JPH02241106A - 超音波遅延線の製造方法 - Google Patents

超音波遅延線の製造方法

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Publication number
JPH02241106A
JPH02241106A JP6137789A JP6137789A JPH02241106A JP H02241106 A JPH02241106 A JP H02241106A JP 6137789 A JP6137789 A JP 6137789A JP 6137789 A JP6137789 A JP 6137789A JP H02241106 A JPH02241106 A JP H02241106A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic wave
ultrasonic
wave delay
medium block
face
Prior art date
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Pending
Application number
JP6137789A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitoyo Sakakibara
榊原 好豊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP6137789A priority Critical patent/JPH02241106A/ja
Publication of JPH02241106A publication Critical patent/JPH02241106A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビデオテープレコーダ、ビデオカメラ、カラ
ーテレビジョン受像機などの映像機器の画質向上に用い
られる超音波遅延線の製造方法に関する。
従来の技術 従来の一般的な超音波遅延線の構成は、たとえば第3図
に示すようなものである。第3図において、超音波遅延
媒体1はガラスなどで形成され、この超音波遅延媒体1
は不要信号吸収材2を適当位置に内包している。そして
、超音波遅延媒体1の端面には一対のベース電極3,4
が蒸着などによって形成されている。また、一方のベー
ス電極3には、一対の振動子電極5に挟まれた入力用圧
電振動子6が半田もしくは接着剤によって固着されてお
り、他方のベース電極4には、一対の振動子電極7に挟
まれた出力用圧電振動子8が半田もしくは接着剤によっ
て固着されている。そして、一方のベース電極3と入力
圧電振動子6の振動子電極5には信号電圧印加用リード
線9が接続されており、他方のベース電極4と出力用圧
電振動子8の振動子電極7には遅延信号取出用リード線
10が接続されている。
このように構成された超音波遅延線の動作原理を説明す
る。信号電圧印加用リード線9に信号電圧を印加するこ
とにより入力用圧電振動子6が励振され、その振動が超
音波遅延媒体1の内部および表面を横波(SH波)とし
て伝播し、ある遅延時間を待って出力用圧電振動子8に
到達して出力用圧電振動子8が振動する。この振動は電
気信号として遅延信号取出用リード線IOから取り出さ
れる。
そして、従来の超音波遅延線は、超音波遅延媒体1の複
数個分に値する超音波遅延媒体ブロックニヘース電極3
,4を帯状に形成し、このベース電極3,4上に、たん
ざく状に形成された入力用圧電振動子6と出力用圧電振
動子8を、同じくたんざく状に形成された振動子電極5
,7のそれぞれを介して貼り合わせた後に、0.6〜1
.2mm程度の幅にダイアモンド内周刃でスライスして
いた。
このダイアモンド内周刃は第2図に示すようなものであ
り、ステンレスなどで形成されて円板状をなす地金11
に、ダイアモンド粒子層12が地金11の周縁部を覆っ
て設けられていた。また、ダイアモンド粒子層12は平
均粒径が40から90μm程度のダイアモンド粒子を電
着などにより地金11に固着して形成されていた。そし
て、超音波遅延媒体ブロックをダイアモンド粒子層12
で切削して切断していた。
発明が解決しようとする課題 しかし、上記した構成においては、ダイアモンド内周刃
によるスライス時に切断端面が小さく欠ける問題があっ
た。以後、この欠けた部分をチッピングと呼称する。そ
して、超音波遅延線の性能が向上するにともなって、チ
ッピングによる超音波の不要反射が超音波遅延線の性能
に大きく関与することとなり、チッピングの発生を防止
することが超音波遅延線の性能の向上を図るうえで課題
とされていた。
本発明は上記課題を解決するもので、超音波遅延媒体に
おけるチッピングの発生を防止することができる超音波
遅延線の製造方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するために、本発明は、超音波遅延媒体
ブロック上に電極面を形成し、この電極面上に圧電振動
子を貼り合わせ、前記超音波遅延媒体ブロックをダイア
モンド内周刃でスライスして単体の超音波遅延線を製造
する方法であって、ダイアモンド内周刃の地金の周縁端
面に設けられ、平均粒径が粗大なダイアモンド粒子によ
り形成された粗粒子層で超音波遅延媒体ブロックを切削
して切断するとともに、前記地金の周縁側面に半径方向
における中心部側ほど層厚を厚くして設けられ、平均粒
径の細小なダイアモンド粒子によって形成された細粒子
層で超音波遅延媒体ブロックの切断端面を研磨する構成
としたものである。
作用 上記した構成により、粗粒子層による切削によって超音
波遅延媒体の切断端面に発生するチッピングが、細粒子
層による研磨によって取り除かれる。このことによって
、超音波の不要反射が生じない超音波遅延線が製造され
る。
実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。本
実施例における超音波遅延線は、第3図に示した超音波
遅延線を構成するものと同様であるので説明を省略する
。第1図において、超音波遅延媒体ブロック21を切断
するダイアモンド内周刃22は円板状の地金23を有し
ており、この地金23はステンレス材などで形成されて
いる。そして、地金23には、地金23の周縁端面およ
び周縁側面を覆って粗粒子層24が設けられており、こ
の粗粒子層24は平均粒径が大きい粗大なダイアモンド
粒子によって形成されている。さらに、地金23の周縁
側面に位置する粗粒子層24に重ねて細粒子層25が設
けられており、この細粒子層25は平均粒径が小さい細
小なダイアモンド粒子によって形成されている。そして
、細粒子層25は、地金23の半径方向における中心部
側ほど層厚を厚くして設けられている。
以下、上記構成における作用について説明する。
−〇− 超音波遅延媒体ブロック21をダイアモンド内周刃22
でスライスして単体の超音波遅延線を切り出すときには
、ダイアモンド内周刃22の周縁端面に露出する粗粒子
層24で超音波遅延体ブロック21を切削して切り込む
とともに、ダイアモンド内周刃22の周縁側面に露出す
る細粒子層25で切断端面2Bを切削して研磨する。こ
のため、粗粒子層24による切断によって切断端面にチ
ッピングが生じても、発生したチッピングは細粒子層2
5による研磨によって消滅する。しかも、細粒子層25
は地金23の半径方向における中心部側ほど層厚を厚く
して設けられているので、細粒子層25による切断端面
の研磨が確実に行われる。
発明の効果 以上述べたように本発明によれば、粗粒子層による切断
によって超音波遅延媒体の切断端面に発生するチッピン
グが、細粒子層による研磨によって消滅するので、超音
波遅延媒体における超音波の不要反射が抑制された超音
波遅延線を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例におけるダイアモンド内周刃
の部分断面図、第2図は従来のダイアモンド内周刃の部
分断面図、第3図は一般的な超音波遅延線の全体構成図
である。 21・・・超音波遅延体ブロック、22・・・ダイアモ
ンド内周刃、23・・・地金、24・・・粗粒子層、2
5・・・細粒子層。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.超音波遅延媒体ブロック上に電極面を形成し、この
    電極面上に圧電振動子を貼り合わせ、前記超音波遅延媒
    体ブロックをダイアモンド内周刃でスライスして単体の
    超音波遅延線を製造する方法であって、ダイアモンド内
    周刃の地金の周縁端面に設けられ、平均粒径が粗大なダ
    イアモンド粒子により形成された粗粒子層で超音波遅延
    媒体ブロックを切削して切断するとともに、前記地金の
    周縁側面に半径方向における中心部側ほど層厚を厚くし
    て設けられ、平均粒径の細小なダイアモンド粒子によっ
    て形成された細粒子層で超音波遅延媒体ブロックの切断
    端面を研磨する超音波遅延線の製造方法。
JP6137789A 1989-03-14 1989-03-14 超音波遅延線の製造方法 Pending JPH02241106A (ja)

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JPH02241106A true JPH02241106A (ja) 1990-09-25

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015029987A1 (ja) * 2013-08-26 2015-03-05 株式会社東京精密 ダイシングブレード

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