JPH02219247A - ダイボンディング装置 - Google Patents
ダイボンディング装置Info
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- JPH02219247A JPH02219247A JP3980189A JP3980189A JPH02219247A JP H02219247 A JPH02219247 A JP H02219247A JP 3980189 A JP3980189 A JP 3980189A JP 3980189 A JP3980189 A JP 3980189A JP H02219247 A JPH02219247 A JP H02219247A
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000689109 Corella <basidiomycete fungus> Species 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体ウェハーよりペレットをピックアップ
し、該ペレットをマウント部にダイボンディングする装
置に係わり、特に半導体装置の組立て時のダイボンディ
ング工程に用いられる組立装置におけるペレットのハン
ドリング機構部の改良に関するものである。
し、該ペレットをマウント部にダイボンディングする装
置に係わり、特に半導体装置の組立て時のダイボンディ
ング工程に用いられる組立装置におけるペレットのハン
ドリング機構部の改良に関するものである。
（従来の技術）
この種の従来構成を第４図に示す。第４図（ａ）はその
側面的構成図、同図（ｂ）はその一部の平面的構成図で
ある。これら図において１はコレット、２は突き上げニ
ードル、３はコレットホルダー、４は加圧スプリング、
５はコレットホルダー上下動及びスイング用シャフト、
６はコレットスイング用アーム、７はコレット上下用カ
ムレバ、８，９は突き上げニードル上下用カムレバー１
０はコレットスイング用カムレバー、１１はコレットス
イング用カム、１２はコレット上下用カム、１３は突き
上げニードル上下用カムである。
側面的構成図、同図（ｂ）はその一部の平面的構成図で
ある。これら図において１はコレット、２は突き上げニ
ードル、３はコレットホルダー、４は加圧スプリング、
５はコレットホルダー上下動及びスイング用シャフト、
６はコレットスイング用アーム、７はコレット上下用カ
ムレバ、８，９は突き上げニードル上下用カムレバー１
０はコレットスイング用カムレバー、１１はコレットス
イング用カム、１２はコレット上下用カム、１３は突き
上げニードル上下用カムである。
この従来装置において、コレット１の上下方向の動きは
、コレット上下用カム１２によりコレット上下用カムレ
バー７を介して得られる。コレット１の横方向の動きは
、コレットスイング用カム１１により、コレットスイン
グ用カムレバー１０を介して得られる。突き上げニード
ル２の上下方向の動きは、突き上げニードル上下用カム
１３により、突き上げニードル上下用カムレバー８，９
を介して得られる。ペレットのピックアップ、リードフ
レームへのボンディング時の荷重は、加圧スプリング４
によって得られる。
、コレット上下用カム１２によりコレット上下用カムレ
バー７を介して得られる。コレット１の横方向の動きは
、コレットスイング用カム１１により、コレットスイン
グ用カムレバー１０を介して得られる。突き上げニード
ル２の上下方向の動きは、突き上げニードル上下用カム
１３により、突き上げニードル上下用カムレバー８，９
を介して得られる。ペレットのピックアップ、リードフ
レームへのボンディング時の荷重は、加圧スプリング４
によって得られる。
（発明が解決しようとする課題）
従来、上記ダイボンディング装置における機構は、機械
的な手段にて、コレット１、突き上げニードル２の動き
を得ていたが、近年、ペレットの材質、大きさ、厚さ９
表面処理方法の多様化に伴ない品質向上が望まれている
。
的な手段にて、コレット１、突き上げニードル２の動き
を得ていたが、近年、ペレットの材質、大きさ、厚さ９
表面処理方法の多様化に伴ない品質向上が望まれている
。
上記の技術によると、コレット１、突き上げニードル２
の移動量、スピードは、各々のカム１１〜１３の形状及
びＡＣモーターによるカムの回転スピードにより、常に
一定であり、容易に変更する事は不可能である。加圧力
についても、スプリング４のたわみ量より得ている為に
、一定となり、同様である。以上の様に、近年の多様化
するペレット状態に対応し、安定した品質を得る事は出
来ないのが実状である。
の移動量、スピードは、各々のカム１１〜１３の形状及
びＡＣモーターによるカムの回転スピードにより、常に
一定であり、容易に変更する事は不可能である。加圧力
についても、スプリング４のたわみ量より得ている為に
、一定となり、同様である。以上の様に、近年の多様化
するペレット状態に対応し、安定した品質を得る事は出
来ないのが実状である。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、
ペレットの物性に合った動作条件が容易に得られ、安定
した品質を保証出来るダイボンディング装置を提供する
ものである。
ペレットの物性に合った動作条件が容易に得られ、安定
した品質を保証出来るダイボンディング装置を提供する
ものである。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
本発明は、半導体ウェハーよりペレットをピックアップ
し、該ペレットをマウント部にダイボンディングする装
置において、少くとも前記ペレットを吸着するコレット
のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向の動き、前記コレットにかける荷重
、前記ペレットをシートより分離するための突き上げニ
ードルの動きについて、種動量、スピード、荷重の値を
電気的に可変設定するデジタル制御手段と、該手段によ
る設定値に応じて少くとも前記コレット、突き上げニー
ドルの駆動制御を行なう駆動制御手段とを具備したこと
を特徴とするダイボンディング装置である。
し、該ペレットをマウント部にダイボンディングする装
置において、少くとも前記ペレットを吸着するコレット
のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向の動き、前記コレットにかける荷重
、前記ペレットをシートより分離するための突き上げニ
ードルの動きについて、種動量、スピード、荷重の値を
電気的に可変設定するデジタル制御手段と、該手段によ
る設定値に応じて少くとも前記コレット、突き上げニー
ドルの駆動制御を行なう駆動制御手段とを具備したこと
を特徴とするダイボンディング装置である。
即ち本発明は、コレットのＸ、Ｙ、Ｚ方向の動き、突き
上げニードルの動きは各々にパルスモータ−もしくは、
サーボモーター等を用いる。加圧力は流す電流の大きさ
にリニアに変化するボイスコイル等を使用する事により
、全てのパラメーターが制御手段で数値設定、制御が可
能となり、最適な条件でダイボンディングする事を特徴
とする。
上げニードルの動きは各々にパルスモータ−もしくは、
サーボモーター等を用いる。加圧力は流す電流の大きさ
にリニアに変化するボイスコイル等を使用する事により
、全てのパラメーターが制御手段で数値設定、制御が可
能となり、最適な条件でダイボンディングする事を特徴
とする。
（実施例）
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第１
図は同実施例の斜視的構成図であり、２１はコレット、
２２は突き上げニードル、２３は突き上げニードル上下
用モーター、２４は突き上げ二ドル上下用カム、２５は
コレット先端部上下用スライダー、２６はコレット前後
動用スライダー、２７はコレット全体上下用スライダー
、２８はコレット前後動用ネジ、２９はコレット前後動
用モーター、３０はコレット上下用カムレバー、３１は
コレット上下用ダミーカムレバー、３２はコレット上下
用カム、３３はコレラ１〜上下用ダミーカム、３４はＸ
軸移動テーブル、３５はＸ軸移動モーター、３６は加圧
用ボイスコイル、３７はコレット上下用モーター、３８
はスプリングである。３９はリードフレーム供給方向を
示し、これとは平面的にずれた位置に突き上げニードル
２２の先端部が位置している。４０は前記ペレットを吸
着するコレットのＸ、Ｙ、Ｚ軸方向の動き、前記コレッ
トにかける荷重、前記ペレットをシートより分離するた
めの突き上げニードルの動きについて、移動量、スピー
ド、荷重の値を電気的に可変設定するデジタル制御手段
である。
図は同実施例の斜視的構成図であり、２１はコレット、
２２は突き上げニードル、２３は突き上げニードル上下
用モーター、２４は突き上げ二ドル上下用カム、２５は
コレット先端部上下用スライダー、２６はコレット前後
動用スライダー、２７はコレット全体上下用スライダー
、２８はコレット前後動用ネジ、２９はコレット前後動
用モーター、３０はコレット上下用カムレバー、３１は
コレット上下用ダミーカムレバー、３２はコレット上下
用カム、３３はコレラ１〜上下用ダミーカム、３４はＸ
軸移動テーブル、３５はＸ軸移動モーター、３６は加圧
用ボイスコイル、３７はコレット上下用モーター、３８
はスプリングである。３９はリードフレーム供給方向を
示し、これとは平面的にずれた位置に突き上げニードル
２２の先端部が位置している。４０は前記ペレットを吸
着するコレットのＸ、Ｙ、Ｚ軸方向の動き、前記コレッ
トにかける荷重、前記ペレットをシートより分離するた
めの突き上げニードルの動きについて、移動量、スピー
ド、荷重の値を電気的に可変設定するデジタル制御手段
である。
第１図において、コレット２１の２方向の上下動は、コ
レット上下用モーター３７の軸についているコレット上
下用カム３２により、コレット上下用レバー３０を介し
て得られる。この際、安定した動きを得る為に、コレッ
ト上下用モーター３７の軸に取付けているコレット上下
用ダミーカム３３により、コレット上下用ダミーカムレ
バー３１を介して、スプリング３８により、コレット上
下用カムレバー３０と連結されており、スプリング３８
のスプリング力は、常に一定となる様、カム３２．３３
は考慮されている。又、カム３２．３３は、第３図に示
す様に、コレッド先端部の動きが等速度曲線となり、上
下方向のどの地点で、ペレットに接触しても、負荷が一
定となる様、考慮されている。
レット上下用モーター３７の軸についているコレット上
下用カム３２により、コレット上下用レバー３０を介し
て得られる。この際、安定した動きを得る為に、コレッ
ト上下用モーター３７の軸に取付けているコレット上下
用ダミーカム３３により、コレット上下用ダミーカムレ
バー３１を介して、スプリング３８により、コレット上
下用カムレバー３０と連結されており、スプリング３８
のスプリング力は、常に一定となる様、カム３２．３３
は考慮されている。又、カム３２．３３は、第３図に示
す様に、コレッド先端部の動きが等速度曲線となり、上
下方向のどの地点で、ペレットに接触しても、負荷が一
定となる様、考慮されている。
コレット２１のＹ方向の動きは、コレット前後動用モー
ター２９に接続されているコレット前後動用ネジ２８を
介して得られる。
ター２９に接続されているコレット前後動用ネジ２８を
介して得られる。
コレット２１のＸ方向の動きは、Ｘ軸移動用モーター３
５を介して、Ｘ軸移動テーブル３４を移動させることに
より得られる。その内部には移動用ネジがモーター３５
に接続されている。
５を介して、Ｘ軸移動テーブル３４を移動させることに
より得られる。その内部には移動用ネジがモーター３５
に接続されている。
突き上げニードル２２は突き上げニードル上下（この場
合Ｚ方向に一致する）用モーター２３に付いている突き
上げニードル上下用カム２４を介して上下方向の動きが
得られる。この時、突き上げ二ドル上下用カム２４は、
コレット上下用カム３２と同様に、第３図で示す様な等
速度曲線が得られ、上下方向のどの地点でペレットに接
触しても、負荷が一定となる様、考慮されている。ダイ
ボンディング時のコレットの加圧力は、加圧力用ボイス
コイル３６に流す電流（または電圧）の制御により任意
に得られる。
合Ｚ方向に一致する）用モーター２３に付いている突き
上げニードル上下用カム２４を介して上下方向の動きが
得られる。この時、突き上げ二ドル上下用カム２４は、
コレット上下用カム３２と同様に、第３図で示す様な等
速度曲線が得られ、上下方向のどの地点でペレットに接
触しても、負荷が一定となる様、考慮されている。ダイ
ボンディング時のコレットの加圧力は、加圧力用ボイス
コイル３６に流す電流（または電圧）の制御により任意
に得られる。
第１図の構成により、１サイクル（１チツプのダイボン
ディング）を実施した場合のコレット２１及び突き上げ
ニードル２２の動作軌跡図を第２図に示す。ここでコレ
ット２１は、ペレット面レベル及びマウントフレームレ
ベルに到る直前にはゆっくり下るように制御され、それ
以外の上下動等は速く行なわれるように制御手段４０で
任意に制御可能である。
ディング）を実施した場合のコレット２１及び突き上げ
ニードル２２の動作軌跡図を第２図に示す。ここでコレ
ット２１は、ペレット面レベル及びマウントフレームレ
ベルに到る直前にはゆっくり下るように制御され、それ
以外の上下動等は速く行なわれるように制御手段４０で
任意に制御可能である。
本実施例によれば、制御手段４０等により第２図。
第３図に示す様な、コレット、突き上げニードル軌跡の
中で、動作途中、あるいはペレット、リードフレームに
接触する直前、直後のスピード、加圧力カ任意に得られ
る。当然動作量そのものの変更、各種タイミングの変更
、設定、制御が容易であり、ペレットの物性に応じた最
適条件が得られ、安定した品質を提供する事が出来る。
中で、動作途中、あるいはペレット、リードフレームに
接触する直前、直後のスピード、加圧力カ任意に得られ
る。当然動作量そのものの変更、各種タイミングの変更
、設定、制御が容易であり、ペレットの物性に応じた最
適条件が得られ、安定した品質を提供する事が出来る。
またワーク（ペレット、リードフレーム、ダイボンディ
ング用接着剤等）の種類に応じた制御が制御手段４０で
行なえるので、ダイボンディング装置の汎用性が、従来
のものと比較して著しく増大する。
ング用接着剤等）の種類に応じた制御が制御手段４０で
行なえるので、ダイボンディング装置の汎用性が、従来
のものと比較して著しく増大する。
なお本発明は実施例のみに限られず種々の応用が可能で
ある。例えばコレット２１の上下動はカムを介さず、モ
ーターにネジ（モーター２９、ネジ２８等と同様）を接
続して駆動を得ても同様な効果は得られる。
ある。例えばコレット２１の上下動はカムを介さず、モ
ーターにネジ（モーター２９、ネジ２８等と同様）を接
続して駆動を得ても同様な効果は得られる。
［発明の効果］
以上説明した如く本発明によれば、従来よりも大幅に好
適な条件でダイボンディングでき、またダイボンディン
グ装置の汎用性も大幅に増大するものである。
適な条件でダイボンディングでき、またダイボンディン
グ装置の汎用性も大幅に増大するものである。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は同構成の
コレット、突き上げニードルの動作軌跡図、第３図は同
構成のコレットの先端または突き上げニードルの先端の
動きを示す図、第４図は従来装置の構成図である。 ２１・・・コレット、２２・・・突き上げニードル、２
３・・・突き上げニードル上下用モーター、２４・・・
突き上げニードル上下用カム、２５・・・コレット先端
部上下用スライダー、２６・・・コレット前後動用スラ
イダー２７・・・コレット全体上下用スライダー、２８
・・・コレット前後動用ネジ、２９・・・コレット前後
動用モーター３０・・・コレット上下用カムレバー、３
１・・・コレット上下用ダミーカムレバー、３２・・・
コレット上下用カム、３３・・・コレット上下用ダミー
カム、３４・・・Ｘ軸移動テーブル、３５・・・Ｘ軸移
動用モーター、３６・・・加圧用ボイスコイル、３７・
・・コレット上下用モーター、３８・・・スプリング、
４０・・・デジタル制御装置。
コレット、突き上げニードルの動作軌跡図、第３図は同
構成のコレットの先端または突き上げニードルの先端の
動きを示す図、第４図は従来装置の構成図である。 ２１・・・コレット、２２・・・突き上げニードル、２
３・・・突き上げニードル上下用モーター、２４・・・
突き上げニードル上下用カム、２５・・・コレット先端
部上下用スライダー、２６・・・コレット前後動用スラ
イダー２７・・・コレット全体上下用スライダー、２８
・・・コレット前後動用ネジ、２９・・・コレット前後
動用モーター３０・・・コレット上下用カムレバー、３
１・・・コレット上下用ダミーカムレバー、３２・・・
コレット上下用カム、３３・・・コレット上下用ダミー
カム、３４・・・Ｘ軸移動テーブル、３５・・・Ｘ軸移
動用モーター、３６・・・加圧用ボイスコイル、３７・
・・コレット上下用モーター、３８・・・スプリング、
４０・・・デジタル制御装置。
Claims (1)
- 半導体ウェハーよりペレットをピックアップし、該ペレ
ットをマウント部にダイボンディングする装置において
、少くとも前記ペレットを吸着するコレットのＸ、Ｙ、
Ｚ軸方向の動き、前記コレットにかける荷重、前記ペレ
ットをシートより分離するための突き上げニードルの動
きについて、種動量、スピード、荷重の値を電気的に可
変設定可能とするデジタル制御手段と、該手段による設
定値に応じて少くとも前記コレット、突き上げニードル
の駆動制御を行なう駆動制御手段とを具備したことを特
徴とするダイボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3980189A JPH02219247A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | ダイボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3980189A JPH02219247A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | ダイボンディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02219247A true JPH02219247A (ja) | 1990-08-31 |
Family
ID=12563061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3980189A Pending JPH02219247A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | ダイボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02219247A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56103429A (en) * | 1980-01-22 | 1981-08-18 | Shinkawa Ltd | Die bonder |
| JPS6255947A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チツプ部品移載装着装置 |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP3980189A patent/JPH02219247A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56103429A (en) * | 1980-01-22 | 1981-08-18 | Shinkawa Ltd | Die bonder |
| JPS6255947A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チツプ部品移載装着装置 |
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