JPH02263418A - バリスタ特性を有するセラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

バリスタ特性を有するセラミックコンデンサの製造方法

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JPH02263418A
JPH02263418A JP1085445A JP8544589A JPH02263418A JP H02263418 A JPH02263418 A JP H02263418A JP 1085445 A JP1085445 A JP 1085445A JP 8544589 A JP8544589 A JP 8544589A JP H02263418 A JPH02263418 A JP H02263418A
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grain
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JP1085445A
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Atsushi Iga
篤志 伊賀
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はバリスタ特性を有するセラミックコンデンサの
製造方法に関するものである。
従来の技術 従来、この種のセラミック酸化物半導体の結晶粒界を絶
縁化することによって、これまでのセラミック誘電体と
比較して、見かけ誘電率の非常に大きなコンデンサ素体
が得られることが知られている。さらにこれらコンデン
サ素体に電極を形成するとしきい値電圧で急激に電流が
流れるいわゆるバリスタが得られることがあることも知
られている。例えば、SrTiChを主成分とし、これ
にNb2O5およびT i 02  Ae 203  
S i 02系混合物を添゛加して成形し、還元雰囲気
中で焼結してなる多結晶セラミック半導体の粒界に、酸
化鋼(CuO)および酸化ビスマス(B 1203)を
焼結体表面から拡散せしめ、前記結晶粒界に空乏層を形
成して粒界に高抵抗層を形成して得たバリスタ特性を有
するセラミックコンデンサ材料において、非直線抵抗指
数αが10以上の特性を保持しながら1mAの電流が流
れ始める電圧、すなわち立ち上がり電圧が50〜200
v/1IIII+、見カケ誘電率が20000〜100
000のごとく大きな値の材料が得られている。なお、
ここで、従来の製造方法でしばしば用いられてきた拡散
物質であるCub、Bi20zの役割について記すと、
十分に酸素が供給されたCuOは焼結体の結晶粒界にあ
って電子トラップセンタを形成し、n型半導体SrTi
03結晶の粒界に近い部分に存在する電子をトラップし
、粒界近傍に電子の存在しない空乏層を形成する働きを
する。バリスタ特性を有するセラミックコンデンサはか
ようにして形成された絶縁性空乏層の両側に電荷を蓄え
てコンデンサとして構成される一方、しきい値以上の電
圧印加では急激に電流が流れバリスタ特性が現れる。そ
の結果、焼結体の見かけの誘電率はSrTi(hの誘電
率(〜200)に焼結体中のSrTiOの粒径と先述し
た粒界空乏層の厚さの比(粒径/空乏層の厚さ)をかけ
た程度の値となる。代表的なSrTi03焼結体の粒界
空乏層の厚さは1つの粒界につき0.2μm位となり、
SrTiO3焼結体では粒径が2μm、20μm、20
0μmの場合に、それぞれ見かけ誘電率のめやすとして
は2000.20000.200000を得る。また、
Bi2O3はβ−Bi203相とδ−Bi203相の場
合酸素の良導体として知られており、焼結体表面にBi
2O3を塗布して熱処理を施したとき始めに焼結体の粒
界に沿ってB12(hが拡散し、次に粒界に存在するB
i2O3に沿って外部より焼結体内部まで酸素が拡散で
運搬され、粒界空乏層形成に必要な酸素を供給する働き
をする。この種のバリスタ特性を有するセラミックコン
デンサは静電容量・対温度特性などにおいて優れた特性
を持つので産業界で広く使用されている。なお、以上の
ようなバリスタ特性を有するセラミックコンデンサは、
一般的に高温で焼成して焼結体中の結晶粒をできるだけ
大きなものにし、焼結体の周囲にペースト状にした酸化
鋼含有の酸化ビスマスなどを塗布し、しかる後に熱処理
を施すことによってBi2O3,CuO等を焼結体内部
にまで拡散させ酸化させるという工程を経て生産されて
いる。
発明が解決しようとする課題 以上のような製造方法で大きな静電容量の、特に積層型
のバリスタ特性を有するセラミックコンデンサを製造し
ようとする場合、電極間隔を10〜100μmあるいは
もっと狭くしようとすると、焼結体の結晶粒の成長を粒
径が1μmから十数μmの小粒径でしかも均一なものに
抑制されねばならず、また、工程中Bi2O3やCuO
などを焼結体表面から内部にまで均質に拡散することが
必要であり、特に金属電極の層が存在するとその影響が
大きくなり、特性にバラツキができやすく、さらに厚み
のあるものは内部まで十分にBi2O3やCuOなどを
拡散させることが困難であるので、素子の大きさが限定
される等の問題があった。
また、電極間隔が狭いので、焼結体にはミクロ的にも特
性の均質性が要求され、そのため材料組成の均質性が求
められている。
本発明はこれらの課題を解決した積層型などのバリスタ
特性を有するセラミックコンデンサを提供するものであ
った。
課題を解決するための手段 これらの課題を解決するために本発明は、SrTi03
を主成分としたペロブスカイト型酸化物粉体に、主とし
て高温度で液相を形成する焼結促進剤、主としてペロブ
スカイト相に固溶する半導体促進剤、粒成長制御剤を兼
ねた酸素良導性固体電解質、および粒成長制御剤を兼ね
た粒界空乏層形成剤を添加し、混合・形成したのち高温
で焼結し、半導体化した後、酸化雰囲気中で酸素の拡散
処理と粒界空乏層形成剤の酸化処理をほどこしてバリス
タ特性を有するセラミックコンデンサを得るものである
作用 以上のように本発明は、SrTi03を主成分としたペ
ロブスカイト型酸化物粉体に、主として高温度で液相を
形成する焼結促進剤、主としてペロブスカイト相に固溶
する半導体化促進剤、粒成長制御剤を兼ねた酸素良導性
固体電解質、および粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形
成剤を添加し、混合・形成したのち高温で焼結し、半導
体化した後、酸化雰囲気中で酸素の拡散処理と粒界空乏
層形成剤の酸化処理をほどこし粒界に沿ってキャリアの
存在しない空乏層を形成し、この空乏層によって良質な
バリスタを得るものである。
実施例 本発明の概要について説明する。
SrTi03を主成分としたペロブスカイト型酸化物粉
体に、主として高温度で液相を形成する焼結促進剤、主
としてペロブスカイト相に固溶する半導体化促進剤2粒
成長制御剤を兼ねた酸素良導性固体電解質、および粒成
長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤を添加・混合し、加
圧成型し、高温で焼結するとき、主として高温度で液相
を形成する焼結促進剤は、粒成長制御剤を兼ねた粒界空
乏層形成剤と半導体化促進剤とSrTi03主成分のペ
ロブスカイト型酸化物との反応・固溶を促進する。つま
りSrTiO3主成分相は還元作用によって一部の酸素
を奪われ、半導体化促進剤と反応しつつn型半導体物質
となる。一方ペロブスカイト型又は類似の結晶構造を持
つ粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤はSrTiO
3に比べてかなり異なった格子定数を持つのでSrTi
03に対する固溶範囲はかなり小さく、SrTi03へ
の固溶量はモル比で数%以下であると考えられる。その
ため、高温では多量にSrTi○3に固溶していた粒界
空乏層形成剤の一部は焼成時の冷却過程にSrTi03
相の微結晶粒子からその周囲の粒界に拡散して一様に析
出することが考えられる。かかる焼結体に酸化雰囲気中
で熱処理を施すと、粒界に存在した主成分CeO2の酸
素良導性固体電解質内を酸素が自由に拡散し、粒界に析
出した鋼、マンガン、コバルト等を含む酸化物は、そこ
へ到達した酸素によってさらに酸化される。
その結果粒界には酸化銅、酸化マンガン、酸化コバルト
等を主体とした電子のトラップセンタが形成される。こ
れらの電子のトラップセンタは還元によって形成された
低抵抗のn型のSrT703半導体結晶粒内から電子を
奪い、その結果粒界に沿ってキャリアの空乏層が形成さ
れる。このようにして得た空乏層は絶縁性がよ(、焼結
体に電圧が印加されると空乏層の両側には電荷が蓄えら
れて高静電気容量を持つバリスタが得られ、また、従来
、行われていた、半導体化後のCub、B 1203等
の塗布・拡散の工程を必要とせず、容易に優れたバリス
タ特性を有するセラミックコンデンサを得ることができ
るものである。
なお、第1図は本発明の一実施例である積層型バリスタ
特性を有するセラミックコンデンサであり、1はバリス
タ特性を有するセラミックコンデンサであり、2は内部
電極であり1.3は外部電極であり、第2図は本発明の
他の実施例であるバリスタ特性を有するセラミックコン
デンサであり、4はバリスタ特性を有する高静電気容量
セラミックス、5は電極、そして、6はリード線である
以下、本発明の実施例の具体例について説明する。
(実施例1〉 蓚酸チタニルストロンチウム(SrTiO(C204)
2・4H20)を熱分解して得たチタン酸ストロンチウ
ム(SrTi(h)に主として高温度で液相を形成する
焼結促進剤Ti02−Aに203 3 iot (20
: 35 : 45wt比)を0.05〜6.0wt%
、主としてペロブスカイト相に固溶する半導体化促進剤
Nb2O5を0.02〜3.0wt%、粒成長制御剤を
兼ねた酸素良導性固体電解質CeO2を0.05〜4.
0wt%、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r(MnI/2Nbwt>Ox (0.1〜12.0w
t%)を添加し、よく混合したのち、900℃にて仮焼
した。湿式粉砕の後、乾燥、造粒、成型して、大気中1
300℃にて焼結し、再び湿式粉砕の後、樹脂および有
機溶剤を用いてペースト化してシートをつくり、内部電
極用白金ペーストを印刷して積層し、大気中1400℃
にて焼結したあと1300℃で水素還元し、大気中95
.0℃(こて熱処理し、内部電極と外部電極を接続すべ
く電極を調整して第1図の積層型のバリスタ特性を有す
るセラミックコンデンサを作製し、電気特性を測定した
。測定結果を第1表に示す。なお、焼結促進剤T i 
02Ae203 5iox  (20: 35: 45
wt比)は、市販のT i 02. Ae 203. 
S i 02の粉体を所定の重量比に従って秤量し、混
合し、1200℃にて仮焼し、粉砕して得た。更に粒成
長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S r(Mnl/2
Nb1/2)O3は、市販のS rcOs 、Nb2O
5、MnCO3などを混合し、1000℃にて仮焼し、
粉砕して得た。また、焼成後の積層バリスタのサイズは
、約4nm平方で厚みが約0.6mmであり、誘電体−
層の厚みは約70μmで8層の誘電体より成っていた。
この材料の見かけ誘電率εは積層バリスタの静電容量値
(測定1 kHz)より計算で求めた。
焼結体中の結晶粒の粒径は切断面を研磨したあと、研磨
面にBj203系金属石鍍金属石鹸、1000℃で熱処
理を施して粒界を鮮明にして光学顕微鏡で観察して求め
た。
(以  下  余  白) 第1表より明らかなごとく、SrTiChに焼結促進剤
Ti○2  Ae2035io2が0.1〜5、Q w
 t%、半導体化促進剤Nb2O5が0.05〜2 、
 OW t%、固体電解質CeO2がO11〜3.0w
t%、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S r 
(Mn+7zNb1/2)O3が0.2〜10.0wt
%添加され焼成されて得た本材料は粒径が均一で極めて
優れたバリスタ特性を持ち、また高い誘電体特性を示し
、高静電容量バリスタとして使用できる。即ち顕微鏡観
察の結果、焼結体の微粒子は粒径がよくそろっていて、
平均粒径は約3.0〜3.5μmで誘電体損失は2.0
%以下、見かけ誘電率は3000以上であった。バリス
タとしての材料の立ち上がり電圧V1mAは850〜1
150v/WII11で、V+mA−Vo、+mA間ニ
オける非直線抵抗指数αは殆ど10以上の値をとる。そ
の化バリスタとしてのサージ耐量、高電流域における非
直線抵抗特性を表す制限電圧比、立ち上がり電圧V1m
Aの温度係数、静電容量の温度係数などの測定を行った
が満足できる値を得た。なお、焼結促進剤の添加量が5
%を運えると焼結体が変形したり、付着して実用的でな
い。
(実施例2) 市販の工業用チタン酸ストロンチウム (SrTiO3)にT i 02−MgO−8t 02
系(例えば30:30:40wt%比)、Ti02−M
n0−SiO2系(例えば10:50:40wt%比)
 、T i 02− A !! 203−5 i Qz
系(例えば20:35:45wt%比)から選ばれた主
として高温度で液相を形成する焼結促進剤を1.0wt
%、主としてペロブスカイト相に固溶する半導体化促進
剤Y2O3を0.4wt%、粒成長制御剤を兼ねた酸素
良導性固体電解質Ce 02を0.2〜2.0wt%、
粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S r (Mn
1/2Nb1/2)O3を0.4〜8.0wt%添加し
、よく混合したのち、900℃にて仮焼した。湿式粉砕
の後、乾燥、造粒し、ディスク状に成型して、窒素95
%−水素5%よりなる還元雰囲気中1380℃にて焼成
した後、大気中950℃にて熱処理し、ディスクの両面
に銀電極を形成して第2図のバリスタ特性を有するセラ
ミックコンデンサを作製し、電気特性を測定した。測定
結果を第2表に示す。
なお、焼結促進剤は、例えばTi02−MgO−8iO
2系(例えば30 : 30 : 40wt%比)は、
市販のT i 02.MgO,S i 02の粉体を所
定の重量比で秤量・混合し、1200℃にて仮焼し、粉
砕して得た。更に粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成
剤S r (Mn1/2Nb1/2)O3は、市販のS
 rcO3,Nb2O5,MnCO3を混合し、900
℃にて仮焼し、粉砕して得た。
(以 下 余 白) 第2表より明らかなごと<、SrTi03にT i 0
2−MgO−8i O2すどノ主とし’T: 高iH度
で液相を形成する焼結促進剤が1 、0 w t%、半
導体化促進剤Y2O3が0.4 w t%、粒成長制御
剤を兼ねた酸素良導性固体電解質CeO2を0.2〜2
 、Q w t%、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形
成剤が0.4〜3゜0wt%添加され焼成されて得た本
材料は極めて優れたバリスタ特性及び誘電体特性を示し
、高静電容量バリスタとして使用できる。これらのデバ
イスの材料の電気特性は、はぼ第1の実施例の材料特性
と等しい。
(実施例3) 市販の工業用チタン酸ストロンチウム (SrTi(h)にT i 02  MgO−3i 0
2系(例えば30 : 30 : 40wt%比)の主
として高温度で液相を形成する焼結促進剤を3 、 O
w t%、半導体化促進剤W 03 r N b 20
at L a 203rY203を0.05〜2.0w
t%、粒成長制御剤を兼ねた酸素良導性固体電解質Ce
 02を1.5wt%、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏
層形成剤S ro、aB ao、+Cao、+ (Mn
1/2Nbl/2)Osまたは、S r(1,sB a
o、2c ao、2(M n 1/2N b 1/2)
O3を2.0wt%添加し、よく混合したのち、900
℃にて仮焼した。湿式粉砕の後、乾燥、造粒、成型して
、窒素95%−水素5%よりなる還元雰囲気中1380
℃にて焼成し、大気中950℃にて熱処理し、電極を形
成して第2図のバリスタ特性を有するセラミックコンデ
ンサを作製し、電気特性を測定した。その測定結果を第
3表に示す。
なお、焼結促進剤T i 02  MgOS i 02
系(30: 30 : 40wt%比)は、市販のTi
O2゜MgO,5i02の粉体を所定の重量比で秤量・
混合し、1200℃にて仮焼し、粉砕して得た。
さらに、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤は、市
販のS rcOz、BaC0z、CaCO3゜Nb2O
5,MnCO3を混合し、900℃にて仮焼し、粉砕し
て得た。
(以 下 余 白) 第3表より明らかなごとく、SrTiChにTi02−
MgO−8io2系などの焼結促進剤が3.0wt%、
半導体化促進剤WO3,Nb20B。
La2O3,Y2O3が0.05〜2.Owt%、粒成
長制御剤を兼ねた固体電解質Ce 02を1 、5 w
 t%、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が2.
0wt%添加され焼成されて得た本材料は優れたバリス
タ特性および誘電体特性を示し、高静電容量バリスタと
して使用できる。これらのデバイスの材料の電気特性は
、はぼ第1の実施例の材料特性と等しい。
(実施例4) 実施例1の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r (Mn1/2Ntz/2) 03(0.1〜12.
0wt%)に代えて粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形
成剤S r (Mn1/2Ta1/2) 03 (0.
1〜12.0wt%)を使用したものであり、その他の
材料、焼結促進剤等の材料の製造方法を含む製造方法お
よび測定方法も実施例1と同じである。
その測定結果を第4表に示す。
なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S r 
(Mn1/2Ta1/2)O3は市販のSrCO3゜T
 a205. M n C03などを混合し、1000
℃にて仮焼し、粉砕して得た。
(以 下 余 白) 第4表より明らかなごと<、SrTi03に焼結促進剤
T i 02−Ae 203−S i 02が0.1〜
5.0wt%、半導体化促進剤Nb2O5が0.05〜
2.0wt%、粒成長制御剤を兼ねた固体電解質Ce 
02が0.1〜3.Owt%、粒成長制御剤を兼ねた粒
界空乏層形成剤S r (Mn1/2Ta1/2)O3
が0.2〜10.0wt%添加され焼成されて得た本材
料は粒径が均一で極めて優れたバリスタ特性を持ち、ま
た高い誘電体特性を示し、高静電容量バリスタとして使
用できる。即ち顕微鏡観察の結果、焼結体の微粒子は粒
径がよ(そろっていて平均粒径は約3.0〜3.5μm
で、誘電体損失は2.0%以下、見かけ誘電率は300
0以上であった。
バリスタとしての材料の立ち上がり電圧V1mAは75
0〜1000V/mmで、VlmA−V(1,1mA間
における非直線抵抗指数αは殆ど10以上の値をとる。
その化バリスタとしてのサージ耐量、高電流域における
非直線抵抗特性を表す制限電圧比、立ち上がり電圧V1
mAの温度係数、静電容量の温度係数などの測定を行っ
たが満足できる値を得た。
なお、焼結促進剤の添加量が5%を越えると焼結体が変
形したり、付着して実用的でない。
(実施例5) 実施例2の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r (Mn1/2Nb1/2)O3  (0.4〜8.
Qwt%)に代えて、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層
形成剤S r (Mn1/2Ta1/2)O3 (0.
4〜8.0wt%)を使用したものであり、その他の材
料、焼結促進剤等の材料の製造方法を含む製造方法およ
び測定方法も実施例2と同じである。、その測定結果を
第5表に示す。なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層
形成剤Sr(Mn1/2Ta1/2)O3は、市販のS
 rCCh、Ta205.MnCO3を混合し、900
℃にて仮焼し、粉砕して得た。
(以 下 余 白) 第5表より明らかなごと<、SrTiO3にTiO2−
MgO−8i 02などノ主として高温度で液相を形成
する焼結促進剤が160wt%、半導体化促進剤Y2O
3が0.4wt%、粒成長制御剤を兼ねた酸素良導性固
体電解質CeO2を0.2〜2.0wt%、粒成長制御
剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が0.4〜8.0wt%添
加され焼成されて得た本材料は極めて優れたバリスタ特
性および誘電体特性を示し、高静電容量バリスタとして
使用できる。これらのデバイスの材料の電気特性は、は
ぼ実施例4の材料特性と等しい。
(実施例6) 実施例3の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
ro、aBao、+caO,I (Mn1/zNb1/
2)または、S rO,6Bao、2cao2(Mn1
/2Nbu/2)O3を2.0wt%添加することに代
えて、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S r(
1,sB ao、ICgo、+ (M n 1/2T 
a 1/2 ) 03または、Sro、5Bao、2C
aa、2(MnL/2Taw2>03を2. Ow t
%添加し、その他の材料、焼結促進剤等の材料の製造方
法を含む製造方法および測定方法も実施例3と同じであ
る。なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤は、
市販のS r COs + B a CO31CaC0
3,Ta205.MnCO3を混合し、900℃にて仮
焼し、粉砕して得たものである。
(以 下 余 白) 第6表より明らかなごと<、SrTiChにT i 0
2  MgOS i 02系などの焼結促進剤が3.0
wt%、半導体化促進剤W○3+ N b205゜La
2O5,Y2O3が0.05〜2.0wt%、粒成長制
御剤を兼ねた固体電解質Ce 02を1.5wt%、粒
成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が2 、0 w 
t%添加され焼成されて得た本材料は優れたバリスタ特
性および誘電体特性を示し、高静電容量バリスタとして
使用できる。これらのデバイスの材料の電気特性は、実
施例4の材料特性と等しい。
(実施例7) 実施例1の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r(Mn1/2Nb1/2)O3 (0.1〜l 2.
0wt%)に代えて粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形
成剤Sr (CLI1/2W1/2) 03(0.1〜
6.0wt%)を使用したものであり、その他の材料、
焼結促進剤等の材料の製造方法を含む製造方法および測
定方法も実施例1と同じである。その測定結果を第7表
に示す。なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤
S r (Cu I/2W1/2) 03は市販のS 
rcch、WO3,CLIOなどを混合し、1000℃
にて仮焼し、粉砕して得た。
(以 下 余 白) 第7表より明らかなごとく、SrTiO3に焼結促進剤
TiO2A!!203−Si02が061〜5.0wt
%、半導体化促進剤Nb2O5が0.05〜2 、0 
w t%、粒成長制御剤を兼ねた固体電解質CeO2が
0.1〜3.0wt%、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏
層形成剤S r (Cu I/2W1/2 )03が0
.2〜5.0wt%添加され焼成されて得た本材料は粒
径が均一で極めて優れたバリスタ特性を持ち、また高い
誘電体特性を示し、高静電容量バリスタとして使用でき
る。即ち顕微鏡観察の結果、焼結体の微粒子は粒径がよ
(そろっていて平均粒径は3.0〜3.5μmの値をと
り、誘電体損失は2.0%以下、見かけ誘電率は300
0以上であった。バリスタとしての材料の立ち上がり電
圧V 1m Aは800〜1000v/rInで、V 
Hm A〜Vo、+mA間における非直線抵抗指数αは
殆ど10以上の値をとる。その他バリスタとしてのサー
ジ耐量、高電流域における非直線抵抗特性を表す制限電
圧比、立ち上がり電圧V 1 m Aの温度係数、静電
容量の温度係数などの測定を行ったが満足できる値を得
た。なお、焼結促進剤の添加量が5%を越えると焼結体
が変形したり、付着して実用的でない。
(実施例8) 実施例2の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r (Mn1/2Nb1/l) 03  (0.4〜8
.0wt%)に代えて、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏
層形成剤S r (Cu I/2W1/2) 03 (
0.4〜4.0wt%)を使用したものであり、その他
の材料、焼結促進剤等の材料の製造方法を含む製造方法
および測定方法も実施例2と同じである。その測定結果
を第8表に示す。なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏
層形成剤S r (Cu I/2W1/2)O3は市販
のS r C03,WO3,Cu Oを混合し、900
℃にて仮焼し、粉砕して得た。
(以 下 余 白) 第8表より明らかなごとく、SrTiO3にTiO2−
MgO−8i 02などの主として高温度で液相を形成
する焼結促進剤が1.0wt%、半導体化促進剤Y2O
3が0.4wt%、粒成長制御剤を兼ねた酸素良導性固
体電解質Ce 02を0.2〜2.0wt%、粒成長制
御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が0.4〜4.0wt%
添加され焼成されて得た本材料は極めて優れたバリスタ
特性及び誘電体特性を示し、高静電容量バリスタとして
使用できる。これらのデバイス材料の電気特性は、はぼ
実施例7の材料特性と等しい。
(実施例9) 実施例3の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
ro、sB ao、+c ao、I (Mn1/2Nb
1/2)または、S r (1,s B ao2Cao
、2(M n 1/2N b 1/2)O3を2.0w
t%添加することに代えて、粒成長制御剤を兼ねた粒界
空乏層形成剤S ro、aB aO,ICao、I (
Cut72W+72) 03または、S rq、6B 
ao、2 Cao、2(Cu I/2W1/2 ) 0
3を2.0wt%添加し、また、その他の材料、焼結促
進剤等の材料の製造方法を含む製造方法および測定方法
も実施例3と同じである。なお、粒成長制御剤を兼ねた
粒界空乏層形成剤は、市販のS r CO31BaCO
3,CaCO3,WO3,CuOを混合し、900℃に
て仮焼し、粉砕して得たものである。
その測定結果を第9表に示す。
(以 下 余 白) 第9表より明らかなごとく、SrTi○3にT i 0
2−MgO−8i 02系などの焼結促進剤が3.0w
t%、半導体化促進剤WO3,Nb2O5゜La2O3
,Y2O3が0.05〜2.0wt%、粒成長制御剤を
兼ねた固体電解質CeO2を1.5wt%、粒成長制御
剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が2.0wt%添加され焼
成されて得た本材料は優れたバリスタ特性および誘電体
特性を示し、高静電容量バリスタとして使用できる。こ
れらのデバイス材料の電気特性は、はぼ実施例7の材料
特性と等しい。
(実施例10) 実施例1の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r(Mn1/2Nb+72) 03 (0.1〜12.
0wt%)に代えて、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層
形成剤S r (Co l/2W1/2 )03(0.
1〜6.0wt%)を使用したものであり、その他の材
料、焼結促進剤等の材料の製造方法を含む製造方法およ
び測定方法も実施例1と同じである。その測定結果を第
10表に示す。
なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S r 
(Co1/2W1/2) 03は市販のSrCO3゜W
O3,Nb2O5,La2O3,Y2O3.Cooなど
を混合し、1000℃にて仮焼し、粉砕して得た。
〈以 下 余 白) ′!1410表より明らかなごと(,5iTi○3に焼
結促進剤Ti○2  Ag 203  S i 02が
0.1〜5、Qwt%、半導体化促進剤Nb2O5が0
.05〜2.0wt%、粒成長制御剤を兼ねた固体電解
質Ceo2が0.1〜3.0wt%、粒成長制御剤を兼
ねた粒界空乏層形成剤S r (Co l/2W1/2
 )o3が0.2〜5.0wt%添加され焼成されて得
た本材料は粒径が均一で極めて優れたバリスタ特性を持
ち、また高い誘電体特性を示し、高静電容量バリスタと
して使用できる。即ち顕微鏡観察の結果、焼結体の微粒
子は粒径がよくそろっていて平均粒径は約3.0〜3,
5μmで、誘電体損失は2.0%以下、見かけ誘電率は
3000以上であった。
バリスタとしての材料の立ち上がり電圧V1mAは85
0〜1000V/llll11で、vImA〜■o、1
mA間における非直線抵抗指数αは殆ど10以上の値を
とる。その他バリスタとしてのサージ耐量、高電流域に
おける非直線抵抗特性を表す制限電圧比、立ち上がり電
圧V Im Aの温度係数、静電容量の温度係数などの
測定を行ったが満足できる値を得た。
なお、焼結促進剤の添加量が5%を越えると焼結体が変
形したり、付着して実用的でない。
(実施例11) 実施例2の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r (Mn1/2Nb+7x) 03  (0.4〜8
.0wt%)に代えて粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層
形成剤S r(Cot72W+72) 03 (0.4
〜4.Owt%)を使用したものであり、その他の材料
、焼結促進剤等の材料の製造方法を含む製造方法および
測定方法も実施例2と同じである。その測定結果を第1
1表に示す。
なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S r 
(Co1/2W1/2> 03は市販のSrCO3WO
3,Cooを混合し、900℃にて仮焼し、粉砕して得
た。
(以 下 余 白) 第11表より明らかなどと(,SrTiChにTi02
−MgO−SiO2などの主として高温度で液相を形成
する焼結促進剤が1 、0 w t%、半導体化促進剤
Y2O3が0.4wt%、粒成長制御剤を兼ねた酸素良
導性固体電解質Ce 02を0.2〜2.0wt%、粒
成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が0.4〜4,0
wt%添加され焼成されて得た本材料は極めて優れたバ
リスタ特性及び誘電体特性を示し、高静電容量バリスタ
として使用できる。これらのデバイスの材料の電気特性
は、はぼ実施例10の材料特性と等しい。
(実施例12) 実施例3の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
ro、s B ao、+ Cao、+(M n 1/2
N b 1/2)O3または、S ro、sB ao、
2c ao、2(Mn1/2N b1/2)O3を2.
0wt%添加することに代えて、粒成長制御剤を兼ねた
粒界空乏層形成剤S rO,aB ao、+Cao、l
 (COf/2WI/2) 03または、S ro、6
B ao、2c aa、2(Co1/2W1/2) 0
3を2.0wt%添加し、その他の材料、焼結促進剤等
の材料の製造方法を含む製造方法および測定方法も実施
例3と同じである。
また、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤は、市販
のSrCO3,BaCO2,CaCO3゜WO3,Ca
Oを混合し、900℃にて仮焼し、粉砕して得たもので
ある。
その測定結果を第12表に示す。
(以 下 余 白) 第12表より明らかなごとく、SrTi(hにTi(h
  MgO−8i○2系などの焼結促進剤が3.0wt
%、半導体化促進剤がWO3,Nb2O5゜L a20
3. Y2O3が0.05〜2.0wt%、粒成長制御
剤を兼ねた固体電解質CeO2を1 、5 w t%、
粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が2.0wt%
添加され焼成されて得た本材料は優れたバリスタ特性お
よび誘電体特性を示し、高静電容量バリスタとして使用
できる。これらのデバイスの材料の電気特性は、はぼ実
施例10の材料特性と等しい。
(実施例13) 実施例1の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r(Mnl/2N b1/2) 03 (0.1〜12
.0wt%)に代えて、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏
層形成剤Sr(Cu1/3Nb2/3)O3 (0.1
〜5.0wt%)を使用したものであり、その他の材料
、焼結促進剤等の材料の製造方法を含む製造方法および
測定方法も実施例1と同じである。その測定結果を第1
3表に示す。なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形
成剤Sr(CuI/3Nb2/3〉03は、市販のSr
CO21N b 20 s 、Cu Oなどを混合し、
1000℃にて仮焼し、粉砕して得た。
(以  下  余  白) 第13表より明らかなごとく、SrTi○3に焼結促進
剤Ti(h−Ae203−SiO2が0.1−5.0w
t%、半導体化促進剤Nb2O5が0.05〜2.0w
t%、粒成長制御剤を兼ねた固体電解質CeO2が0.
1〜3.0wt%、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形
成剤S r(Cu1/3Nb2/3)O3が0.2〜4
.0 w t%添加され焼成されて得た本材料は粒径が
均一で極めて優れたバリスタ特性を持ち、また高い誘電
体特性を示し、高静電容量バリスタとして使用できる。
即ち顕微鏡観察の結果、焼結体の微粒子は粒径がよくそ
ろっていて平均粒径は約3.5〜4.0μmで、誘電体
損失は2.0%以下、見かけ誘電率は3500以上であ
った。バリスタとしての材料の立ち上がり電圧■mAは
700〜900v/IIIffIで、V mA−Vo、
+mA間における非直線抵抗指数αは殆ど10以上の値
をとる。その他バリスタとしてのサージ耐量、高電流域
における非直線抵抗特性を表す制限電圧比、立ち上がり
電圧V+mAの温度係数、静電容量の温度係数などの測
定を行ったが満足できる値を得た。
なお、焼結促進剤の添加量が5%を越えると焼結体が変
形したり、付着して実用的でない。
(実施例14) 実施例2の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
r (Mn1/2Nbl/2) 03  (0.4〜8
.0wt%)に代えて、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏
層形成剤S r(Cu1/3Nb2/x)Os  (0
.4〜3.0wt%)を使用したものであり、その他の
材料、焼結促進剤等の材料の製造方法を含む製造方法お
よび測定方法も実施例2と同じある。その測定結果を第
14表に示す。
なお、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S r 
(Cu1/3Nb2/5)03は市販のS r COs
 *Nb2O5,CuOを混合し、900℃にて仮焼し
、粉砕して得た。
(以 下 余 白) 第14表より明らかなどと(,SrTi03にT i 
02  MgOS i 02などの主として高温度で液
相を形成する焼結促進剤が1.0wt%、半導体化促進
剤Y2O3が0.4wt%、粒成長制御剤を兼ねた酸素
良導性固体電解質Ce 02を0.2〜2.0wt%、
粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が0.4〜3 
、0 w t%添加され焼成されて得た本材料は極めて
優れたバリスタ特性及び誘電体特性を示し、高静電容量
バリスタとして使用できる。これらのデバイスの材料の
電気特性は、はぼ実施例13の材料特性と等しい。
(実施例15) 実施例3の粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤S 
rO,BB ao、I CaO,I (Mn1/lNb
1/2)O3または、S ro、eB ao、2c a
o、2(Mn1/2Nb2/3)O3を2.0wt%添
加すルコトニ代工て、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層
形成剤S ro、aB ao、+c ao、+(Cu1
/sN b2/3)O3または、S rO,sB ao
2c aO,2(Cu l/3N bz3)O3を2.
0wt%添加し、その他の材料、焼結促進剤等の材料の
製造方法を含む製造方法および測定方法も実施例3と同
じである。
また、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤は、市販
のS rcO3,BaCO3,CaC0:+。
Nb2O5,Cu Oを混合し、900℃にて仮焼し、
粉砕して得たものである。
その測定結果を第15表に示す。
(以 下 余 白) 第15表より明らかなごと<、SrTi(hにTiO2
MgO−8i○2系などの焼結促進剤が3.0wt%、
半導体化促進剤WO3,Nb2O5゜La2O3,Y2
O3が0.05〜2.0wt%、粒成長制御剤を兼ねた
固体電解質CeO2を1 、5 w t%、粒成長制御
剤を兼ねた粒界空乏層形成剤が2 、 Ow t%添加
され焼成されて得た本材料は優れたバリスタ特性および
誘電体特性を示し、高静電容量バリスタとして使用でき
る。これらのデバイスの材料の電気特性は、はぼ実施例
13の材料特性と等しい。
なお、実施例2,3.5,6,8.9,11゜12.1
4.15において、SrTi03に焼結促進剤、半導体
化促進剤2粒成長制御剤を兼ねた酸素良導性固体電解質
および、粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤を添加
し、混合・加圧成型したのち、1100〜1500℃に
て焼結と還元を施し、次に酸化雰囲気中900〜115
0℃にて熱処理を行なった場合も、それぞれの実施例と
同様の結果が確認された。
また、実施例1.4.7.10.13において、SrT
iO3に焼結促進剤、半導体化促進剤。
粒成長制御剤を兼ねた酸素良導性固体電解質および、粒
成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤を添加し、混合・
加圧したのち、大気中1200〜1500℃にて焼成し
、これを微粉砕して貴金属内部電極材料と交互に層状に
成形し、1250〜1500℃にて焼結と還元を施し、
酸化雰囲気中900〜1150℃にて熱処理を行った場
合も、それぞれの実施例と同様の結果が確認された。
発明の効果 以上のように、本発明によれば、チタン酸ストロンチウ
ム(SrTiO3)を主成分とするペロブスカイト型酸
、化物粉体に、主として混合物よりなり液相を形成する
焼結促進剤を0.1〜5.0wt%、主としてペロブス
カイト相に固溶する半導体化促進剤を0.05〜2.0
wt%、粒成長制御剤を兼ねた酸素良導性固体電解質C
eO2を0.1〜3.0wt%、および粒成長制御剤を
兼ねた粒界空乏層形成剤を加えて混合して得た粉体を加
圧成型したのち、1250〜1500℃における焼結・
還元工程を施し、酸化雰囲気中900〜1150℃にて
熱処理を施し電極を形成すれば、あるいは前記粉体を貴
金属内部電極材料と交互に層状に成型したのち、125
0〜1500℃における焼結・還元工程を施し、次に酸
化雰囲気中900〜1150℃にて熱処理を施した後外
部電極を形成すれば、長持性のバリスタ特性を有するセ
ラミックコンデンサを得ることができるという効果が得
られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による積層形のバリスタ特性
を有するセラミックコンデンサを示す概略図であり、第
2図は本発明の他の実施例による粒界バリスタ特性を有
する静電容量セラミックコンデンサを示す概略図である
。 1.4・・・・・・バリスタ特性を有するセラミックコ
ンデンサ、2・・・・・・内部電極、3・・・・・・外
部電極、5・・・・・・電極、6・・・・・・リード線
。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか1名l −・−

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)チタン酸ストロンチウム(SrTiO_3)を主
    成分とするペロブスカイト型酸化物粉体に、主として高
    温度で液相を形成する焼結促進剤(0.1〜5.0wt
    %)、主としてペロブスカイト相に固溶する半導体化促
    進剤(0.05〜2.0wt%)、粒成長制御剤を兼ね
    た酸素良導性固体電解質CeO_2(0.1〜3.0w
    t%)、および粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成剤
    Sr(Mn_1_/_2Nb_1_/_2)O_3(0
    .2〜10.0wt%)を添加し、混合・加圧成型した
    のち、1100〜1500℃にて焼結と還元を施し、次
    に酸化雰囲気中900〜1150℃にて熱処理を施し、
    電極を形成するバリスタ特性を有するセラミックコンデ
    ンサの製造方法。
  2. (2)焼結促進剤,半導体化促進剤,粒成長制御剤を兼
    ねた粒界空乏層形成剤のうち、少なくともそのいずれか
    であり、それが焼結促進剤の場合は、少なくともTiO
    _2−MgO−SiO_2系,TiO_2−MnO−S
    iO_2系,TiO_2−Al_2O_3−SiO_2
    系のうちのいずれかより選択され、半導体化促進剤の場
    合は、少なくともWO_3,Nb_2O_5,La_2
    O_3,Y_2O_3の内より選択してなる酸化物(0
    .05〜2.0wt%)であり、粒成長制御剤を兼ねた
    粒界空乏層形成剤の場合は、Sr(Mn_1_/_2T
    a_1_/_2)O_3(0.2〜10.0wt%)、
    Sr(Cu_1_/_2W_1_/_2)O_3(0.
    2〜5.0wt%)、Sr(Co_1_/_2W_1_
    /_2)O_3(0.2〜5.0wt%)、Sr(Cu
    _1_/_3Nb_2_/_3)O_3(0.2〜4.
    0wt%)、Sr_1_−_x_−_yBa_xCa_
    y(Mn_1_/_2Nb_1_/_2)O_3(ただ
    し、0<x+y≦1)(0.2〜10.0wt%)、S
    r_1_−_x_−_yBa_xCa_y(Mn_1_
    /_2Ta_1_/_2)O_3(ただし、0<x+y
    ≦1)(0.2〜10.0wt%)、Sr_1_−_x
    _−_yBa_xCa_y(Cu_1_/_2W_1_
    /_2)O_3(ただし、0<x+y≦1)(0.2〜
    5.0wt%)、Sr_1_−_x_−_yBa_xC
    a_x(Co_1_/_2W_1_/_2)O_3(た
    だし、0<x+y≦1)(0.2〜5.0wt%)、S
    r_1_−_x_−_yBa_xCa_y(Cu_1_
    /_3Nb_2_/_3)O_3(ただし、0<x+y
    ≦1)(0.2〜4.0wt%)のうちのいずれかより
    選択されて添加される請求項1記載のバリスタ特性を有
    するセラミックコンデンサの製造方法。
  3. (3)チタン酸ストロンチウム(SrTiO_3)を主
    成分とするペロブスカイト型酸化物粉体に、焼結促進剤
    (0.1〜5.0wt%),半導体化促進剤(0.05
    〜2.0wt%),粒径制御剤を兼ねた固体電解質Ce
    O_2(0.1〜3.0wt%)、および粒界空乏層形
    成剤兼粒径制御剤Sr(Mn_1_/_3Nb_2_/
    _3)O_3(0.2〜10.0wt%)を添加し、混
    合・加圧したのち、大気中1200〜1500℃にて焼
    成し、これを微粉砕して貴金属内部電極材料と交互に層
    状に成型し、予め大気中1250〜1500℃にて焼成
    し、次に水素を含む還元雰囲気中900〜1400℃に
    て還元し、次に酸化雰囲気中900〜1150℃にて熱
    処理を施す積層状のバリスタ特性を有するセラミックコ
    ンデンサの製造方法。
  4. (4)少なくとも粒成長制御剤を兼ねた粒界空乏層形成
    剤として、Sr(Mn_1_/_2Nb_1_/_2)
    O_3(0.2〜10.0wt%)に代えて、 Sr(Mn_1_/_2Ta_1_/_2)O_3(0
    .2〜10.0wt%)、Sr(Cu_1_/_2W_
    1_/_2)O_3(0.2〜5.0wt%)、Sr(
    Co_1_/_2W_1_/_2)O_3(0.2〜5
    .0wt%)、Sr(Cu_1_/_3Nb_2_/_
    3)O_3(0.2〜4.0wt%)のいずれかを添加
    してなる請求項3記載のバリスタ特性を有するセラミッ
    クコンデンサの製造方法。
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