JPH02269320A - 液晶ディスプレイ欠陥修復装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は液晶ディスプレイ欠陥修復装置に関し、特に
各画素に対応して表示状態制御用の薄膜トランジスタを
有する液晶ディスプレイの表示輝度不良を修復する装置
に関するものである。

〔従来の技術〕 第２図は各画素に対応して表示状態制御用の薄膜トラン
ジスタを有する液晶ディスプレイの断面図である０図に
おいて、１は複数の画素からなる液晶ディスプレイ、１
０は該液晶ディスプレイ１のアレイ基板１００上に形成
された薄膜トランジスタ、２００はカラーフィルタ２１
０をその内面に備えた透明の対向基板、２２０はカラー
フィルタ２１０上に取り付けられた透明電極、３００は
対向する上記両基板１００．２００の間に形成されたシ
ール層、４００は上記両基板１００．２００の間に注入
された液晶である。

また第３図は上記薄膜トランジスタ１０の詳細な断面構
造を示し、図中、１１はガラス等の材料よりなる絶縁性
基板、１２は該絶縁性基板１１上に形成されたＣｒ等の
材料よりなるゲート電極、１３は上記ゲート電極１２上
に形成され、ＳｉＮ。

ＳｉＯオ等の材料よりなるゲート絶縁層、１４は上記ゲ
ート絶縁層１３上に形成され、非晶質シリコンよりなる
半導体層、１５．１６はそれぞれ該半導体層１４上に形
成されたＡＩ、Ｃｒ等の材料よりなるソース電極１５及
びドレイン電極１６．１７は全面を覆うよう形成された
Ｓ　ｉ　Ｎ、　　Ｓ　ｉ　Ｏｘ等の絶縁材料よりなる保
護膜である。

次に動作について説明する。

第５図は液晶ディスプレイｌに内蔵された薄膜トランジ
スタ１０の動作説明図で、図中ソース電極１５は液晶４
００とは絶縁され、ドレイン電極１６は液晶４００と接
触している。

ここでソース電極１５とドレイン電極１６の間に一定の
直流電圧Ｅ、が加えられると、半導体層１４の負電荷は
上記ドレイン電極１６から上記ソース電極１５に流れる
。またソース電極１５とゲート電極１２の間に可変のゲ
ート電圧Ｅ、が加えられても、このゲート電圧Ｅ２が小
さい時には上記半導体層１４は上記負電荷の流れにほと
んど影響を及ぼさない、上記ゲート電圧Ｅ２が大きくな
り閾値電圧Ｅ、を越えると、上記半導体層１４の負電荷
は上記ゲート電極１２の方に引かれ、上記ゲート電圧Ｅ
、の増加に伴って上記ゲート電極１２と上記ドレイン電
極１６の間に流れるドレイン電流Ｉ４は急増し、最後は
上記半導体層１４の電荷量が一定であるため飽和する。

上述したようにゲート電極１２とドレイン電極１６の間
を流れるドレイン電流Ｉ４と上記ゲート電圧Ｅ、の関係
は第１２図のようになる。

ここで、液晶ディスプレイ１の対向基板２００のカラー
フィルタ２１０に取り付けられている透明電極２２０と
上記ゲート電極１２との間に加えられている直流電圧（
Ｅ鵞＋Ｅｓ　）は、上記ゲート電圧Ｅ８が小さい時には
そのほとんどが上記薄膜トランジスタ１０のゲート絶縁
層１３に負担されている。一方上記ゲート電圧Ｅ、が閾
値電圧Ｅ。

以上に増加すると、上記説明のように上記ゲート電極１
２と上記ドレイン電極１６の間にドレイン電流■４が流
れ、見掛は上上記ゲート電極１２と上記ドレイン電極１
６の間の抵抗が下がるので、上記直流電圧（Ｅｌ　＋Ｅ
３　）は上記透明電極２２０と上記ドレイン電極１６の
間の液晶４００に負担されるようになる。その結果、上
記液晶４００の分子は上記直流電圧（Ｅｘ　＋Ｅｓ　）
による電界の方向に配向し、透過光あるいは入射光に対
して透明になる。

そして上記ゲート電圧Ｅｍが減少すると、上記動作とは
逆になり、液晶４００の分子の配向度が減少するので、
透過光あるいは入射光に対して不透明になって行く０以
上のようにして液晶ディスプレイに設けられた多数の薄
膜トランジスタ１０のスイッチング作用により、液晶デ
ィスプレイ１の表示状態が制御される。

上記のように動作する液晶ディスプレイ１において、動
作時のゲート電圧１４．アレイ基板１００や対向基板２
００が他の物質と摩擦することによる静電気帯電あるい
は外部から侵入するサージ電圧等が、上記薄膜トランジ
スタ１０のゲート電極１２とソース電極１５との間に加
わると、半導体層１４から正または負の電荷がゲート絶
縁層１３に注入され、これがゲート絶縁膜１３と半導体
層１４との界面付近に存在するゲート絶縁層１３中のト
ラップ準位に捕らえられ、この結果上記ゲート絶縁層１
３中に空間電荷が生じる。

この空間電荷の電圧の方向が薄膜トランジスタｌＯのゲ
ート電圧Ｅ！の方向と反対の場合は、第１２図に示され
るドレイン電流！、と上記ゲート電圧Ｅｔの関係は、上
記空間電荷が存在しない場合、正常状態（曲線ｂ）から
閾値の高い異状状態（曲線ａ）にドリフトする。この時
、液晶ディスプレイの表示は、例えば正常画素がゲート
電圧Ｅ０で最高輝度になっているのに対して、薄膜トラ
ンジスタ１０の上記！、−Ｅ、関係が曲ｐａにドリフト
した異常画素の輝度は低い状態になっている。

逆に上記空間電荷の電圧の方向が薄膜トランジスタ１０
のゲート電圧Ｅ２の方向と同じ場合は、闇値は低い方へ
、つまり正常の閾値電圧Ｅｂ　　（曲線ｂ）から低い閾
値電圧Ｅ、（曲線Ｃ）にドリフトする。この時、液晶デ
ィスプレイの表示はゲート電圧Ｅ０の正常画素と、薄膜
トランジスタ１０の上記１．−Ｅ、関係が曲線Ｃにドリ
フトした異常画素とも最高輝度になっているが、例えば
駆動電圧Ｅ、をＥ、まで下げて正常画素の輝度を暗の状
態にしても、上記異常画素は明の状態のままである。

例えば液晶ディスプレイに内蔵される数万〜数十万個の
薄膜トランジスタの闇値電圧のバラツキは液晶ディスプ
レイの画面に線欠陥あるいは点欠陥となって現れる。

上記説明した薄膜トランジスタ１０のＩｔ　　Ｅｘ量関
係ドリフトを抑制するには、例えば文献「日本学術振興
会アモルファス材料第１４７委員会第１５回研究会資料
ｐ１２−ｐ１５　（昭和６２年２月１７日）」に述べら
れているように、ゲート絶縁層１３を形成す、る際、原
料ガスの組成２例えばＮ！とＮＨｓとのガス比率を化学
量論的に最適化する方法、あるいは形成温度を従来（２
００℃付近）より高温＜３００〜３６０℃）に上げる方
法があり、また薄膜トランジスタ１０を形成した後に２
００〜４００℃の温度で１〜３時間熱処理することによ
り、閾値電圧ドリフトの均一化を図る方法も一般に実施
されているが、上記従来の方法はいずれもゲート絶縁層
１３のトラップ準位を減少させるものである。その他、
１．−Ｅ！量関係ドリフトを生じた薄膜トランジスタｌ
Ｏに熱エネルギーあるいは光エネルギーを与えてゲート
絶縁層１３に存在するトラップ準位に捕らえられている
電荷を放電させる方法等もある。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、薄膜トランジスタ１０のＩａ　　Ｅｘ量関係
、シフトを抑制する上記のような従来の方法を用いると
、上記薄膜トランジスタＩＯのゲート絶縁層１３に存在
するトラップ準位の数は減少するが、トラップ準位を完
全に無くすことはできず、このため上記薄膜トランジス
タ１０に再び外部電界が加わると、上記薄膜トランジス
タにＩａ　　Ｅｘ量関係シフトが生じる可能性がある。

また１ｍ−Ｅｚ量関係シフトを抑制した薄膜トランジス
タｌＯを用いた液晶ディスプレイ１においても、上記液
晶ディスプレイ１のアレイ基板１００や対向基板２００
に生じた静電気帯電あるいは外部から侵入したサージ電
圧によって、上記液晶ディスプレイｌの表示不良が発生
するという問題点があり、液晶ディスプレイ１の状態で
上記表示不良を修復する必要があった。

しかし液晶ディスプレイｌの液晶は熱によって分解しや
すいため、上記液晶ディスプレイ１を高温でアニールす
る方法は用いられない、また、液晶ディスプレイ１の表
示不良を示す画素に対応する薄膜トランジスタｌＯに光
を照射することにより上記表示不良を修復することは可
能であるが、この際光エネルギーを与えすぎると液晶４
００を分解させたり半導体層１４の特性を変化させたり
する危険性があり、逆に上記光エネルギーの供給が不足
すれば上記表示不良の修復を十分に行うことはできない
。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、液晶ディスプレイ素子の表示状態制御用薄膜
トランジスタの閾値電圧ドリフトを高精度で補正するこ
とができ、これにより表示不良の液晶ディスプレイ素子
を無（して液晶ディスプレイの欠陥を確実に修復するこ
とができる液晶ディスプレイ欠陥修復装置を得ることを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る液晶ディスプレイ欠陥修復装置は、液晶
ディスプレイを駆動する信号を発生する信号発生器と、
その液晶ディスプレイ素子の表示状態制御用の薄膜トラ
ンジスタに光ビームを照射してその閾値電圧ドリフトを
補正する光ビーム照射手段とを備え、上記液晶ディスプ
レイ素子の表示状態を評価し、その評価結果に基づいて
上記光ビーム照射量を制御するようにしたものである。

〔作用〕

この発明においては、液晶ディスプレイ素子の表示状態
を評価し、その評価結果に基づいて薄膜トランジスタへ
の光ビーム照射量を制御して、薄膜トランジスタの闇値
電圧ドリフトを補正し、液晶ディスプレイ素子の表示不
良を修復するようにしたから、薄膜トランジスタの閾値
電圧の均一化を高精度で行うことができ、これにより液
晶ディスプレイの画質及び製造歩留向上を図ることがで
きる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図は本発明の一実施例による液晶ディスプレイ欠陥
修復装置のブロック構成図、第４図及び第６図は液晶デ
ィスプレイの欠陥修復原理を説明するための液晶ディス
プレイの等価回路図及び薄膜トランジスタのＩａ　　Ｅ
ｘ特性図である。

図において、１は液晶ディスプレイ、２は上記液晶ディ
スプレイ１の駆動信号を発生する信号発生器、３は薄膜
トランジスタ１０に光ビーム３１を照射する光ビーム照
射手段、４は液晶ディスプレイの表示状態を評価すると
ともにその結果に基づいて上記光ビーム照射手段３の上
記光ビーム３１照射量を制御する表示制御手段である。

ここで、薄膜トランジスタ１０への光ビーム３１照射は
アレイ基板１００を介して行われ、光ビーム３１として
は直径が５〜１００μｍに集光されたＹＡＧ。

Ｘｅ、Ａｒ等のレーザが好ましく用いられる。

次に動作について説明する。

以下第４図を用いて画素Ｐ、の薄膜トランジスタ１０１
の閾値電圧が負の方向にドリフトしている場合の修復処
理を順次説明する。

まず、信号発生器２を用いて液晶ディスプレイ１を所定
の駆動条件で駆動して画像表示を行い、表示制御手段４
により表示輝度の低い欠陥画素Ｐの位置を自動的に検出
するとともに、異常の無い画素Ｐ３の輝度データを上記
表示制御手段４に内蔵される記憶回路（図示せず）に格
納する。

次いで、欠陥画素Ｐ、に対応した薄膜トランジスタ１０
１のＩｎ−Ｅｔ特性における閾値電圧のドリフト量を調
べるために表示制御手段４により画素ｐｔの輝度データ
を測定し、信号発生器２からゲート・ライン１２０を介
して画素Ｐ、の薄膜トランジスタ１０１のゲート電極１
２にゲート信号す、を加え、上記画素Ｐ８の輝度データ
と比較しながら上記ゲート信号す、を正方向に徐々に変
化させる。

ここで１、第６図の１４−Ｅｔ特性、即ち画素Ｐｔ及び
Ｐｌに対応した薄膜トランジスタ１０１及び１０２のＩ
ａ　　Ｅｘ曲線す及びａから明らかなように、画素Ｐ、
とＰ８の輝度データが等しくなった時点では薄膜トラン
ジスタ１０１及び１０２のゲート電極１２に印加された
ゲー、ト信号ｂ１とａｌの差分値Ｃは薄膜トランジスタ
１０１及び１０２の閾値電圧Ｅ、及びＥ、の差、即ち薄
膜トランジスタ１０１の闇値電圧のドリフト量にほぼ等
しい。

その後、画素Ｐ１に対応した薄膜トランジスタ１０１の
闇値電圧のドリフト１ｉ（Ｅ、　　Ｅｂ）から光ビーム
照射手段３の照射条件、例えばＹＡＧレーザの場合では
レーザ・パワー、バイト・サイズ、Ｑスイッチ周波数、
加工ピッチ等を決め、上記薄膜トランジスタ１０１にレ
ーザ・ビーム３１を照射して、再度表示制御手段４で画
素Ｐ、とＰ８の輝度データの比較を行う、そしてこのよ
うな手順を繰り返すことにより、液晶ディスプレイ１を
表示した状態で薄膜トランジスタ１０の闇値電圧ドリフ
トを効果的に補正、均一化する。

その後、他の欠陥画素に対しても同様の処理を施して閾
値電圧ドリフトの修復を行う。

ここでは、上記レーザ条件の一例として薄膜トランジス
タｌＯの闇値電圧のドリフト量が一１０■の時、レーザ
・パワー０．１μＪ／パルス、バイト・サイズ０．３μ
ｍ、Ｑスイッチ周波数１０００Ｈ２，レーザ・ビーム径
６．５μｍ１加工ピツチ２μｍが適当であった。

このように本実施例では、液晶ディスプレイｌの駆動信
号を発生する信号発生器２及びレーザ・ビーム３１を発
生するビーム照射手段３を設け、液晶ディスプレイ１の
表示状態を評価し、この評価結果に基づいて欠陥薄膜ト
ランジスタ１０１゜他の欠陥薄膜トランジスタ（図示せ
ず）に別々にレーザ・ビーム３１照射による闇値補正処
理を施して、薄膜トランジスタの閾値電圧ドリフトを均
一化するようにしたので、液晶ディスプレイに内蔵され
る複数個の薄膜トランジスタの闇値電圧の均一化を個別
にしかも高精度に行うことができ、これにより液晶ディ
スプレイを表示した際の点状または線状の暗部をなくす
ことができ、ディスプレイの画質を大きく向上できると
ともに、歩留り向上に顕著な効果がある。

なお、上記実施例では光ビーム３１を、アレイ基板１０
０と対向基板２００との間に液晶を封止した状態の液晶
ディスプレイに照射する場合につイテ示したが、本発明
の光ビーム照射による闇値電圧ドリフトの修復技術は薄
膜トランジスタを配設しただけの状態のアレイ基板１０
０に適用することもでき、つまり所定の検査結果に基づ
いて、このようなアレイ基板１００の薄膜トランジスタ
１０にその上方から、あるいはアレイ基板１００を介し
て薄膜トランジスタ１０に上記光ビームを照射すること
により、上記閾値電圧ドリフトの修正を行うことができ
る。この場合、アレイ基板１００を所定温度に予熱した
状態で上記薄膜トランジスタ１０の閾値電圧ドリフトを
修復することにより、修復時間の短縮を図ることもでき
る。

第１１図はこの発明の他の実施例による液晶ディスプレ
イ欠陥修復装置を示す説明図、第７〜第１θ図はその欠
陥修復処理を順に示す説明図である。

第１１図において、ｌはＸ−Ｙテーブル５上に固定され
た液晶ディスプレイ、２０は駆動電源で、上記液晶ディ
スプレイｌを駆動する信号を発生する信号発生器２と上
記液晶ディスプレイ１の表示画面を光らせる透過光を投
光する照明光源７の照明電源２０１とから構成されてい
る。３は薄膜トランジスタｌＯのアレイ基板１００側か
らゲート絶縁層１３に光ビーム３１を照射する光ビーム
照射手段である。また４は表示制御手段で、上記液晶デ
ィスプレイｌから出る光信号７１を受光して各液晶ディ
スプレイ素子の表示輝度を測定し、表示輝度の不良液晶
ディスプレイ素子位置を検出する画像検査装置４１と、
上記表示不良の液晶ディスプレイ素子の輝度を基準値と
比較し、その比較結果に基づいて上記光ビーム照射手段
３の光ビーム照射量を制御する制御用コンピュータ９と
から構成されておいる。４２は上記Ｘ−Ｙテーブル５を
駆動するｘ−Ｙテーブル駆動装置で、該装置により上記
液晶ディスプレイ１と上記光ビーム照射手段３の相対的
位置を変化させることができるようになっている。

次に、上記のように構成された液晶ディスプレイ欠陥修
復装置による欠陥修復処理を順に説明する。

Ｘ−Ｙテーブル５は第７図に示すように、中央付近に開
口部６を、その周囲に３本のガイドビン１１を有してお
り、前面には照明光源７が配置されている。

まず第８図に示すように液晶ディスプレイ１を上記Ｘ−
Ｙテーブル５上に載せ、３本のガイドビン１１に沿わせ
て固定する。この時、上記液晶ディスプレイ１はその表
示画面が上記Ｘ−Ｙテーブル５の開口部６の内側を向く
ようにする。そして液晶ディスプレイ１の表示画面には
第４図のようにゲートライン１２０とドレインライン１
３０が縦横に走り基盤目区画を形成しているので、光ビ
ーム照射手段３からの照射光ビーム３１の光軸が、液晶
ディスブレ４１表示画面の基盤目区画中央の画素に対応
する薄膜トランジスタ１０の中央に位置するよう上記光
ビーム照射手段３を配置固定する。

そして第９図に示すように照明電源２０１により照明光
源７を点灯するとともに、信号発生器２から上記液晶デ
ィスプレイ１の駆動信号をそのレベルを所定の範囲で順
次増加させて上記液晶ディスプレイ１に送る。上記液晶
ディスプレイ１の駆動信号レベルの増加にともなって液
晶４００分子の配向度が増して照明光源７からの光が透
過するようになり、上記液晶ディスプレイ１の表示画面
は暗から明に移行し、徐々に輝度を増して行（。

次に第１０図に示すように画像検査装置４１により上記
液晶ディスプレイ１の各素子の表示輝度を測定し、正常
な輝度を基準値として制御コンピュータ９に記憶する。

その後上記画像検査装置４１で上記輝度の基準値に比べ
て低い輝度の液晶ディスプレイ素子または高い輝度の素
子を検出し、上記液晶ディスプレイ１の表示画面の基盤
目区画における番地を認識して上記制御コンピュータ９
に記憶する。また上記制御コンピュータ９からの信号で
Ｘ−Ｙテーブル駆動装置４２を駆動して光ビーム照射手
段３の光軸が不良素子の番地に対応する薄膜トランジス
タ１０と一致するようにＸＹ子テーブルを移動する。

そして表示不良素子の表示輝度が上記基準値（表示正常
素子の輝度）に比べて低い場合、画像検査装置４１で上
記表示不良素子の表示輝度を測定しながら信号発生器２
から上記液晶ディスプレイ１に送る駆動信号レベルを下
げて行き、上記表示不良画素の表示輝度が暗になった所
で上記信号レベルを一定に保つ、また、表示不良素子の
表示輝度が基準値（表示正常素子の輝度）に比べて高い
場合、画像検査装置４１で表示正常素子の表示輝度信号
を測定しながら信号発生器２から上記液晶ディスプレイ
１に送る駆動信号レベルを下げて行き、上記表示正常素
子の表示輝度が暗になった所で上記駆動信号レベルを一
定に保つ。

上記表示制御手段４により、上記液晶ディスプレイ１の
駆動信号レベルを一定に保った時の表示正常素子と表示
不良素子の輝度差を求め、その輝度差に基づいて光ビー
ム照射手段３の光ビーム照射条件を決めて、表示不良素
子に対応した薄膜トランジスタ１０に光ビーム３１を照
射する。再度表示制御手段４で表示正常素子と表示不良
素子の輝度ディスプレイの比較を行う、そしてこのよう
な手順を繰り返すことにより、液晶ディスプレイｌを表
示した状態で薄膜トランジスタ１０の闇値電圧ドリフト
を効果的に補正、均一化する。

その後、他の複数の表示不良素子に対しても同様の処理
を施して閾値電圧ドリフトの修復を行う。

この実施例装置では、液晶ディスプレイ素子の表示状態
を検出し、表示不良の液晶ディスプレイ素子の闇値と基
準値とを比較し、その比較結果に基づいて、上記光ビー
ム照射手段の上記光ビーム照射量を制御するとともに、
該光ビームの光軸を不良素子の位置に合わせるようにし
たので、複数個の液晶ディスプレイ素子の表示状態の一
評価結果に基づき、次々に欠陥薄膜トランジスタに上記
光ビーム照射による閾値補正処理を施し、液晶ディスプ
レイに内蔵される複数個の薄膜トランジスタの閾値電圧
の均一化を個別にしかも連続的に行うことができる。こ
れにより欠陥修復時間の短縮が図れる効果がある。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明に係る液晶ディスプレイ欠陥修
復装置によれば、液晶ディスプレイ素子の表示状態を評
価し、その評価結果に基づいた照射量の光ビームを薄膜
トランジスタに照射して、閾値電圧のドリフトを補正す
るようにしたので、液晶ディスプレイに内蔵される薄膜
トランジスタの閾値電圧の均一化を高精度で行うことが
でき、これにより液晶ディスプレイの画質を大きく向上
でき、歩留り向上に顕著な効果がある。

【図面の簡単な説明】 第１図はこの発明の一実施例による液晶ディスプレイ欠
陥修復装置を示すブロック構成図、第２図は薄膜トラン
ジスタで駆動される液晶ディスプレイの断面構造図、第
３図は該薄膜トランジスタの断面構造図、第４図は第２
図の液晶ディスプレイの等価回路図、第５図は薄膜トラ
ンジスタの動作説明図、第６図は本液晶ディスプレイ欠
陥修復装置の動作を説明するための説明図、第７図ない
し第１Ｏ図はそれぞれ本発明の他の実施例による液晶デ
ィスプレイ欠陥修復装置を説明するための図、第１１図
は該液晶ディスプレイ欠陥修復装置の概略構成図、第１
２図は薄膜トランジスタの闇値ドリフトを説明するため
の説明図である。 図において、１は液晶ディスプレイ、２は信号発生器、
３は光ビーム照射手段、４は表示制御手段、５はＸ−Ｙ
テーブル、７は照明光源、９は制御用コンピュータ、１
０は薄膜トランジスタ、２０は駆動電源、４１は画像検
査装置、４２はＸ−Ｙテーブル駆動装置、２０１は照明
電源である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）薄膜トランジスタ部を持つ複数の液晶ディスプレ
   イ素子からなる液晶ディスプレイの欠陥修復を行う装置
   であって、 上記各液晶ディスプレイ素子を駆動するディスプレイ駆
   動手段と、 上記液晶ディスプレイの画像表示状態を評価する画像検
   査装置と、 レーザビーム発生器を有し、該評価結果に基づいて、閾
   値がドリフトしている薄膜トランジスタ部へのレーザビ
   ーム照射を、液晶ディスプレイ素子毎に別々に行って該
   薄膜トランジスタの閾値電圧を補正する閾値電圧補正手
   段とを備えたことを特徴とする液晶ディスプレイ欠陥修
   復装置。
2. （２）表示状態制御用の薄膜トランジスタ内蔵の液晶デ
   ィスプレイ素子からなる液晶ディスプレイの欠陥修復を
   行う装置であって、 上記液晶ディスプレイを駆動する液晶ディスプレイ駆動
   装置と、 上記薄膜トランジスタに光ビームを照射して上記薄膜ト
   ランジスタの閾値電圧を変化させる光ビーム照射手段と
   、 上記液晶ディスプレイ素子の表示状態を評価するととも
   に、該評価結果に基づいて上記光ビーム照射量を制御す
   る評価・制御手段とを備えたことを特徴とする液晶ディ
   スプレイ欠陥修復装置。
3. （３）表示状態制御用の薄膜トランジスタ内蔵の複数の
   液晶ディスプレイ素子からなる液晶ディスプレイの欠陥
   修復を行う装置であって、 上記液晶ディスプレイを載置する移動自在な載置台と、 上記液晶ディスプレイを駆動するディスプレイ駆動手段
   と、 上記薄膜トランジスタに光ビームを照射して上記薄膜ト
   ランジスタの閾値を変化させる光ビーム照射手段と、 上記液晶ディスプレイ素子の表示状態を検出する表示状
   態検出手段と、 該表示状態検出出力に基づき表示不良の液晶ディスプレ
   イ素子の輝度を基準値と比較し、その比較結果に基づい
   て上記光ビーム照射量を制御する表示制御手段と、 上記表示状態検出出力に基づき上記載置台を移動させて
   液晶ディスプレイと上記光ビーム照射位置との相対的位
   置を調整する位置調整手段とを備えたことを特徴とする
   液晶ディスプレイ欠陥修復装置。