JPH02208212A - 易焼結性窒化アルミニウム粉末とその製造方法 - Google Patents
易焼結性窒化アルミニウム粉末とその製造方法Info
- Publication number
- JPH02208212A JPH02208212A JP1025736A JP2573689A JPH02208212A JP H02208212 A JPH02208212 A JP H02208212A JP 1025736 A JP1025736 A JP 1025736A JP 2573689 A JP2573689 A JP 2573689A JP H02208212 A JPH02208212 A JP H02208212A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- powder
- nitride powder
- grinding
- surface area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 54
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims abstract description 50
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 8
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000004438 BET method Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 abstract 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 17
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 1
- 238000010344 co-firing Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000009837 dry grinding Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は易焼結性窒化アルミニウム粉末及びその製造方
法に関する。
法に関する。
〈従来の技術〉
窒化アルミニウム焼結体は窒化アルミニウム粉末と焼結
助剤とを混合し成形した後ホットプレス法または常圧焼
結法によシ焼成するか、あるいは窒化アルミニウム粉末
に焼結助剤、有機バインダーを添加混合後成形し脱バイ
ンダーを行なったのち非酸化性ガス雰囲気中で常圧焼結
又は加圧焼結して製造することが知られている（特開昭
６１−１８３１７４号公報）。
助剤とを混合し成形した後ホットプレス法または常圧焼
結法によシ焼成するか、あるいは窒化アルミニウム粉末
に焼結助剤、有機バインダーを添加混合後成形し脱バイ
ンダーを行なったのち非酸化性ガス雰囲気中で常圧焼結
又は加圧焼結して製造することが知られている（特開昭
６１−１８３１７４号公報）。
窒化アルミニウムは難焼結性であるので焼結助剤を添加
せずに焼成する場合や低温で焼成する場合には焼結体密
度が上がりにくいので熱伝導率や強度等に優れた特性を
十分に発揮することができない。特に低温で十分な緻密
化を達成することは窒化アルミニウム焼結体の製造コス
トを大巾に低減することが出来るので、ＩＣ基板やパッ
ケージ等を製造する際、金属との同時焼成等の技術を展
開していく上で重要なポイントとなる。しかしながら、
現在の窒化アルミニウム粉末を用いて焼結助剤無添加で
緻密な焼結体を得るには１８０Ｄ’Ｃ以上の高温焼成か
超高圧下での焼成が必要である。
せずに焼成する場合や低温で焼成する場合には焼結体密
度が上がりにくいので熱伝導率や強度等に優れた特性を
十分に発揮することができない。特に低温で十分な緻密
化を達成することは窒化アルミニウム焼結体の製造コス
トを大巾に低減することが出来るので、ＩＣ基板やパッ
ケージ等を製造する際、金属との同時焼成等の技術を展
開していく上で重要なポイントとなる。しかしながら、
現在の窒化アルミニウム粉末を用いて焼結助剤無添加で
緻密な焼結体を得るには１８０Ｄ’Ｃ以上の高温焼成か
超高圧下での焼成が必要である。
焼結助剤を添加しても１８００℃以下の低温で十分緻密
化させることは非常に難しいのが現状である。また、窒
化アルミニウム粉末の焼結性を向上させる手段として粉
末の比表面積から検討されたこともない。
化させることは非常に難しいのが現状である。また、窒
化アルミニウム粉末の焼結性を向上させる手段として粉
末の比表面積から検討されたこともない。
〈発明が解決しようとする課題〉
本発明の目的は、焼結性の優れた窒化アルミニウム粉末
を提供することにある。
を提供することにある。
〈課題点を解決するための手段〉
本発明者等は上記した従来技術の欠点を補うべく鋭意工
夫を重ねた結果、直接窒化法あるいは還元法等で得られ
た窒化アルミニウム粉又は還元法等で得られた窒化アル
ミニウム粉あるいはインプットを、非酸化性ガス雰囲気
中で比表面積が５ｍ２／９以上になるまで摩砕し窒化ア
ルミニウム粉末表面にメカノケミカル的活性を持たせる
ことで焼結助剤を用いない焼成あるいは低温での焼成に
おいても十分緻密な窒化アルミニウム焼結体が得られる
こととを見出し本発明を完成した。
夫を重ねた結果、直接窒化法あるいは還元法等で得られ
た窒化アルミニウム粉又は還元法等で得られた窒化アル
ミニウム粉あるいはインプットを、非酸化性ガス雰囲気
中で比表面積が５ｍ２／９以上になるまで摩砕し窒化ア
ルミニウム粉末表面にメカノケミカル的活性を持たせる
ことで焼結助剤を用いない焼成あるいは低温での焼成に
おいても十分緻密な窒化アルミニウム焼結体が得られる
こととを見出し本発明を完成した。
すなわち、本発明は、以下を要旨とする易焼結性窒化ア
ルミニウム粉末とその製造方法である。
ルミニウム粉末とその製造方法である。
（１） ＢＥＴ法により測定した比表面積が５ ｍ２
／ ９以上を有し、かつＣｕ−にα線を用いたＸ線回折
法による結晶子の２１３面の半価巾が１．１ ｄｅｇ以
上であることを特徴とする易焼結性窒化アルミニウム粉
末。
／ ９以上を有し、かつＣｕ−にα線を用いたＸ線回折
法による結晶子の２１３面の半価巾が１．１ ｄｅｇ以
上であることを特徴とする易焼結性窒化アルミニウム粉
末。
（２）窒化アルミニウムを非酸化性ガス雰囲気中で摩砕
処理することを特徴とする第１項記載の易焼結性窒化ア
ルミニウム粉末の製造方法。
処理することを特徴とする第１項記載の易焼結性窒化ア
ルミニウム粉末の製造方法。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明で用いる窒化アルミニウムは直接窒化法、還元法
あるいはその他の方法で得られた窒化アルミニウムであ
り粉末でも塊状でも全く問題はないが粉砕機の構造上好
ましくは粗粒の最大粒径が２酢を超えない程度のもので
ある。
あるいはその他の方法で得られた窒化アルミニウムであ
り粉末でも塊状でも全く問題はないが粉砕機の構造上好
ましくは粗粒の最大粒径が２酢を超えない程度のもので
ある。
摩砕の程度は少しでも表面積が太き（なれば良い。好ま
しくは摩砕後の窒化アルミニウム粉末のＢＥＴ比表面積
が原料窒化アルミニウム粉末の比表面積の２倍以上とす
ることである。本発明により摩砕を行なったものは焼結
助剤を添加することなく常圧焼結でき、焼結助剤を添加
すると更に低温での焼結が可能となる。こｎは多分に結
晶の格子不整及び部分的な非晶質化が進むと同時に新た
に形成された粒子面が現われていわゆるメカノケミカル
効果によシ活性化された粉末が得られた為と考えられる
。
しくは摩砕後の窒化アルミニウム粉末のＢＥＴ比表面積
が原料窒化アルミニウム粉末の比表面積の２倍以上とす
ることである。本発明により摩砕を行なったものは焼結
助剤を添加することなく常圧焼結でき、焼結助剤を添加
すると更に低温での焼結が可能となる。こｎは多分に結
晶の格子不整及び部分的な非晶質化が進むと同時に新た
に形成された粒子面が現われていわゆるメカノケミカル
効果によシ活性化された粉末が得られた為と考えられる
。
摩砕を空気中で行なったシ摩砕後の窒化アルミニウム粉
末を長時間空気にさらしたシすると活性化している面が
空気中の水分によシ加水分解されアルミナ水和物を生成
する。このアルミナ水和物の生成量が多い程焼結後の窒
化アルミニウム焼結体中に取シ込まれる酸素量が増加し
、たとえ焼結性が向上されていても窒化アルミニウム本
来の高熱伝導特性を確保することができなくなる。摩砕
処理を行なう粉砕機としては摩砕効果を有する粉砕機、
例えばボールミル、振動ミル、アトライターミル等であ
れば機種の制約を受けない。摩砕処理の雰囲気としては
、Ｈｅ ％ Ａｒ 、 Ｎ２等の不活性雰囲気、Ｈ２、
ＣＯ等の還元性雰囲気、真空中等から選ばれた非酸化性
ガス雰囲気である。非酸化性ガス雰囲気の酸素濃度は１
％以下が望ましい。
末を長時間空気にさらしたシすると活性化している面が
空気中の水分によシ加水分解されアルミナ水和物を生成
する。このアルミナ水和物の生成量が多い程焼結後の窒
化アルミニウム焼結体中に取シ込まれる酸素量が増加し
、たとえ焼結性が向上されていても窒化アルミニウム本
来の高熱伝導特性を確保することができなくなる。摩砕
処理を行なう粉砕機としては摩砕効果を有する粉砕機、
例えばボールミル、振動ミル、アトライターミル等であ
れば機種の制約を受けない。摩砕処理の雰囲気としては
、Ｈｅ ％ Ａｒ 、 Ｎ２等の不活性雰囲気、Ｈ２、
ＣＯ等の還元性雰囲気、真空中等から選ばれた非酸化性
ガス雰囲気である。非酸化性ガス雰囲気の酸素濃度は１
％以下が望ましい。
次に成形、焼成について述べる。
成形はラバープレス法、金型プレス法、スリップキャス
ト法、ドクターブレード法等によシ行なう。成形圧力は
ハンドリング等の点を考えると高い圧力をかけた方が成
形体は崩れにくく、また低温での焼結密度は亮い圧力で
成形した場合の方が緻密化しやすい。これらによシ得ら
れた成形体の焼成は１４００℃以上の非酸化性雰囲気で
行なうことが好ましい。１４００℃未満では窒化アルミ
ニウム粒子が結合しにくいので高強度・島熱伝導率等の
特性は得られない。焼成雰囲気としては、Ｈｅ 、 Ａ
ｒ 、 Ｎ２等の不活性雰囲気、Ｈ２、ｃｏ等の還元性
雰囲気、真空中等から選ばれた非酸化性雰囲気である。
ト法、ドクターブレード法等によシ行なう。成形圧力は
ハンドリング等の点を考えると高い圧力をかけた方が成
形体は崩れにくく、また低温での焼結密度は亮い圧力で
成形した場合の方が緻密化しやすい。これらによシ得ら
れた成形体の焼成は１４００℃以上の非酸化性雰囲気で
行なうことが好ましい。１４００℃未満では窒化アルミ
ニウム粒子が結合しにくいので高強度・島熱伝導率等の
特性は得られない。焼成雰囲気としては、Ｈｅ 、 Ａ
ｒ 、 Ｎ２等の不活性雰囲気、Ｈ２、ｃｏ等の還元性
雰囲気、真空中等から選ばれた非酸化性雰囲気である。
窒化アルミニウムの特性を生かすためにはある程度の強
度と熱伝導率を得ることが必要であシ、好ましくは焼結
体の相対密度が９０％以上でかつ熱伝導率が４０Ｗ／ｍ
Ｋ（アルミナの約２倍）以上とすることである。これを
達成するために１６００８Ｃ以上で焼成するのが良い。
度と熱伝導率を得ることが必要であシ、好ましくは焼結
体の相対密度が９０％以上でかつ熱伝導率が４０Ｗ／ｍ
Ｋ（アルミナの約２倍）以上とすることである。これを
達成するために１６００８Ｃ以上で焼成するのが良い。
焼結体の焼成装置としては抵抗加熱炉、高周波炉等があ
げられるが（ｉ’Ｊらこれらに制約されるものではない
。
げられるが（ｉ’Ｊらこれらに制約されるものではない
。
次に本発明の窒化アルミニウム粉末について説明する。
本発明の窒化アルミニウム粉末は、メカノケミカル効果
によシ表面性状が変化した比表面積の犬なるものであシ
、ＢＥＴ法による比表面積が５ｍ２／ｇ以上のものであ
る。また、本発明の窒化アルミニウム粉末は、その表面
において摩砕によシ結晶子が破壊されているので、Ｃｕ
−にα線によるＸ線回折強度が減少し半価巾が広がって
いるのが特徴である。焼結性に関し顕著な効果が得られ
るのは２１３面のＸ＝回折ピークにおける半価巾が１．
１ｄｅｇ以上である。半価巾が大きいことは窒化アルミ
ニウム粉末自身の格子歪が多いことを意味している。
によシ表面性状が変化した比表面積の犬なるものであシ
、ＢＥＴ法による比表面積が５ｍ２／ｇ以上のものであ
る。また、本発明の窒化アルミニウム粉末は、その表面
において摩砕によシ結晶子が破壊されているので、Ｃｕ
−にα線によるＸ線回折強度が減少し半価巾が広がって
いるのが特徴である。焼結性に関し顕著な効果が得られ
るのは２１３面のＸ＝回折ピークにおける半価巾が１．
１ｄｅｇ以上である。半価巾が大きいことは窒化アルミ
ニウム粉末自身の格子歪が多いことを意味している。
以下本発明を実施例と比較例をあげてさらに具体的に説
明する。
明する。
実施例１
窒化アルミニウム粉（電気化学工業株式会社製「グレー
ドＡＰ−１０Ｊ比衆面積４ ｍ２／ｇ） ５００ｇをア
トライターミルで比表面積がｓ 、、２／ ｇになるま
で酸素濃度１％のＮ２雰囲気下で乾式粉砕し成形用の粉
末を得た。比表面積はＢＥＴ法にて測定した。この粉末
のＣｕ−にα線を用いたＸ線回折による２１３面の半価
巾はＬ５ ｄｅｇであった。この粉末を焼結助剤を加え
ずそのまま２０Ｏｆ］ｋｇ／ｃｒｎ２の圧力で成形した
。得られた成形体を黒鉛抵抗炉にて１９００°Ｃで２Ｈ
ｒ ％ Ｎ２雰囲気下で焼成した。
ドＡＰ−１０Ｊ比衆面積４ ｍ２／ｇ） ５００ｇをア
トライターミルで比表面積がｓ 、、２／ ｇになるま
で酸素濃度１％のＮ２雰囲気下で乾式粉砕し成形用の粉
末を得た。比表面積はＢＥＴ法にて測定した。この粉末
のＣｕ−にα線を用いたＸ線回折による２１３面の半価
巾はＬ５ ｄｅｇであった。この粉末を焼結助剤を加え
ずそのまま２０Ｏｆ］ｋｇ／ｃｒｎ２の圧力で成形した
。得られた成形体を黒鉛抵抗炉にて１９００°Ｃで２Ｈ
ｒ ％ Ｎ２雰囲気下で焼成した。
実施例２
実施例１で用いた成形用の粉末を用い成形圧を４００ｋ
ｇ／ｃＩｎ２とした以外は実施例１と全く同様の方法に
よシ実施した。
ｇ／ｃＩｎ２とした以外は実施例１と全く同様の方法に
よシ実施した。
実施例６
実施例１で用いた成形用の粉末を用い焼成温度を１７５
０℃で６Ｈｒとした以外は実施例２と全く同様の方法に
よシ実施した。
０℃で６Ｈｒとした以外は実施例２と全く同様の方法に
よシ実施した。
実施例４
実施例１で用いた成形用の粉末を用い焼結助剤としてＹ
２Ｏ３を２重ｆ％添加しライカイ機で混合後焼成温度を
１６８００Ｃで６Ｈｒとした以外は実施例２と全く同様
の方法によシ実施した。
２Ｏ３を２重ｆ％添加しライカイ機で混合後焼成温度を
１６８００Ｃで６Ｈｒとした以外は実施例２と全く同様
の方法によシ実施した。
実施例５
実施例１で粉砕に用いた窒化アルミニウム粉（電気化学
工業株式会社製ｒＡＰ−１０Ｊ）５０ＤＩをアトライタ
ーミルで比表面積が５ｒｒＬ２／ｇになるまで酸素濃度
１％のＮ２雰囲気下で乾式粉砕し成形用の粉末を得た。
工業株式会社製ｒＡＰ−１０Ｊ）５０ＤＩをアトライタ
ーミルで比表面積が５ｒｒＬ２／ｇになるまで酸素濃度
１％のＮ２雰囲気下で乾式粉砕し成形用の粉末を得た。
この粉末のＸ線回折による２１３面の半価巾は１．１
ｄｅｇであった。
ｄｅｇであった。
この粉末を用いた以外は実施例４と全く同じ方法により
実施した。
実施した。
比較例１
実施例１で粉砕に用いた窒化アルミニウム粉を粉砕せず
にそのまま成形用の粉末として用いたこと以外は実施例
１と同様の方法によシ実施した。
にそのまま成形用の粉末として用いたこと以外は実施例
１と同様の方法によシ実施した。
この粉砕していない窒化アルミニウム粉のＸ線回折によ
る２１３面の半価巾は１６ロｄｅｇであった。
る２１３面の半価巾は１６ロｄｅｇであった。
比較例２
実施例１で用いた窒化アルミニウム粉を粉砕せずそのま
ま成形用の粉末として用いたこと以外は実施例４と同様
の方法によシ焼成した。
ま成形用の粉末として用いたこと以外は実施例４と同様
の方法によシ焼成した。
比較例６
実施例１と同様の方法で摩砕時間金波じて成形用粉末を
得た。この得られた粉末の比表面積は４．５ｒｎ”７ｇ
であった。またＸ線回折による２１３面の半価巾は１．
１ ｄｅｇであった。この粉末全実施例４と同様の方法
によシ焼成した。
得た。この得られた粉末の比表面積は４．５ｒｎ”７ｇ
であった。またＸ線回折による２１３面の半価巾は１．
１ ｄｅｇであった。この粉末全実施例４と同様の方法
によシ焼成した。
比較例４
最大粒子径が２［］０μｍ程度の粗粉をジェットミルに
よる衝撃粉砕によシ粉砕し成形用粉末を得た。この粉末
の比表面積は５ 、、ｚ／ ｇであった。またＸ線回折
による２１３面の半価巾は１．Ｑｄｅｇであった。この
粉末を実施例４と同様の方法によシ焼成した。
よる衝撃粉砕によシ粉砕し成形用粉末を得た。この粉末
の比表面積は５ 、、ｚ／ ｇであった。またＸ線回折
による２１３面の半価巾は１．Ｑｄｅｇであった。この
粉末を実施例４と同様の方法によシ焼成した。
以上の実施例及び比較例によって得られた焼結体につい
て相対密度と熱伝導率を測定した。それらの結果を第１
表に示す。
て相対密度と熱伝導率を測定した。それらの結果を第１
表に示す。
（１）相対密度：窒化アルミニウム焼結体の理論密度を
計算して相対密度（％〕−（焼結密度 ／理論密度）Ｘｌ ００で算出した。
計算して相対密度（％〕−（焼結密度 ／理論密度）Ｘｌ ００で算出した。
（２）熱伝導率：得られた焼結体を外径１０龍φ厚み６
朋の円柱状に加工しレーザーフラッ シュ法により側定した。熱伝導率測定 機：真空理工（株）製ＴＣ−３０００型本発明の窒化ア
ルミニウム粉末は焼結特性に優れたものであシ焼成温度
の低下および無助剤焼結等が可能となる。その結果、焼
成フローのコスト低減、低温焼成が必要な特殊なフロー
等への対応が容易となる。
朋の円柱状に加工しレーザーフラッ シュ法により側定した。熱伝導率測定 機：真空理工（株）製ＴＣ−３０００型本発明の窒化ア
ルミニウム粉末は焼結特性に優れたものであシ焼成温度
の低下および無助剤焼結等が可能となる。その結果、焼
成フローのコスト低減、低温焼成が必要な特殊なフロー
等への対応が容易となる。
第 １ 表
Claims (2)
- （１）ＢＥＴ法により側定した比表面積が５ｍ＾２／ｇ
以上を有し、かつＣｕ−Ｋα線を用いたＸ線回折法によ
る結晶子の２１３面の半価巾が１．１ｄｅｇ以上である
ことを特徴とする易焼結性窒化アルミニウム粉末。 - （２）窒化アルミニウムを非酸化性ガス雰囲気中で摩砕
処理することを特徴とする第１項記載の易焼結性窒化ア
ルミニウム粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1025736A JP2710385B2 (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 | 易焼結性窒化アルミニウム粉末とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1025736A JP2710385B2 (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 | 易焼結性窒化アルミニウム粉末とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02208212A true JPH02208212A (ja) | 1990-08-17 |
| JP2710385B2 JP2710385B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=12174104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1025736A Expired - Fee Related JP2710385B2 (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 | 易焼結性窒化アルミニウム粉末とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2710385B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6479009A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-24 | Toyo Aluminium Kk | Aluminium nitride powder |
-
1989
- 1989-02-06 JP JP1025736A patent/JP2710385B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6479009A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-24 | Toyo Aluminium Kk | Aluminium nitride powder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2710385B2 (ja) | 1998-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2383638C2 (ru) | Нанокристаллические спеченные тела на основе альфа-оксида алюминия, способ их изготовления, а также применение | |
| WO2018110564A1 (ja) | 窒化ケイ素粉末および窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JPWO2015194552A1 (ja) | 窒化ケイ素粉末、窒化ケイ素焼結体及び回路基板、ならびに窒化ケイ素粉末の製造方法 | |
| JPS6054976A (ja) | 窒化珪素焼結体 | |
| US20110227259A1 (en) | Methods of forming sintered boron carbide | |
| TW202225089A (zh) | 六方晶氮化硼粉末、及燒結體之製造方法 | |
| JPS62100412A (ja) | アルミナ−ジルコニア複合粉体の製造方法 | |
| CN109641802B (zh) | 成形六方氮化硼体、经热处理的六方氮化硼体及其制备方法 | |
| CN109311668B (zh) | 成形六方氮化硼体、用于制备其的六方氮化硼颗粒以及制备其的方法 | |
| JPS62275063A (ja) | 炭化珪素−窒化アルミニウム焼結製品の製造法 | |
| JP2525432B2 (ja) | 常圧焼結窒化硼素系成形体 | |
| JPH02208212A (ja) | 易焼結性窒化アルミニウム粉末とその製造方法 | |
| JPH0312316A (ja) | 窒化ホウ素粉末及びその焼結体 | |
| JPS6081064A (ja) | 炭化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JPS6172610A (ja) | 高密度黒鉛材の製造法 | |
| JP2953003B2 (ja) | 透光性アルミナ原料粉末の製造方法 | |
| JPS61201619A (ja) | 易焼結性アルミナ粉体およびその製造法 | |
| JPH01131069A (ja) | 複合常圧焼結成形体 | |
| JP4958353B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 | |
| JP3237965B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPH01131065A (ja) | 常圧焼結窒化硼素成形体 | |
| JP3112286B2 (ja) | 緻密なマシナブルセラミックスの製造方法 | |
| JP2573720B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造法 | |
| JPS6355114A (ja) | アルファアルミナおよびその製造方法 | |
| JPH01197307A (ja) | 低酸素窒化けい素微粉末とその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |