JPH02205318A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 半導体装置の製造過程で使用される横型の熱処理装置に
関し、 半導体装置の搬送棒の擦れをなくして炉心管をクリーン
な状態に保持することを目的とし、被加熱体を搬送する
搬送棒を、炉心管内に移動可能に貫通させるとともに、
該炉心管から露出する上記搬送棒の両端寄りの底部に移
動用ローラを取り付けたことを含み構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、熱処理装置に関し、より詳しくは、半導体装
置の製造過程で使用される横型の熱処理装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造過程における熱拡散、熱酸化、アニー
ル、シンタリング等の加熱処理は、−ａに横型の加熱炉
中で行われているが、加熱炉に塵埃が侵入して半導体基
板に付着すると、その後の工程で、半導体ウェハに形成
する膜にピンホールが発生したり、月々に凹凸が生じる
といった種りの問題が発生する。

このため、熱処理装置においては、半導体ウェハを出し
入れする部分にクリーンベンチを設け、加熱炉中への塵
埃の侵入を阻止するようにしている。

しかし、横型熱処理装置は、第３図（ａ）に例示するよ
うに、加熱炉３０の炉心管５０中にウェハ５１を入れる
手段として、半導体ウェハ５１を収容した石英容器５２
を片持梁状の搬送棒５３によって搬送するようにしてい
るため、半導体ウェハ５１や石英容器５２の重みにより
搬送棒５３が下方に撓んでしまい、半導体ウェハ５１の
搬送過程においてその先端部分が炉心管５０の内壁と接
触する結果、石英により形成した炉心管５０や搬送棒５
３から削り取られた石英性の塵が炉心管５０内で発生す
るといった問題が生じる。

そこで、この問題を解決するために特開昭６０−２４４
０３０号公報、特開昭６１−５９７２２号公報において
、搬送棒を慴動可能にｉ！３！置する支点を炉心管の先
端近傍に設け、搬送棒の先端が炉心管の内壁に接触する
ことを防ＩＦする装置が、提案されている。

Ｃ発明が解決しようとする課題〕 ところで、前者の装置は第３図（ｂ）に示すように、加
熱炉３１の炉心管５４のウェハ搬送口５５に対して反対
側の閉塞部５６に挿通孔５８を設けてここに搬送棒５７
を挿通させ、この挿通孔５８を支点として搬送棒５７を
支持するようにしているために、搬送棒５７を炉心管５
４から引き出す際に、搬送棒５７の裏面が挿通孔５８に
擦れて石英性の塵埃Ｂが発生し、その塵埃Ｂが炉心管５
４中に入り込むといった不都合がある。

また、後者の装置は第３図（ｃ）に示すように、支点５
９を炉心管６０先端の外部に設けてこの支点５９上で搬
送棒６Ｉを摺動させるもので、加熱炉３２の炉心管６０
の閉塞部６２に設けた挿通孔６３と搬送棒６１が擦れる
ことは避けられるが、外部に設けた支点５９と搬送棒６
１が擦れるために、搬送棒６１の裏面から削がれた石英
性のｍｃの一部がその裏面に付着してしまい、搬送棒６
１を引き出す際に炉心管６０内にａＣが侵入するといっ
た問題がある。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであっ
て、搬送棒の擦れをなくすことができる熱処理装置を提
供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記した！！ｌＢは、被加熱体を搬送する搬送棒（５）
を、加熱炉の炉心管（１）内に移動可能に貫通させると
ともに、該炉心管（１）から露出する上記搬送棒（５）
の両端寄りの底部に移動用ローラ（９，１３）を取り付
けたことを特徴とする熱処理装置により解決する。

〔作　用〕

本発明において、半導体ウェハ等のような被加熱体を搬
送する際には、移動用ローラ（９，１３）を駆動して搬
送棒（５）を移動させる。

ところで、搬送棒（５）は、移動用ローラ（９，１３）
によって一定の高さに支持されるために、加熱炉の炉心
管（１）内を移動する際に他の部材と接触することがな
く、搬送棒（５）の他部材との接触によって発生する塵
埃により炉心管（１）内を汚染するという事態を避ける
ことが可能になる。

したがって、炉心管（１）の中をクリーンな状態に保持
することができる。

（実施例〕 以下に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明の一実施例を示す装置の断面図であっ
て、図中符号１は、周囲を加熱器２によって覆われた石
英よりなる円筒状の炉心管で、開口されたその一端には
、ウェハ３を出し入れするウェハ搬送口４が設けられ、
また、閉塞された他端には、後述する搬送棒５を非接触
状態で挿通ずる挿通口６と、ガス供給ロアが形成されて
いる。

上記した搬送棒５は、ウェハを収納する石英性バスケッ
ト８を炉心管１内に長平方向に搬送するもので、その一
端寄りには、後述するボートローラ９と、ウェハ搬送口
４を閉塞する盟休１０とが端から順に取り付けられ、ま
たそこから中央寄りの位置には、バスケット８をａＸす
るための偏平のＳ！置台１１が一体的に形成されており
、さらに、搬送棒５の他端には、炉心管ｌの閉塞端外方
に設けられた支持台１２上を転がる台車１３が取り付け
られていて、炉心管！の挿通口６を通した搬送棒５を移
動可能に支持するように構成されている。

上記したボートローラ９は、炉心管１のウェハ搬送口４
側に設けられたクリーンベンチ１４内のレール１５上を
摺動するもので、他端に取り付けた台車１３と同様に搬
送棒５を支持するとともに、搬送棒５を炉心管１の長手
方向に移動させ得るように構成されている。

なお、図中符号１６は、炉心管ｌのガス供給ロアにガス
を供給するガス供給器、１７は、装置全体を覆う保護カ
バーを示している。

次に、上記した実施例の動作を第２図に基づいて説明す
る。

まず、第２図（ａ）に示すように、ボートローラ９をレ
ール１５に沿って外方向に移動し、搬送棒５の載置台Ｉ
ＩをクリーンベンチＩ４内に引き出して、ウェハ３を収
納したバスケット８を載置台１１に載せる。

この状態では、搬送棒５に取り付けた台車１３は支持台
１２上を摺動して炉心管１に引き寄せられている。

次に、ボートローラ９を炉心管１に向けて摺動すると、
載置台ｌｌ上のバスケット８が加熱された炉心管ｌ内に
搬送されるとともに、炉心管１のウェハ搬送口４は蓋体
１０によって閉塞される。

この場合に、台車１３は、炉心管１の挿通口６を通した
搬送棒５の端部を支持しながら炉心管１から遠ざかる方
向に支持台１２上を転がることになる（第２図（ｂ））
。

この結果、搬送棒５は挿通口６と接触せず、しかも、炉
心管１の外部においても他の部材と接触することがない
ので、摺動棒５から石英性の塵が発生することはない。

そして、加熱処理を終えた時点で、第２図（Ｃ）に示す
ように、ボートローラ９を炉心管ｌの外方に向けて摺動
させてウェハ３を取り出すと、載置台１１上のバスケッ
ト８がクリーンベンチ１４内に引き出される一方、炉心
管１の挿通口６から露出した搬送棒５は、他の部材と何
ら接触せずに炉心管ｌ内に入り込むために削られること
はなく、炉心管１に石英性の塵埃を搬送することはなく
なる。このため、炉心管１はクリーンな状態に保持され
ることになる。

ところで、上記した実施例では、搬送棒５の端部に台車
１３を取付けるようにしたが、ボートローラを装着する
こともできる。

また、上記した実施例では、バスケットを搬送棒のｕ１
台に載せるようにしたが、バスケットを搬送棒に釣り下
げるようにすることもできる。

なお、上記した炉心管ｌは、ＣＶＤ装置等においては反
応管ともいう。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、搬送棒の両端にロー
ラを取り付けるようにしたので、炉心管を通る搬送棒は
一定の高さに維持されて他の部材と接触することがなく
、搬送棒の接触によって発生する塵埃によや炉心管を汚
染することを阻止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）　、　（ｂ）は、本発明の一実施例を示す
装置の断面図と、この装置に用いる搬送棒の平面図、第
２図（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施例装置の動作説
明図、 第３図（ａ）〜（ｃ）は、従来装置を示す断面図である
。 （符号の説明） ｌ・・・炉心管、 ２・・・加熱器、 ４・・・ウェハ搬送口、 ５・・・搬送棒、 ６・・・挿通口、 ８・・・バスケット、 ９・・・ボートローラ、 １０・・・蓋体、 １１・・・載置台、 １２・・・支持台。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被加熱体を搬送する搬送棒を、炉心管内に移動可能に貫
   通させるとともに、 該加熱管から露出する上記搬送棒の両端寄りの底部に移
   動用ローラを取り付けたことを特徴とする熱処理装置。