JPH09270442A - 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 - Google Patents
導電性ボールの搭載装置および搭載方法Info
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- JPH09270442A JPH09270442A JP8078544A JP7854496A JPH09270442A JP H09270442 A JPH09270442 A JP H09270442A JP 8078544 A JP8078544 A JP 8078544A JP 7854496 A JP7854496 A JP 7854496A JP H09270442 A JPH09270442 A JP H09270442A
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 多数個の導電性ボールに適量のフラックス又
は接着剤を作業性よく付着させて、バンプ付きワークの
生産性を著しく向上させることができる導電性ボールの
搭載装置および搭載方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 搭載ヘッドの吸着ツール３２の下面の吸
着孔３５に半田ボール１を真空吸着する。吸着ツール３
２はバネ材により搭載ヘッドに弾持されている。容器１
６には所定の深さｄでフラックス２が貯溜される。吸着
ツール３２の下面からの半田ボール１の突出長ａは深さ
ｄよりもやや大きい。吸着ツール３２を下降させると、
半田ボール１はバネ材のバネ力により容器１６の底面に
弾性的に着地する。次いで吸着ツール３２を上昇させれ
ば、半田ボール１の下面にフラックス２が付着する。フ
ラックス２の深さｄを適正に保つことにより、すべての
半田ボール１に適量のフラックス２を一括して付着させ
ることができる。
は接着剤を作業性よく付着させて、バンプ付きワークの
生産性を著しく向上させることができる導電性ボールの
搭載装置および搭載方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 搭載ヘッドの吸着ツール３２の下面の吸
着孔３５に半田ボール１を真空吸着する。吸着ツール３
２はバネ材により搭載ヘッドに弾持されている。容器１
６には所定の深さｄでフラックス２が貯溜される。吸着
ツール３２の下面からの半田ボール１の突出長ａは深さ
ｄよりもやや大きい。吸着ツール３２を下降させると、
半田ボール１はバネ材のバネ力により容器１６の底面に
弾性的に着地する。次いで吸着ツール３２を上昇させれ
ば、半田ボール１の下面にフラックス２が付着する。フ
ラックス２の深さｄを適正に保つことにより、すべての
半田ボール１に適量のフラックス２を一括して付着させ
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バンプ付ワークの
製造工程で用いられる導電性ボールの搭載装置および搭
載方法に関するものである。
製造工程で用いられる導電性ボールの搭載装置および搭
載方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップなどのバンプ付ワークの
製造工程において、ワークの電極にパンプ（突出電極）
を形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボール
を用いる方法が知られている。この方法は、ワークの電
極上に半田ボールを搭載した後、半田ボールを加熱・溶
融・固化させてバンプを形成するものである。
製造工程において、ワークの電極にパンプ（突出電極）
を形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボール
を用いる方法が知られている。この方法は、ワークの電
極上に半田ボールを搭載した後、半田ボールを加熱・溶
融・固化させてバンプを形成するものである。
【０００３】ところで、ワークの電極上にバンプを形成
する場合、半田ボールをぬれ性よくワークの電極上に付
着させるために、フラックスが用いられる。従来、フラ
ックスは、ディスペンサや転写ピンなどの塗布手段によ
りワークの電極上に塗布されていた。
する場合、半田ボールをぬれ性よくワークの電極上に付
着させるために、フラックスが用いられる。従来、フラ
ックスは、ディスペンサや転写ピンなどの塗布手段によ
りワークの電極上に塗布されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ディス
ペンサや転写ピンなどを用いる従来方法では、ワークの
多数個の電極上にスポット的にフラックスを塗布してい
かねばならないため、すべての電極にフラックスを塗布
するのに多大なタクトタイムを要し、生産性があがらな
いだけでなく、フラックスの塗布量がばらつきやすいも
のであった。さらには、ディスペンサの管理や転写ピン
の毎日の洗浄などのメンテナンスに多大な手間を要する
という問題点があった。
ペンサや転写ピンなどを用いる従来方法では、ワークの
多数個の電極上にスポット的にフラックスを塗布してい
かねばならないため、すべての電極にフラックスを塗布
するのに多大なタクトタイムを要し、生産性があがらな
いだけでなく、フラックスの塗布量がばらつきやすいも
のであった。さらには、ディスペンサの管理や転写ピン
の毎日の洗浄などのメンテナンスに多大な手間を要する
という問題点があった。
【０００５】したがって本発明は、多数個の導電性ボー
ルに適量のフラックスを作業性よく付着させて、バンプ
付きワークの生産性を著しく向上させることができる導
電性ボールの搭載装置および搭載方法を提供することを
目的とする。
ルに適量のフラックスを作業性よく付着させて、バンプ
付きワークの生産性を著しく向上させることができる導
電性ボールの搭載装置および搭載方法を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ワ
ークの位置決め部と、導電性ボールの供給部と、フラッ
クス又は接着剤の貯溜部と、搭載ヘッドと、この搭載ヘ
ッドに上下動作を行わせる上下動手段と、この搭載ヘッ
ドをワークの位置決め部と導電性ボールの供給部の間を
移動させる移動手段とを備えた導電性ボールの搭載装置
であって、搭載ヘッドが、下面に導電性ボールの吸着孔
が形成された吸着ツールを備え、またフラックス又は接
着剤の貯溜部が、フラックス又は接着剤を貯溜する容器
と、このフラックス又は接着剤の深さを吸着孔に真空吸
着された導電性ボールの突出長よりも浅く調整する調整
手段とを備え、吸着孔に真空吸着された導電性ボールを
容器の底面に着地させて導電性ボールの下面にフラック
ス又は接着剤を付着させるようにした。
ークの位置決め部と、導電性ボールの供給部と、フラッ
クス又は接着剤の貯溜部と、搭載ヘッドと、この搭載ヘ
ッドに上下動作を行わせる上下動手段と、この搭載ヘッ
ドをワークの位置決め部と導電性ボールの供給部の間を
移動させる移動手段とを備えた導電性ボールの搭載装置
であって、搭載ヘッドが、下面に導電性ボールの吸着孔
が形成された吸着ツールを備え、またフラックス又は接
着剤の貯溜部が、フラックス又は接着剤を貯溜する容器
と、このフラックス又は接着剤の深さを吸着孔に真空吸
着された導電性ボールの突出長よりも浅く調整する調整
手段とを備え、吸着孔に真空吸着された導電性ボールを
容器の底面に着地させて導電性ボールの下面にフラック
ス又は接着剤を付着させるようにした。
【０００７】また下面に形成された吸着孔に導電性ボー
ルを真空吸着した吸着ツールをフラックス又は接着剤が
貯溜された容器の上方へ移動させる工程と、フラックス
又は接着剤の深さを吸着孔に吸着された導電性ボールの
突出長よりも浅く調整する工程と、この吸着ツールを上
下動手段の駆動により下降させて、容器の底面に着地さ
せ、次に上下動手段を逆方向に駆動することにより吸着
ツールを上昇させて導電性ボールの下面にフラックス又
は接着剤を付着させる工程と、吸着ヘッドをワークの上
方へ移動させる工程と、吸着ツールを上下動手段の駆動
により下降させて導電性ボールをワークの電極上に着地
させ、次いで吸着ツールを上昇させることにより導電性
ボールをワークの電極上に搭載する工程とから導電性ボ
ールの搭載方法を構成した。
ルを真空吸着した吸着ツールをフラックス又は接着剤が
貯溜された容器の上方へ移動させる工程と、フラックス
又は接着剤の深さを吸着孔に吸着された導電性ボールの
突出長よりも浅く調整する工程と、この吸着ツールを上
下動手段の駆動により下降させて、容器の底面に着地さ
せ、次に上下動手段を逆方向に駆動することにより吸着
ツールを上昇させて導電性ボールの下面にフラックス又
は接着剤を付着させる工程と、吸着ヘッドをワークの上
方へ移動させる工程と、吸着ツールを上下動手段の駆動
により下降させて導電性ボールをワークの電極上に着地
させ、次いで吸着ツールを上昇させることにより導電性
ボールをワークの電極上に搭載する工程とから導電性ボ
ールの搭載方法を構成した。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明によれば、容器に貯溜され
たフラックスの液面のレベルを適正に管理することによ
り、吸着ツールの下面に多数個真空吸着されたすべての
導電性ボールに、吸着ツールの１回の上下動作により適
量のフラックスを一括して付着させることができる。
たフラックスの液面のレベルを適正に管理することによ
り、吸着ツールの下面に多数個真空吸着されたすべての
導電性ボールに、吸着ツールの１回の上下動作により適
量のフラックスを一括して付着させることができる。
【０００９】次に、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１の導電
性ボールの搭載装置の斜視図、図２は同搭載ヘッドの断
面図、図３は同フラックスの付着動作の説明図、図４は
同吸着ツールの部分拡大断面図、図５は同半田ボールの
搭載動作の説明図である。
て説明する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１の導電
性ボールの搭載装置の斜視図、図２は同搭載ヘッドの断
面図、図３は同フラックスの付着動作の説明図、図４は
同吸着ツールの部分拡大断面図、図５は同半田ボールの
搭載動作の説明図である。
【００１０】図１において、１１はワークであり、ガイ
ドレール１３に載置されている。ガイドレール１３は、
ワーク１１をクランプして位置決めする位置決め部とな
っている。ワーク１１の上面には導電性ボールとしての
半田ボール１が搭載される電極１２が多数個形成されて
いる。ガイドレール１３の側方には、半田ボール１の供
給部１４と、ピックアップミス検出用の光源１５と、フ
ラックスの貯溜部としての容器１６が設置されている。
１７はフラックスの液面を平滑するスキージである。供
給部１４はボックスから成り、その内部に半田ボール１
が貯溜されている。
ドレール１３に載置されている。ガイドレール１３は、
ワーク１１をクランプして位置決めする位置決め部とな
っている。ワーク１１の上面には導電性ボールとしての
半田ボール１が搭載される電極１２が多数個形成されて
いる。ガイドレール１３の側方には、半田ボール１の供
給部１４と、ピックアップミス検出用の光源１５と、フ
ラックスの貯溜部としての容器１６が設置されている。
１７はフラックスの液面を平滑するスキージである。供
給部１４はボックスから成り、その内部に半田ボール１
が貯溜されている。
【００１１】ガイドレール１３の上方には搭載ヘッド２
０が設けられている。搭載ヘッド２０はガイドシャフト
２１に沿ってＸ方向へ移動する。またガイドシャフト２
１の両端部はスライダ２２を介してガイドシャフト２３
に結合されており、ガイドシャフト２１はガイドシャフ
ト２３に沿ってＹ方向へ移動する。すなわち、ガイドシ
ャフト２１、２３は、搭載ヘッド２０をＸ方向やＹ方向
へ移動させる移動手段となっている。なお搭載ヘッド２
０をガイドシャフト２１、２３に沿って移動させるため
の動力系の説明は省略している。
０が設けられている。搭載ヘッド２０はガイドシャフト
２１に沿ってＸ方向へ移動する。またガイドシャフト２
１の両端部はスライダ２２を介してガイドシャフト２３
に結合されており、ガイドシャフト２１はガイドシャフ
ト２３に沿ってＹ方向へ移動する。すなわち、ガイドシ
ャフト２１、２３は、搭載ヘッド２０をＸ方向やＹ方向
へ移動させる移動手段となっている。なお搭載ヘッド２
０をガイドシャフト２１、２３に沿って移動させるため
の動力系の説明は省略している。
【００１２】次に、図２を参照して搭載ヘッド２０の構
造を説明する。３０は本体としてのボックスである。ボ
ックス３０は無底であって、その内部にはケース３１が
収納されている。ケース３１の下部には箱型の吸着ツー
ル３２が結合されている。吸着ツール３２はチューブ３
３を介して吸引ユニット６４に接続されており、吸引ユ
ニット６４が作動することにより、その下面に多数個形
成された吸着孔３５に半田ボール１を真空吸着する。
造を説明する。３０は本体としてのボックスである。ボ
ックス３０は無底であって、その内部にはケース３１が
収納されている。ケース３１の下部には箱型の吸着ツー
ル３２が結合されている。吸着ツール３２はチューブ３
３を介して吸引ユニット６４に接続されており、吸引ユ
ニット６４が作動することにより、その下面に多数個形
成された吸着孔３５に半田ボール１を真空吸着する。
【００１３】ケース３１の内部には、集光素子３６と光
検出センサ３７が設けられている。ボックス３０の上面
にはシリンダ３８が設置されており、そのロッド３９の
下端部にケース３１は結合されている。４０はバネ材で
あって、ボックス３０の天井面とケース３１の上面を結
合している。バネ材４０はそのバネ力でケース３１を上
方へ弾発し、吸着ツール３２側の自重Ｇを相殺してい
る。本実施の形態では、バネ材４０のバネ力は、ケース
３１および吸着ツール３２の自重Ｇと等しくしている。
ケース３１の両側面に設けられたスライダ４１は、ボッ
クス３０の内面に設けられた垂直なレール４２にスライ
ド自在に嵌合している。またボックス３０の底部にはタ
ッチセンサ４３が設けられている。
検出センサ３７が設けられている。ボックス３０の上面
にはシリンダ３８が設置されており、そのロッド３９の
下端部にケース３１は結合されている。４０はバネ材で
あって、ボックス３０の天井面とケース３１の上面を結
合している。バネ材４０はそのバネ力でケース３１を上
方へ弾発し、吸着ツール３２側の自重Ｇを相殺してい
る。本実施の形態では、バネ材４０のバネ力は、ケース
３１および吸着ツール３２の自重Ｇと等しくしている。
ケース３１の両側面に設けられたスライダ４１は、ボッ
クス３０の内面に設けられた垂直なレール４２にスライ
ド自在に嵌合している。またボックス３０の底部にはタ
ッチセンサ４３が設けられている。
【００１４】次にボックス３０の上下動手段について説
明する。５０はボックス３０の側部に設けられた縦長の
駆動ケースであり、その内部には垂直なボールねじ５１
が収納されている。ボールねじ５１にはナット５２が螺
合しており、ナット５２はロッド５３を介してボックス
３０に結合されている。駆動ケース５０の側面には垂直
なレール５４が設けられており、ボックス３０の側面に
設けられたスライダ５５はこのレール５４にスライド自
在に嵌合している。モータ５６が駆動してボールねじ５
１が回転すると、ナット５２はボールねじ５１に沿って
上下動する。これにより、ボックス３０や吸着ツール３
２は上下動作を行う。
明する。５０はボックス３０の側部に設けられた縦長の
駆動ケースであり、その内部には垂直なボールねじ５１
が収納されている。ボールねじ５１にはナット５２が螺
合しており、ナット５２はロッド５３を介してボックス
３０に結合されている。駆動ケース５０の側面には垂直
なレール５４が設けられており、ボックス３０の側面に
設けられたスライダ５５はこのレール５４にスライド自
在に嵌合している。モータ５６が駆動してボールねじ５
１が回転すると、ナット５２はボールねじ５１に沿って
上下動する。これにより、ボックス３０や吸着ツール３
２は上下動作を行う。
【００１５】６０は制御部であって、モータ駆動回路６
１、押圧力制御部６２、吸着ミス検出回路６３、吸引ユ
ニット６４、振動器駆動回路６５などを制御し、またタ
ッチセンサ４３に接続されたタッチ検出回路６６から信
号が入力される。モータ駆動回路６１は、モータ５６を
制御する。押圧力制御部６２はシリンダ３８を制御す
る。吸着ミス検出回路６３は光検出センサ３７からの信
号により吸着ミスの有無を検出する。図２に示すよう
に、吸着ツール３２の側面には振動器駆動回路６５で制
御される振動器３４が装着されており、吸着ツール３２
を超音波振動させる。
１、押圧力制御部６２、吸着ミス検出回路６３、吸引ユ
ニット６４、振動器駆動回路６５などを制御し、またタ
ッチセンサ４３に接続されたタッチ検出回路６６から信
号が入力される。モータ駆動回路６１は、モータ５６を
制御する。押圧力制御部６２はシリンダ３８を制御す
る。吸着ミス検出回路６３は光検出センサ３７からの信
号により吸着ミスの有無を検出する。図２に示すよう
に、吸着ツール３２の側面には振動器駆動回路６５で制
御される振動器３４が装着されており、吸着ツール３２
を超音波振動させる。
【００１６】図３において、容器１６は薄箱形であっ
て、フラックス２が浅く貯溜されている。この深さｄは
半田ボール１の直径Ｄの略１／２程度である。図４に示
すように、吸着孔３５の下部はテーパ面３５ａとなって
おり、半田ボール１はこのテーパ面３５ａに真空吸着さ
れるが、吸着ツール３２の下面からの半田ボール１の突
出長ａは上記深さｄよりもやや大きい。
て、フラックス２が浅く貯溜されている。この深さｄは
半田ボール１の直径Ｄの略１／２程度である。図４に示
すように、吸着孔３５の下部はテーパ面３５ａとなって
おり、半田ボール１はこのテーパ面３５ａに真空吸着さ
れるが、吸着ツール３２の下面からの半田ボール１の突
出長ａは上記深さｄよりもやや大きい。
【００１７】図３は、吸着ツール３２に上下動作を行わ
せて、半田ボール１の下面にフラックス２を付着させる
動作を示している。吸着ツール３２を下降させることに
より、半田ボール１を容器１６の下面に着地させる。こ
の場合、吸着ツール３２はバネ材４０で弾接されている
ので、そのバネ力により半田ボール１は容器１６の底面
に弾性的にソフトに着地する。しかも吸着孔３５の下面
はテーパ面３５ａになっているので、この着地時の衝撃
により半田ボール１が吸着孔３５に嵌り込み、後で半田
ボール１をワーク１１の電極１２上に搭載する際に、半
田ボール１が吸着孔３５から脱落できずに搭載ミスを生
じることはない。また半田ボール１は柔かい半田合金で
造られているが、着地はソフトに行われるので、着地時
の衝撃により半田ボール１が変形することもない。
せて、半田ボール１の下面にフラックス２を付着させる
動作を示している。吸着ツール３２を下降させることに
より、半田ボール１を容器１６の下面に着地させる。こ
の場合、吸着ツール３２はバネ材４０で弾接されている
ので、そのバネ力により半田ボール１は容器１６の底面
に弾性的にソフトに着地する。しかも吸着孔３５の下面
はテーパ面３５ａになっているので、この着地時の衝撃
により半田ボール１が吸着孔３５に嵌り込み、後で半田
ボール１をワーク１１の電極１２上に搭載する際に、半
田ボール１が吸着孔３５から脱落できずに搭載ミスを生
じることはない。また半田ボール１は柔かい半田合金で
造られているが、着地はソフトに行われるので、着地時
の衝撃により半田ボール１が変形することもない。
【００１８】また図４を参照して説明したように、半田
ボール１の突出長ａはフラックス２の深さｄよりも長く
しているので、図３において鎖線で示すように、半田ボ
ール１を容器１６の底面に着地させた状態で、吸着ツー
ル３２の下面がフラックス２に浸漬して下面にフラック
ス２が付着することはなく、また吸着ツール３２を上昇
させれば、図４に示すようにフラックス２の深さｄ分だ
け、半田ボール１の下面に適量のフラックス２を付着さ
せることができる。勿論この場合、吸着ツール３２の下
面には多数個の半田ボール１が真空吸着されているが、
すべての半田ボール１を所定深さｄだけフラックス２に
浸漬させて、すべての半田ボール１に均一・適量のフラ
ックス２を一括して付着させることができる。
ボール１の突出長ａはフラックス２の深さｄよりも長く
しているので、図３において鎖線で示すように、半田ボ
ール１を容器１６の底面に着地させた状態で、吸着ツー
ル３２の下面がフラックス２に浸漬して下面にフラック
ス２が付着することはなく、また吸着ツール３２を上昇
させれば、図４に示すようにフラックス２の深さｄ分だ
け、半田ボール１の下面に適量のフラックス２を付着さ
せることができる。勿論この場合、吸着ツール３２の下
面には多数個の半田ボール１が真空吸着されているが、
すべての半田ボール１を所定深さｄだけフラックス２に
浸漬させて、すべての半田ボール１に均一・適量のフラ
ックス２を一括して付着させることができる。
【００１９】以上のようにして半田ボール１にフラック
ス２を付着させたならば、次に搭載ヘッド２０はワーク
１１の上方へ移動し、そこで下降・上昇動作を行うこと
により、半田ボール１をワーク１１の電極１２上に搭載
する。
ス２を付着させたならば、次に搭載ヘッド２０はワーク
１１の上方へ移動し、そこで下降・上昇動作を行うこと
により、半田ボール１をワーク１１の電極１２上に搭載
する。
【００２０】図５（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は、
半田ボール１の搭載動作を詳細に示している。まず図５
（ａ）に示すように、吸着ツール３２はワーク１１へ向
って下降する。この下降動作はモータ５６が正回転する
ことにより行われる。
半田ボール１の搭載動作を詳細に示している。まず図５
（ａ）に示すように、吸着ツール３２はワーク１１へ向
って下降する。この下降動作はモータ５６が正回転する
ことにより行われる。
【００２１】次に図５（ｂ）に示すように半田ボール１
がバネ材４０のバネ力により電極１２に弾性的に着地す
ると、その反力により図２において吸着ツール３２はシ
リンダ３８のロッド３９を上方へ押し上げながらボック
ス３０に対してやや浮き上り、ケース３１の底部はタッ
チセンサ４から離れるので、半田ボール１が電極１２に
着地したことが検知され、モータ５６は直ちに駆動を停
止して、吸着ツール３２の下降は停止する。
がバネ材４０のバネ力により電極１２に弾性的に着地す
ると、その反力により図２において吸着ツール３２はシ
リンダ３８のロッド３９を上方へ押し上げながらボック
ス３０に対してやや浮き上り、ケース３１の底部はタッ
チセンサ４から離れるので、半田ボール１が電極１２に
着地したことが検知され、モータ５６は直ちに駆動を停
止して、吸着ツール３２の下降は停止する。
【００２２】図５（ｂ）に示すように半田ボール１が電
極１２上に着地した状態では、モータ５６の正回転によ
る下降力は半田ボール１を電極１２に押し付ける力とし
ては作用せず（何故なら、半田ボール１が電極１２に着
地すると、ケース３１や吸着ツール３２はボックス３０
の底部から浮き上り、モータ５６の正回転による下降力
は吸着ツール３２に伝達されないから）、またケース３
１や吸着ツール３２の自重も押し付け力として作用せず
（何故なら、ケース３１と吸着ツール３２の自重は、バ
ネ材４０の上向きのバネ力により相殺されているか
ら）、シリンダ３８が作動してそのロッド３９が下方へ
突出することにより加えられる押圧力のみが、半田ボー
ル１を電極１２に押し付ける力として作用する。すなわ
ちシリンダ３８は、半田ボール１を適度の力で電極１２
に押し付けるための吸着ツール３２の押圧手段となって
おり、その押圧力により半田ボール１をワーク１１の電
極１２に押し付ける力の大きさを設定する。したがって
シリンダ３８のロッドの突出力を管理することにより、
半田ボール１を適度な力で（すなわち半田ボール１が吸
着孔３５にはまり込んだり潰れたりしない適度の大きさ
の力で）電極１２に押し付けることができる。
極１２上に着地した状態では、モータ５６の正回転によ
る下降力は半田ボール１を電極１２に押し付ける力とし
ては作用せず（何故なら、半田ボール１が電極１２に着
地すると、ケース３１や吸着ツール３２はボックス３０
の底部から浮き上り、モータ５６の正回転による下降力
は吸着ツール３２に伝達されないから）、またケース３
１や吸着ツール３２の自重も押し付け力として作用せず
（何故なら、ケース３１と吸着ツール３２の自重は、バ
ネ材４０の上向きのバネ力により相殺されているか
ら）、シリンダ３８が作動してそのロッド３９が下方へ
突出することにより加えられる押圧力のみが、半田ボー
ル１を電極１２に押し付ける力として作用する。すなわ
ちシリンダ３８は、半田ボール１を適度の力で電極１２
に押し付けるための吸着ツール３２の押圧手段となって
おり、その押圧力により半田ボール１をワーク１１の電
極１２に押し付ける力の大きさを設定する。したがって
シリンダ３８のロッドの突出力を管理することにより、
半田ボール１を適度な力で（すなわち半田ボール１が吸
着孔３５にはまり込んだり潰れたりしない適度の大きさ
の力で）電極１２に押し付けることができる。
【００２３】次にモータ５６をわずかに逆回転させて、
吸着ツール３２をわずかな高さＨ（０．１〜０．１５ｍ
ｍ程度）上昇させる。因みに、本実施の形態の半田ボー
ル１の直径は１ｍｍ程度である。これにより、半田ボー
ル１の下面は電極１２から０．１〜０．１５ｍｍ程度わ
ずかな高さＨ浮き上り、半田ボール１と電極１２の間に
は粘着力のあるフラックス２が介在することとなる（図
５（ｃ））。そこで半田ボール１の真空吸着状態を解除
し、モータ５６を逆回転させて吸着ツール３２を上昇さ
せれば、半田ボール１は吸着孔３５から離れて電極１２
上に再度着地して搭載される（図５（ｄ））。この場
合、半田ボール１はフラックス２の粘着力により電極１
２に吸着されるので、吸着ツール３２を上昇させれば、
半田ボール１は確実に吸着孔３５から離れて電極１２上
に搭載される。また半田ボール１が吸着孔３５から離れ
る場合には、振動器３４を駆動して吸着ツール３２を超
音波振動させれば、より確実に半田ボール１は吸着孔３
５から離れる。
吸着ツール３２をわずかな高さＨ（０．１〜０．１５ｍ
ｍ程度）上昇させる。因みに、本実施の形態の半田ボー
ル１の直径は１ｍｍ程度である。これにより、半田ボー
ル１の下面は電極１２から０．１〜０．１５ｍｍ程度わ
ずかな高さＨ浮き上り、半田ボール１と電極１２の間に
は粘着力のあるフラックス２が介在することとなる（図
５（ｃ））。そこで半田ボール１の真空吸着状態を解除
し、モータ５６を逆回転させて吸着ツール３２を上昇さ
せれば、半田ボール１は吸着孔３５から離れて電極１２
上に再度着地して搭載される（図５（ｄ））。この場
合、半田ボール１はフラックス２の粘着力により電極１
２に吸着されるので、吸着ツール３２を上昇させれば、
半田ボール１は確実に吸着孔３５から離れて電極１２上
に搭載される。また半田ボール１が吸着孔３５から離れ
る場合には、振動器３４を駆動して吸着ツール３２を超
音波振動させれば、より確実に半田ボール１は吸着孔３
５から離れる。
【００２４】以上により、ワーク１１に半田ボール１が
搭載されたならば、ワーク１１はガイドレール１３に沿
って次の工程へ送り出される。次に新たなワーク１１が
ガイドレール１３へ送られ、上述した動作が繰り返され
る。
搭載されたならば、ワーク１１はガイドレール１３に沿
って次の工程へ送り出される。次に新たなワーク１１が
ガイドレール１３へ送られ、上述した動作が繰り返され
る。
【００２５】（実施の形態２）図６は、本発明の実施の
形態２の導電性ボールの搭載装置のフラックスの貯溜部
の断面図である。容器１６Ａは実施の形態１の容器１６
よりも深く、またフラックス２もやや深めに貯溜されて
いる。このものは、スキージ１７Ａの下面の高さを調整
することにより、実施の形態１と同じ深さｄでフラック
ス２の液面を平滑するようにしており、これにより実施
の形態１と同様の効果が得られる。
形態２の導電性ボールの搭載装置のフラックスの貯溜部
の断面図である。容器１６Ａは実施の形態１の容器１６
よりも深く、またフラックス２もやや深めに貯溜されて
いる。このものは、スキージ１７Ａの下面の高さを調整
することにより、実施の形態１と同じ深さｄでフラック
ス２の液面を平滑するようにしており、これにより実施
の形態１と同様の効果が得られる。
【００２６】（実施の形態３）図７は、本発明の実施の
形態３の導電性ボールの搭載装置のフラックスの貯溜部
の断面図である。容器１６Ｂの両側部には溝部１６２が
形成されており、スキージ１７Ｂは中央の突部１６１上
を摺動する。スキージ１７Ｂの下面には深さｄの凹部１
７１が形成されている。したがって突部１６１上をスキ
ージ１７Ｂを摺動させれば、深さｄのフラックス２の膜
が生じる。したがってこのものも、実施の形態１と同様
の効果が得られる。なお実施の形態２および３におい
て、スキージ１７Ａ，１７Ｂが摺動した直後に、吸着ツ
ール３２が下降して半田ボール１にフラックス２を付着
させるが、スキージ１７Ａ，１７Ｂを摺動させた後も、
フラックス２は粘性を有しているので、しばらくの間は
所定の深さｄを維持できる。
形態３の導電性ボールの搭載装置のフラックスの貯溜部
の断面図である。容器１６Ｂの両側部には溝部１６２が
形成されており、スキージ１７Ｂは中央の突部１６１上
を摺動する。スキージ１７Ｂの下面には深さｄの凹部１
７１が形成されている。したがって突部１６１上をスキ
ージ１７Ｂを摺動させれば、深さｄのフラックス２の膜
が生じる。したがってこのものも、実施の形態１と同様
の効果が得られる。なお実施の形態２および３におい
て、スキージ１７Ａ，１７Ｂが摺動した直後に、吸着ツ
ール３２が下降して半田ボール１にフラックス２を付着
させるが、スキージ１７Ａ，１７Ｂを摺動させた後も、
フラックス２は粘性を有しているので、しばらくの間は
所定の深さｄを維持できる。
【００２７】以上本発明を実施の形態１〜３を用いて説
明したが、本発明は、半田ボールを用いてバンプを形成
する場合に限らず、例えば金等、電気抵抗が小さい材料
でできた導電性ボールを使用する場合にも適用できる。
この場合容器にはフラックスではなく接着剤を貯溜して
おき、導電性ボールに接着剤を塗布してからワークの電
極に搭載する。このときの動作は、実施の形態１〜３と
同じである。
明したが、本発明は、半田ボールを用いてバンプを形成
する場合に限らず、例えば金等、電気抵抗が小さい材料
でできた導電性ボールを使用する場合にも適用できる。
この場合容器にはフラックスではなく接着剤を貯溜して
おき、導電性ボールに接着剤を塗布してからワークの電
極に搭載する。このときの動作は、実施の形態１〜３と
同じである。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、容器に貯溜されたフラ
ックス又は接着剤の液面のレベルを適正に管理すること
により、吸着ツールの下面に多数個真空吸着されたすべ
ての導電性ボールに、吸着ツールの１回の上下動作によ
り適量のフラックス又は接着剤を一括して付着させるこ
とができ、ひいては、ワークの電極上に品質のよいバン
プを有するバンプ付きワークを作業性よく製造できる。
ックス又は接着剤の液面のレベルを適正に管理すること
により、吸着ツールの下面に多数個真空吸着されたすべ
ての導電性ボールに、吸着ツールの１回の上下動作によ
り適量のフラックス又は接着剤を一括して付着させるこ
とができ、ひいては、ワークの電極上に品質のよいバン
プを有するバンプ付きワークを作業性よく製造できる。
【図１】本発明の実施の形態１の導電性ボールの搭載装
置の斜視図
置の斜視図
【図２】本発明の実施の形態１の導電性ボールの搭載装
置の搭載ヘッドの断面図
置の搭載ヘッドの断面図
【図３】本発明の実施の形態１の導電性ボールの搭載装
置のフラックスの付着動作の説明図
置のフラックスの付着動作の説明図
【図４】本発明の実施の形態１の導電性ボールの搭載装
置の吸着ツールの部分拡大断面図
置の吸着ツールの部分拡大断面図
【図５】本発明の実施の形態１の導電性ボールの搭載装
置の半田ボールの搭載動作の説明図
置の半田ボールの搭載動作の説明図
【図６】本発明の実施の形態２の導電性ボールの搭載装
置のフラックスの貯溜部の断面図
置のフラックスの貯溜部の断面図
【図７】本発明の実施の形態３の導電性ボールの搭載装
置のフラックスの貯溜部の断面図
置のフラックスの貯溜部の断面図
１ 半田ボール ２ フラックス １１ ワーク １４ 半田ボールの供給部 １６，１６Ａ，１６Ｂ 容器 ２０ 搭載ヘッド ３２ 吸着ツール ３５ 吸着孔 ４０ バネ材
Claims (2)
- 【請求項１】ワークの位置決め部と、導電性ボールの供
給部と、フラックス又は接着剤の貯溜部と、搭載ヘッド
と、この搭載ヘッドに上下動作を行わせる上下動手段
と、この搭載ヘッドを前記ワークの位置決め部と前記導
電性ボールの供給部の間を移動させる移動手段とを備え
た導電性ボールの搭載装置であって、前記搭載ヘッド
が、下面に導電性ボールの吸着孔が形成された吸着ツー
ルを備え、また前記フラックス又は接着剤の貯溜部が、
フラックス又は接着剤を貯溜する容器と、このフラック
ス又は接着剤の深さを前記吸着孔に真空吸着された導電
性ボールの突出長よりも浅く調整する調整手段とを備
え、前記吸着孔に真空吸着された導電性ボールを前記容
器の底面に着地させて導電性ボールの下面にフラックス
又は接着剤を付着させることを特徴とする導電性ボール
の搭載装置。 - 【請求項２】下面に形成された吸着孔に導電性ボールを
真空吸着した吸着ツールをフラックス又は接着剤が貯溜
された容器の上方へ移動させる工程と、前記フラックス
又は接着剤の深さを前記吸着孔に吸着された導電性ボー
ルの突出長よりも浅く調整する工程と、この吸着ツール
を上下動手段の駆動により下降させて、前記容器の底面
に着地させ、次に前記上下動手段を逆方向に駆動するこ
とにより吸着ツールを上昇させて導電性ボールの下面に
フラックス又は接着剤を付着させる工程と、吸着ヘッド
をワークの上方へ移動させる工程と、吸着ツールを上下
動手段の駆動により下降させて導電性ボールをワークの
電極上に着地させ、次いで吸着ツールを上昇させること
により導電性ボールをワークの電極上に搭載する工程
と、を含むことを特徴とする導電性ボールの搭載方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07854496A JP3261970B2 (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
| KR1019970010904A KR100262844B1 (ko) | 1996-04-01 | 1997-03-27 | 도전성 보올의 탑재장치 및 방법 |
| US08/825,380 US5890283A (en) | 1996-04-01 | 1997-03-28 | Apparatus and method for mounting electrically conductive balls |
| TW086104100A TW370480B (en) | 1996-04-01 | 1997-03-31 | Apparatus and method for mounting electrically conductive balls |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07854496A JP3261970B2 (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09270442A true JPH09270442A (ja) | 1997-10-14 |
| JP3261970B2 JP3261970B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=13664869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07854496A Expired - Fee Related JP3261970B2 (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3261970B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100406450B1 (ko) * | 1997-12-30 | 2004-01-24 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 제조용 볼범핑시스템의 피커블럭 |
| US7066377B2 (en) | 1999-06-24 | 2006-06-27 | Athlete Fa Corporation | Ball mounting method |
| JP2010517276A (ja) * | 2007-01-24 | 2010-05-20 | ピーエーシー ティーイーシーエイチ − パッケージング テクノロジーズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 所定間隔に配列された半田ボールの接合方法及び接合装置 |
| JP2010287702A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子部品実装機およびその融剤転写装置 |
| CN111350882A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-06-30 | 胜利油田新大管业科技发展有限责任公司 | 一种支承件布设装置及其聚油装置 |
| CN111822811A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-10-27 | 深圳新益昌科技股份有限公司 | 晶片自动焊接机及晶片焊接方法 |
-
1996
- 1996-04-01 JP JP07854496A patent/JP3261970B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100406450B1 (ko) * | 1997-12-30 | 2004-01-24 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 제조용 볼범핑시스템의 피커블럭 |
| US7066377B2 (en) | 1999-06-24 | 2006-06-27 | Athlete Fa Corporation | Ball mounting method |
| US7077305B1 (en) | 1999-06-24 | 2006-07-18 | Athlete Fa Corporation | Ball loading apparatus |
| US7240822B2 (en) | 1999-06-24 | 2007-07-10 | Athlete Fa Corporation | Ball mounting method |
| JP2010517276A (ja) * | 2007-01-24 | 2010-05-20 | ピーエーシー ティーイーシーエイチ − パッケージング テクノロジーズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 所定間隔に配列された半田ボールの接合方法及び接合装置 |
| JP2010287702A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子部品実装機およびその融剤転写装置 |
| CN111350882A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-06-30 | 胜利油田新大管业科技发展有限责任公司 | 一种支承件布设装置及其聚油装置 |
| CN111350882B (zh) * | 2020-05-25 | 2020-10-13 | 胜利油田新大管业科技发展有限责任公司 | 一种支承件布设装置及其聚油装置 |
| CN111822811A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-10-27 | 深圳新益昌科技股份有限公司 | 晶片自动焊接机及晶片焊接方法 |
| CN111822811B (zh) * | 2020-08-19 | 2021-02-26 | 深圳新益昌科技股份有限公司 | 晶片自动焊接机及晶片焊接方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3261970B2 (ja) | 2002-03-04 |
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