |
| US4796998A (en) * | 1985-10-03 | 1989-01-10 | Pasco Corporation | Method for mobile survey of road surface |
| JPS62192610A (ja) * | 1986-02-19 | 1987-08-24 | Kawasaki Steel Corp | 非接触変位測定装置 |
| KR900006577B1 (ko) * | 1986-10-03 | 1990-09-13 | 엔티티 기쥬쯔이덴 가부시끼가이샤 | 형상 측정기 |
| US4878754A (en) * | 1986-10-16 | 1989-11-07 | Tokyo Keiki Co. Ltd. | Method of and apparatus for measuring irregularities of road surface |
| JPS63225117A (ja) * | 1987-03-14 | 1988-09-20 | Matsushita Electric Works Ltd | 光走査型変位測定装置 |
| US4774403A (en) * | 1987-03-30 | 1988-09-27 | Harvey Industries, Inc. | Triangulation-type position measuring device |
| GB2206690B (en) * | 1987-06-30 | 1991-12-11 | Matsushita Electric Works Ltd | Optically scanning displacement sensor |
| JPH01143911A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Ricoh Co Ltd | 距離測定方法 |
| KR900000249B1 (ko) * | 1987-11-30 | 1990-01-24 | 주식회사 금성사 | 리얼타임 거리센서 |
-
1989
- 1989-04-19 JP JP1097383A patent/JP2660929B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-04-18 EP EP19900906344 patent/EP0422249A4/en not_active Withdrawn
- 1990-04-18 US US07/613,751 patent/US5151608A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-04-18 WO PCT/JP1990/000505 patent/WO1990013001A1/ja not_active Application Discontinuation
- 1990-04-18 CA CA002032416A patent/CA2032416A1/en not_active Abandoned
- 1990-12-01 KR KR1019900702546A patent/KR920700391A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62261903A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Toshiba Corp | 位置検出装置 |
| JPS6316892A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置用測距装置 |
| JPS63200011A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-18 | Mitsutoyo Corp | 光電式位置検出装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993021497A1 (en) * | 1992-04-10 | 1993-10-28 | Omron Corporation | Apparatus for measuring distance |
| JP2012061503A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | 溶接位置検出装置及び溶接位置検出方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2032416A1 (en) | 1990-10-20 |
| EP0422249A4 (en) | 1993-05-12 |
| KR920700391A (ko) | 1992-02-19 |
| EP0422249A1 (en) | 1991-04-17 |
| US5151608A (en) | 1992-09-29 |
| JP2660929B2 (ja) | 1997-10-08 |
| WO1990013001A1 (fr) | 1990-11-01 |
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