JPH02214121A - 半導体用SiC質治具等のクリーニング方法 - Google Patents
半導体用SiC質治具等のクリーニング方法Info
- Publication number
- JPH02214121A JPH02214121A JP3363189A JP3363189A JPH02214121A JP H02214121 A JPH02214121 A JP H02214121A JP 3363189 A JP3363189 A JP 3363189A JP 3363189 A JP3363189 A JP 3363189A JP H02214121 A JPH02214121 A JP H02214121A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- vacuum pump
- pressure
- impurities
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 16
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000039 hydrogen halide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000012433 hydrogen halide Substances 0.000 claims description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 6
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造に於ける、エピタキシャル等の蒸着
、拡散工程で使用される、ウェハー等の半導体被加工材
を固定するための支持治具、治具材料、その他装置の洗
浄方法に関する。
、拡散工程で使用される、ウェハー等の半導体被加工材
を固定するための支持治具、治具材料、その他装置の洗
浄方法に関する。
半導体拡散用治具材料に対してその使用前に行う洗浄法
としては、酸洗浄法、酸性雰囲気下の高温洗浄法が一般
的である。
としては、酸洗浄法、酸性雰囲気下の高温洗浄法が一般
的である。
酸洗浄法は半導体支持治具表面を酸性溶液で洗浄するも
のであって表面洗浄以上の効果はなく、加えて洗浄溶液
の除去工程が伴う面倒がある。
のであって表面洗浄以上の効果はなく、加えて洗浄溶液
の除去工程が伴う面倒がある。
高温洗浄法は塩酸ガス等をプロセス管中にパージし、高
温下でSiC材料を洗浄する方法であるが、基材表面に
酸化膜が生じると酸化膜にトラップされた不純物が飽和
し安定状態となり、被覆が起こると安定化した不純物に
対する洗浄効果は働かない。
温下でSiC材料を洗浄する方法であるが、基材表面に
酸化膜が生じると酸化膜にトラップされた不純物が飽和
し安定状態となり、被覆が起こると安定化した不純物に
対する洗浄効果は働かない。
クリーニング対象となる不純物は器材・治具の製造中、
あるいは使用中に外来するものに限られず、器材・治具
中に介在する不純物は、使用条件下で表面に移動し、被
処理ウェハー等に対する不純物源となるから、表面のみ
のクリーニング処理では本格的クリーニング法を確立す
ることができない。
あるいは使用中に外来するものに限られず、器材・治具
中に介在する不純物は、使用条件下で表面に移動し、被
処理ウェハー等に対する不純物源となるから、表面のみ
のクリーニング処理では本格的クリーニング法を確立す
ることができない。
半導体拡散処理装置の器材・治具にばその中にFe 、
Ni等の不純物が介在する。集積度をより高めるための
基板に用いるウェハーではこのような不純物による汚染
も好ましくない。
Ni等の不純物が介在する。集積度をより高めるための
基板に用いるウェハーではこのような不純物による汚染
も好ましくない。
器材・治具の表面洗浄では確立しない本格的クリーニン
グ方法を確立するために器材・治具中の不純物の除去に
も効果を上げる新しいクリーニング法が開発されなけれ
ばならない。
グ方法を確立するために器材・治具中の不純物の除去に
も効果を上げる新しいクリーニング法が開発されなけれ
ばならない。
C問題点を解決するための手段〕
上記課題を解決するために、本発明では、圧力5QTo
rr以下、温度800°C以上の減圧高温下でN2、A
r 、、He % Hz等の不活性ガス、或いは塩酸ガ
ス等のハロゲン化水素ガスを基板表面に流動させて、器
材・治具を洗浄する方法を確立した。
rr以下、温度800°C以上の減圧高温下でN2、A
r 、、He % Hz等の不活性ガス、或いは塩酸ガ
ス等のハロゲン化水素ガスを基板表面に流動させて、器
材・治具を洗浄する方法を確立した。
即ち、減圧下に於ける器材・治具材質中に含有される不
純物についてその表面層からの揮発、吸引を、高温下の
熱による不純物の基村内拡散、放出を利用して積極的に
行い基村内不純物の除去・減少をも行う。
純物についてその表面層からの揮発、吸引を、高温下の
熱による不純物の基村内拡散、放出を利用して積極的に
行い基村内不純物の除去・減少をも行う。
器材・治具中の基板表面への移動、更には表面に滲出し
た不純物の揮発拡散プロセスを確立し、器材・治具の表
面だけでなく、内部のFe、Ni等の不純物もクリーニ
ングし得る本方法により、従来方法を大幅に凌駕し、集
積度の著しい増加に対応するきめの細かい不純物の除去
が可能となった。
た不純物の揮発拡散プロセスを確立し、器材・治具の表
面だけでなく、内部のFe、Ni等の不純物もクリーニ
ングし得る本方法により、従来方法を大幅に凌駕し、集
積度の著しい増加に対応するきめの細かい不純物の除去
が可能となった。
以下に本発明の作用および実施例に就いて詳述するが、
洗浄温度、洗浄圧力、洗浄時間、流動ガスの種類、流量
等は本実施例に限定されないのは当然のことである。
洗浄温度、洗浄圧力、洗浄時間、流動ガスの種類、流量
等は本実施例に限定されないのは当然のことである。
第1図は本発明の半導体用SiC質治具等のクリーニン
グ方法に係る洗浄装置で、被処理基材(1)を収納する
SiCプロセス管(2)には導入される流動ガスの流量
を調節するガス流量計(3)、高温洗浄を施すためのヒ
ータ(4) 、SiCプロセス管(2)に減圧状態を派
生させるための真空ポンプ(5)、SiCプロセス管(
2)内の圧力を表示する圧力計(6)、真空ポンプ(5
)を通過した不純物を補集するスクラバー(7)が設け
られている。
グ方法に係る洗浄装置で、被処理基材(1)を収納する
SiCプロセス管(2)には導入される流動ガスの流量
を調節するガス流量計(3)、高温洗浄を施すためのヒ
ータ(4) 、SiCプロセス管(2)に減圧状態を派
生させるための真空ポンプ(5)、SiCプロセス管(
2)内の圧力を表示する圧力計(6)、真空ポンプ(5
)を通過した不純物を補集するスクラバー(7)が設け
られている。
(実施例1)
SiCプロセス管(2)中にガス源よりH2ガスを流量
51 /minで流動させ、ヒータ(4)による加熱で
管内温度を1000”Cに保持し、真空ポンプ(5)に
より管内圧力を5 Torrとして器材・治具(1)の
洗浄を1時間行った。 処理中の吸引ガス成分の変化を
Fe、Niに就いて分析した結果、洗浄開始まもなくの
ガス中にヰ食出されたFe含有量3000ppmが1時
間後に200ppmに減少し、Ni含有量11000p
pは50ppmに、大幅に減少し、効率の良いクリーニ
ング効果が確認された。
51 /minで流動させ、ヒータ(4)による加熱で
管内温度を1000”Cに保持し、真空ポンプ(5)に
より管内圧力を5 Torrとして器材・治具(1)の
洗浄を1時間行った。 処理中の吸引ガス成分の変化を
Fe、Niに就いて分析した結果、洗浄開始まもなくの
ガス中にヰ食出されたFe含有量3000ppmが1時
間後に200ppmに減少し、Ni含有量11000p
pは50ppmに、大幅に減少し、効率の良いクリーニ
ング効果が確認された。
(実施例2)
SiCプロセス管(2)中にガス源よりH2ガスを流i
151 /minで流動させ、ヒータ(4)による加熱
で管内温度を1300°Cに保持し、真空ポンプ(5)
により管内圧力を5 Torrとして器材・治具(1)
の洗浄を1時間行った。 処理中の吸引ガス成分の変化
をFe、Niに就いて分析した結果、洗浄開始まもなく
のガス中に検出されたFe含有量3000ppmが1時
間後に50ppmに減少し、N1含有N 1000pp
mは10p11+11に、大幅に減少し1.効率の良い
クリーニング効果が確認された。
151 /minで流動させ、ヒータ(4)による加熱
で管内温度を1300°Cに保持し、真空ポンプ(5)
により管内圧力を5 Torrとして器材・治具(1)
の洗浄を1時間行った。 処理中の吸引ガス成分の変化
をFe、Niに就いて分析した結果、洗浄開始まもなく
のガス中に検出されたFe含有量3000ppmが1時
間後に50ppmに減少し、N1含有N 1000pp
mは10p11+11に、大幅に減少し1.効率の良い
クリーニング効果が確認された。
本発明のクリーニング法は、拡散炉をそのまま利用して
も実行できる。
も実行できる。
ウェハーを載置する治具(1)がウェハーの積替ごとに
汚れを増す懸念からクリーニングを必要とする時、治具
(1)等器材を予備洗浄後拡散炉中に収納して本発明方
法を実施する。
汚れを増す懸念からクリーニングを必要とする時、治具
(1)等器材を予備洗浄後拡散炉中に収納して本発明方
法を実施する。
貧酸素の減圧高温条件は、関係装置、器材、治具の表面
および基村内不純物のクリーニング効果により良好な状
態にリフレッシュされる。
および基村内不純物のクリーニング効果により良好な状
態にリフレッシュされる。
本発明の半導体用SiC質治具等のクリーニング方法に
より、器材・治具の表面のみの不純物の洗浄に限定され
た従来方法と異なり、器材・治具内に含有される不純物
をも減圧、高温下で表面への移動と、表面からの離脱を
促進して、除去が可能となり、また真空ポンプの吸引機
能により器材・治具の表面に不純物がトラップされて堆
積する現象も回避されるので、高集積度に対応する効率
の良い半導体用SiC質治具等のクリーニングが可能と
なった。
より、器材・治具の表面のみの不純物の洗浄に限定され
た従来方法と異なり、器材・治具内に含有される不純物
をも減圧、高温下で表面への移動と、表面からの離脱を
促進して、除去が可能となり、また真空ポンプの吸引機
能により器材・治具の表面に不純物がトラップされて堆
積する現象も回避されるので、高集積度に対応する効率
の良い半導体用SiC質治具等のクリーニングが可能と
なった。
第1図は本発明の半導体用SiC質治具等のクリーニン
グ方法が施される洗浄装置の要部断面概略図を示す。 被処理基材 SiCプロセス管 ガス流量計 ヒータ (5)真空ポンプ (6)圧力計 (7)スクラバー 出願人 東芝セラミックス株式会社
グ方法が施される洗浄装置の要部断面概略図を示す。 被処理基材 SiCプロセス管 ガス流量計 ヒータ (5)真空ポンプ (6)圧力計 (7)スクラバー 出願人 東芝セラミックス株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、高温加熱用ヒータ、減圧用真空ポンプを備えたSi
Cプロセス管中で洗浄用ガス流動下、高温、減圧雰囲気
条件下で被処理物を洗浄することを特徴とする半導体用
SiC質治具等のクリーニング方法。 2、高温加熱用ヒータ、減圧用真空ポンプを備えたSi
Cプロセス管中の温度を800〜1300℃に保ち、N
_2、Ar、He、H_2等の不活性ガス、或いは塩酸
ガス等のハロゲン化水素ガスを5l/min程度の流量
で流動し、圧力50Torr以下で1時間被処理物を洗
浄することを特徴とする半導体用SiC質治具等のクリ
ーニング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3363189A JPH02214121A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 半導体用SiC質治具等のクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3363189A JPH02214121A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 半導体用SiC質治具等のクリーニング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02214121A true JPH02214121A (ja) | 1990-08-27 |
Family
ID=12391799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3363189A Pending JPH02214121A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 半導体用SiC質治具等のクリーニング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02214121A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786194A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Sansha Electric Mfg Co Ltd | 炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉 |
JP2008172253A (ja) * | 2008-01-23 | 2008-07-24 | Hitachi Chem Co Ltd | プラズマエッチング用電極 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5727024A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Mitsubishi Electric Corp | Washing of reactor for plasma cvd method |
JPS5939029A (ja) * | 1982-08-27 | 1984-03-03 | Toshiba Corp | 半導体製造装置の清浄化方法 |
JPS6114726A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Fujitsu Ltd | 半導体基板の処理方法 |
-
1989
- 1989-02-15 JP JP3363189A patent/JPH02214121A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5727024A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Mitsubishi Electric Corp | Washing of reactor for plasma cvd method |
JPS5939029A (ja) * | 1982-08-27 | 1984-03-03 | Toshiba Corp | 半導体製造装置の清浄化方法 |
JPS6114726A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Fujitsu Ltd | 半導体基板の処理方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786194A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Sansha Electric Mfg Co Ltd | 炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉 |
JP2008172253A (ja) * | 2008-01-23 | 2008-07-24 | Hitachi Chem Co Ltd | プラズマエッチング用電極 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6925731B2 (en) | Thin film forming apparatus cleaning method | |
JP4036751B2 (ja) | 洗浄並びにエッチング方法とその装置 | |
US6825123B2 (en) | Method for treating semiconductor processing components and components formed thereby | |
JP4039385B2 (ja) | ケミカル酸化膜の除去方法 | |
JP3047248B2 (ja) | クリーニング方法 | |
JPH02214121A (ja) | 半導体用SiC質治具等のクリーニング方法 | |
WO2011086876A1 (ja) | シリコンウェーハの表面浄化方法 | |
JP2821264B2 (ja) | シリコンデバイスのガス清浄法 | |
JPS62127397A (ja) | 三フッ化窒素を使用して半導体ウエハを洗浄する方法 | |
JPH11157989A (ja) | 気相成長用サセプター及びその製造方法 | |
JP3058909B2 (ja) | クリーニング方法 | |
JPH0684852A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3497846B2 (ja) | セラミックス部材の洗浄方法 | |
TW589398B (en) | Filtering technique for CVD chamber process gases and the same apparatus | |
JPH04333570A (ja) | Hfガスによる窒化珪素のクリーニング方法 | |
JPH11283924A (ja) | 半導体ウエハ製造方法 | |
JP2836891B2 (ja) | フッ化塩素ガスによるSiOxのクリーニング方法 | |
JP4306217B2 (ja) | 洗浄後の半導体基板の乾燥方法 | |
JP4539794B2 (ja) | 半導体工業用シリカガラス治具およびその製造方法 | |
JPH05326478A (ja) | ウェーハの洗浄方法およびその装置 | |
JPH04151831A (ja) | シリコンウエハ洗浄方法および装置 | |
JPH04254328A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS63107120A (ja) | 処理装置 | |
JPH04366196A (ja) | Hfガスによる珪素のクリーニング方法 | |
JPH06151402A (ja) | ウェット処理装置 |