JPH02250966A - 耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、超硬合金に代表されるような炭化タングステ
ンを主成分とする焼結体の表面にダイヤモンド及び／又
はダイヤモンド状カーボンの被膜を形成した、ダイヤモ
ンド被覆焼結体及びその製造方法に関し、具体的には、
例えば切削工具材料、耐摩耗工具材料又は装飾用材料な
どを主体に、電気機器、精密機器、事務機器などの全て
の産業で用いられる材料として適する耐剥離性にすぐれ
たダイヤモンド被覆焼結体及びその製造方法に関するも
のである。

（従来の技１ｔ４） 従来から金属０合金又はセラミックスなどの焼結体でな
る基材の表面にダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状
カーボンの被膜を形成してなる被覆焼結体の実用化への
検討が行われている。この被覆焼結体の最大の課題とし
ては、ダイヤモンドが他の物質との刈れ性に劣ることか
ら、ダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの
被膜と基材との密着性及び付着強度性をいかにして高゛
めるかにある。特に、超硬合金の基材にダイヤモンド及
び／又はダイヤモンド状カーボンの被膜を形成してなる
ダイヤモンド被覆焼結体の場合は。

切削工具用材料や耐摩耗工具用材料のように最も苛酷な
用途を目的とするために被膜と基材との密着性及び付着
強度性が一層重要な問題となる。

ダイヤモンド被覆焼結体におけ超硬合金の基材と被膜と
の密着性及び付着強度性に関して、多数の提案があり、
その代表的なものに、特開昭５８１２６９７２号公報、
特開昭６２−５７８０２号公報及び特開昭６３−６３２
６９号公報がある。

（発明が解決しようとする問題点） 特開昭５８−１２６９７２号公報には、１種以」二の炭
化物及び／又は窒化物を含む超硬合金のＩＪ材に隣接す
る内層が、　４ａ、５ａ、６ａ族元素の炭化物、窒化物
、ホウ化物、酸化物及びこれらの化合物、混合物並びに
＾Ｉ１．ｏ＋１．　　＾１２　Ｎ、Ｂ４Ｃ，ＳｉＣ，Ｓ
ｉ、Ｎ４゜Ｓｉｎｇから選ばれた１種以上よりなり、外
層はダイヤモンドよりなる被覆超硬合金工具が開示され
ている。この特開昭５８−１２６９７２号公報による発
明は、　ＣｏやＮｉを含む超硬合金に直接ダイヤモンド
の被膜を被覆するとダイヤモンドが変態してグラファイ
ト化してしまういう問題を超硬合金とダイヤモンド被膜
との間にＦｅ、　Ｃｏ、　Ｎｉなどの金属を含まない、
例えば紅の中間層を介在させることにより解決しようと
するものである。しかし、化学蒸着法　（ＣＶｊｌ法）
や物理蒸着法（ＰＶ［１法）でもって形成した中間層と
基材との付着強度については、まだそれほど問題がない
けれどもダイヤモンド自体の他の物質との付着性が劣る
ことから、ダイヤモンド膜と中間層との付着強度が劣り
実用化できないという問題がある。また、同公報に開示
の発明は、ダイヤモンド被膜を良質にするためにはＣＶ
Ｄ法やＰＶＤ法でもって中間層を形成した後、全く別の
反応容器でもってダイヤモンド被膜を形成する必要があ
るという工程の煩雑さの問題、並びにその工程の煩雑さ
にも関連して、中間層と被膜との境界部に不純物が付着
しやすく、そのために中間層とダイヤモンド被膜との付
着強度を低下させるという問題がある。

特開昭６２−５７８０２号公報は、気相により硬質炭素
薄膜を基材表面に析出させて被覆した硬質炭素被覆部品
の該硬質炭ＪＡ薄膜と基材との中間にＷ、Ｃを主成分と
するとＷとＣの化合物薄膜の中間層を厚さ　０．１μｍ
以−１二存在させてなる硬質炭素被覆部品が開示されて
いる。この特開昭６２−　６７８０２号公報による発明
は、超硬合金やセラミックスでなる基材の表面にＣＶＤ
法やＰＶＤ法でもってｗＣの中間層を形成しても付着強
度の向上が殆ど認められなかったのに対して、　　ＣＶ
Ｄ法やＰＶＤ法でもって　ＷＪＣを主成分とするとＷと
Ｃの化合物薄膜の中間層を被覆すると硬質炭素と　春、
Ｃの界面には肛でなる拡散中間層が形成され、その結果
付着強度の向上を達成できたものであるけれども、　　
ＣＶＤ法やＰＶＤ法でもって形成した中間層であるため
に中間層と基材との境界部に不純物が付着しやすく、そ
の結果中間層と基材との界面における付着強度が劣るこ
と、又特開昭５８−１２６９７２号公報の発明と同様に
中間層と硬質炭素薄膜との境界部に不純物が付着しやす
く、そのために中間層と硬質炭素薄膜との付着強度が劣
ること、及び工程が煩雑になるという問題がある。

特開昭６３−　６３２６９号公報には、Ｃｏｌ〜４ｗＬ
％含イｉし、残りが炭化タングステンと不可避不純物か
らなる組成、並びに炭化タングステンの平均粒径が２〜
Ｉｎμｍ粗粒組織を有する炭化タングステン基超硬合金
基材の表面に、エツチング層を介在して低圧気相合成ダ
イヤモンド被覆層を形成してなるダイヤモンド被覆切削
工具チップが開示されている。この特開昭６３−　　Ｆ
ｔ３２６９号公報の発明は、Ｌ述の特開昭５８−１２６
９７２号公報及び特開昭６２−５７８０２号公報のよう
に外部から肛又はＷａＣの中間層を形成させたものとは
異なり、超硬合金基材の表面を酸処理によりエツチング
して基材表面に在存するＣｏを除去したエツチング層の
表面にダイヤモンド被覆層を形成してなるもので、工程
上の煩雑さの問題及びエツチング層と基材との付着強度
劣下の問題がないけれども、ダイヤモンド被覆層とエツ
チング層との界面にグラファイトが付着すること、及び
エツチングにより除去されたＣＯの部分が空隙として残
存する場合があることからダイヤモンド被覆層とエツチ
ング層との付着強度が極端に低下し、ダイヤモンド被覆
層の欠落が発生しやすいという問題がある。

本発明は、−１−述のような問題点を解決したもので、
Ｉ−Ｌ体的には、炭化タングステンを主成分とする焼結
体の表面層を気相処理でもって脱炭させた後、引続きダ
イヤモンド気相合成処理を施すことにより、焼結体の表
面層を焼結体内部の炭化タングステンよりも微細粒で再
晶出された炭化タングステンの表面調質層とし、この表
面調質層に隣接してダイヤモンド被膜が形成されてなる
耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体及びその製
造方法の提供を目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明者らは、炭化タングステンを主成分とする焼結体
１例えば超硬合金基材の表面に気相合成法でもってダイ
ヤモンド被膜を形成する場合において、被膜を形成する
前の基材の表面状態、及び被膜の形成条件と被膜形成後
における基材の表面状態について検討していた所。

第１に、基Ｈの表面層に存在するＣＯ金金属エツチング
層理により除去してなる基材のエツチング層の表面に気
相合成法でもってダイヤモンドの被膜を形成した場合に
も、気相合成法の初期におけるグラファイトの析出が抑
制されるものの基材と被膜との界面に微量のグラファイ
トの析出がみられるという知見を得たものである。

第２に、第１の知見によるグラファイトの析出を完全に
抑制するためにダイヤモンドの被膜形成前に酸素ガスを
微量流入させると・、基材の表面層は脱炭及びＣｏなと
の金属の除去が生じ、引続いてダイヤモンドの被膜形成
処理を行うと基材の表面層は丙品用の炭化タングステン
でなる表面調質層となり、この表面調質層の表面にダイ
ヤモンドの被膜を形成させると密着性及び付着強度性に
すぐれるという知見を得たものである。以上の知見に基
づいて１本発明を完成するに至ったものである。

すなわち、本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被
覆焼結体は、炭化タングステンを主成分とする焼結体を
基材とし、該基材の表面にダイヤモンド及び／又はダイ
ヤモンド状カーボンの被膜を形成してなるダイヤモンド
被覆焼結体であって、該被膜の隣接してなる該基材の表
面から該基材の内部へ向って多くともｌＯｇ　ｍまての
表面調質層が再晶出炭化タングステンでなり、かつ該表
面調質層の１り品出炭化タングステンの粒径が該基材の
内部に存在する炭化タングステンの平均粒径よりも微細
であることを特徴とするものである。

本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体に
おける表面調質層は、層深さが基材の表面から内部へ向
って５０μｍ程度に調整可能であるが１表面調質層を作
製するための処理時間が長くなること、及び表面調質層
がダイヤモンドの被膜の耐剥離性を高めることにあるこ
とからできるだけ薄層にすることが好ましいことである
。この表面！ｌ質層の層深さは、用途及び目的により異
なるが、例えば０．１〜１０μｍ、好ましくは０．５〜
５μｍ厚さに調整することが好ましいことである。

この表面調質層の再晶出炭化タングステンの粒径につい
ては、従来の炭化タングステンを−Ｌ成分とする焼結体
に含有している炭化タングステンの平均粒径が０．５μ
ｍ〜１０μｍ程度であり、この焼結体に含有している炭
化タングステンの平均粒径よりも微細な、例えば極端な
場合焼結体に含有している炭化タングステンの平均粒径
が１０μｍならば表面調質層の再晶出炭化タングステン
の粒径はＩｎμｍ未満であればよいのであるけれども１
表面調質層とダイヤモンドの被膜との密着性及び付着強
度性から表面調質層の再晶出炭化タングステンの粒径は
、０．３μｍ以下とできるだけ微細にすることが好まし
いことである。

また、表面調質層を構成している再晶出炭化タングステ
ンは、表面調質層全体が再晶出肛の層でなる場合、又は
表面調質層の厚さ及び処理条件によっては被膜に隣接す
る表面調質層部分が再晶出肛の層で、それからさらに基
村内部側の表面調質層が再晶出■、Ｃの層、もしくはＩ
Ｉｉ品出胃２Ｃと用品出肛の混在した層になる場合もあ
るけれども１表面調質層全体が＋１品川用の層でなるこ
とがｈｆましいことである。

ここで述べている再晶出炭化タングステンとは、炭化タ
ングステンが脱炭されてタングステンになった後、丙び
炭化タングステンとして品出するもので、具体的には、
基材中に含有している炭化タングステンから再晶出して
なる炭化タングステンのことである。

本発明の耐剥離性にすぐれたダイＡ・干ンド被覆焼結体
における基材は、基材表面層を脱炭させた後に気相合成
でもってダイヤモンドの被膜を形成させたときに、表面
層が炭化タングステンの層として＋Ｉｉ品出するような
炭化タングステンのｉｉｌを倉口している基材であれば
よく、具体的には５例えば炭化タングステンと不可避不
純物とからなる焼結体、もしくは炭化タングステンを少
なくとも５０体ｌＪ１％含有し、残りが周期律表４ａ、
　５ａ、　６ａ族金属の炭化物、窒化物及びこれらの相
反固溶体、又はＦｅ、　Ｃｏ、旧、　Ｊ　Ｃｒ、　Ｖ、
　Ｍｎ、　Ｚｒ、　Ｃｕ、　Ｍｏなどの金属及び合金の
中の少なくとも１種でなる焼結体を挙げることができる
。

これらの内、炭化タングステンと不可避不純物との焼結
体でなる基材の場合は、焼結体の表面に鉄族金属が存在
しないことからダイヤモンドの被膜形成時にダイヤモン
ドのグラファイトへの変態が極めて少なく、ダイヤモン
ドの膜質がすぐれるので好ましいことである。

また、基材がｃｏ及び／又はＮｉを主成分とする結合相
４重量％以下と、残り炭化タングステンを−し成分とす
る硬質相と不可避不純物とでなる焼結体の場合は、基材
自体の強度が高く、シかも基Ｈの表面に存在するＣｏ及
び／又はＮｉも少なく、このＣ。

及び／又は旧の除去も容易であることから表面調質層の
調整もしやすくて好ましいことである。ここていうＣｏ
及び／又はＮｉを主成分とする結合相とは、　Ｃｏ及び
／又はＮｉのみからなる場合、又はＣｏ及び／又はＮｉ
にＦｅ、胃、　Ｃｒ、　Ｖ、　Ｚｒ、　Ｃｕ、　Ｍｏな
どが微量固溶してなる場合を示し、炭化タングステンを
主成分とする硬質相とは、炭化タングステンのみからな
る場合、もしくは炭化タングステンと、例えば炭化タン
グステンの粒成長抑制効果をトな［１的とする炭化チタ
ン、炭化タンタル、炭化ニオブ、炭化タングステン・チ
タン、炭化タングステン・タンタル・チタン、炭化タン
グステン・タンタル・ニオブ・チタンなどの＼γ方品系
化合物との混在した構成でなるものである。

本発明の耐剥離性にずぐれたダイＡ・モンド披ｌυ焼結
体におけるダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状カー
ボンの被膜は、電気抵抗、光透過率。

硬度などがダイヤモンドの性質もしくはダイヤモンドに
近い性質を示すもので、具体的には、ラマン分光分析し
た場合にダイヤモンドのラマン線であ、るといわれてい
る１３３３ｃｍ−’にピークを示すものである。さらに
詳述すると、この被膜は、ダイＡ・モンドのみからなる
場合、又はダイヤモンドと曲に非晶質カーボンやガラス
状カーボンなどを含イ１している場合、もしくは、ダイ
ヤモンドが含イ１していなくても従来からダイヤモンド
に近い性質を小すものであるといわれているダイヤモン
ド状カーボンからなる場合がある。特に、表面調質層に
隣接する被膜側がダイヤモンド状カーボンからなり、表
面調質層から離れた被膜表面側がダイヤモンドでなる構
成の被膜になっている場合もある。

この被膜の厚さは、用途及び形状によって異なり、特に
耐１ｆｉ撃性よりも耐すきとり摩耗性をｆ１′！要視す
るような用途には１例えば５〜１５μｍ厚さと、被膜を
厚＜シ、フライス用切削工具のように耐衝撃性を重要視
する用途、及びドリルやスリッターのように鋭角な切刃
をイ■する用途には、例えば０．１〜５μｍ厚さ、好ま
しくは０．５〜２μｍ厚さと、被膜を薄くする構成にす
ることが好ましいことである。

本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体の
製造方法は、炭化タングステンを主成分とする焼結体の
基材を反応容器内に設置ｎシ、該反応容器内を脱炭性雰
囲気でもって昇温して、該基材の表面層を脱炭した後、
気相合成法によるダイヤモンド被覆処理を行って、該基
材の表面層を再晶出炭化タングステンでなる表面調質層
とし、かつ該表面調質層の１１品出炭化タングステン粒
径が詠基材の内部の炭化タングステンの平均粒径よりも
微細にすることを特徴とする方法である。

本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体の
製造方法において１反応容器内を脱炭性雰囲気にする場
合とは、具体的には、例えば水素ガスと酸素ガスとの混
合ガス、又は水素ガスと酸素ガスと炭素の供給源となり
つるガスとの混合ガスからなる雰囲気であることが好ま
しく、水素ガスと酸素ガスとの混合ガスの場合には、混
合割合によっては爆発が起こるので注意する必要があり
、特に酸素ガス０．１〜５体も１％と、残り水素ガスと
の比率でなる脱炭性雰囲気でなる場合は、安全性が高い
こと、より微細粒の再晶出炭化タングステンでなる表面
調質層になること、及び表面調質層と被膜・との耐剥離
性にもすぐれていることから好ましいことである。ここ
でいう炭素の供給源となりつるガスとは、例えばメタン
、エタン、プロパン、ブタン、メタノール、エタノール
、プロパツール、ブタノール、メチルニーデル、エチル
エーテルなどの炭素と水素又は炭素と水素と酸素の含有
した有機化合物を挙げることができる。この脱炭性雰囲
気でもって昇温する場合は、基材の温度を５００〜１２
００℃でプラズマ化処理をすることが好ましいことであ
る。このときのプラズマ化処理は、従来のマイロク波や
高周波などで行うことができ、このプラズマ化処理状態
でもって同一反応容器中で引続き従来の気相合成法によ
るダイヤモンド被覆処理を行うと、表面調質層と被膜間
への不純物の付着が殆どないことから好ましいことであ
る。

（作用） 本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体は
、被覆焼結体を構成している基材の表面層が炭化タング
ステンでなる場合、この炭化タングステンが脱炭処理に
よりタングステンとなった後、ダイヤモンド被覆処理に
よりｌｊび炭化タングステンとして晶出されてなる表面
調質層が形成されているものである。また基材の表面層
に１例えばＧｏなどの金属がｌｊ在している場合、脱炭
処理により基材の表面層中の炭化タングステンから生じ
た炭、素と、脱炭処理ガス中の酸素と、基材の表面層中
のＣｏがコバルトカルボニルとなって気散されて、基材
の表面層中のＣｏが除去されると共に、基材の表面層中
の炭化タングステンが脱炭処理によりタングステン原：
ｒもしくはタングステンカルボニルとなった後、ダイヤ
モンド被覆処理により１りび炭化タングステンとして品
出されてなる表面調質層が形成されているものである。

すなわち、本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被
覆焼結体は、基材にもとから含有している炭化タングス
テンから再晶出した炭化タングステンでなる表面調質層
であること、及び基材内部よりも微細粒の炭化タングス
テンの表面調質層であることから表面調質層と表面調質
されてない基材内部との境界部における付着強度性及び
密着性が著しく高められているものである。

さらに、本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆
焼結体は、微細粒の炭化タングステンでなる表面調質層
であることからダイヤモンド被膜に隣接する炭化タング
ステンの粒界が多くなり。

この炭化タングステンの粒界にダイヤモンドの粒子がク
サビ状に埋設されて、表面調質層とダイヤモンド被膜と
の密着性及び付着強度性を高めているものである。

本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体の
製造方法は、脱炭性雰囲気、特に酸素ガスの含有した混
合ガス中でのプラズマ処理により、基材の表面層にＣｏ
なとの金属が４１在していても、それを除去することが
できること、また脱炭性雰囲気での処理工程と気相合成
法によるダイヤモンド被覆処理における初期段階での工
程により微細粒で再晶出炭化タングステンでなる表面調
質層が形成されていること、さらにプラズマ処理中での
脱炭性雰囲気とプラズマ処理中でのダイヤモンド被覆処
理とを同一反応容器中で連続的に行うことにより１表面
調質層とダイヤモンド被膜との界面に不純物が生じ難く
、その結果ダイヤモンドの核生成の促進を高め、緻密で
微細な被膜を生成しやすくしているものである。

（実施例） 実施例１ 平均粒径１．ＯＡＡｍの肛を超硬合金製ボールと共に湿
式でボールミル混合粉砕後、屹燥、プレス成形及び焼結
して、平均粒径０．８μｍの１焼結体（不可避不純物と
してＣｏ及び／又はＮｉを主成分とする結合相を約０．
５ｗＬ％含有）でなる基材を得た。この基材の表面を焼
肌の状態又は研摩の状態にした後、下記（＾）の脱炭性
雰囲気による処理及び（［１）のダイヤモンド被覆処理
を施して、第１表に示すような本発明品！及び２を得た
。

比較として、上記同一基材でもって、（＾）処理を施さ
ずに直接＋１１）処理を施して１、第１表に示すような
比較品１及び２を得た。

（Ａｌ説脱炭雰囲気による処理 ガス組成　　　　９９ｖｏｊ２％１１．−１ｖｏ！％０
！ガス圧力　　　　６０　Ｔｏｒｒ 基材温度　　　　９５０℃ マイロ゛り波出力　０．８ｋｍ 処理時間　　　　３０５ｉｎ （Ｂ）ダイヤモンド被覆処理 ガス組成　　　　９８ｖｏｊ１％ｌｌｍ−２ｖｏｊ２％
Ｃ１１４ガス圧力　　　　９０　Ｔｏｒｒ 基材温度　　　　１０５０　　℃ マイロク波出力　１．０に璽 処′理時間　　　　　１２０　ｓｉｎ こうして得た本発明品１．２及び比較品１．２を用いて
下記の旋削条件でもって切削試験をし、その結果を第１
表に併記した。

旋削試験条件 被削材 チップ形状 切削速度 送　　り 切込み量 切削時間 評価 Ａ扇−２０％Ｓｉ合金 ５ＰＧＮ　　１２０３０８ ２００　　ｓ／５ｉ１１ Ｏ，１■鵬／ｒｅｖ ０．５−一 １０　　ｓｉｎ 平均逃げ面摩耗（１（Ｖ、ｍｓ） 実施例２ 平均粒径　１．ＯｇｍのＷＣ粉末（ａ−ＩＣと記ａ）、
平均粒径３．０μｍのＷＣ粉末（ｂ　−ＩＣと記載）、
平均粒径５．０μｍの肛粉末（Ｃ−■と記載）及び平均
粒径１〜２μｍのＧｏ粉末、ＶＣ粉末を用イテ、　ＩＣ
−０，５ｗＬ％ＶＣ−２ｗｔ％Ｃｏ組成になるように配
合し、実施例１と同様にして混合粉砕、乾燥、プレス成
形及び焼結して、第２表に示すそれぞれの基材を得た。

この基材の表面を研摩後、天側１の（＾）の脱炭性雰囲
気による処理及び（Ｂ）のダイヤモンド被覆処理を施し
て、第２表に示すような本発明品３．４及び５を得た。

比較として、Ｉ：、記同−基材を用いて、実施例Ｉの（
１１）処理のみ施して、比較品３．４及び５を得た。

こうして得た本発明品３，４．５及び比較品３．４．５
を用いて下記のフライス切削試験をし、その結果を第２
表に併記した。

フライス切削試験条件 被削材　　　硬質カーボン チップ形状 切削速度 送　　り 切込み量 切削時間 評価 ＳＰＰ　　４２２ ３００　　ｍ＋／ｓ＋ｎ Ｑ、ｌ　　−＠／Ｌｏｏｔｈ ０．５ｍｍ ９０　５ｈｉｎ 平均逃げ面摩耗ｆｉｔ　（Ｖｓ＋ｍｍｌ以下余白 （発明の効果） 超硬合金の基材とダイヤモンド被膜との間にＣＶＤ法や
ＰＶＤ法でもって肛又は宵、Ｃでなる中間層を介在させ
てなる従来のダイヤモンド被覆焼結体が被膜の耐剥離性
に劣ることから基材に直接被膜を形成した場合と切削性
能が殆ど同等で実用化できなかったのに対し、本発明の
耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体は、基材に
直接被膜を形成した比較品に比べて、切削試験での耐摩
耗性及び耐チッピング性を含めた寿命試験において４〜
２０倍も向［するという効果がある。

また１本発明の耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼
結体の！１′ｓ方法は、基材の脱炭処理工程と被膜を形
成するダイヤモンド被膜処理工程を連続的に同一反応容
器内で行えるために、不純物の影響が楊めて少なく、表
面３ｉ？ｍ層と被膜との４場１離性を著しく高めること
ができるという効果がある。

特許出願人　東芝タンガロイ株式会社

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）　炭化タングステンを主成分とする焼結体を基材
   とし、該基材の表面にダイヤモンド及び／又はダイヤモ
   ンド状カーボンの被膜を形成してなるダイヤモンド被覆
   焼結体において、該被膜の隣接してなる該基材の表面か
   ら該基材の内部へ向って多くとも１０μｍまでの表面調
   質層が再晶出炭化タングステンでなり、かつ該表面調質
   層の再晶出炭化タングステンの粒径が該基材の内部に存
   在する炭化タングステンの平均粒径よりも微細であるこ
   とを特徴とする耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼
   結体。
2. （２）　上記表面調質層の再晶出炭化タングステンの粒
   径が０．３μｍ以下であり、上記基材内部に存在する炭
   化タングステンの平均粒径が０．５μｍ以上であること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の耐剥離性にす
   ぐれたダイヤモンド被覆焼結体。
3. （３）　上記基材が炭化タングステンと不可避不純物と
   からなる焼結体であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項又は第２項記載の耐剥離性にすぐれたダイヤモン
   ド被覆焼結体。
4. （４）　上記基材がＣｏ及び／又はＮｉを主成分とする
   結合相４重量％以下と、残り炭化タングステンを主成分
   とする硬質相と不可避不純物とからなる焼結体であるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の
   耐剥離性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結体。
5. （５）　炭化タングステンを主成分とする焼結体の基材
   を反応容器内に設置し、該反応容器内を脱炭性雰囲気で
   もって昇温して、該基材の表面層を脱炭した後、気相合
   成法によるダイヤモンド被覆処理を行って、該基材の表
   面層を再晶出炭化タングステンでなる表面調質層とし、
   かつ該表面調質層の再晶出炭化タングステンの粒径が該
   基材の内部の炭化タングステンの平均粒径よりも微細に
   することを特徴とする耐剥離性にすぐれたダイヤモンド
   被覆焼結体の製造方法。