JPH02238643A - 電子機器の半導体チップ接続構造 - Google Patents
電子機器の半導体チップ接続構造Info
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- JPH02238643A JPH02238643A JP1058492A JP5849289A JPH02238643A JP H02238643 A JPH02238643 A JP H02238643A JP 1058492 A JP1058492 A JP 1058492A JP 5849289 A JP5849289 A JP 5849289A JP H02238643 A JPH02238643 A JP H02238643A
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液晶表示装置なとの電子機器における半導体
チップ接続構造に関する。
チップ接続構造に関する。
従来の技術
第6図は、一般のワードプロセッサやパーソナルコンピ
ュータなどの表示装置として用いられる従来の液晶表示
ユニットにおける駆動用LSI(Large Scal
e Integration:大規模集積回路)チップ
1の接続構造を示す一部縦断面図である。
ュータなどの表示装置として用いられる従来の液晶表示
ユニットにおける駆動用LSI(Large Scal
e Integration:大規模集積回路)チップ
1の接続構造を示す一部縦断面図である。
第6図において,一方の透明絶縁基板2aの片面には複
数本の帯状の透明導電膜3aが互いに平行に配列して形
成されており、他方の透明絶縁基板2bの片面にも複数
本の帯状の透明導電膜3bが互いに配列して形成されて
いる。この2枚の透明絶縁基板2a,2bはそれらの透
明導電膜3a,3b形成側表面が互いに向い合い、かつ
、透明導電膜3a,3bが互いに直交する向きとなるよ
うに対向配置され、さらにこの2枚の透明絶縁基板2a
,2b間には液晶封止部4によって封止された液晶5が
介在さぜてある。
数本の帯状の透明導電膜3aが互いに平行に配列して形
成されており、他方の透明絶縁基板2bの片面にも複数
本の帯状の透明導電膜3bが互いに配列して形成されて
いる。この2枚の透明絶縁基板2a,2bはそれらの透
明導電膜3a,3b形成側表面が互いに向い合い、かつ
、透明導電膜3a,3bが互いに直交する向きとなるよ
うに対向配置され、さらにこの2枚の透明絶縁基板2a
,2b間には液晶封止部4によって封止された液晶5が
介在さぜてある。
一方の透明絶縁基板2aの表面の透明導電11I3aの
延長上には、外部回路との接続を図るための回路パター
ンを構成する別の透明導電膜3cが形成されている。こ
の透明導電膜3cと上記透明導電膜3aとには、液晶ら
を駆動するための駆動用L S Iチップ1がフェイス
ダウンでダイレクトボンディングされている。特に、駆
動用LSIチップ]の端子6,7のうち、透明導電膜3
Cに接続される入力端子6は、分散形成された複数の電
極6aによって構成されている。このように、入力端子
6を複数の電極6aによって構成ずるのは、駆動用LS
Iチップ1と透明導電膜3Cの間の導通経路を分散して
、入力端子6接続部の抵抗を低減させ、それによって駆
動用LSIチップ1の入力端子6に高抵抗が加わること
から生しる誤動作や表示不良などを防止するためである
。
延長上には、外部回路との接続を図るための回路パター
ンを構成する別の透明導電膜3cが形成されている。こ
の透明導電膜3cと上記透明導電膜3aとには、液晶ら
を駆動するための駆動用L S Iチップ1がフェイス
ダウンでダイレクトボンディングされている。特に、駆
動用LSIチップ]の端子6,7のうち、透明導電膜3
Cに接続される入力端子6は、分散形成された複数の電
極6aによって構成されている。このように、入力端子
6を複数の電極6aによって構成ずるのは、駆動用LS
Iチップ1と透明導電膜3Cの間の導通経路を分散して
、入力端子6接続部の抵抗を低減させ、それによって駆
動用LSIチップ1の入力端子6に高抵抗が加わること
から生しる誤動作や表示不良などを防止するためである
。
上記透明導電M B c上には、入力端子6を構成する
複数の電極6aの接続部が集中する一端部を除いて、導
電性ペースト8が塗布されている。この導電性ペースト
8は透明導電膜3cからなる回路パターンの抵抗を低減
するためのものであって、これも駆動用LSIチップ1
の入力端子6に高抵抗が加わることから生じる誤動作や
表示不良なとの防止を目的としている。
複数の電極6aの接続部が集中する一端部を除いて、導
電性ペースト8が塗布されている。この導電性ペースト
8は透明導電膜3cからなる回路パターンの抵抗を低減
するためのものであって、これも駆動用LSIチップ1
の入力端子6に高抵抗が加わることから生じる誤動作や
表示不良なとの防止を目的としている。
透明導電膜3cの抵抗を低減する対策として、透明導電
膜3c上にメッキ、蒸着、スパッタなどによって金属薄
膜を形成する方法もあるが、この場合にはコストが高く
つくという難点があり、般的には導電性ペースト8を塗
布する上記方法か採用されている。この導電性ペースト
8を電極6aの接続部が集中する個所を避けて塗布して
いるのは、この部分にも導電性ペースト8を塗布すると
、たとえば駆動用LSIチップ1−の出力端子7が透明
導電膜3a上に直接接続される接続部と、入力端子6の
電fi6aが導電性ペースト8上に接続される接続部と
の間に段差が生じて、駆動用LSIチップ1の均一な接
続が図れなくなるからである。
膜3c上にメッキ、蒸着、スパッタなどによって金属薄
膜を形成する方法もあるが、この場合にはコストが高く
つくという難点があり、般的には導電性ペースト8を塗
布する上記方法か採用されている。この導電性ペースト
8を電極6aの接続部が集中する個所を避けて塗布して
いるのは、この部分にも導電性ペースト8を塗布すると
、たとえば駆動用LSIチップ1−の出力端子7が透明
導電膜3a上に直接接続される接続部と、入力端子6の
電fi6aが導電性ペースト8上に接続される接続部と
の間に段差が生じて、駆動用LSIチップ1の均一な接
続が図れなくなるからである。
第6図において、駆動用LSIチップ1の下部およびそ
の周辺部には、端子6.7の接続部や駆動用LSIチッ
プ1近傍の導電性ペースト8を保護するための封止樹脂
9が充填されている。また導電性ペースト8上には、外
部回路の形成されたFPC基板( Flexible
Printed Circuit board :フレ
キシブル回路基板)10が重ねられ、この基板10に加
圧用ゴムAを介して外部圧力Pを加えた状態に固定する
ことによって、外部回路と導電性ペースト8との電気的
接続が図られている。
の周辺部には、端子6.7の接続部や駆動用LSIチッ
プ1近傍の導電性ペースト8を保護するための封止樹脂
9が充填されている。また導電性ペースト8上には、外
部回路の形成されたFPC基板( Flexible
Printed Circuit board :フレ
キシブル回路基板)10が重ねられ、この基板10に加
圧用ゴムAを介して外部圧力Pを加えた状態に固定する
ことによって、外部回路と導電性ペースト8との電気的
接続が図られている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上述した液晶表示ユニットにおける駆動
用L S Iチップ1の接続構造においては、透明導電
膜3c上において駆動用LSIチップ1の入力端子6を
構成する複数の電極6aの接続部が集中する一端部を避
けて導電性ペースト8が塗布されているため、以下に述
べるように、駆動用LSIチップ1と透明導電膜3cと
の接続部での抵抗の低減が充分行われないという問題点
があった。
用L S Iチップ1の接続構造においては、透明導電
膜3c上において駆動用LSIチップ1の入力端子6を
構成する複数の電極6aの接続部が集中する一端部を避
けて導電性ペースト8が塗布されているため、以下に述
べるように、駆動用LSIチップ1と透明導電膜3cと
の接続部での抵抗の低減が充分行われないという問題点
があった。
すなわち、上記接続部の平面構造を第7図に、またその
接続部の縦断面図を第8図で示すように、透明導電膜3
c上の複数の電極6a接続部のうち、導電性ペースト8
に近接している一部の電極6a接続部と導電性ペースト
8との間に限って矢印で示すように導通経路が形成され
る。その理由は、各電極6a接続部と導電性ペースト8
との間では、高抵抗部である透明導電膜3cの部分が最
短となる経路つまり最も抵抗の小さい経路に電流が集中
するからである。したがって、この場合の導電性ペース
ト8は配線抵抗つまり透明導電膜3Cの抵抗の低減には
有効であるが、接続部の抵抗低減にはほとんど寄与しな
い。同じ理由によって、導電膜ペースト8の塗布部分に
近接していない他の電極6a接続部も接続部の抵抗低減
にほとんど寄与しない存在となっている。
接続部の縦断面図を第8図で示すように、透明導電膜3
c上の複数の電極6a接続部のうち、導電性ペースト8
に近接している一部の電極6a接続部と導電性ペースト
8との間に限って矢印で示すように導通経路が形成され
る。その理由は、各電極6a接続部と導電性ペースト8
との間では、高抵抗部である透明導電膜3cの部分が最
短となる経路つまり最も抵抗の小さい経路に電流が集中
するからである。したがって、この場合の導電性ペース
ト8は配線抵抗つまり透明導電膜3Cの抵抗の低減には
有効であるが、接続部の抵抗低減にはほとんど寄与しな
い。同じ理由によって、導電膜ペースト8の塗布部分に
近接していない他の電極6a接続部も接続部の抵抗低減
にほとんど寄与しない存在となっている。
このように、接続部の抵抗低減が不充分であると、特に
液晶表示装置においてはその大型化などに伴う駆動用L
SIの高速化や、上記人力6から入力される電源電圧の
増大などに対応できず、誤動作や表示不良を起こすこと
になる。また、接続部の抵抗低減に寄与しない電極6a
の存在は、接続エリアの有効利用を妨げることにもなる
。
液晶表示装置においてはその大型化などに伴う駆動用L
SIの高速化や、上記人力6から入力される電源電圧の
増大などに対応できず、誤動作や表示不良を起こすこと
になる。また、接続部の抵抗低減に寄与しない電極6a
の存在は、接続エリアの有効利用を妨げることにもなる
。
したがって、本発明の目的は、液晶表示ユニットなどに
用いて半導体チップ接続部の抵抗を大幅に低減させるこ
とのできる電子機器の半導体チップ接続構造を提供する
ことである。
用いて半導体チップ接続部の抵抗を大幅に低減させるこ
とのできる電子機器の半導体チップ接続構造を提供する
ことである。
課題を解決するための手段
本発明は、少なくとも1つの端子が分散形成された複数
の電極によって構成される半導体チップの当該端子を、
基板の一方側表面に透明導電膜によって形成された回路
パターン上にフェイスタウンによってダイレクトポンデ
ィングする電子機器の半導体チップ接続構造において、 前記1端子を構成する複数の電極の前記回路パターン上
の各接続個所近傍の相互間に、抵抗低減化膜を連続的に
形成したことを特徴とする電子機器の半導体チップ接続
構造である。
の電極によって構成される半導体チップの当該端子を、
基板の一方側表面に透明導電膜によって形成された回路
パターン上にフェイスタウンによってダイレクトポンデ
ィングする電子機器の半導体チップ接続構造において、 前記1端子を構成する複数の電極の前記回路パターン上
の各接続個所近傍の相互間に、抵抗低減化膜を連続的に
形成したことを特徴とする電子機器の半導体チップ接続
構造である。
作 用
本発明に従えば、半導体ヂップの1端子を構成する複数
の電極の回路パターン上での各接続個所近傍相互間に抵
抗低減化膜が連続的に形成されているので、半導体チッ
プと回路パターンの接続部において多数の導電経路が分
散形成されることになって、接続部の抵抗が低減される
。
の電極の回路パターン上での各接続個所近傍相互間に抵
抗低減化膜が連続的に形成されているので、半導体チッ
プと回路パターンの接続部において多数の導電経路が分
散形成されることになって、接続部の抵抗が低減される
。
実施例
第1図は本発明の一実施例である電子機器の半導体チッ
プ接続構造を適用した液晶表示ユニットの一部を示す縦
断面図であり、第2図は第1図の切断面線■−■から見
た断面図を示す。
プ接続構造を適用した液晶表示ユニットの一部を示す縦
断面図であり、第2図は第1図の切断面線■−■から見
た断面図を示す。
第1図および第2図において、導電性ペースト18の塗
布構成が従来技術の場合と異なるのみで、その他の構成
は従来技術の場合とほぼ同様である。
布構成が従来技術の場合と異なるのみで、その他の構成
は従来技術の場合とほぼ同様である。
すなわち、第1図においてガラス板からなる一方の透明
絶縁基板12aの片面には、ITO(インジウム錫酸化
物)膜からなる複数本の帯状の透明導電膜13aが真空
蒸着法、E B (ElectronBeam>蒸着法
、スパッタリング法などによって互いに平行に配列して
形成されており、他方の同じくガラス板からなる透明絶
縁基板12bの片面にも同様にして複数本の帯状の透明
導電膜13bが互いに平行に配列して形成されている。
絶縁基板12aの片面には、ITO(インジウム錫酸化
物)膜からなる複数本の帯状の透明導電膜13aが真空
蒸着法、E B (ElectronBeam>蒸着法
、スパッタリング法などによって互いに平行に配列して
形成されており、他方の同じくガラス板からなる透明絶
縁基板12bの片面にも同様にして複数本の帯状の透明
導電膜13bが互いに平行に配列して形成されている。
この2枚の透明絶縁基板12a,12bは、それらの透
明導電膜13a,1.3b形成側表面が互いに向がい合
い、かつ、透明導電膜13a,13bが互いに直交する
向きとなるように対向配置され、さらにこの2枚の透明
絶縁基板12a,12b間には液晶封止樹脂14によっ
て封止された液晶15が介在さぜてある。
明導電膜13a,1.3b形成側表面が互いに向がい合
い、かつ、透明導電膜13a,13bが互いに直交する
向きとなるように対向配置され、さらにこの2枚の透明
絶縁基板12a,12b間には液晶封止樹脂14によっ
て封止された液晶15が介在さぜてある。
一方の透明絶縁基板12aの表面の透明導電膜1. 3
aの延長上には、外部回路との接続を図るための回路
パターンを構成する別の透明導電膜13Cが、透明導電
膜13a.13bと同一材料、同一方法によって形成さ
れている。この透明導電膜13cと透明導電膜13aと
には、液晶15を駆動するための駆動用LSIチツプ1
1がフェイスダウンによってダイレクトボンディングさ
れている。このボンデイングは、紫外線硬化樹脂膜や導
電性ペースト、異方性導電接着剤を用いる方法などによ
って行われる。この駆動用LSIチツプ11には、その
端子16.17としてバンプ電極を形成したフリップチ
ップタイプのものが用いられ、端子1.6.17のうち
、低抵抗接続が必要な入力端子1 6 a , ].
6 b , 1 6 cの特に電源端子は、分散形成さ
れた複数のバンプ電i16al,16a2 16bl
,16b2,16b3,16b416cl,16c2
(第2図参照)によって構成されている。
aの延長上には、外部回路との接続を図るための回路
パターンを構成する別の透明導電膜13Cが、透明導電
膜13a.13bと同一材料、同一方法によって形成さ
れている。この透明導電膜13cと透明導電膜13aと
には、液晶15を駆動するための駆動用LSIチツプ1
1がフェイスダウンによってダイレクトボンディングさ
れている。このボンデイングは、紫外線硬化樹脂膜や導
電性ペースト、異方性導電接着剤を用いる方法などによ
って行われる。この駆動用LSIチツプ11には、その
端子16.17としてバンプ電極を形成したフリップチ
ップタイプのものが用いられ、端子1.6.17のうち
、低抵抗接続が必要な入力端子1 6 a , ].
6 b , 1 6 cの特に電源端子は、分散形成さ
れた複数のバンプ電i16al,16a2 16bl
,16b2,16b3,16b416cl,16c2
(第2図参照)によって構成されている。
一方、上記透明導電膜13c上には、抵抗低減化膜とな
る導電性ペースト18がスクリーン印刷、ティスペンシ
ンク、転写などの方法によって塗布されている。この導
電性ペースト18としては、銀ペースト、銅ペースト、
金ベーストなどの材料があるが、液晶15注人後に塗布
を行う場合には、液晶表示体(第1図において、透明絶
縁基板12a,12b、透明導電膜13a,13b、封
止樹脂14、液晶15などで構成されている表示部)に
影響を及ぼさないように、100〜150゜Cもしくは
それ以下の温度で硬化しうる材料を選ぶことが必要であ
る。また、その導電性ペースト18の面抵抗は、透明導
電膜13cの面抵抗に比べて充分に小さいことが必要で
ある。
る導電性ペースト18がスクリーン印刷、ティスペンシ
ンク、転写などの方法によって塗布されている。この導
電性ペースト18としては、銀ペースト、銅ペースト、
金ベーストなどの材料があるが、液晶15注人後に塗布
を行う場合には、液晶表示体(第1図において、透明絶
縁基板12a,12b、透明導電膜13a,13b、封
止樹脂14、液晶15などで構成されている表示部)に
影響を及ぼさないように、100〜150゜Cもしくは
それ以下の温度で硬化しうる材料を選ぶことが必要であ
る。また、その導電性ペースト18の面抵抗は、透明導
電膜13cの面抵抗に比べて充分に小さいことが必要で
ある。
上記導電性ペースト18の塗布は、第2図に平面図で示
すように各入力端子16a,16b,16cを構成する
複数のバンプ電極16al,16a2、16b1〜1−
6b4、16cl,16c2の対応する透明導電膜13
cl,13c2.1.3c3上での接続部の近傍を除く
全領域に亘って行われる。すなわち、透明導電膜13c
1上では入力端子16aを構成する2つのバンプ電gi
1 6 a1.16a2の各接続部近傍相互間に導電
性ペースト18が連続的に塗布され、透明導電膜13c
上では入力端子16bを構成する4つのバンプ電極16
b1〜16b4の各接続部近傍相互間に導電性ペースト
18が連続的に塗布され、また透明導電膜13c3上で
は入力端子16cを構成する2つのバンプ電極16cl
.16c2の各接続部近傍相互間に導電性ペースト18
が連続的に塗布されている。
すように各入力端子16a,16b,16cを構成する
複数のバンプ電極16al,16a2、16b1〜1−
6b4、16cl,16c2の対応する透明導電膜13
cl,13c2.1.3c3上での接続部の近傍を除く
全領域に亘って行われる。すなわち、透明導電膜13c
1上では入力端子16aを構成する2つのバンプ電gi
1 6 a1.16a2の各接続部近傍相互間に導電
性ペースト18が連続的に塗布され、透明導電膜13c
上では入力端子16bを構成する4つのバンプ電極16
b1〜16b4の各接続部近傍相互間に導電性ペースト
18が連続的に塗布され、また透明導電膜13c3上で
は入力端子16cを構成する2つのバンプ電極16cl
.16c2の各接続部近傍相互間に導電性ペースト18
が連続的に塗布されている。
ボンディングされた駆動用LSIチップ11の下部およ
びその周辺部にはエボキシ系の封止樹脂19が充填され
、これによって端子16.17の接続部が駆動用LSI
チップ11近傍の導電性ペースト18が保護され、電気
特性の維持が図られている。
びその周辺部にはエボキシ系の封止樹脂19が充填され
、これによって端子16.17の接続部が駆動用LSI
チップ11近傍の導電性ペースト18が保護され、電気
特性の維持が図られている。
駆動用LSIチップ11に対して入力を与えるための外
部回路が形成されたポリイミド系FPC基板20は、そ
の外部回路形成面を上記導電性ペースト18上に重ねて
配置され、この基板20に加圧用ゴム21を介して外部
圧力Pを加えることによって基板20が導電性ペースト
18に圧接させられており、これによって外部回路と導
電性ペースト18とが電気的に接続されている。
部回路が形成されたポリイミド系FPC基板20は、そ
の外部回路形成面を上記導電性ペースト18上に重ねて
配置され、この基板20に加圧用ゴム21を介して外部
圧力Pを加えることによって基板20が導電性ペースト
18に圧接させられており、これによって外部回路と導
電性ペースト18とが電気的に接続されている。
第3図は上記透明導電膜13c1〜13c3のうちの1
つの透明導電膜13c2と、駆動用L SIチップ11
の入力端子16bとの接続構造を示す平面図であり、こ
の接続部では各バンプ電8ii16bl〜16b4接続
部近傍まで連続的に塗布されている導電性ペースト18
の面抵抗は透明導電膜13C2の面抵抗に比べて充分低
いので、4つのバンプ電極16b1〜16b4接続部に
対し均等に電流が分散する。すなわち、導通経路が同図
に矢印で示すように多岐にわたって分散することになる
。しかも個々のハンプ電極16b1〜16b4に対して
導電性ペースト1.8の塗布領域がこれらを取り囲むよ
うに近接させてあるので、導電経路が一層多岐にわたっ
て分散し、接続部における抵抗低減を一層拡大させるこ
とができる。
つの透明導電膜13c2と、駆動用L SIチップ11
の入力端子16bとの接続構造を示す平面図であり、こ
の接続部では各バンプ電8ii16bl〜16b4接続
部近傍まで連続的に塗布されている導電性ペースト18
の面抵抗は透明導電膜13C2の面抵抗に比べて充分低
いので、4つのバンプ電極16b1〜16b4接続部に
対し均等に電流が分散する。すなわち、導通経路が同図
に矢印で示すように多岐にわたって分散することになる
。しかも個々のハンプ電極16b1〜16b4に対して
導電性ペースト1.8の塗布領域がこれらを取り囲むよ
うに近接させてあるので、導電経路が一層多岐にわたっ
て分散し、接続部における抵抗低減を一層拡大させるこ
とができる。
以上の抵抗低減作用には、他の透明導電膜13cl,]
.3c3の接続部においても同様にして行われる。
.3c3の接続部においても同様にして行われる。
また、第4図に示すように、バンプ電極16b]〜16
b4接続部の外周形状に沿うように導電性ペースト18
を塗布することによって、上記抵抗低減効果を一層」−
げることができる。
b4接続部の外周形状に沿うように導電性ペースト18
を塗布することによって、上記抵抗低減効果を一層」−
げることができる。
第3図および第4図ては、透明導電膜13C2における
4つのバンプ電極16b1〜16b4接続部に対する導
電性ペースト18の塗布パターンについて示したが、第
5図(a)〜(d)に示すように透明導電膜3C上ての
バンプ電極接続部22の配置に応じて導電性ペースト1
8の塗布パターンを種々に形成することができる。
4つのバンプ電極16b1〜16b4接続部に対する導
電性ペースト18の塗布パターンについて示したが、第
5図(a)〜(d)に示すように透明導電膜3C上ての
バンプ電極接続部22の配置に応じて導電性ペースト1
8の塗布パターンを種々に形成することができる。
なお、端子1.6,1.7を構成するバンプ電極数につ
いては多くずるほど接続不良発生時に対する冗長性を持
たせることができるので、必要性に応じてその数を決定
ずればよいが、電極配置については導電性ペースト]8
の塗布形状とマッチングさせ、端子全体の低抵抗化を図
る配慮が必要である。
いては多くずるほど接続不良発生時に対する冗長性を持
たせることができるので、必要性に応じてその数を決定
ずればよいが、電極配置については導電性ペースト]8
の塗布形状とマッチングさせ、端子全体の低抵抗化を図
る配慮が必要である。
発明の効果
以上のように、本発明の電子機器の半導体チップ接続構
造によれは、半導体チップの1端子を構成する複数の電
極の回路パターン上での各接続個所近傍相互問に抵抗低
減化膜を連続的に形成しているので、半導体チップと回
路パターンの接続部において多数の導電経路が分散形成
されることになり、接続部の抵抗を大幅に低減できる。
造によれは、半導体チップの1端子を構成する複数の電
極の回路パターン上での各接続個所近傍相互問に抵抗低
減化膜を連続的に形成しているので、半導体チップと回
路パターンの接続部において多数の導電経路が分散形成
されることになり、接続部の抵抗を大幅に低減できる。
第1図は本発明の一実施例である半導体チップ接続構造
か適用される液晶表示ユニットの一部を示す縦断面図、
第2図は第1図の切断面線II−ITから見た断面図、
第3図はその液晶表示ユニットの1つの透明導電膜にお
ける接続部の導電経路を示す平面図、第4図は透明導電
膜における導電性ペーストの塗布パターンの他の一例を
示す平面図、第5図(a)〜(d)は種々の電極配置に
対応した導電性ペーストの塗布パターンの各例を示す平
面図、第6図は従来の半導体チップ接続構造を持つ液晶
表示ユニットの一部を示す縦断面図、第7図はその液晶
表示ユニットの透明導電膜における接続部の導電経路を
示す平面図、第8図はその接続部の導電経路を示す縦断
面図である。 11・・・駆動用LSIチップ(半導体チップ)、12
a・・・透明絶縁基板、13c・・・透明導電膜(回路
パターン).16a,16b,16c−人力端子、16
al,16a2、16b1〜16b4、16cl.,1
6c2・・・バンプ電極、17・・・出力端子、18・
・・導電性ペースト(抵抗低減化膜)代理人 弁理士
西教 圭一郎 r一一一八一一一) mliラ 第 図 13c 第 図 第 図 一255
か適用される液晶表示ユニットの一部を示す縦断面図、
第2図は第1図の切断面線II−ITから見た断面図、
第3図はその液晶表示ユニットの1つの透明導電膜にお
ける接続部の導電経路を示す平面図、第4図は透明導電
膜における導電性ペーストの塗布パターンの他の一例を
示す平面図、第5図(a)〜(d)は種々の電極配置に
対応した導電性ペーストの塗布パターンの各例を示す平
面図、第6図は従来の半導体チップ接続構造を持つ液晶
表示ユニットの一部を示す縦断面図、第7図はその液晶
表示ユニットの透明導電膜における接続部の導電経路を
示す平面図、第8図はその接続部の導電経路を示す縦断
面図である。 11・・・駆動用LSIチップ(半導体チップ)、12
a・・・透明絶縁基板、13c・・・透明導電膜(回路
パターン).16a,16b,16c−人力端子、16
al,16a2、16b1〜16b4、16cl.,1
6c2・・・バンプ電極、17・・・出力端子、18・
・・導電性ペースト(抵抗低減化膜)代理人 弁理士
西教 圭一郎 r一一一八一一一) mliラ 第 図 13c 第 図 第 図 一255
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 少なくとも1つの端子が分散形成された複数の電極によ
って構成される半導体チップの当該端子を、基板の一方
側表面に透明導電膜によって形成された回路パターン上
にフェイスダウンによってダイレクトボンディングする
電子機器の半導体チップ接続構造において、 前記1端子を構成する複数の電極の前記回路パターン上
の各接続個所近傍の相互間に、抵抗低減化膜を連続的に
形成したことを特徴とする電子機器の半導体チップ接続
構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1058492A JPH02238643A (ja) | 1989-03-11 | 1989-03-11 | 電子機器の半導体チップ接続構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1058492A JPH02238643A (ja) | 1989-03-11 | 1989-03-11 | 電子機器の半導体チップ接続構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02238643A true JPH02238643A (ja) | 1990-09-20 |
Family
ID=13085923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1058492A Pending JPH02238643A (ja) | 1989-03-11 | 1989-03-11 | 電子機器の半導体チップ接続構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02238643A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997032235A1 (fr) * | 1996-02-29 | 1997-09-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Structure d'electrodes de dispositif a cristaux liquides |
US7760314B2 (en) | 2003-06-05 | 2010-07-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Display device |
-
1989
- 1989-03-11 JP JP1058492A patent/JPH02238643A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997032235A1 (fr) * | 1996-02-29 | 1997-09-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Structure d'electrodes de dispositif a cristaux liquides |
US7760314B2 (en) | 2003-06-05 | 2010-07-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Display device |
US7880853B2 (en) | 2003-06-05 | 2011-02-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Display device |
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