JPH02269915A - 熱式流量センサ - Google Patents
熱式流量センサInfo
- Publication number
- JPH02269915A JPH02269915A JP1091304A JP9130489A JPH02269915A JP H02269915 A JPH02269915 A JP H02269915A JP 1091304 A JP1091304 A JP 1091304A JP 9130489 A JP9130489 A JP 9130489A JP H02269915 A JPH02269915 A JP H02269915A
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- JP
- Japan
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- flow rate
- sensor
- resistance pattern
- rate sensor
- sensitive resistance
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、自動車、家庭電化製品、工業計測機器などに
使用される熱式流量センサに関するものである。
使用される熱式流量センサに関するものである。
従来の技術
熱式流量センサは気体や液体に奪われる熱量がその流量
によって変わることを利用して、流量を測定しようとす
るものである。すなわち、センサを一定の温度に加熱す
るために必要な電力を知ることによって、そのときの流
量を測定することができる。従来、このセンサにはホッ
トワイヤと呼ばれる金属細線（主として白金線）を使用
したものと、絶縁基板上に薄膜や厚膜のパターンを形成
したものが使用されている。
によって変わることを利用して、流量を測定しようとす
るものである。すなわち、センサを一定の温度に加熱す
るために必要な電力を知ることによって、そのときの流
量を測定することができる。従来、このセンサにはホッ
トワイヤと呼ばれる金属細線（主として白金線）を使用
したものと、絶縁基板上に薄膜や厚膜のパターンを形成
したものが使用されている。
金属細線を使用した流量センサは、その抵抗値が数Ω程
度と低いため１周辺回路が複雑になることや雑音の影響
を受けやすいこと、さらに、振動や衝撃に弱く、形状が
犬きくなるという問題かあ、る。これに対し、薄膜ある
いは厚膜を利用した流量センサの場合は、抵抗値を高く
作ることが容易なため、形状も小形にでき、生産性も向
上する。
度と低いため１周辺回路が複雑になることや雑音の影響
を受けやすいこと、さらに、振動や衝撃に弱く、形状が
犬きくなるという問題かあ、る。これに対し、薄膜ある
いは厚膜を利用した流量センサの場合は、抵抗値を高く
作ることが容易なため、形状も小形にでき、生産性も向
上する。
また、基体上に膜を形成するための金属細線のみの場合
に比較して１強度的にも改善されることになる。このこ
とは、最近の自動車用センサを中心とした堅牢で大量に
使用でき、かつ高精度なセンサへの要求に応えるもので
ある。
に比較して１強度的にも改善されることになる。このこ
とは、最近の自動車用センサを中心とした堅牢で大量に
使用でき、かつ高精度なセンサへの要求に応えるもので
ある。
第３図、第４図はその一例であって、第３図はセンサの
構造、第４図はセンサ表面のパターン形状を示す。絶縁
基板１上に感温抵抗膜２を蒸着あるいは印刷などで形成
し、フォトエツチングあるいはレーザートリミングなど
によって抵抗値を調整している。ここで、感温膜２は使
用上発熱体でもある。感温膜の両端には電極３を形成し
、リード線４を取り付けた後、ガラスなどで補強部６を
形成する。
構造、第４図はセンサ表面のパターン形状を示す。絶縁
基板１上に感温抵抗膜２を蒸着あるいは印刷などで形成
し、フォトエツチングあるいはレーザートリミングなど
によって抵抗値を調整している。ここで、感温膜２は使
用上発熱体でもある。感温膜の両端には電極３を形成し
、リード線４を取り付けた後、ガラスなどで補強部６を
形成する。
発明が解決しようとする課題
このような従来の構成では、比較的大きな電極部を設け
ているため、リードの位置合せの容易さなどがあるもの
の発熱に寄与する感温膜の素子表面に占める割合いが小
さいため、すなわち、感温膜の単位面積当りの熱容量が
大きくなり、熱的な変化に対して十分な応答特性が得ら
れなかった。
ているため、リードの位置合せの容易さなどがあるもの
の発熱に寄与する感温膜の素子表面に占める割合いが小
さいため、すなわち、感温膜の単位面積当りの熱容量が
大きくなり、熱的な変化に対して十分な応答特性が得ら
れなかった。
本発明は、このような課題を解決するもので熱式流量セ
ンサの応答特性を改善することを目的とするものである
。
ンサの応答特性を改善することを目的とするものである
。
課題を解決するだめの手段
この課題を解決するために、本発明は、絶縁基板上に薄
膜あるいは厚膜による感温抵抗パターンを形成すると共
に、センサ中央部分の他に電極周辺部にもパターンを形
成し、かつ電極面積を必要最小限に小さくしたものであ
る。
膜あるいは厚膜による感温抵抗パターンを形成すると共
に、センサ中央部分の他に電極周辺部にもパターンを形
成し、かつ電極面積を必要最小限に小さくしたものであ
る。
作用
この構成により、センサ表面の発熱体の占める割合が増
加し、発熱体面積の単位面積当りの熱容量を小さくする
ことができ、また、センサ表面が従来より均一に加熱さ
れることになるため、応答特性の優れた熱式流量センサ
を得ることができる。
加し、発熱体面積の単位面積当りの熱容量を小さくする
ことができ、また、センサ表面が従来より均一に加熱さ
れることになるため、応答特性の優れた熱式流量センサ
を得ることができる。
実施例
第１図は本発明の一実施例による熱式流量センサのパタ
ーン形状を示している。センサの構造は第３図と同じで
ある。絶縁基板には厚さ１００μｍのアルミナ基板１を
使用し、その上に真空蒸着法により白金薄膜を約１μｍ
着膜した後、フォトエツチングにより感温抵抗パターン
１２を形成した。このとき同時に形成した電極部１３に
リード線４を接続し、さらにその上をガラスで補強して
流量センサを作成した。
ーン形状を示している。センサの構造は第３図と同じで
ある。絶縁基板には厚さ１００μｍのアルミナ基板１を
使用し、その上に真空蒸着法により白金薄膜を約１μｍ
着膜した後、フォトエツチングにより感温抵抗パターン
１２を形成した。このとき同時に形成した電極部１３に
リード線４を接続し、さらにその上をガラスで補強して
流量センサを作成した。
電極部１３周辺の感温抵抗パターン１２ａはセンザ中央
の主要な感温抵抗パターン１２０半分の線幅としてｔｉ
部１３０両脇に形成した。
の主要な感温抵抗パターン１２０半分の線幅としてｔｉ
部１３０両脇に形成した。
第２図にはセンサ温度をＴｏからＴ、に変化しょうとし
たときの電極部付近での温度変化の様子の一例を示して
いる。この温度変化の差異は流量センサの応答特性に現
われる。この実施例による流量センサの場合、その応答
特性は空気流量をＯｍから１０ｍに急変した場合のセン
サの出力変化を見ると、その時定数（６３，２％変化時
）は約４０ｍ５であった。従来のパターン形状のものと
比較すると３０％程度改善されている。
たときの電極部付近での温度変化の様子の一例を示して
いる。この温度変化の差異は流量センサの応答特性に現
われる。この実施例による流量センサの場合、その応答
特性は空気流量をＯｍから１０ｍに急変した場合のセン
サの出力変化を見ると、その時定数（６３，２％変化時
）は約４０ｍ５であった。従来のパターン形状のものと
比較すると３０％程度改善されている。
発明の効果
以上のように本発明によれば、電極部を小さくし、その
周辺部分にも抵抗パターンを形成することによって、流
量センサとしての応答特性を向上することができるとい
う効果が得られる。
周辺部分にも抵抗パターンを形成することによって、流
量センサとしての応答特性を向上することができるとい
う効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例による熱式流量センサのパタ
ーン形状を示す平面図、第２図は電極部分での温度変化
の追従性を示す特性図、第３図はセンサ素子の構造を示
す断面図、第４図は従来のセンサのパターン形状を示す
平面図である。 １・・・・・・基板、１２，１２１・・・・・・感温抵
抗パターン、１３・・・・・電極部。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名！・
−アルミナ蟇抜 ＋２ ／２ａ −−ｊＪ温＆ｆｔ１ｆターン１３−９
伝 第１図 第２図 時 間 （ｍｓ） 第３図 を 第４図
ーン形状を示す平面図、第２図は電極部分での温度変化
の追従性を示す特性図、第３図はセンサ素子の構造を示
す断面図、第４図は従来のセンサのパターン形状を示す
平面図である。 １・・・・・・基板、１２，１２１・・・・・・感温抵
抗パターン、１３・・・・・電極部。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名！・
−アルミナ蟇抜 ＋２ ／２ａ −−ｊＪ温＆ｆｔ１ｆターン１３−９
伝 第１図 第２図 時 間 （ｍｓ） 第３図 を 第４図
Claims (1)
- 絶縁基板上に薄膜あるいは厚膜による感温抵抗パターン
を形成すると共に、センサ中央の主要部分の他に電極の
周辺部分にもパターン形成し、かつ電極がリード線接続
に最低限必要な大きさとしたことを特徴とする熱式流量
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1091304A JPH02269915A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 熱式流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1091304A JPH02269915A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 熱式流量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02269915A true JPH02269915A (ja) | 1990-11-05 |
Family
ID=14022726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1091304A Pending JPH02269915A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 熱式流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02269915A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5321382A (en) * | 1991-07-08 | 1994-06-14 | Nippondenso Co., Ltd. | Thermal type flow rate sensor |
-
1989
- 1989-04-11 JP JP1091304A patent/JPH02269915A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5321382A (en) * | 1991-07-08 | 1994-06-14 | Nippondenso Co., Ltd. | Thermal type flow rate sensor |
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