JPH02271623A - 薄片状物品洗浄用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は特に半導体ウェハの塵埃などの付着を防ぎつ
つ洗浄する洗浄工程に用いる治具に関するものである。

［従来の技術］ 第６図は従来の薄片状物品洗浄用治具を示す斜視図、第
７図は第６図の治具に半導体ウェハ（以下ウェハという
）を収納した状態を示す上面断面図、第８図は第６図の
治具によフてウェハを洗浄する状況を示す側面断面図、
第９図は第６図の治具によってウェハを洗浄する状況を
示す処理槽の側面断面図である。

図において、（１）は薄片状物品を並べる溝、（２）は
床板のない床部、（３）は本体を持つための引掛は部、
（４）はウェハ、（５）は本体、（６）、は処理槽、（
７）は処理液、（１２）は塵埃である。

次に動作について説明する。例えば第７図のように本体
（５）にウェハ（４）を収納し、引掛は部（３）を持っ
て、第９図に示すように本体（５）を処理Ｍ（６）に入
れる。一般に処理槽（６）が自動機である場合、薄片状
物品の洗浄に用いる治具は静止しており、処理槽（６）
内の処理液（７）が循環してウェハ（４）に均一に処理
液（７）が浸るようになっている。第９図に示すように
処理液（７）が循環する場合、第８図に示すように塵埃
（１２）は移動し除去される。

溝（１）はピンセットでウェハ（４）をつかみ易いよう
に一定のピッチで刻まれており、溝（１）の形状はウェ
ハ（４）が入り易いような広さを持っている。本体（５
）の材質は一般にテフロンが使用されていることが多い
。

［発明が解決しようとする課題］ 従来の薄片状物品洗浄用治具は以上のように構成されて
いたので、ウェハを収納した場合、隣接するウェアの間
隔が狭く、処理を行った場合にウェハ裏面及び表面から
除去された塵埃が陵り合うウェハの表面に再び付着し、
ウェハ裏面に形成される半導体装置に悪影響を与えると
いう問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、洗浄を行う場合にウェハの裏面及び表面から
の塵埃が他のウェハに悪影響を与えずに洗浄できる薄片
状物品洗浄用治具を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る薄片状物品洗浄用治具は、薄片状物品収
納位置とそれに隣接する薄片状物品収納位置の間に本体
と一体化した仕切りを設けた構造にしたものである。

［作用］ この発明における薄片状物品洗浄用治具は薄片状物品収
納位置間に仕切りを設けたことにより、洗浄時に薄片状
物品より除去された塵埃が、隣接する薄片状物品に触れ
ることなく放出される。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は薄片状物品の洗浄に用いる治具を示す斜視図、第２
図は第１図の治具にウェハを収納した状態を示す上面断
面図、第３図は第１図の治具によってウェハを洗浄する
状況を示す側面断面図、第４図は第２図の状態の側面断
面図である。

第５図はこの発明の他の実施例による薄片状物品の洗浄
に用いる治具にウェハを収納した状態を示す断面図であ
る。図において（１）〜（７）　、　（１２）は第６図
ないし第９図の従来例に示したものと同等であるので説
明を省略する。（８ａ）　、　（ａｂ）は本体（５）と
一体化した仕切り、（９）は薄片状物品を収納する透き
間、（１０）は仕切り（８ａ）　、　（８ｂ）間の溝（
１）に合わせて開けられた循環穴、（１１）は端部であ
る。仕切り（８ａ）　、　（８ｂ）はウェハ（４）を取
り出し易いように第４図に示すごとく上部が凹ませてあ
゛る。また本体（５）の材質は従来同様テフロンを用い
る。

次に動作について説明する。ウェハ（４）を洗浄する場
合、まず第２図に示すごとく透き間（９）にウェハ（４
）を収納する。仕切す（８ａ）はウェハ（４）の表面及
び裏面に触れないように端部（１１）で保持するように
なっている。本体（５）を処理槽（６）　に浸した状態
において、洗浄時にウェハ（４）から除去された塵埃（
１２）の動きは、第３図に示すごとくウェハ（４）から
除去され、放出された塵埃（１２）は仕切’）（８ａ）
に再付着するか、そのまま本体（５）外へ出る。逆に仕
切り（８ａ）から塵埃（１２）は発生しない。また、ウ
ェハ（４）を取り出すときなど隣りのウェハ（４）表面
を全く触れることなく行える。

なお、上記実施例では仕切’）（８ａ）の形状を第２図
に示すように階段状にしたが、ウェハ（４）の接触面を
減らすため第９図に示すように表面を曲面にした仕切り
（８ｂ）にしても上記実施例と同様の効果を奥する。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば治具の本体に仕切りを
設けたので、他のウェハから発生した塵埃が再付着する
ことなく、放出でき、塵埃の・少ない製品が得られる。

また、ウェハが割れた場合も他のウェハに与える影習も
少なく連３ｎ割れなど起き難いなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による薄片状物品洗浄用治
具を示す斜視図、第２図は第１図の治具にウェハを収納
した状態を示す上面断手面図、第３図は、第１図の治具
によってウェハを洗浄する状況を示す側面断面図、第４
図は第２図の状態の側面断面図、第５図はこの発明の他
の実施例による薄片状物品の洗浄に用いる治具の上面断
面図、第６図は従来の薄片状物品の洗浄に用いる治具を
示す斜視図、第７図は第６図の治具にウェハを収納した
状況を示す上面断面図、第８図は第６図の治具によフて
ウェハを洗浄する状況を示す側面断面図、第９図は第６
図の治具によって洗浄する状況を示す処理槽の側面断面
図である。 図において（１）は溝、（２）は床部、（３）は引掛は
部、（４）はウェハ、（５）は本体、（７）は処理液、
（８ａ）　、　（８ｂ）は仕切り、（９）は透き間、（
１０）は循環穴、（１１）は端部、（１２）は塵埃であ
る。 なお、図中、同一符号は同一　又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　薄片状物品を処理液に浸す工程における薄片状物品洗
   浄用治具において、２枚以上の薄片状物品間に各薄片状
   物品に対する仕切りを設けたことを特徴とする薄片状物
   品洗浄用治具。