JPH0786194A - 炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉 - Google Patents
炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉Info
- Publication number
- JPH0786194A JPH0786194A JP24864193A JP24864193A JPH0786194A JP H0786194 A JPH0786194 A JP H0786194A JP 24864193 A JP24864193 A JP 24864193A JP 24864193 A JP24864193 A JP 24864193A JP H0786194 A JPH0786194 A JP H0786194A
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- furnace
- furnace core
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 拡散炉の炭化硅素炉芯管がヒータに接触した
ときに生じる炉芯管の異常加熱による折損事故を防止す
る。 【構成】 炭化硅素炉芯管と、この炉芯管をコイル上に
巻回されたヒータの両端の外側に設けられた炉芯管を支
持する環状の絶縁性ソフトブロックに拡散炉が構成され
ている。上記ヒータ上に設けられたタップと上記炉芯管
上の検出点との間に直流電源と限流素子と電流検出器と
の直列回路を設ける。上記電流検出器に流れる電流によ
り出力する電流検出器の出力信号で動作する警報信号を
設ける。
ときに生じる炉芯管の異常加熱による折損事故を防止す
る。 【構成】 炭化硅素炉芯管と、この炉芯管をコイル上に
巻回されたヒータの両端の外側に設けられた炉芯管を支
持する環状の絶縁性ソフトブロックに拡散炉が構成され
ている。上記ヒータ上に設けられたタップと上記炉芯管
上の検出点との間に直流電源と限流素子と電流検出器と
の直列回路を設ける。上記電流検出器に流れる電流によ
り出力する電流検出器の出力信号で動作する警報信号を
設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、炭化硅素（以下ＳｉＣ
という）製炉芯管を有する拡散炉に関するもので、特に
ヒータと炉芯管の短絡時の過電流を防止するものであ
る。
という）製炉芯管を有する拡散炉に関するもので、特に
ヒータと炉芯管の短絡時の過電流を防止するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体基板に不純物を拡散する場
合、石英製の炉芯管あるいはＳｉＣ製炉芯管が用いられ
ていた。前者の石英炉芯管は安価であるが、高温で使用
すると被拡散物の重みによって管が湾曲しやすく、高い
頻度で交換しなければならなかった。そこで、石英製炉
芯管にかえて高温で使用できる後者のＳｉＣ製炉芯管が
用いられるようになってきている。
合、石英製の炉芯管あるいはＳｉＣ製炉芯管が用いられ
ていた。前者の石英炉芯管は安価であるが、高温で使用
すると被拡散物の重みによって管が湾曲しやすく、高い
頻度で交換しなければならなかった。そこで、石英製炉
芯管にかえて高温で使用できる後者のＳｉＣ製炉芯管が
用いられるようになってきている。
【０００３】このＳｉＣ製炉芯管を用いた拡散炉は図２
に示すように周囲が絶縁性断熱材２で覆われ、コイル状
に巻回されたヒータ４と、このヒータ４の両端の外側に
環状の絶縁製ソフトブロック３とが設けられ、このソフ
トブロック３内に炉芯管１を挿入している。５は交流電
源が入力する変圧器で、２次巻線５ｂ，５ｃ，５ｄがそ
れぞれヒータ４に接続されている。ヒータ４の両側に印
加する電圧は中央より低く（例えば５ｂ，５ｄの電圧６
０Ｖ、５ｃの電圧９０Ｖ）選定されている。
に示すように周囲が絶縁性断熱材２で覆われ、コイル状
に巻回されたヒータ４と、このヒータ４の両端の外側に
環状の絶縁製ソフトブロック３とが設けられ、このソフ
トブロック３内に炉芯管１を挿入している。５は交流電
源が入力する変圧器で、２次巻線５ｂ，５ｃ，５ｄがそ
れぞれヒータ４に接続されている。ヒータ４の両側に印
加する電圧は中央より低く（例えば５ｂ，５ｄの電圧６
０Ｖ、５ｃの電圧９０Ｖ）選定されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ＳｉＣ製炉
芯管は拡散工程ごとに拡散炉に挿入、排出、挿入が繰り
返し行われる。これによって、炉芯管を指示するソフト
ブロック３が炉芯管によって摩耗していく。そして、炉
芯管１がヒータコイル４に接触することになる。このＳ
ｉＣ製炉芯管は導電性を有しており、この炉芯管１がヒ
ータ４と１点でも接触すると、炉芯管内の温度分布が変
化し、半導体の特性が変化することになる。さらに、炉
芯管１とヒータ４とが２ケ所で接触するようになると、
炉芯管に過大電力が印加し、折損事故が発生することが
あった。
芯管は拡散工程ごとに拡散炉に挿入、排出、挿入が繰り
返し行われる。これによって、炉芯管を指示するソフト
ブロック３が炉芯管によって摩耗していく。そして、炉
芯管１がヒータコイル４に接触することになる。このＳ
ｉＣ製炉芯管は導電性を有しており、この炉芯管１がヒ
ータ４と１点でも接触すると、炉芯管内の温度分布が変
化し、半導体の特性が変化することになる。さらに、炉
芯管１とヒータ４とが２ケ所で接触するようになると、
炉芯管に過大電力が印加し、折損事故が発生することが
あった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の点に留
意し、炭化硅素炉芯管と、この炉芯管をコイル上に巻回
されたヒータと、このヒータの両端の外側に設けられた
炉芯管を支持する環状の絶縁性ソフトブロックにより拡
散炉が構成されている。上記ヒータ上に設けられたタッ
プと上記炉芯管上の検出点との間に直流電源と限流素子
と電流検出器との直列回路を設ける。上記電流検出器に
流れる電流により出力する電流検出器の出力信号で動作
する警報信号を設ける。
意し、炭化硅素炉芯管と、この炉芯管をコイル上に巻回
されたヒータと、このヒータの両端の外側に設けられた
炉芯管を支持する環状の絶縁性ソフトブロックにより拡
散炉が構成されている。上記ヒータ上に設けられたタッ
プと上記炉芯管上の検出点との間に直流電源と限流素子
と電流検出器との直列回路を設ける。上記電流検出器に
流れる電流により出力する電流検出器の出力信号で動作
する警報信号を設ける。
【０００６】
【作用】この発明によると、ヒータ上に設けられたタッ
プと炉芯管上の検出点との間に設けた直流電源と限流素
子と電流検出器の直列回路に、ヒータが炉芯管に接触し
たとき電流が流れ電流検出器が動作する。この電流検出
器が信号を出力し、警報装置を動作させる。
プと炉芯管上の検出点との間に設けた直流電源と限流素
子と電流検出器の直列回路に、ヒータが炉芯管に接触し
たとき電流が流れ電流検出器が動作する。この電流検出
器が信号を出力し、警報装置を動作させる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明を実施例を示す図１に基づい
て説明する。図において、１はＳｉＣ製炉芯管である。
４はコイル状ヒータでヒータの外周には絶縁性断熱材２
が設けられている。このヒータ４の両端の外側に環状の
絶縁性ソフトブロック３が設けられている。そして、炉
芯管１がソフトブロック３に沿って挿入されている。５
は交流電源が入力する変圧器で、２次巻線５ｂ，５ｃ，
５ｄが設けられ、それぞれの巻線５ｂ，５ｃ，５ｄがヒ
ータのタップａ−ｂ，ｂ−ｃ，ｃ−ｄに接続されてい
る。
て説明する。図において、１はＳｉＣ製炉芯管である。
４はコイル状ヒータでヒータの外周には絶縁性断熱材２
が設けられている。このヒータ４の両端の外側に環状の
絶縁性ソフトブロック３が設けられている。そして、炉
芯管１がソフトブロック３に沿って挿入されている。５
は交流電源が入力する変圧器で、２次巻線５ｂ，５ｃ，
５ｄが設けられ、それぞれの巻線５ｂ，５ｃ，５ｄがヒ
ータのタップａ−ｂ，ｂ−ｃ，ｃ−ｄに接続されてい
る。
【０００８】ヒータ４の中間タップｂと、炉芯管１の一
部に設けられた検出点Ｅとの間に、直流電源１１と限流
素子１２と電流検出器１３の直列回路が設けられてい
る。限流素子１２は抵抗分１２ａとインダクタンス分１
２ｂにより構成され、電流検出器１３は電流検出器１３
に電流が流れたとき又は所定電圧より大きい電流が流れ
たとき、出力信号を出力し、その信号を警報装置１４に
入力する。
部に設けられた検出点Ｅとの間に、直流電源１１と限流
素子１２と電流検出器１３の直列回路が設けられてい
る。限流素子１２は抵抗分１２ａとインダクタンス分１
２ｂにより構成され、電流検出器１３は電流検出器１３
に電流が流れたとき又は所定電圧より大きい電流が流れ
たとき、出力信号を出力し、その信号を警報装置１４に
入力する。
【０００９】今、ヒータ４が炉芯管１に接触していない
正常な場合には、変圧器５の２次巻線の電圧がヒータ４
に印加し、管内が加熱され被拡散物のウェハーが拡散処
理される。ヒータ４が炉芯管１に接触されていないの
で、電流検出器１３には電流が流れず電流検出器１３か
ら信号は出力されていない。
正常な場合には、変圧器５の２次巻線の電圧がヒータ４
に印加し、管内が加熱され被拡散物のウェハーが拡散処
理される。ヒータ４が炉芯管１に接触されていないの
で、電流検出器１３には電流が流れず電流検出器１３か
ら信号は出力されていない。
【００１０】次にヒータ４が図１に示すように炉芯管１
の右方のＦ点で短絡した場合、直流電源１１から検出点
Ｅ，短絡点Ｆ，ヒータ４，タップｂ，限流素子１２，電
流検出器１３，直流電源１１に直流電流が流れる。これ
により、電流検出器１３から信号が出力し、警報装置１
４が動作し、警報表示を行うとともに、変圧器５の入力
電源を遮断させる。そして、ソフトブロック等の交換を
行う。なお、タップｂと短絡点Ｆ間に交流電圧が印加す
るので、限流素子１２，電流検出器，直流電源１２，検
出点Ｅに交流電流が流れる。この交流電流を限流するた
めに直流電流より低い電流になるように抵抗分１２ａが
選定される。
の右方のＦ点で短絡した場合、直流電源１１から検出点
Ｅ，短絡点Ｆ，ヒータ４，タップｂ，限流素子１２，電
流検出器１３，直流電源１１に直流電流が流れる。これ
により、電流検出器１３から信号が出力し、警報装置１
４が動作し、警報表示を行うとともに、変圧器５の入力
電源を遮断させる。そして、ソフトブロック等の交換を
行う。なお、タップｂと短絡点Ｆ間に交流電圧が印加す
るので、限流素子１２，電流検出器，直流電源１２，検
出点Ｅに交流電流が流れる。この交流電流を限流するた
めに直流電流より低い電流になるように抵抗分１２ａが
選定される。
【００１１】上記実施例は、変圧器５に２次巻線を３つ
設けていたが、１つの巻線にタップを設けてもよい。
設けていたが、１つの巻線にタップを設けてもよい。
【００１２】
【発明の効果】この発明によると、ヒータ上に設けたタ
ップと、炉芯管上の検出点との間に設けた直流電源と限
流素子と、電流検出器の直列回路にヒータが炉芯管に接
触したとき電流が流れ、電流検出器が動作し出力された
出力信号により警報装置を動作させるので、初期の事故
時に警報でき、ソフトブロックの交換等の保守を行うこ
とができ、炉芯管の折損のような大事故を防止すること
ができる。
ップと、炉芯管上の検出点との間に設けた直流電源と限
流素子と、電流検出器の直列回路にヒータが炉芯管に接
触したとき電流が流れ、電流検出器が動作し出力された
出力信号により警報装置を動作させるので、初期の事故
時に警報でき、ソフトブロックの交換等の保守を行うこ
とができ、炉芯管の折損のような大事故を防止すること
ができる。
【図１】本発明による拡散炉の一実施例の概略構造図で
ある。
ある。
【図２】従来の拡散炉の概略構造図である。
１ ＳｉＣ製炉芯管 ２ 絶縁性断熱材 ３ ソフトブロック ４ コイル状ヒータ ５ 変圧器 １１ 直流電源 １２ 限流素子 １３ 電流検出器 １４ 警報装置 Ｅ 検出点 Ｆ 短絡点
Claims (1)
- 【請求項１】 炭化硅素製の炉芯管と、上記炉芯管をコ
イル状に巻回するヒータと、該ヒータの両端の外側に設
けられ炉芯管を支持する環状の絶縁性ソフトブロックと
により構成される拡散炉において、上記ヒータ上に設け
たタップと上記炉芯管上の検出点との間に設けた直流電
源と限流素子と電流検出器との直列回路と、上記電流検
出器に流れる電流により出力する上記電流検出器の出力
信号で動作する警報装置とにより構成されたことを特徴
とする炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24864193A JPH0786194A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24864193A JPH0786194A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0786194A true JPH0786194A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=17181141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24864193A Pending JPH0786194A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0786194A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103243393A (zh) * | 2013-05-06 | 2013-08-14 | 上海煦康电子科技有限公司 | 一种气体预热装置、扩散炉及进气预热的方法 |
| JP2017180979A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 高砂工業株式会社 | ロータリーキルン |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63137420A (ja) * | 1986-11-29 | 1988-06-09 | Furendotetsuku Kenkyusho:Kk | 加熱炉 |
| JPH0254521A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Nec Corp | 半導体製造装置 |
| JPH02214121A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体用ＳｉＣ質治具等のクリーニング方法 |
| JPH03116721A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-17 | Nec Kyushu Ltd | 拡散炉装置 |
-
1993
- 1993-09-09 JP JP24864193A patent/JPH0786194A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63137420A (ja) * | 1986-11-29 | 1988-06-09 | Furendotetsuku Kenkyusho:Kk | 加熱炉 |
| JPH0254521A (ja) * | 1988-08-18 | 1990-02-23 | Nec Corp | 半導体製造装置 |
| JPH02214121A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体用ＳｉＣ質治具等のクリーニング方法 |
| JPH03116721A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-17 | Nec Kyushu Ltd | 拡散炉装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103243393A (zh) * | 2013-05-06 | 2013-08-14 | 上海煦康电子科技有限公司 | 一种气体预热装置、扩散炉及进气预热的方法 |
| JP2017180979A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 高砂工業株式会社 | ロータリーキルン |
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