JPH02240537A - 溶液中のオゾンの分析装置 - Google Patents
溶液中のオゾンの分析装置Info
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- JPH02240537A JPH02240537A JP6156889A JP6156889A JPH02240537A JP H02240537 A JPH02240537 A JP H02240537A JP 6156889 A JP6156889 A JP 6156889A JP 6156889 A JP6156889 A JP 6156889A JP H02240537 A JPH02240537 A JP H02240537A
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Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、上水や下水処理のプロセスモニタとしてま
た殺菌剤としてのオゾン処理の工程管理などに使用され
る溶液中のオゾンの分析装置に関する。
た殺菌剤としてのオゾン処理の工程管理などに使用され
る溶液中のオゾンの分析装置に関する。
溶液中のオゾンの分析装置としては、一般にオゾンの紫
外吸光を測定する装置が使用されている。
外吸光を測定する装置が使用されている。
また、近年電極法によるものも知られるようになった。
（発明が解決しようとする課題〕
しかしながら紫外吸光装置でオゾンを測定する場合は水
中の懸濁物や着色物の影響を受は定量値が正確でない、
電橋によるオゾン測定は安定性が雇いことが知られてい
る。
中の懸濁物や着色物の影響を受は定量値が正確でない、
電橋によるオゾン測定は安定性が雇いことが知られてい
る。
そのために本発明者等は溶液中のオゾンをキャリアガス
中に移行させて、キャリアガス中のオゾンを半導体式の
オゾン検出素子を用いて検出することを試みた。しかし
ながらこのような装置においては、溶液中のオゾンを膜
分離部を用いてキャリアガス中に透過させるためキャリ
アガス中の水蒸気圧が高く、このために装置の配管など
の内壁に水分が凝結してオゾンの再溶解をおこし、正確
なオゾン定量ができないという問題があった。水分の凝
結を防ぐため配管系の加熱も検討されたがオゾンは熱的
に不安定であるため、この場合もオゾンを正確に定量す
ることができない。
中に移行させて、キャリアガス中のオゾンを半導体式の
オゾン検出素子を用いて検出することを試みた。しかし
ながらこのような装置においては、溶液中のオゾンを膜
分離部を用いてキャリアガス中に透過させるためキャリ
アガス中の水蒸気圧が高く、このために装置の配管など
の内壁に水分が凝結してオゾンの再溶解をおこし、正確
なオゾン定量ができないという問題があった。水分の凝
結を防ぐため配管系の加熱も検討されたがオゾンは熱的
に不安定であるため、この場合もオゾンを正確に定量す
ることができない。
この発明は、上述の点に鑑みてなされ、その目的は分析
装置の内壁に水分が凝結しないようにして、溶液中のオ
ゾンを気相オゾンとして正確に定量する溶液中のオゾン
の分析装置を提供すること、あわせて前記分析装置につ
きオゾン定量の感度向上を図った溶液中のオゾンの分析
装置を提供することにある。
装置の内壁に水分が凝結しないようにして、溶液中のオ
ゾンを気相オゾンとして正確に定量する溶液中のオゾン
の分析装置を提供すること、あわせて前記分析装置につ
きオゾン定量の感度向上を図った溶液中のオゾンの分析
装置を提供することにある。
上述の目的はこの発明によれば、
１）水中に溶存するオゾンを気相に移行させて行うオゾ
ンの分析装置において、 試料液流入管１０より供給される試料液中のオゾンを疎
水性の微気孔性多孔質Ｍ３を介してキャリアガス中に透
過させる膜分離部ｌと、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部７
と、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部２
２と、 を備えることおよび ２）水中に溶存するオゾンを気相に移行させて行うオゾ
ンの分析装置において、 試料液流入管１０より供給される試料液中のオゾンを疎
水性の微気孔性多孔質１Ｉ１３を介してキャリアガス中
に透過させる膜分離部１と、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部７
と、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部２
２と、 試料液流入管にオゾンと反応しないガスを導入してバブ
ルガスと試料液の二相混合状態をつくるガスバブル部２
３、とを備えることにより達成される。
ンの分析装置において、 試料液流入管１０より供給される試料液中のオゾンを疎
水性の微気孔性多孔質Ｍ３を介してキャリアガス中に透
過させる膜分離部ｌと、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部７
と、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部２
２と、 を備えることおよび ２）水中に溶存するオゾンを気相に移行させて行うオゾ
ンの分析装置において、 試料液流入管１０より供給される試料液中のオゾンを疎
水性の微気孔性多孔質１Ｉ１３を介してキャリアガス中
に透過させる膜分離部１と、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部７
と、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部２
２と、 試料液流入管にオゾンと反応しないガスを導入してバブ
ルガスと試料液の二相混合状態をつくるガスバブル部２
３、とを備えることにより達成される。
膜分離部１において疎水性の微気孔性多孔質膜３を介し
て試料液とキャリアガスとが接触する。
て試料液とキャリアガスとが接触する。
このとき試料液中の水蒸気、オゾンガスなどが多孔質膜
の微気孔を通って濃度勾配によりキャリアガス中に拡散
する。微気孔性多孔質膜３は疎水性なので液体である水
はキャリアガス中に移行しない、多孔質膜としては例え
ばテフロン（四フッ化エチレン樹脂であるＤｕ Ｐｏａ
ｔ社の商品名）製の管などを用いることができる。キャ
リアガス中に拡散した水蒸気は前述のように装置の配管
系等において凝結をおこす。
の微気孔を通って濃度勾配によりキャリアガス中に拡散
する。微気孔性多孔質膜３は疎水性なので液体である水
はキャリアガス中に移行しない、多孔質膜としては例え
ばテフロン（四フッ化エチレン樹脂であるＤｕ Ｐｏａ
ｔ社の商品名）製の管などを用いることができる。キャ
リアガス中に拡散した水蒸気は前述のように装置の配管
系等において凝結をおこす。
検出部としては僑えば半導体式オゾン検出素子を用いる
ことができる。これはアルミナ等の電気絶縁性基板上に
Ｉｎ１０３を主成分とする金属酸化物半導体を蒸着して
薄膜化したものでオゾン吸着により抵抗変化を起こす。
ことができる。これはアルミナ等の電気絶縁性基板上に
Ｉｎ１０３を主成分とする金属酸化物半導体を蒸着して
薄膜化したものでオゾン吸着により抵抗変化を起こす。
減湿部は乾燥ガスを膜分離部と検出部との間に導入する
。乾燥ガスはオゾンと反応しないものが用いられ、空気
が好適に用いられる。
。乾燥ガスはオゾンと反応しないものが用いられ、空気
が好適に用いられる。
ガスバブル部はオゾンと反応しないガスを試料液流入管
１０中の試料液内に吹き込む、このとき吹き込まれたガ
ス中にはオゾンが試料液中より拡散する。ガスと試料液
は二相のまま膜分離部ｌに送られる。吹きこまれたガス
中に移行したオゾンは膜分離部においてキャリアガス中
に拡散する。
１０中の試料液内に吹き込む、このとき吹き込まれたガ
ス中にはオゾンが試料液中より拡散する。ガスと試料液
は二相のまま膜分離部ｌに送られる。吹きこまれたガス
中に移行したオゾンは膜分離部においてキャリアガス中
に拡散する。
ｆＩＩｉ湿部より分析装置に導入された乾燥ガスはキャ
リアガス中の湿度を低下させる。そのためにキャリアガ
ス中の水蒸気が分析装置の内壁に凝結することがなくな
る。
リアガス中の湿度を低下させる。そのためにキャリアガ
ス中の水蒸気が分析装置の内壁に凝結することがなくな
る。
ガスバブル部により試料液中に吹きこまれたガス中に試
料液中のオゾンが拡散するが、このオゾンは膜分離部に
おいて、試料液中のオゾンよりすみやかにキャリアガス
中に拡散する。
料液中のオゾンが拡散するが、このオゾンは膜分離部に
おいて、試料液中のオゾンよりすみやかにキャリアガス
中に拡散する。
次にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。
（実施例１）
第１図に請求項１の発明の１実施例に係る分析装置が示
される。膜分離部ｌは、外側にあるテフロン（四フッ化
エチレン樹脂、Ｄｕ ＰｏｎＬ社の商品名）管２と内側
の疎水性の微気孔性多孔質膜である微気孔性テフロン管
３とからなる。内側の微気孔性テフロン管３としては例
えばジャパン・ボアテックス社のＴＢシリーズ（気孔率
７０％、最大孔径３．５Ｉｒｍ）などを使用することが
できる。ＴＢＯＯ２は内径２ｍ、外径２．８朧の寸法を
有する。＠気孔性テフロン管３の長さは感度に影響する
ので、適当な長さにして使用され例えば、その長さは５
０Ｃ１である。
される。膜分離部ｌは、外側にあるテフロン（四フッ化
エチレン樹脂、Ｄｕ ＰｏｎＬ社の商品名）管２と内側
の疎水性の微気孔性多孔質膜である微気孔性テフロン管
３とからなる。内側の微気孔性テフロン管３としては例
えばジャパン・ボアテックス社のＴＢシリーズ（気孔率
７０％、最大孔径３．５Ｉｒｍ）などを使用することが
できる。ＴＢＯＯ２は内径２ｍ、外径２．８朧の寸法を
有する。＠気孔性テフロン管３の長さは感度に影響する
ので、適当な長さにして使用され例えば、その長さは５
０Ｃ１である。
液送りポンプ４により試料液が試料液流入管ｌＯを介し
て吸入され、膜分帽１の外側のテフロン管２と内側の微
気孔性テフロン管３の二重管内に送られ試料液流出管１
１により排出される。流量は例えば３Ｑｍ７ ／ ｓｉ
ｎである。ここで１６は試料液槽１７は排液槽である。
て吸入され、膜分帽１の外側のテフロン管２と内側の微
気孔性テフロン管３の二重管内に送られ試料液流出管１
１により排出される。流量は例えば３Ｑｍ７ ／ ｓｉ
ｎである。ここで１６は試料液槽１７は排液槽である。
微気孔性テフロン管３の内側には気体流入管６を介して
ポンプ５によりキャリアガスとしてフィルタ１２により
清浄化および乾燥化された空気が吸入される。流量は調
圧弁１４で２００ｗ７ ／ ｓｉｎに制御される。＠気
孔性テフロン管３は気体流出管８を介して半導体式オゾ
ン検出素子を用いる検出部′？に接続される。
ポンプ５によりキャリアガスとしてフィルタ１２により
清浄化および乾燥化された空気が吸入される。流量は調
圧弁１４で２００ｗ７ ／ ｓｉｎに制御される。＠気
孔性テフロン管３は気体流出管８を介して半導体式オゾ
ン検出素子を用いる検出部′？に接続される。
膜分離部１は、気体流入管６と気体流出管８を第２の気
体流路９で連結される。第２の気体流路９内にはニード
ル弁１３を設置しておく。第２の気体流路９を通る乾燥
ガスは、気体流出管８を通るオゾンを含んだキャリアガ
スと混合されて検出部７に送られる。検出部７からの信
号は記録計１５に出力される。なおフィルタ１２内は活
性炭とシリカゲルを充填しておくと好適である。フィル
タ１２と第２の気体流路９とニードル弁１３により減湿
部２２が構成される。
体流路９で連結される。第２の気体流路９内にはニード
ル弁１３を設置しておく。第２の気体流路９を通る乾燥
ガスは、気体流出管８を通るオゾンを含んだキャリアガ
スと混合されて検出部７に送られる。検出部７からの信
号は記録計１５に出力される。なおフィルタ１２内は活
性炭とシリカゲルを充填しておくと好適である。フィル
タ１２と第２の気体流路９とニードル弁１３により減湿
部２２が構成される。
第１図に示した系統図に従い、気体流出管８内を流れる
オゾンを含むキャリアガス流量を１００ＩＩ７／■ｉｎ
、第２の気体流路９内を流れるキャリアガス流量を１０
０ｓ７ ／閣ｉｎ 、試料流量３Ｑｖａｌ ／ ｓｉｎ
で測定を行った。オゾン濃度と検出部７の信号出力の関
係が第３図に示される。 ０．Ｏ４ｐｐｍ〜０，８ｐρ
蒙の範囲で良好な濃度依存性が認められた。
オゾンを含むキャリアガス流量を１００ＩＩ７／■ｉｎ
、第２の気体流路９内を流れるキャリアガス流量を１０
０ｓ７ ／閣ｉｎ 、試料流量３Ｑｖａｌ ／ ｓｉｎ
で測定を行った。オゾン濃度と検出部７の信号出力の関
係が第３図に示される。 ０．Ｏ４ｐｐｍ〜０，８ｐρ
蒙の範囲で良好な濃度依存性が認められた。
また、気体流出管８内のキャリアガス流量と第２の気体
流路９内のキャリアガス流量の比は、１対２から２対１
の範囲で好適であった。
流路９内のキャリアガス流量の比は、１対２から２対１
の範囲で好適であった。
共存物質の影響を検討するために、クロム （■）。
マンガン（■）、過酸化水素、フタル酸をそれぞれ、１
ｐｐｍになるように添加し測定を行った。いずれの勧
賞もオゾン濃度０．０１ｐｐｍに対応する出力を与えず
、妨害はオゾン濃度換算でｏ、ｏｔｐｐ−以下であるこ
とがわかった。
ｐｐｍになるように添加し測定を行った。いずれの勧
賞もオゾン濃度０．０１ｐｐｍに対応する出力を与えず
、妨害はオゾン濃度換算でｏ、ｏｔｐｐ−以下であるこ
とがわかった。
（実施例２）
第２図に請求項２の発明の１実施例が示される。
試料液流入管１０を流れる試料液中にオゾンと反応しな
い気体を吹むようにしたものであり、空気清浄化用のフ
ィルタ１８．エアーポンプ１９．ニードル弁２０．逆止
弁２１からなるガスバブル部２３を設けた点が第１図と
異なる。
い気体を吹むようにしたものであり、空気清浄化用のフ
ィルタ１８．エアーポンプ１９．ニードル弁２０．逆止
弁２１からなるガスバブル部２３を設けた点が第１図と
異なる。
第２図で示した系統図に従い、試料液流入管ｌ。
中に清浄空気を〔空気〕／〔試料水）−０，５の割合で
吹き込んで測定を行っ・た、得られた出力は空気を吹き
込まないときの４〜５倍の値であり、測定感度の増大が
認められた。
吹き込んで測定を行っ・た、得られた出力は空気を吹き
込まないときの４〜５倍の値であり、測定感度の増大が
認められた。
この発明によれば
１）水中に溶存するオゾンを気相に移行させて行うオゾ
ンの分析装置において、 試料液流入管より供給される試料液中のオゾンを疎水性
の微気孔性多孔質膜を介してキャリアガス中に透過させ
る膜分離部と、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部と
、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部と
、 を備えるのでキャリアガスの流れる分析装置の内壁等に
おいて水蒸気が凝結することがなく、凝結水分によるオ
ゾンの吸収、排出がなくなって、検出部出力として良好
な溶存オゾン濃度依存性を示す溶液中のオゾンの分析装
置が得られる。また２）水中に溶存するオゾンを気相に
移行させて行うオゾンの分析装置において、 試料液流入管より供給される試料液中のオゾンを疎水性
の微気孔性多孔質膜を介してキャリアガス中に透過させ
る膜分離部と、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部と
、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部と
、 試料液流入管にオゾンと反応しないガスを導入してバブ
ルガスと試料液の二相混合状態をつくるガスバブル部、
とを備えるので良好な溶存オゾン濃度依存性が得られる
ばかりでなく、オゾン検出の感度が向上し、低濃度のオ
ゾン水の測定可能な溶液中のオゾンの分析装置が得られ
る。
ンの分析装置において、 試料液流入管より供給される試料液中のオゾンを疎水性
の微気孔性多孔質膜を介してキャリアガス中に透過させ
る膜分離部と、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部と
、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部と
、 を備えるのでキャリアガスの流れる分析装置の内壁等に
おいて水蒸気が凝結することがなく、凝結水分によるオ
ゾンの吸収、排出がなくなって、検出部出力として良好
な溶存オゾン濃度依存性を示す溶液中のオゾンの分析装
置が得られる。また２）水中に溶存するオゾンを気相に
移行させて行うオゾンの分析装置において、 試料液流入管より供給される試料液中のオゾンを疎水性
の微気孔性多孔質膜を介してキャリアガス中に透過させ
る膜分離部と、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部と
、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部と
、 試料液流入管にオゾンと反応しないガスを導入してバブ
ルガスと試料液の二相混合状態をつくるガスバブル部、
とを備えるので良好な溶存オゾン濃度依存性が得られる
ばかりでなく、オゾン検出の感度が向上し、低濃度のオ
ゾン水の測定可能な溶液中のオゾンの分析装置が得られ
る。
また、検出部に半導体式オゾン検出素子を用いるので、
オゾンを選択的に、かつ無試薬で測定を行うことが可能
となる。さらに、装置の小型化低価格化も実現できる。
オゾンを選択的に、かつ無試薬で測定を行うことが可能
となる。さらに、装置の小型化低価格化も実現できる。
第１図は請求項１の発明の１実施例に係る分析装置を示
す構成図、第２図は請求項２の発明の１実施例に係る分
析装置を示す構成図、第３図は請求項１の発明の１実施
例に係る分析装置の検量関係を示す線図である。 １：膜分離部、３：疎水性の微気孔性多孔質膜、７：検
出部、１０：試料液流入管、２２：減湿部、２３：ガス
バブル部。 ″；理人弁メ！士 山 口 巖
す構成図、第２図は請求項２の発明の１実施例に係る分
析装置を示す構成図、第３図は請求項１の発明の１実施
例に係る分析装置の検量関係を示す線図である。 １：膜分離部、３：疎水性の微気孔性多孔質膜、７：検
出部、１０：試料液流入管、２２：減湿部、２３：ガス
バブル部。 ″；理人弁メ！士 山 口 巖
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）水中に溶存するオゾンを気相に移行させて行うオゾ
ンの分析装置において、 試料液流入管より供給される試料液中のオゾンを疎水性
の微気孔性多孔質膜を介してキャリアガス中に透過させ
る膜分離部と、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部と
、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部と
、を備えることを特徴とする溶液中のオゾンの分析装置
。 ２）水中に溶存するオゾンを気相に移行させて行うオゾ
ンの分析装置において、 試料液流入管より供給される試料液中のオゾンを疎水性
の微気孔性多孔質膜を介してキャリアガス中に透過させ
る膜分離部と、 キャリアガス中に透過したオゾン量を検出する検出部と
、 膜分離部と検出部との間に乾燥ガスを導入する減湿部と
、 試料液流入管にオゾンと反応しないガスを導入してバブ
ルガスと試料液の二相混合状態をつくるガスバブル部、
とを備えることを特徴とする溶液中のオゾンの分析装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6156889A JPH02240537A (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | 溶液中のオゾンの分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6156889A JPH02240537A (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | 溶液中のオゾンの分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02240537A true JPH02240537A (ja) | 1990-09-25 |
Family
ID=13174858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6156889A Pending JPH02240537A (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | 溶液中のオゾンの分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02240537A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102553404A (zh) * | 2012-02-10 | 2012-07-11 | 深圳市赛宝伦计算机技术有限公司 | 干燥装置及在线监测仪 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62215853A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-22 | Kuromato Sci Kk | 水中オゾンの測定装置 |
| JPS63298148A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Shinkosumosu Denki Kk | 薄膜型オゾンセンサ |
-
1989
- 1989-03-14 JP JP6156889A patent/JPH02240537A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62215853A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-22 | Kuromato Sci Kk | 水中オゾンの測定装置 |
| JPS63298148A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Shinkosumosu Denki Kk | 薄膜型オゾンセンサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102553404A (zh) * | 2012-02-10 | 2012-07-11 | 深圳市赛宝伦计算机技术有限公司 | 干燥装置及在线监测仪 |
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