JPH02173534A - 温度測定装置 - Google Patents
温度測定装置Info
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- JPH02173534A JPH02173534A JP33000088A JP33000088A JPH02173534A JP H02173534 A JPH02173534 A JP H02173534A JP 33000088 A JP33000088 A JP 33000088A JP 33000088 A JP33000088 A JP 33000088A JP H02173534 A JPH02173534 A JP H02173534A
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- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 11
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000000747 cardiac effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、主に工業計器等として使用される温度測定装
置に関し、特に、温度変化による電気特性の変化を伴う
測温素子を備えた温度測定装置に関する。
置に関し、特に、温度変化による電気特性の変化を伴う
測温素子を備えた温度測定装置に関する。
〔従来の技術］
従来、炉等の温度を測定するための工業計器等として使
用される温度測定装置は、熱転対あるいは測温抵抗体を
用い、その温度変化による電気特性の変化を電気信号等
に変換して被測定部の測定温度データを得ている。
用される温度測定装置は、熱転対あるいは測温抵抗体を
用い、その温度変化による電気特性の変化を電気信号等
に変換して被測定部の測定温度データを得ている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来の温度測定装置は、ｉｌｌ温素子の
経年変化による出力のドリフトを考慮しておらず、その
ため、しばしば温度−出力特性を調整したにもかかわら
ず、経年ドリフトによって測定温度データに誤差が生じ
てしまい、調整が面倒になり、またメンテナンスが頻繁
に必要となるなどという問題点を有していた。
経年変化による出力のドリフトを考慮しておらず、その
ため、しばしば温度−出力特性を調整したにもかかわら
ず、経年ドリフトによって測定温度データに誤差が生じ
てしまい、調整が面倒になり、またメンテナンスが頻繁
に必要となるなどという問題点を有していた。
そこで、本発明は、上記の従来技術における問題点に鑑
み、測温素子の経年変化による出力のドリフトを考慮し
ながらその出力を補正し、もって、長期の使用において
もその出力誤差の少ない優れた温度測定装置を提供する
ことにある。
み、測温素子の経年変化による出力のドリフトを考慮し
ながらその出力を補正し、もって、長期の使用において
もその出力誤差の少ない優れた温度測定装置を提供する
ことにある。
［課題を解決するための手段］
上記の本発明の目的は、温度変化による電気特性の変化
を伴うＨ！１１温素子と、この測温素子の電気特性の変
動を温度測定値に変換する温度変換手段を備えてなる温
度測定装置において、複数の測温素子からの出力信号の
うち−または二辺上の出力信号を選択する選択手段と、
上記複数の測温素子の個別的な温度−出力の相関特性を
記憶する温度−出力特性記憶手段と、この温度−出力の
相関特性を基に上記選択手段で選択された出力信号を温
度データに変換する温度変換手段と、上記複数の測温素
子の個別的な経年ドリフトに伴う時間−ドリフト量の相
関特性を記憶する時間−ドリフト相関特性記憶手段と、
この時間−ドリフＩｌｌの相関特性を基に上記温度変換
手段から出力される温度データを補正する補正手段とを
備えたことを特徴とする温度測定装置によって達成され
る。
を伴うＨ！１１温素子と、この測温素子の電気特性の変
動を温度測定値に変換する温度変換手段を備えてなる温
度測定装置において、複数の測温素子からの出力信号の
うち−または二辺上の出力信号を選択する選択手段と、
上記複数の測温素子の個別的な温度−出力の相関特性を
記憶する温度−出力特性記憶手段と、この温度−出力の
相関特性を基に上記選択手段で選択された出力信号を温
度データに変換する温度変換手段と、上記複数の測温素
子の個別的な経年ドリフトに伴う時間−ドリフト量の相
関特性を記憶する時間−ドリフト相関特性記憶手段と、
この時間−ドリフＩｌｌの相関特性を基に上記温度変換
手段から出力される温度データを補正する補正手段とを
備えたことを特徴とする温度測定装置によって達成され
る。
［作 用コ
すなわち、上記の本発明になる温度ｉｕ１＋定装置によ
れば、測温素子の個別的な経年ドリフトに伴う時間−ド
リフト■の相関特性を記憶する時間−ドリフト相関特性
記憶手段と、この時間−ドリフト量の相関特性を基？こ
、温度変換手段から出力される温度データを補正する補
正手段とを備えたことにより、測温素子の経年ドリフト
を補償し、長期の使用にしても出力誤差を生じない温度
測定装置を提供することが出来る。
れば、測温素子の個別的な経年ドリフトに伴う時間−ド
リフト■の相関特性を記憶する時間−ドリフト相関特性
記憶手段と、この時間−ドリフト量の相関特性を基？こ
、温度変換手段から出力される温度データを補正する補
正手段とを備えたことにより、測温素子の経年ドリフト
を補償し、長期の使用にしても出力誤差を生じない温度
測定装置を提供することが出来る。
［実 施 例］
以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
先ず、第２図には、本発明の実施例である温度測定装置
に使用されるＪ１１１１０００４１造が示されている。
に使用されるＪ１１１１０００４１造が示されている。
この測温部ｌは、例えばシース型熱価対を利用した複数
の測温素子（この実施例では３個）を備えている。すな
わち、図にも明らかなように、このシース型熱価対のシ
ースｌＯの内部には３対の熱価対１１． １２．１．３
が内蔵されている。また、図中、符号１４は上記シース
１０を高温、高圧、震動などから保護するために使用さ
れるいわゆるウェルであり、符号１５は上記シース型熱
価対のコネクタであり、そして符号１６は上記コネクタ
１５のヘッド部である。
の測温素子（この実施例では３個）を備えている。すな
わち、図にも明らかなように、このシース型熱価対のシ
ースｌＯの内部には３対の熱価対１１． １２．１．３
が内蔵されている。また、図中、符号１４は上記シース
１０を高温、高圧、震動などから保護するために使用さ
れるいわゆるウェルであり、符号１５は上記シース型熱
価対のコネクタであり、そして符号１６は上記コネクタ
１５のヘッド部である。
次に、第１図には、本発明の実施例である温度測定装置
の回路等がブロック図によって示されている。図におい
て、上記第２図に示した３対の熱価対ＩＩ、１２．１３
が並列に温度変換回路５０に、より具体的には、上記温
度変換回路５０の出力選択回路５１ ？、：電気的に接
続されている。この出力選択回路５１は、上記３対の熱
価対ｌＬ１２．１３の出力電圧をそれぞれ比較し、その
中の一つの出力が他の二つの出力よりも所定の値だけ離
れていた場合、その熱価対を故障と判断し、素子異核信
号０ＵＴａｂを発生してその故障状態を表示する。また
、この出力選択回路５１は、異状信号がない場合には三
つの出力の中から任意に一つを選択して後段に出力する
ものである。さらに、この出力選択回路５１にはＡ／Ｄ
変換器が内蔵されでおり、後段に出力される出力信号は
ディジタル信号である。
の回路等がブロック図によって示されている。図におい
て、上記第２図に示した３対の熱価対ＩＩ、１２．１３
が並列に温度変換回路５０に、より具体的には、上記温
度変換回路５０の出力選択回路５１ ？、：電気的に接
続されている。この出力選択回路５１は、上記３対の熱
価対ｌＬ１２．１３の出力電圧をそれぞれ比較し、その
中の一つの出力が他の二つの出力よりも所定の値だけ離
れていた場合、その熱価対を故障と判断し、素子異核信
号０ＵＴａｂを発生してその故障状態を表示する。また
、この出力選択回路５１は、異状信号がない場合には三
つの出力の中から任意に一つを選択して後段に出力する
ものである。さらに、この出力選択回路５１にはＡ／Ｄ
変換器が内蔵されでおり、後段に出力される出力信号は
ディジタル信号である。
上記出力選択回路５Ｉにおいて選択されたつの出力は、
上記測温素子としての熱価対の個別的な温度−出力の相
関特性を記憶した熱起電力温度補正回路５２に人力され
る。この個別の温度−出力特性を記憶した温度補正デー
タ５３は、対応する上記測温素子個別の熱起電力と温度
との相関特性を予め記憶し、上記測温素子からの出力を
パラメータとして対応するβ度出力を発生するものであ
る。そして、この熱転“心力温度補正回路５２は、例え
ばその人力信号に対応した出力値を予め記憶したいわゆ
るルックアップテーブル５３で構成されており、具体的
には、上記出力選択回路５１からの出力に対応した温度
出力をその出力端に出力する。さらに、この熱起電力温
度補正回路５２には、ドリフト補正回路５６が並列に接
続されている。このドリフト補正回路５６は、上記の補
正回路と同様に、上記の３対の熱価対１１，１２．１３
の経年変化に伴う出力電圧のドリフトｆｆｉが予め記憶
されており、経過した時間をパラメータとしてその経過
時間に対応した出力電圧のドリフト慴がアクセス出来る
様に、例えばルックアップテーブル５４で構成されてい
る。
上記測温素子としての熱価対の個別的な温度−出力の相
関特性を記憶した熱起電力温度補正回路５２に人力され
る。この個別の温度−出力特性を記憶した温度補正デー
タ５３は、対応する上記測温素子個別の熱起電力と温度
との相関特性を予め記憶し、上記測温素子からの出力を
パラメータとして対応するβ度出力を発生するものであ
る。そして、この熱転“心力温度補正回路５２は、例え
ばその人力信号に対応した出力値を予め記憶したいわゆ
るルックアップテーブル５３で構成されており、具体的
には、上記出力選択回路５１からの出力に対応した温度
出力をその出力端に出力する。さらに、この熱起電力温
度補正回路５２には、ドリフト補正回路５６が並列に接
続されている。このドリフト補正回路５６は、上記の補
正回路と同様に、上記の３対の熱価対１１，１２．１３
の経年変化に伴う出力電圧のドリフトｆｆｉが予め記憶
されており、経過した時間をパラメータとしてその経過
時間に対応した出力電圧のドリフト慴がアクセス出来る
様に、例えばルックアップテーブル５４で構成されてい
る。
上記の説明からも明らかなように、上記３対の熱価対１
１Ｘ １２．１３に対し、熱起電力温度補正回路と経年
ドリフト補正回路とを一組の補正回路が設けられており
、これらの出力は加算回路６０に接続されている。そし
て、これら加算回路６０の出力は出力回路６３に人力さ
れ、その出力端子には例えば電圧出力Ｖｏｕｔあるいは
電流出力１ｏｕｔが出力されることとなる。
１Ｘ １２．１３に対し、熱起電力温度補正回路と経年
ドリフト補正回路とを一組の補正回路が設けられており
、これらの出力は加算回路６０に接続されている。そし
て、これら加算回路６０の出力は出力回路６３に人力さ
れ、その出力端子には例えば電圧出力Ｖｏｕｔあるいは
電流出力１ｏｕｔが出力されることとなる。
このことから、上記３対の熱価対１１、！２．１３の内
の任意に選択された一対の熱価対の出力は補正回路、す
なわち熱起電力温度補正回路と経年ドリフト補正回路に
よって補正されることから、その出力はＫＨ２度でかつ
経年変化による影響をも除くことが出来る。また、必要
であれば上記個別熱起電力温度補正回路５２及び経年ド
リフト補正回路５６の補正データを保持するための電源
を確保するためのバッテリを設けることもできる。
の任意に選択された一対の熱価対の出力は補正回路、す
なわち熱起電力温度補正回路と経年ドリフト補正回路に
よって補正されることから、その出力はＫＨ２度でかつ
経年変化による影響をも除くことが出来る。また、必要
であれば上記個別熱起電力温度補正回路５２及び経年ド
リフト補正回路５６の補正データを保持するための電源
を確保するためのバッテリを設けることもできる。
以上に説明した温度変換回路５０は上記シース型熱価対
のコネクタ１５のヘッド部１６の内部に内蔵されており
、また、上記温度変換回路５０の熱起電力温度補正デー
タ５３及び経年ドリフト補正データ５４に記憶されたＭ
圧用のそれぞれのデータは、図中の符号７０で示される
データ入出力ターミナルによって、書き替えが可能にな
っている。
のコネクタ１５のヘッド部１６の内部に内蔵されており
、また、上記温度変換回路５０の熱起電力温度補正デー
タ５３及び経年ドリフト補正データ５４に記憶されたＭ
圧用のそれぞれのデータは、図中の符号７０で示される
データ入出力ターミナルによって、書き替えが可能にな
っている。
次に、上述の温度測定装置の定期検診時の動作を以下に
説明する。先ず、上記温度測定装置を取り外し、その内
部に３対の熱価対ｚ、ｉ２．１３が内蔵されているシー
ス１０を、その内部に発熱体を内蔵し、所定の温度に正
確に保持されたポータプル型温度補正炉８０の内部に挿
入する。そして、その温度出力を見ながら上記熱起電力
温度補正回路の補正用データを」−記データ入出力ター
ミナル７０を使用しながら書き替える。この様にして、
上記温度測定装置の測温素子の個別的な温度−出力の相
関特性を補正して正確な温度出力を得ると共に、次の定
期検診の間までの経年変化によるドリフトも、上記経年
ドリフト補正用データに定期検診間の温度特性変化の傾
向から予めインプットしておくことによって最少に抑制
することが可能になる。
説明する。先ず、上記温度測定装置を取り外し、その内
部に３対の熱価対ｚ、ｉ２．１３が内蔵されているシー
ス１０を、その内部に発熱体を内蔵し、所定の温度に正
確に保持されたポータプル型温度補正炉８０の内部に挿
入する。そして、その温度出力を見ながら上記熱起電力
温度補正回路の補正用データを」−記データ入出力ター
ミナル７０を使用しながら書き替える。この様にして、
上記温度測定装置の測温素子の個別的な温度−出力の相
関特性を補正して正確な温度出力を得ると共に、次の定
期検診の間までの経年変化によるドリフトも、上記経年
ドリフト補正用データに定期検診間の温度特性変化の傾
向から予めインプットしておくことによって最少に抑制
することが可能になる。
そして、上記の説明では、測温素子として主に熱価対に
ついて述べたが、しかしながら、本発明はこれのみに限
られず、例えば温度変化に伴ってその抵抗値を変化させ
る測温抵抗体を用いることによっても同様の効果を得る
こ七が出来る。また、その他の構成部分についても、必
ずしも上記の実施例に示すものに限られず、これらと同
様の機能を果たすものであればよいことは言うまでもな
い。
ついて述べたが、しかしながら、本発明はこれのみに限
られず、例えば温度変化に伴ってその抵抗値を変化させ
る測温抵抗体を用いることによっても同様の効果を得る
こ七が出来る。また、その他の構成部分についても、必
ずしも上記の実施例に示すものに限られず、これらと同
様の機能を果たすものであればよいことは言うまでもな
い。
［発明の効果コ
以上の説明からも明らかなように、本発明によれば、測
温素子の経年ドリフトを自動的に補償することから、長
期の使用においても出力誤差が極めて少なく、また、出
力調整等の面倒なメンテナンスの必要が少ない優れた温
度測定装置を提供することが可能となる。
温素子の経年ドリフトを自動的に補償することから、長
期の使用においても出力誤差が極めて少なく、また、出
力調整等の面倒なメンテナンスの必要が少ない優れた温
度測定装置を提供することが可能となる。
第１図は本発明の実施例である温度測定装置？′ｔの回
路を示すブロック図、そして、第２図は上記温度測定装
置の測温部のＩＩ′Ｉｆｆ造を示す−・部断面を含む斜
視図である。 １０・・・シース １１．１２．１３・・・熱価対 １
４・・・ウェル Ｉ５・・・コネクタ １６・・・ｌ＼
ヅド部５０・・・温度変換回路 ５１・・・出力選択回
路 ５２・・・温度補正回Ｎ ５６・・・ドリフト補
正回路６０・・・加算回路 ６３・・・出力回路 ７０
・・・データ入出力ターミナル ８０・・・ポータプル
型温度補正炉
路を示すブロック図、そして、第２図は上記温度測定装
置の測温部のＩＩ′Ｉｆｆ造を示す−・部断面を含む斜
視図である。 １０・・・シース １１．１２．１３・・・熱価対 １
４・・・ウェル Ｉ５・・・コネクタ １６・・・ｌ＼
ヅド部５０・・・温度変換回路 ５１・・・出力選択回
路 ５２・・・温度補正回Ｎ ５６・・・ドリフト補
正回路６０・・・加算回路 ６３・・・出力回路 ７０
・・・データ入出力ターミナル ８０・・・ポータプル
型温度補正炉
Claims (1)
- （１）温度変化による電気特性の変化を伴う測温素子と
、この測温素子の電気特性の変動を温度測定値に変換す
る温度変換手段を備えてなる温度測定装置において、複
数の測温素子からの出力信号のうち一または二以上の出
力信号を選択する選択手段と、上記複数の測温素子の個
別的な温度−出力の相関特性を記憶する温度−出力特性
記憶手段と、この温度−出力の相関特性を基に上記選択
手段で選択された出力信号を温度データに変換する温度
変換手段と、上記複数の測温素子の個別的な経年ドリフ
トに伴う時間−ドリフト量の相関特性を記憶する時間−
ドリフト相関特性記憶手段と、この時間−ドリフト量の
相関特性を基に上記温度変換手段から出力される温度デ
ータを補正する補正手段とを備えたことを特徴とする温
度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33000088A JPH0658265B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33000088A JPH0658265B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 温度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02173534A true JPH02173534A (ja) | 1990-07-05 |
| JPH0658265B2 JPH0658265B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=18227648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33000088A Expired - Lifetime JPH0658265B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 温度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658265B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014236084A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎセミコンダクターソリューションズ | 分析方法、分析装置および基板処理装置 |
| JP2016217631A (ja) * | 2015-05-21 | 2016-12-22 | 株式会社神戸製鋼所 | 熱間等方圧加圧装置の温度補正方法 |
| CN114636484A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-06-17 | 深圳市航顺芯片技术研发有限公司 | 数字温度传感器、芯片温度检测系统和芯片温度检测方法 |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP33000088A patent/JPH0658265B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014236084A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎセミコンダクターソリューションズ | 分析方法、分析装置および基板処理装置 |
| JP2016217631A (ja) * | 2015-05-21 | 2016-12-22 | 株式会社神戸製鋼所 | 熱間等方圧加圧装置の温度補正方法 |
| CN114636484A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-06-17 | 深圳市航顺芯片技术研发有限公司 | 数字温度传感器、芯片温度检测系统和芯片温度检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0658265B2 (ja) | 1994-08-03 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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