JPH0219894B2 - - Google Patents
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- JPH0219894B2 JPH0219894B2 JP55140031A JP14003180A JPH0219894B2 JP H0219894 B2 JPH0219894 B2 JP H0219894B2 JP 55140031 A JP55140031 A JP 55140031A JP 14003180 A JP14003180 A JP 14003180A JP H0219894 B2 JPH0219894 B2 JP H0219894B2
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Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は流動している被測定液体に光を照射し
て発生した光音響を測定する検出器、さらに詳し
くは圧力センサを有するフローセルに被測定液体
を流し、レーザ誘起光のように強い光を照射し、
被測定液体より発する光音響を測定することによ
り、該液体中の溶質成分を非破壊で高感度に測定
できる検出器に関するものである。 〔従来の技術〕 一般に吸光物質は光を吸収すると螢光又は熱の
形で吸収したエネルギーを放出する。
て発生した光音響を測定する検出器、さらに詳し
くは圧力センサを有するフローセルに被測定液体
を流し、レーザ誘起光のように強い光を照射し、
被測定液体より発する光音響を測定することによ
り、該液体中の溶質成分を非破壊で高感度に測定
できる検出器に関するものである。 〔従来の技術〕 一般に吸光物質は光を吸収すると螢光又は熱の
形で吸収したエネルギーを放出する。
従来光音響検出法はコンデンサーマイクロホン
をセンサとして気体試料、固体試料に多く応用さ
れている。しかし液体試料の場合直接接触させる
ことができないため、気体など媒体が必要となる
が、被測定液体―気体界面で音響インピーダンス
の不整合のため光音響信号が減衰してしまう。又
高速液体クロマトグラフイなどで使用されるよう
に、液体がフロー状態である場合は試料の光音響
信号以外の圧力変化もあり更に困難であり未だ報
告されていない。 しかも液体クロマトグラフイー用セルの場合フ
ロー状態で測定しなければならないため、液体の
入口、出口が必要であり液体を気密にすることは
できない。かつ出口側配管が存在するためその配
管抵抗があり必ずセル内には圧力がかかつてい
る。従つて通常の測定法では高感度に測定するの
は極めて困難である。また液体はポンプで輪液さ
れているため脈流による外部からの振動が音波が
存在している。次に高速液体クロマトグラフイー
の光音響検出セルの場合物質の分離の理由で微少
セルである必要がある（例えば１mmφのセル）。
従つてこれは出入口の配管（例0.2〜0.6mmφ）に
対し充分大きくないため光音響エネルギーは出入
口を通し逃げてしまう。またセルの容量が小さい
ためにセンサーの受音面積も大きくとることがで
きない。このような理由によりフローセルで高感
度に光音響検出することは極めて困難である。 〔問題点を解決するための手段〕 そこで本発明者は静止状態あるいは密封状態で
なくフロー状態にある液体試料の光音響の高感度
検出を可能としてフロー型光音響検出器を提供す
べく研究の結果、本発明に至つたものである。 本発明の要旨とする所は試料セルと、この試料
セル中でフロー状態にある液体試料に光を照射す
る光源と、上記液体試料の圧力変化を検出する検
出器を備えた光音響検出装置において、前記の試
料セルはその１組の相対する２側面が夫々透光性
窓板で形成されまたその他の１組の相対する２側
面が薄膜およびブロツクで形成され、かつ上記の
薄膜はその外側に圧力センサを密着せしめて検出
端に構成すると共に該ブロツクには前記試料液体
の入出口に夫々接続される導通孔を有し、上記の
試料セル内では上記の薄膜とブロツクの間で一方
の透光性窓板から他方の透光性窓板に至る入射光
線の光路に沿つてフロー状態にある液体試料の流
路が形成されていることを特徴とするフロー型光
音響検出器に存するものである。 本発明の最も大きな特徴は光音響信号をよりロ
スが少なく減衰せずに圧力センサで受音できるよ
うに薄膜を介したことであり、これにより圧力セ
ンサの液体試料による腐蝕も回避している。 又本発明では上記の薄膜に対するブロツクに液
体試料の入出口に接続される導通孔を設け上記の
薄膜とブロツクとの間でフロー状態にある液体試
料のセル内での流れに乱れを少なくした流路を形
成したことも大きな特徴であり、この流路の他の
両側を透光性窓板で形成することによつて入射光
の光路に沿つて上記の流路を構成せしめて所期の
目的を収めている。 〔作用〕 第１図は本発明の検出器における光学系の構成
概略図を示す。 本発明の検出器の主たる部分は光源部１及びセ
ンサを含むフローセル４よりなり、光源部１より
の入射光はフローセル４内の被測定液体を照射
し、発生した光音響はフローセル４構成部内のセ
ンサにより検出される。 本発明に用いる光源としてはレーザ光が特に好
ましいが、水銀ランプの輝線、キセノンランプの
光等も用いることが可能であり、レーザ光は可視
光でも紫外光でも用いることができる。 又、本発明に使用されうるセンサとしては圧電
セラミツクスその他の圧電素子などの圧力センサ
が有利に用いることができる。 又、本発明を液体クロマトグラフイ用検出器に
適用する場合、検出器内のフローセルの容量を
300μ以下とするのが好ましい。 本発明の実施においてフロー状態の被測定液体
の流動流速には特に制約されるものではないが、
液体クロマトグラフイ用検出器の場合には0.1
cm3／min〜50cm3／minの範囲で有利に用いられ
る。 モニタ用の場合には上記の流速でフローセルの
容積を10cm3以下とするのが好ましい。 〔実施例〕 第２図はフローセル４の拡大断面図を示すが、
第２図における流路２１は上下面で薄膜１３と金
属ブロツク１９が相対し、その左右両側面を入光
窓板である石英窓板１４，１４′で形成し、これ
らを締付金具２０でそれぞれシールを介して挾持
してセルに組立てている。 前記薄膜１３は穿孔された貫通孔を有する他の
金属ブロツク１８の底部に接着され、かつ金属ブ
ロツク１８の穿孔された貫通孔内にセンサである
圧電セラミツクス１２を密着し、この圧電セラミ
ツクス１２は金属ブロツク１８の上部に接続され
た接合端子８の先端と銅線１０で接続され、かつ
この接続端子８でテフロン管９およびシール用ゴ
ム１１を介して固定されている。他方前記金属ブ
ロツク１９は、薄膜１３と相対した面に穿孔され
た導通孔を有し、それぞれ液体の入出口１６，１
７に接続されているものである。 次に、第１図および第２図に基づいて流路内で
発生した被測定液体より光音響の検出について簡
単に説明する。 光源部１よりのレーザ光は音響光学フイルタ方
式変調器２により任意の周波数に変調され、レン
ズ３において集光した後、入射光として石英窓板
１４を通過後、液体入口１６より液体出口１７に
フローしている被測定液体を連続的に照射する。
このセル内で発生した光音響は薄膜１３に密着設
置された圧電セラミツクス１２により検出され、
ロツクイン増幅器５によつて増幅後記録する。こ
のとき、ロツクイン増幅器５などの位相検出増幅
器は光の変調周波数に同期した信号のみを取り出
し増幅しているが、高速液体クロマトグラフイな
どフロー状態で使用する場合送液ポンプなどによ
る外部雑音を消去するためには任意の周波数で光
を変調できることが望ましい。照射する光源が繰
り返し周波数に比較し極めて短いパルス幅のパル
スレーザの場合、照射後一定時間の信号を測定で
きるボツクスカーインテグレータなどを使用す
る。フロー状態の被測定液体がセル内での流れの
乱れが少ないことが望ましく、薄膜は表面が滑ら
かでありかつ化学的に安定性のある金、白金など
の物質の使用が望ましい。 〔発明の効果〕 このような構成をとることにより、本発明の検
出器は流動している被測定液体中の溶質の有無又
は溶質の濃度等を検出するために有利に用いら
れ、特に液体クロマトグラフイ用検出器その他フ
ロー状態のモニターとして用いることができる。 又、液体クロマトグラフイ用検出器として用い
た場合の効果について説明すれば次の通りであ
る。 第３図に該検出器を高速液体クロマトグラフイ
システムに接続し、入射光の変調周波数を変化さ
せた場合の信号、雑音、信号雑音比（Ｓ／Ｎ比）
の変化を測定した結果を示す。第３図において信
号は変調周波数約300ヘルツで最大となるが、こ
の領域では雑音も大きく信号雑音比（Ｓ／Ｎ比）
は５キロヘルツ付近で最大となることを示してい
る。従つてフロー状態での測定では送液ポンプな
どによる種々の周波数の外部雑音が存在すること
が多く、任意の入射光周波数を選択できる機構を
有することにより感度を上昇させることができる
ことを明らかにしている。 第４図に高速液体クロマトグラフイ用検出器と
して汎用されている可視吸収検出器と直列に接続
し同時測定し、感度を比較したクロマトグラムを
示す。 測定条件は下記に示す。 ＜送液ポンプ＞ 東洋曹達工業(株)製 HLC―805型液体クロマトグラフ ＜カラム＞ 東洋曹達工業(株)製 TSK―GEL LS 410 ODS SILを充填した内径
４mm×長さ300mmのステンレスカラム ＜試 料＞ (1) 2′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン (2) 3′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン (3) 4′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン ＜試料注入量＞ 3ng ＜可視吸収検出器＞ 測定波長 488nm ＜光音響検出器＞ 測定波長 488nm 変調周波数 4035Hz ＜測定流速＞ 1.0ml／min ＜溶離液＞ メタノール 第４図において検出器は可視吸収検出器に比較
し、10倍以上の信号雑音比（Ｓ／Ｎ比）が得ら
れ、この測定結果では10倍以上の感度を有するこ
とが示されている。 第５図に第４図の際と同様の条件で試料量を
１／30（各100pg）を注入して得られたクロマト
グラムを示す。 紫外線吸収検出器及び光音響検出器によるベー
スラインの雑音をほぼ同程度に検出器感度を設定
し、第４図の試料群を微量（各100pg）注入し両
検出器によるクロマトグラムを測定すると可視吸
収検出器ではわずかにピークが認められる程度で
あるが、光音響検出器では定量が可能であること
を示している。
をセンサとして気体試料、固体試料に多く応用さ
れている。しかし液体試料の場合直接接触させる
ことができないため、気体など媒体が必要となる
が、被測定液体―気体界面で音響インピーダンス
の不整合のため光音響信号が減衰してしまう。又
高速液体クロマトグラフイなどで使用されるよう
に、液体がフロー状態である場合は試料の光音響
信号以外の圧力変化もあり更に困難であり未だ報
告されていない。 しかも液体クロマトグラフイー用セルの場合フ
ロー状態で測定しなければならないため、液体の
入口、出口が必要であり液体を気密にすることは
できない。かつ出口側配管が存在するためその配
管抵抗があり必ずセル内には圧力がかかつてい
る。従つて通常の測定法では高感度に測定するの
は極めて困難である。また液体はポンプで輪液さ
れているため脈流による外部からの振動が音波が
存在している。次に高速液体クロマトグラフイー
の光音響検出セルの場合物質の分離の理由で微少
セルである必要がある（例えば１mmφのセル）。
従つてこれは出入口の配管（例0.2〜0.6mmφ）に
対し充分大きくないため光音響エネルギーは出入
口を通し逃げてしまう。またセルの容量が小さい
ためにセンサーの受音面積も大きくとることがで
きない。このような理由によりフローセルで高感
度に光音響検出することは極めて困難である。 〔問題点を解決するための手段〕 そこで本発明者は静止状態あるいは密封状態で
なくフロー状態にある液体試料の光音響の高感度
検出を可能としてフロー型光音響検出器を提供す
べく研究の結果、本発明に至つたものである。 本発明の要旨とする所は試料セルと、この試料
セル中でフロー状態にある液体試料に光を照射す
る光源と、上記液体試料の圧力変化を検出する検
出器を備えた光音響検出装置において、前記の試
料セルはその１組の相対する２側面が夫々透光性
窓板で形成されまたその他の１組の相対する２側
面が薄膜およびブロツクで形成され、かつ上記の
薄膜はその外側に圧力センサを密着せしめて検出
端に構成すると共に該ブロツクには前記試料液体
の入出口に夫々接続される導通孔を有し、上記の
試料セル内では上記の薄膜とブロツクの間で一方
の透光性窓板から他方の透光性窓板に至る入射光
線の光路に沿つてフロー状態にある液体試料の流
路が形成されていることを特徴とするフロー型光
音響検出器に存するものである。 本発明の最も大きな特徴は光音響信号をよりロ
スが少なく減衰せずに圧力センサで受音できるよ
うに薄膜を介したことであり、これにより圧力セ
ンサの液体試料による腐蝕も回避している。 又本発明では上記の薄膜に対するブロツクに液
体試料の入出口に接続される導通孔を設け上記の
薄膜とブロツクとの間でフロー状態にある液体試
料のセル内での流れに乱れを少なくした流路を形
成したことも大きな特徴であり、この流路の他の
両側を透光性窓板で形成することによつて入射光
の光路に沿つて上記の流路を構成せしめて所期の
目的を収めている。 〔作用〕 第１図は本発明の検出器における光学系の構成
概略図を示す。 本発明の検出器の主たる部分は光源部１及びセ
ンサを含むフローセル４よりなり、光源部１より
の入射光はフローセル４内の被測定液体を照射
し、発生した光音響はフローセル４構成部内のセ
ンサにより検出される。 本発明に用いる光源としてはレーザ光が特に好
ましいが、水銀ランプの輝線、キセノンランプの
光等も用いることが可能であり、レーザ光は可視
光でも紫外光でも用いることができる。 又、本発明に使用されうるセンサとしては圧電
セラミツクスその他の圧電素子などの圧力センサ
が有利に用いることができる。 又、本発明を液体クロマトグラフイ用検出器に
適用する場合、検出器内のフローセルの容量を
300μ以下とするのが好ましい。 本発明の実施においてフロー状態の被測定液体
の流動流速には特に制約されるものではないが、
液体クロマトグラフイ用検出器の場合には0.1
cm3／min〜50cm3／minの範囲で有利に用いられ
る。 モニタ用の場合には上記の流速でフローセルの
容積を10cm3以下とするのが好ましい。 〔実施例〕 第２図はフローセル４の拡大断面図を示すが、
第２図における流路２１は上下面で薄膜１３と金
属ブロツク１９が相対し、その左右両側面を入光
窓板である石英窓板１４，１４′で形成し、これ
らを締付金具２０でそれぞれシールを介して挾持
してセルに組立てている。 前記薄膜１３は穿孔された貫通孔を有する他の
金属ブロツク１８の底部に接着され、かつ金属ブ
ロツク１８の穿孔された貫通孔内にセンサである
圧電セラミツクス１２を密着し、この圧電セラミ
ツクス１２は金属ブロツク１８の上部に接続され
た接合端子８の先端と銅線１０で接続され、かつ
この接続端子８でテフロン管９およびシール用ゴ
ム１１を介して固定されている。他方前記金属ブ
ロツク１９は、薄膜１３と相対した面に穿孔され
た導通孔を有し、それぞれ液体の入出口１６，１
７に接続されているものである。 次に、第１図および第２図に基づいて流路内で
発生した被測定液体より光音響の検出について簡
単に説明する。 光源部１よりのレーザ光は音響光学フイルタ方
式変調器２により任意の周波数に変調され、レン
ズ３において集光した後、入射光として石英窓板
１４を通過後、液体入口１６より液体出口１７に
フローしている被測定液体を連続的に照射する。
このセル内で発生した光音響は薄膜１３に密着設
置された圧電セラミツクス１２により検出され、
ロツクイン増幅器５によつて増幅後記録する。こ
のとき、ロツクイン増幅器５などの位相検出増幅
器は光の変調周波数に同期した信号のみを取り出
し増幅しているが、高速液体クロマトグラフイな
どフロー状態で使用する場合送液ポンプなどによ
る外部雑音を消去するためには任意の周波数で光
を変調できることが望ましい。照射する光源が繰
り返し周波数に比較し極めて短いパルス幅のパル
スレーザの場合、照射後一定時間の信号を測定で
きるボツクスカーインテグレータなどを使用す
る。フロー状態の被測定液体がセル内での流れの
乱れが少ないことが望ましく、薄膜は表面が滑ら
かでありかつ化学的に安定性のある金、白金など
の物質の使用が望ましい。 〔発明の効果〕 このような構成をとることにより、本発明の検
出器は流動している被測定液体中の溶質の有無又
は溶質の濃度等を検出するために有利に用いら
れ、特に液体クロマトグラフイ用検出器その他フ
ロー状態のモニターとして用いることができる。 又、液体クロマトグラフイ用検出器として用い
た場合の効果について説明すれば次の通りであ
る。 第３図に該検出器を高速液体クロマトグラフイ
システムに接続し、入射光の変調周波数を変化さ
せた場合の信号、雑音、信号雑音比（Ｓ／Ｎ比）
の変化を測定した結果を示す。第３図において信
号は変調周波数約300ヘルツで最大となるが、こ
の領域では雑音も大きく信号雑音比（Ｓ／Ｎ比）
は５キロヘルツ付近で最大となることを示してい
る。従つてフロー状態での測定では送液ポンプな
どによる種々の周波数の外部雑音が存在すること
が多く、任意の入射光周波数を選択できる機構を
有することにより感度を上昇させることができる
ことを明らかにしている。 第４図に高速液体クロマトグラフイ用検出器と
して汎用されている可視吸収検出器と直列に接続
し同時測定し、感度を比較したクロマトグラムを
示す。 測定条件は下記に示す。 ＜送液ポンプ＞ 東洋曹達工業(株)製 HLC―805型液体クロマトグラフ ＜カラム＞ 東洋曹達工業(株)製 TSK―GEL LS 410 ODS SILを充填した内径
４mm×長さ300mmのステンレスカラム ＜試 料＞ (1) 2′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン (2) 3′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン (3) 4′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン ＜試料注入量＞ 3ng ＜可視吸収検出器＞ 測定波長 488nm ＜光音響検出器＞ 測定波長 488nm 変調周波数 4035Hz ＜測定流速＞ 1.0ml／min ＜溶離液＞ メタノール 第４図において検出器は可視吸収検出器に比較
し、10倍以上の信号雑音比（Ｓ／Ｎ比）が得ら
れ、この測定結果では10倍以上の感度を有するこ
とが示されている。 第５図に第４図の際と同様の条件で試料量を
１／30（各100pg）を注入して得られたクロマト
グラムを示す。 紫外線吸収検出器及び光音響検出器によるベー
スラインの雑音をほぼ同程度に検出器感度を設定
し、第４図の試料群を微量（各100pg）注入し両
検出器によるクロマトグラムを測定すると可視吸
収検出器ではわずかにピークが認められる程度で
あるが、光音響検出器では定量が可能であること
を示している。
第１図は検出器における光学系の構成概略図、
第２図はフローセルの拡大断面図、第３図は音響
光学フイルタ方式変調器の変調周波数に対する信
号、雑音、信号雑音比（Ｓ／Ｎ）の変化の測定
図、第４図は高速液体クロマトグラフイの汎用検
出器である可視吸収検出器と同時に測定して得ら
れたクロマトグラム、第５図は可視吸収検出器と
光音響検出器のベースラインノイズをほぼ等しく
して測定して得られたクロマトグラムを示す。 １……光源部、２……音響光学フイルタ方式変
調器、３……レンズ、４……フローセル、５……
ロツクイン増幅器、６……発生器、７……記録
計、８……接合端子、９……テフロン管、１０…
…銅線、１１……シール用ゴム、１２……圧電セ
ラミツクス、１３……薄膜（厚さ0.1mm）、１４，
１４′……石英窓板、１５……シール、１６……
被測定液体流入口、１７……被測定液体流出口、
１８……金属ブロツク、１９……金属ブロツク、
２０……締付金具、２１……流路。 (1) 2′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン (2) 3′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン (3) 4′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン。
第２図はフローセルの拡大断面図、第３図は音響
光学フイルタ方式変調器の変調周波数に対する信
号、雑音、信号雑音比（Ｓ／Ｎ）の変化の測定
図、第４図は高速液体クロマトグラフイの汎用検
出器である可視吸収検出器と同時に測定して得ら
れたクロマトグラム、第５図は可視吸収検出器と
光音響検出器のベースラインノイズをほぼ等しく
して測定して得られたクロマトグラムを示す。 １……光源部、２……音響光学フイルタ方式変
調器、３……レンズ、４……フローセル、５……
ロツクイン増幅器、６……発生器、７……記録
計、８……接合端子、９……テフロン管、１０…
…銅線、１１……シール用ゴム、１２……圧電セ
ラミツクス、１３……薄膜（厚さ0.1mm）、１４，
１４′……石英窓板、１５……シール、１６……
被測定液体流入口、１７……被測定液体流出口、
１８……金属ブロツク、１９……金属ブロツク、
２０……締付金具、２１……流路。 (1) 2′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン (2) 3′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン (3) 4′―クロロ―４―（ジメチルアミノ）アゾベ
ンゼン。
Claims (1)
- １ 試料セルと、この試料セル中でフロー状態に
ある液体試料に光を照射する光源と、上記液体試
料の圧力変化を検出する検出器を備えた光音響検
出装置において、前記の試料セルはその１組の相
対する２側面が夫々透光性窓板で形成されまたそ
の他の１組の相対する２側面が薄膜およびブロツ
クで形成され、かつ上記の薄膜はその外側に圧力
センサを密着せしめて検出端に構成すると共に該
ブロツクには前記試料液体の入出口に夫々接続さ
れる導通孔を有し、上記の試料セル内では上記の
薄膜とブロツクの間で一方の透光性窓板から他方
の透光性窓板に至る入射光線の光路に沿つてフロ
ー状態にある液体試料の流路が形成されているこ
とを特徴とするフロー型光音響検出器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55140031A JPS5764145A (en) | 1980-10-07 | 1980-10-07 | Flow type optoacoustic detector |
| DE19813139917 DE3139917A1 (de) | 1980-10-07 | 1981-10-07 | "photoakustischer durchflussdetektor" |
| GB8130315A GB2089041B (en) | 1980-10-07 | 1981-10-07 | A flow type photoacoustic detector |
| CA000387513A CA1186402A (en) | 1980-10-07 | 1981-10-07 | Flow type photoacoustic detector |
| FR8118854A FR2491623B1 (fr) | 1980-10-07 | 1981-10-07 | Detecteur photoacoustique a circulation pour analyse de solutions |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55140031A JPS5764145A (en) | 1980-10-07 | 1980-10-07 | Flow type optoacoustic detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5764145A JPS5764145A (en) | 1982-04-19 |
| JPH0219894B2 true JPH0219894B2 (ja) | 1990-05-07 |
Family
ID=15259340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55140031A Granted JPS5764145A (en) | 1980-10-07 | 1980-10-07 | Flow type optoacoustic detector |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5764145A (ja) |
| CA (1) | CA1186402A (ja) |
| DE (1) | DE3139917A1 (ja) |
| FR (1) | FR2491623B1 (ja) |
| GB (1) | GB2089041B (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5946839A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-16 | Hitachi Ltd | 液体用光音響分析装置 |
| JPS61102541A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-21 | Hitachi Ltd | 液体中の不純物分析方法および装置 |
| US4622845A (en) * | 1985-03-21 | 1986-11-18 | Westinghouse Electric Corp. | Method and apparatus for the detection and measurement of gases |
| JPS6224129A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-02-02 | Hitachi Ltd | 濃縮分析法及びその装置 |
| DE3707622A1 (de) * | 1987-03-10 | 1988-09-22 | Pierburg Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum messen geringer gaskonzentrationen |
| US5125749A (en) * | 1990-09-24 | 1992-06-30 | The Dow Chemical Company | Probe for photoacoustic analysis |
| DE4225395A1 (de) * | 1992-07-29 | 1994-02-03 | Johannisthaler Forschungstechn | Anordnung zur photoakustischen Spektroskopie |
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| US5900533A (en) * | 1995-08-03 | 1999-05-04 | Trw Inc. | System and method for isotope ratio analysis and gas detection by photoacoustics |
| DE19602048C2 (de) * | 1996-01-20 | 1999-07-01 | Karlsruhe Forschzent | Druckwellensensor |
| DE19744500A1 (de) * | 1997-10-09 | 1999-04-15 | Abb Research Ltd | Photoakustische Freifall-Messzelle |
| FR2775344B1 (fr) * | 1998-02-20 | 2000-05-12 | Compucal | Dispositif de mesure de concentration moleculaire sans intrusion dans des produits tels que des fruits et legumes |
| DE10012395B4 (de) * | 2000-03-15 | 2010-04-29 | Abb Research Ltd. | Durchflussmesser |
| JP5525808B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-06-18 | 株式会社堀場製作所 | 磁気圧力式酸素分析計 |
| SG186951A1 (en) | 2010-07-08 | 2013-02-28 | Halliburton Energy Serv Inc | Method and system of determining constituent components of a fluid sample |
| WO2015097251A2 (en) * | 2013-12-23 | 2015-07-02 | Eric Chevalier | Vibrating medical device for minimally invasive procedures |
| CN103822877B (zh) * | 2014-02-27 | 2016-11-02 | 同济大学 | 一种便携式非线性光声成像系统及光声成像方法 |
| CN109283255B (zh) * | 2018-08-06 | 2020-05-22 | 浙江大学 | 一种气力输送过程中输送流型的检测方法 |
| EP3859307A1 (en) * | 2020-01-28 | 2021-08-04 | Infineon Technologies AG | Light emitting structure, photo-acoustic spectroscopy sensing device, method for operating a photo-acoustic spectroscopy sensing device and apparatus for obtaining an information about a target gas |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3836950A (en) * | 1970-03-05 | 1974-09-17 | Trw Inc | Acousto-optical multi-constituent flow monitoring method and apparatus |
| US3646313A (en) * | 1970-04-08 | 1972-02-29 | Gilford Instr Labor Inc | Temperature controlled flow cell |
| US3762197A (en) * | 1970-09-14 | 1973-10-02 | Phillips Petroleum Co | Acoustical detecting apparatus |
| US3820901A (en) * | 1973-03-06 | 1974-06-28 | Bell Telephone Labor Inc | Measurement of concentrations of components of a gaseous mixture |
| US3948345A (en) * | 1973-06-15 | 1976-04-06 | Allan Rosencwaig | Methods and means for analyzing substances |
| JPS5459188A (en) * | 1977-10-19 | 1979-05-12 | Nec Corp | Infrared spectrophotometer apparatus of gas chromatography |
| US4200399A (en) * | 1978-11-20 | 1980-04-29 | General Motors Corporation | Resonant optoacoustic spectroscopy apparatus |
-
1980
- 1980-10-07 JP JP55140031A patent/JPS5764145A/ja active Granted
-
1981
- 1981-10-07 DE DE19813139917 patent/DE3139917A1/de active Granted
- 1981-10-07 FR FR8118854A patent/FR2491623B1/fr not_active Expired
- 1981-10-07 CA CA000387513A patent/CA1186402A/en not_active Expired
- 1981-10-07 GB GB8130315A patent/GB2089041B/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2089041A (en) | 1982-06-16 |
| GB2089041B (en) | 1984-05-31 |
| DE3139917C2 (ja) | 1989-05-24 |
| FR2491623A1 (fr) | 1982-04-09 |
| JPS5764145A (en) | 1982-04-19 |
| CA1186402A (en) | 1985-04-30 |
| FR2491623B1 (fr) | 1985-06-28 |
| DE3139917A1 (de) | 1982-06-24 |
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