JP3164468B2 - ワーク搬送用ワーク把持アーム - Google Patents
ワーク搬送用ワーク把持アームInfo
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- JP3164468B2 JP3164468B2 JP23626993A JP23626993A JP3164468B2 JP 3164468 B2 JP3164468 B2 JP 3164468B2 JP 23626993 A JP23626993 A JP 23626993A JP 23626993 A JP23626993 A JP 23626993A JP 3164468 B2 JP3164468 B2 JP 3164468B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
るウェーハなどのワークをキャリアケース無しで直接把
持して所定位置まで搬送するキャリアレスタイプのワー
ク搬送用ワーク把持アームに関する。
るウェーハなどのワークをキャリアケース無しで直接把
持して所定位置まで搬送するキャリアレスタイプのワー
ク搬送用ワーク把持アームに関する。
【０００２】
【従来の技術】キャリアレスタイプのワーク把持アーム
においては、一般的には耐薬品性、耐熱性の見地より石
英により製造されている。
においては、一般的には耐薬品性、耐熱性の見地より石
英により製造されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、石英製
の爪で直接ワークすなわちウェーハを把持しようとする
と、繰り返し使用しているうちにワークと爪とがこすれ
て、ワークを損傷させることがある。一方、ワーク損傷
を防止すべくフッ素樹脂のみで爪を構成した場合には、
ワークを処理槽の処理液内に浸けたり出したりすると
き、爪の温度変化が大きいとフッ素樹脂の膨張率が大き
いため、ウェーハ受け台とのピッチが合わなくなりウェ
ーハをセットすることができなかったり、またはチャッ
クミスを起こしてウェーハを破損させることがあった。
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあ
って、ワークに石英が直接接触せずかつ摩擦係数が低
く、ワークと爪とがこすれてワークを傷付けることがな
いとともに、耐薬品性及び耐熱性に優れたワーク搬送用
ワーク把持アームを提供することにある。
の爪で直接ワークすなわちウェーハを把持しようとする
と、繰り返し使用しているうちにワークと爪とがこすれ
て、ワークを損傷させることがある。一方、ワーク損傷
を防止すべくフッ素樹脂のみで爪を構成した場合には、
ワークを処理槽の処理液内に浸けたり出したりすると
き、爪の温度変化が大きいとフッ素樹脂の膨張率が大き
いため、ウェーハ受け台とのピッチが合わなくなりウェ
ーハをセットすることができなかったり、またはチャッ
クミスを起こしてウェーハを破損させることがあった。
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあ
って、ワークに石英が直接接触せずかつ摩擦係数が低
く、ワークと爪とがこすれてワークを傷付けることがな
いとともに、耐薬品性及び耐熱性に優れたワーク搬送用
ワーク把持アームを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ワーク把持アームの石英製の爪部のワー
ク把持面にフッ素樹脂コーティング層を形成するように
構成する。すなわち、ウェーハに接触しつつ該ウェーハ
を把持して、処理液を備える処理槽の上記処理液内に上
記ウェーハを入れたり、又は、上記処理槽の上記処理液
内から上記ウェーハを出したりして上記ウェーハを搬送
するウェーハ搬送用ウェーハ把持アームにおいて、上記
ウェーハを把持する石英製の爪部のウェーハ把持面にフ
ッ素樹脂コーティング層を形成するように構成する。上
記構成においては、上記フッ素樹脂コーティング層の厚
さは１００〜６００μｍであるように構成することもで
きる。また、上記構成においては、上記爪部全体に上記
フッ素樹脂コーティング層を形成することもできる。
に、本発明は、ワーク把持アームの石英製の爪部のワー
ク把持面にフッ素樹脂コーティング層を形成するように
構成する。すなわち、ウェーハに接触しつつ該ウェーハ
を把持して、処理液を備える処理槽の上記処理液内に上
記ウェーハを入れたり、又は、上記処理槽の上記処理液
内から上記ウェーハを出したりして上記ウェーハを搬送
するウェーハ搬送用ウェーハ把持アームにおいて、上記
ウェーハを把持する石英製の爪部のウェーハ把持面にフ
ッ素樹脂コーティング層を形成するように構成する。上
記構成においては、上記フッ素樹脂コーティング層の厚
さは１００〜６００μｍであるように構成することもで
きる。また、上記構成においては、上記爪部全体に上記
フッ素樹脂コーティング層を形成することもできる。
【０００５】
【発明の効果】本発明の構成によれば、石英製の爪部本
体のワーク把持面を耐薬品性及び耐熱性に優れかつ摩擦
係数が低いフッ素樹脂コーティング層で覆っているた
め、ワークは石英には直接接触することがない。よっ
て、ワークすなわちウェーハを把持しようとするとき、
繰り返し使用しているうちに爪部とワークがこすれてワ
ークを損傷させるといった不具合を解消することができ
る。また、石英のワーク把持表面に耐薬品性及び耐熱性
に優れかつ摩擦係数が低いフッ素樹脂コーティング層を
形成しているので、把持アームが耐薬品性及び耐熱性に
優れかつ摩擦係数が低いものとなる。また、石英製の爪
部のワーク把持面にフッソ樹脂コーティング層を形成し
ているため、ワークを処理槽の処理液内に浸けたり出し
たりするとき、温度変化が大きくても爪部の膨張率は大
きくならず、従来のようにフッソ樹脂のみから爪部を構
成した把持アームにおいて生じていた問題点、すなわ
ち、爪部の膨張率が大きいためウェーハ受け台とのピッ
チのずれによりウェーハをセットすることができないか
またはチャックミスを起こすことなどによるウェーハの
破損を効果的に防止することができる。
体のワーク把持面を耐薬品性及び耐熱性に優れかつ摩擦
係数が低いフッ素樹脂コーティング層で覆っているた
め、ワークは石英には直接接触することがない。よっ
て、ワークすなわちウェーハを把持しようとするとき、
繰り返し使用しているうちに爪部とワークがこすれてワ
ークを損傷させるといった不具合を解消することができ
る。また、石英のワーク把持表面に耐薬品性及び耐熱性
に優れかつ摩擦係数が低いフッ素樹脂コーティング層を
形成しているので、把持アームが耐薬品性及び耐熱性に
優れかつ摩擦係数が低いものとなる。また、石英製の爪
部のワーク把持面にフッソ樹脂コーティング層を形成し
ているため、ワークを処理槽の処理液内に浸けたり出し
たりするとき、温度変化が大きくても爪部の膨張率は大
きくならず、従来のようにフッソ樹脂のみから爪部を構
成した把持アームにおいて生じていた問題点、すなわ
ち、爪部の膨張率が大きいためウェーハ受け台とのピッ
チのずれによりウェーハをセットすることができないか
またはチャックミスを起こすことなどによるウェーハの
破損を効果的に防止することができる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明にかかる実施例を図１〜図９
に基づいて詳細に説明する。本実施例にかかるワーク搬
送用ワーク把持アームを有するワーク搬送装置を図１に
示す。この搬送装置は、図１に示すように、ウェーハ等
のワークを把持する搬送部材としてロボット１がワーク
搬送方向に沿って配置されたレール６沿いに移動し、該
レール６に沿って配置されたワーク処理部材として例え
ば処理槽４の受け台３に対して所定の位置で停止するよ
うになっている。上記ロボット１は、そのロボット本体
１ａがレール６に沿って直線的に移動できるようになっ
ており、ロボット本体１ａの上部に出入り可能な昇降軸
１ｂを介して処理槽側に上記ワーク把持アーム２を一対
備えて、この一対の把持してアーム２，２によりワーク
としてウェーハ９，…，９を把持する。また、処理槽４
は、所定の溶液を備え、該溶液内にウェーハ受け台３を
移動自在に配置する。この受け台３は仕切り壁２６に対
して搬送方向と直交する方向沿いに移動自在にその両側
部で大略逆Ｌ字状の４本の支持アーム５，…，５により
支持されている。
に基づいて詳細に説明する。本実施例にかかるワーク搬
送用ワーク把持アームを有するワーク搬送装置を図１に
示す。この搬送装置は、図１に示すように、ウェーハ等
のワークを把持する搬送部材としてロボット１がワーク
搬送方向に沿って配置されたレール６沿いに移動し、該
レール６に沿って配置されたワーク処理部材として例え
ば処理槽４の受け台３に対して所定の位置で停止するよ
うになっている。上記ロボット１は、そのロボット本体
１ａがレール６に沿って直線的に移動できるようになっ
ており、ロボット本体１ａの上部に出入り可能な昇降軸
１ｂを介して処理槽側に上記ワーク把持アーム２を一対
備えて、この一対の把持してアーム２，２によりワーク
としてウェーハ９，…，９を把持する。また、処理槽４
は、所定の溶液を備え、該溶液内にウェーハ受け台３を
移動自在に配置する。この受け台３は仕切り壁２６に対
して搬送方向と直交する方向沿いに移動自在にその両側
部で大略逆Ｌ字状の４本の支持アーム５，…，５により
支持されている。
【０００７】図２，３，４に示すように、上記一対のワ
ーク把持アーム２，２の先端には爪部２０，２０が互い
に対向して開閉可能にボルトなどにより固定されてい
る。各爪部２０は、図５に拡大して示すように、大略上
下方向沿いに延びた２本の断面Ｌ字状側部支柱部２０
ａ，２０ａの中央に大略上下方向沿いに延びた断面Ｔ字
状の中央支柱部２０ｄを配置し、中央支柱部２０ｄと各
側部支柱部２０ａとの間に大略横方向沿いに延びた棒状
の第１把持部２０ｂと、その下方に同様に延びた棒状の
第２把持部２０ｃとを一体的に形成している。第１把持
部２０ｂと第２把持部２０ｃの各ワーク把持面には大略
上下方向沿いに多数のワーク把持用溝２０ｆ，…，２０
ｆと２０ｇ，…，２０ｇとが形成されており、各溝２０
ｆ，２０ｇ内に１つのワーク９を挟み込むように、か
つ、隣接するワーク９とは所定間隔隔てることができる
ようにしている。そして、この各爪部２０ａは、図５〜
９に鎖線で示すように、その表面に耐薬品性及び耐熱性
に優れかつ摩擦係数が低いフッ素樹脂を吹き付けてフッ
素樹脂コーティング層１０を形成している。フッ素樹脂
としては、例えばポリクロロトリフルオロエチレン樹脂
（ＰＣＴＦＥ）又はポリテトラフルオロエチレン・パー
・フルオロアルコキシ樹脂（ＰＦＥ）が好ましい。ま
た、コーティングの厚さは１００〜６００μｍとしてピ
ンホールが無いようにするのが好ましい。
ーク把持アーム２，２の先端には爪部２０，２０が互い
に対向して開閉可能にボルトなどにより固定されてい
る。各爪部２０は、図５に拡大して示すように、大略上
下方向沿いに延びた２本の断面Ｌ字状側部支柱部２０
ａ，２０ａの中央に大略上下方向沿いに延びた断面Ｔ字
状の中央支柱部２０ｄを配置し、中央支柱部２０ｄと各
側部支柱部２０ａとの間に大略横方向沿いに延びた棒状
の第１把持部２０ｂと、その下方に同様に延びた棒状の
第２把持部２０ｃとを一体的に形成している。第１把持
部２０ｂと第２把持部２０ｃの各ワーク把持面には大略
上下方向沿いに多数のワーク把持用溝２０ｆ，…，２０
ｆと２０ｇ，…，２０ｇとが形成されており、各溝２０
ｆ，２０ｇ内に１つのワーク９を挟み込むように、か
つ、隣接するワーク９とは所定間隔隔てることができる
ようにしている。そして、この各爪部２０ａは、図５〜
９に鎖線で示すように、その表面に耐薬品性及び耐熱性
に優れかつ摩擦係数が低いフッ素樹脂を吹き付けてフッ
素樹脂コーティング層１０を形成している。フッ素樹脂
としては、例えばポリクロロトリフルオロエチレン樹脂
（ＰＣＴＦＥ）又はポリテトラフルオロエチレン・パー
・フルオロアルコキシ樹脂（ＰＦＥ）が好ましい。ま
た、コーティングの厚さは１００〜６００μｍとしてピ
ンホールが無いようにするのが好ましい。
【０００８】上記構成によれば、上記一対の爪部２０，
２０を支持したワーク把持アーム２，２により、この一
対の爪部２０，２０の間を開閉させて所定数のワーク
９，…，９それぞれを一対の爪部２０，２０の対向する
一対の第１把持部２０ｂ，２０ｂの各溝２０ｆ及び対向
する一対の第２把持溝部２０ｃ，２０ｃの各溝２０ｇ内
に挿入して把持する。この状態ではワーク９には、石英
製爪部２０の外面のフッ素樹脂コーティング層１０のみ
が接触し石英は全く接触していない。この状態で、ワー
ク９，…，９を把持した把持アーム２，２がロボット１
とともに所定位置まで移動して所定の処理槽３の処理液
内にワーク９，…，９を浸けたり、ワーク９，…，９を
処理液から出すなどの所定の操作を行う。
２０を支持したワーク把持アーム２，２により、この一
対の爪部２０，２０の間を開閉させて所定数のワーク
９，…，９それぞれを一対の爪部２０，２０の対向する
一対の第１把持部２０ｂ，２０ｂの各溝２０ｆ及び対向
する一対の第２把持溝部２０ｃ，２０ｃの各溝２０ｇ内
に挿入して把持する。この状態ではワーク９には、石英
製爪部２０の外面のフッ素樹脂コーティング層１０のみ
が接触し石英は全く接触していない。この状態で、ワー
ク９，…，９を把持した把持アーム２，２がロボット１
とともに所定位置まで移動して所定の処理槽３の処理液
内にワーク９，…，９を浸けたり、ワーク９，…，９を
処理液から出すなどの所定の操作を行う。
【０００９】上記実施例によれば、石英製の爪部本体の
表面をフッ素樹脂コーティング層１０ですべて覆ってい
るため、ワーク９，…，９は石英には直接接触すること
がない。よって、ワーク９，…，９すなわちウェーハを
把持しようとするとき、繰り返し使用しているうちに爪
部２０とワーク９，…，９とがこすれてワーク９，…，
９を損傷させるといった不具合を解消することができ
る。また、石英の表面に耐薬品性及び耐熱性に優れかつ
摩擦係数が低いフッ素樹脂コーティング層１０を形成し
ているので、把持アーム２，２が耐薬品性及び耐熱性に
優れかつ摩擦係数が低いものとなる。また、石英製の爪
部のワーク把持面にフッソ樹脂コーティング層１０を形
成しているため、ワークを処理槽の処理液内に浸けたり
出したりするとき、温度変化が大きくても爪部２０の膨
張率が大きくならず、従来のようにフッソ樹脂のみから
爪部を構成した把持アームにおいて生じていた問題点、
すなわち、爪部の膨張率が大きいためウェーハ受け台と
のピッチのずれによりウェーハをセットすることができ
ないかまたはチャックミスを起こすことなどによるウェ
ーハの破損を効果的に防止することができる。なお、本
発明は上記実施例に限定されるものではなく、その他種
々の態様で実施できる。例えば、フッ素樹脂コーティン
グは爪部全体ではなく、ワーク９，…，９に接触する部
分すなわち第１把持部２０ｂと第２把持部２０ｃの各ワ
ーク把持面のみでもよい。
表面をフッ素樹脂コーティング層１０ですべて覆ってい
るため、ワーク９，…，９は石英には直接接触すること
がない。よって、ワーク９，…，９すなわちウェーハを
把持しようとするとき、繰り返し使用しているうちに爪
部２０とワーク９，…，９とがこすれてワーク９，…，
９を損傷させるといった不具合を解消することができ
る。また、石英の表面に耐薬品性及び耐熱性に優れかつ
摩擦係数が低いフッ素樹脂コーティング層１０を形成し
ているので、把持アーム２，２が耐薬品性及び耐熱性に
優れかつ摩擦係数が低いものとなる。また、石英製の爪
部のワーク把持面にフッソ樹脂コーティング層１０を形
成しているため、ワークを処理槽の処理液内に浸けたり
出したりするとき、温度変化が大きくても爪部２０の膨
張率が大きくならず、従来のようにフッソ樹脂のみから
爪部を構成した把持アームにおいて生じていた問題点、
すなわち、爪部の膨張率が大きいためウェーハ受け台と
のピッチのずれによりウェーハをセットすることができ
ないかまたはチャックミスを起こすことなどによるウェ
ーハの破損を効果的に防止することができる。なお、本
発明は上記実施例に限定されるものではなく、その他種
々の態様で実施できる。例えば、フッ素樹脂コーティン
グは爪部全体ではなく、ワーク９，…，９に接触する部
分すなわち第１把持部２０ｂと第２把持部２０ｃの各ワ
ーク把持面のみでもよい。
【図１】 本発明の一実施例にかかるワーク搬送用ワー
ク把持アームを備えたワーク搬送ロボットの一部断面正
面図である。
ク把持アームを備えたワーク搬送ロボットの一部断面正
面図である。
【図２】 上記把持アームによりウェーハを把持してい
る状態の側面図である。
る状態の側面図である。
【図３】 図２の状態での正面図である。
【図４】 図２の状態での平面図である。
【図５】 上記把持アームの爪部分の拡大正面図であ
る。
る。
【図６】 上記把持アームの爪部分の側面図である。
【図７】 上記把持アームの爪部分の平面図である。
【図８】 （Ａ），（Ｂ）はそれぞれ上記把持アームの
爪部の第１把持部の拡大平面図及び拡大断面図である。
爪部の第１把持部の拡大平面図及び拡大断面図である。
【図９】 （Ａ），（Ｂ）はそれぞれ上記把持アームの
爪部の第２把持部の拡大平面図及び拡大断面図である。
爪部の第２把持部の拡大平面図及び拡大断面図である。
１…ロボット、１a…ロボット本体、１b…昇降軸、２…
ワーク搬送用ワーク把持アーム、３…受け台、４…処理
槽、５…支持アーム、６…レール、９…ウェーハ、１０
…フッ素樹脂コーティング層、２０…爪部分、２０ａ…
側部支柱部、２０ｂ…第１把持部、２０ｃ…第２把持
部、２０ｄ…中央支柱部、２０ｆ…ワーク把持用溝、２
０ｇ…ワーク把持用溝、２６…仕切り壁。
ワーク搬送用ワーク把持アーム、３…受け台、４…処理
槽、５…支持アーム、６…レール、９…ウェーハ、１０
…フッ素樹脂コーティング層、２０…爪部分、２０ａ…
側部支柱部、２０ｂ…第１把持部、２０ｃ…第２把持
部、２０ｄ…中央支柱部、２０ｆ…ワーク把持用溝、２
０ｇ…ワーク把持用溝、２６…仕切り壁。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 1/00 - 1/20 B65G 49/07 H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】 ウェーハ（９）に接触しつつ該ウェーハ
を把持して、処理液を備える処理槽（４）の上記処理液
内に上記ウェーハを入れたり、又は、上記処理槽の上記
処理液内から上記ウェーハを出したりして上記ウェーハ
を搬送するウェーハ搬送用ウェーハ把持アームにおい
て、 上記ウェーハを把持する石英製の爪部（２０ａ）のウェ
ーハ把持面（２０ｂ，２０ｃ）にフッ素樹脂コーティン
グ層（１０）を形成するようにしたことを特徴とするウ
ェーハ搬送用ウェーハ把持アーム。 - 【請求項２】 上記フッ素樹脂コーティング層（１０）
の厚さは１００〜６００μｍである請求項１に記載のウ
ェーハ搬送用ウェーハ把持アーム。 - 【請求項３】 上記爪部全体に上記フッ素樹脂コーティ
ング層（１０）を形成した請求項１又は２に記載のウェ
ーハ搬送用ウェーハ把持アーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23626993A JP3164468B2 (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | ワーク搬送用ワーク把持アーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23626993A JP3164468B2 (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | ワーク搬送用ワーク把持アーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0789603A JPH0789603A (ja) | 1995-04-04 |
| JP3164468B2 true JP3164468B2 (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=16998283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23626993A Expired - Lifetime JP3164468B2 (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | ワーク搬送用ワーク把持アーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3164468B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4453995B2 (ja) * | 2000-12-05 | 2010-04-21 | 信越石英株式会社 | フッ素系樹脂被覆石英ガラス製キャリアボート |
| JP2003086571A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | プラズマエッチング装置用部材 |
-
1993
- 1993-09-22 JP JP23626993A patent/JP3164468B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0789603A (ja) | 1995-04-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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