JPH0658265B2 - 温度測定装置 - Google Patents
温度測定装置Info
- Publication number
- JPH0658265B2 JPH0658265B2 JP33000088A JP33000088A JPH0658265B2 JP H0658265 B2 JPH0658265 B2 JP H0658265B2 JP 33000088 A JP33000088 A JP 33000088A JP 33000088 A JP33000088 A JP 33000088A JP H0658265 B2 JPH0658265 B2 JP H0658265B2
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- Japan
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- temperature
- output
- temperature measuring
- measuring device
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、主に工業計器等として使用される温度測定装
置に関し、特に、温度変化による電気特性の変化を伴う
測温素子を備えた温度測定装置に関する。
置に関し、特に、温度変化による電気特性の変化を伴う
測温素子を備えた温度測定装置に関する。
［従来の技術］ 従来、炉等の温度を測定するための工業計器等として使
用される温度測定装置は、熱伝対あるいは測温抵抗体を
用い、その温度変化による電気特性の変化を電気信号等
に変換して被測定部の測定温度データを得ている。
用される温度測定装置は、熱伝対あるいは測温抵抗体を
用い、その温度変化による電気特性の変化を電気信号等
に変換して被測定部の測定温度データを得ている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の温度測定装置は、測温素子の経年
変化による出力のドリフトを考慮しておらず、そのた
め、しばしば温度−出力特性を調整したにもかかわら
ず、経年ドリフトによって測定温度データに誤差が生じ
てしまい、調整が面倒になり、またメンテナンスが頻繁
に必要となるなどという問題点を有していた。
変化による出力のドリフトを考慮しておらず、そのた
め、しばしば温度−出力特性を調整したにもかかわら
ず、経年ドリフトによって測定温度データに誤差が生じ
てしまい、調整が面倒になり、またメンテナンスが頻繁
に必要となるなどという問題点を有していた。
そこで、本発明は、上記の従来技術における問題点を鑑
み、測温素子の経年変化による出力のドリフトを考慮し
ながらその出力を補正し、もって、長期の使用において
もその出力誤差の少ない優れた温度測定装置を提供する
ことにある。
み、測温素子の経年変化による出力のドリフトを考慮し
ながらその出力を補正し、もって、長期の使用において
もその出力誤差の少ない優れた温度測定装置を提供する
ことにある。
［課題を解決するための手段］ 上記の本発明の目的は、温度変化による電気特性の変化
を伴う測温素子と、この測温素子の電気特性の変動を温
度測定値に変換する温度変換手段を備えてなる温度測定
装置において、複数の測温素子からの出力信号のうち一
または二以上の出力信号を選択する選択手段と、上記複
数の測温素子の個別的な温度−出力の相関特性を記録す
る温度−出力特性記憶手段と、この温度−出力の相関特
性を基に上記選択手段で選択された出力信号を温度デー
タに変換する温度変換手段と、上記複数の測温素子の個
別的な経年ドリフトに伴う時間−ドリフト量の相関特性
を記憶する時間−ドリフト相関特性記憶手段と、この時
間−ドリフト量の相関特性を基に上記温度変換手段から
出力される温度データを補正する補正手段とを備えたこ
とを特徴とする温度測定装置によって達成される。
を伴う測温素子と、この測温素子の電気特性の変動を温
度測定値に変換する温度変換手段を備えてなる温度測定
装置において、複数の測温素子からの出力信号のうち一
または二以上の出力信号を選択する選択手段と、上記複
数の測温素子の個別的な温度−出力の相関特性を記録す
る温度−出力特性記憶手段と、この温度−出力の相関特
性を基に上記選択手段で選択された出力信号を温度デー
タに変換する温度変換手段と、上記複数の測温素子の個
別的な経年ドリフトに伴う時間−ドリフト量の相関特性
を記憶する時間−ドリフト相関特性記憶手段と、この時
間−ドリフト量の相関特性を基に上記温度変換手段から
出力される温度データを補正する補正手段とを備えたこ
とを特徴とする温度測定装置によって達成される。
［作 用］ すなわち、上記の本発明になる温度測定装置によれば、
測温素子の個別的な経年ドリフトに伴う時間−ドリフト
量の相関特性を記憶する時間−ドリフト相関特性記憶手
段と、この時間−ドリフト量の相関特性を基に、温度変
換手段から出力される温度データを補正する補正手段と
を備えたことにより、測温素子の経年ドリフトを補償
し、長期の使用にしても出力誤差を生じない温度測定装
置を提供することが出来る。
測温素子の個別的な経年ドリフトに伴う時間−ドリフト
量の相関特性を記憶する時間−ドリフト相関特性記憶手
段と、この時間−ドリフト量の相関特性を基に、温度変
換手段から出力される温度データを補正する補正手段と
を備えたことにより、測温素子の経年ドリフトを補償
し、長期の使用にしても出力誤差を生じない温度測定装
置を提供することが出来る。
［実施例］ 以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
先ず、第２図には、本発明の実施例である温度測定装置
に使用される測温部１の構造が示されている。この測温
部１は、例えばシース型熱伝対を利用した複数の測温素
子（この実施例では３個）を備えている。すなわち、図
にも明らかなように、このシース型熱伝対のシース１０
の内部には３対の熱伝対１１、１２、１３が内蔵されて
いる。また、図中、符号１４は上記シース１０を高温、
高圧、震動などから保護するために使用されるいわゆる
ウエルであり、符号１５は上記シース型熱伝対のコネク
タであり、そして符号１６は上記コネクタ１５のヘッド
部である。
に使用される測温部１の構造が示されている。この測温
部１は、例えばシース型熱伝対を利用した複数の測温素
子（この実施例では３個）を備えている。すなわち、図
にも明らかなように、このシース型熱伝対のシース１０
の内部には３対の熱伝対１１、１２、１３が内蔵されて
いる。また、図中、符号１４は上記シース１０を高温、
高圧、震動などから保護するために使用されるいわゆる
ウエルであり、符号１５は上記シース型熱伝対のコネク
タであり、そして符号１６は上記コネクタ１５のヘッド
部である。
次に、第１図には、本発明の実施例である温度測定装置
の回路等がブロック図によって示されている。図におい
て、上記第２図に示した３対の熱伝対１１、１２、１３
が並列に温度変換回路５０に、より具体的には、上記温
度変換回路５０の出力選択回路５１に電気的に接続され
ている。この出力選択回路５１は、上記３対の熱伝対１
１、１２、１３の出力電圧をそれぞれ比較し、その中の
一つの出力が他の二つの出力よりも所定の値だけ離れて
いた場合、その熱伝対を故障と判断し、素子異状信号Ｏ
ＵＴａｂを発生してその故障状態を表示する。また、こ
の出力選択回路５１は、異状信号がない場合には三つの
出力の中から任意に一つを選択して後段に出力するもの
である。さらに、この出力選択回路５１にはＡ／Ｄ変換
器が内蔵されており、後段に出力される出力信号はディ
ジタル信号である。
の回路等がブロック図によって示されている。図におい
て、上記第２図に示した３対の熱伝対１１、１２、１３
が並列に温度変換回路５０に、より具体的には、上記温
度変換回路５０の出力選択回路５１に電気的に接続され
ている。この出力選択回路５１は、上記３対の熱伝対１
１、１２、１３の出力電圧をそれぞれ比較し、その中の
一つの出力が他の二つの出力よりも所定の値だけ離れて
いた場合、その熱伝対を故障と判断し、素子異状信号Ｏ
ＵＴａｂを発生してその故障状態を表示する。また、こ
の出力選択回路５１は、異状信号がない場合には三つの
出力の中から任意に一つを選択して後段に出力するもの
である。さらに、この出力選択回路５１にはＡ／Ｄ変換
器が内蔵されており、後段に出力される出力信号はディ
ジタル信号である。
上記出力選択回路５１において選択された一つの出力
は、上記測温素子としての熱伝対の個別的な温度−出力
の相関特性を記憶した熱起電力温度補正回路５２に入力
される。この個別の温度−出力特性を記憶した温度補正
データ５３は、対応する上記測温素子個別の熱起電力と
温度との相関特性を予め記憶し、上記測温素子からの出
力をパラメータとして対応する温度出力を発生するもの
である。そして、この熱起電力温度補正回路５２は、例
えばその入力信号に対応した出力値を予め記憶したいわ
ゆるルックアップテーブル５３で構成されており、具体
的には、上記出力選択回路５１からの出力に対応した温
度出力をその出力端に出力する。さらに、この熱起電力
温度補正回路５２は、ドリフト補正回路５６が並列に接
続されている。このドリフト補正回路５６は、上記の補
正回路と同様に、上記の３対の熱伝対１１、１２、１３
の経年変化に伴う出力電圧のドリフト量が予め記憶され
ており、経過した時間をパラメータとしてその経過時間
に対応した出力電圧のドリフト量がアクセル出来る様
に、例えばルックアップテーブル５４で構成されてい
る。
は、上記測温素子としての熱伝対の個別的な温度−出力
の相関特性を記憶した熱起電力温度補正回路５２に入力
される。この個別の温度−出力特性を記憶した温度補正
データ５３は、対応する上記測温素子個別の熱起電力と
温度との相関特性を予め記憶し、上記測温素子からの出
力をパラメータとして対応する温度出力を発生するもの
である。そして、この熱起電力温度補正回路５２は、例
えばその入力信号に対応した出力値を予め記憶したいわ
ゆるルックアップテーブル５３で構成されており、具体
的には、上記出力選択回路５１からの出力に対応した温
度出力をその出力端に出力する。さらに、この熱起電力
温度補正回路５２は、ドリフト補正回路５６が並列に接
続されている。このドリフト補正回路５６は、上記の補
正回路と同様に、上記の３対の熱伝対１１、１２、１３
の経年変化に伴う出力電圧のドリフト量が予め記憶され
ており、経過した時間をパラメータとしてその経過時間
に対応した出力電圧のドリフト量がアクセル出来る様
に、例えばルックアップテーブル５４で構成されてい
る。
上記の説明からも明らかなように、上記３対の熱伝対１
１、１２、１３に対し、熱起電力温度補正回路と経年ド
リフト補正回路とを一組の補正回路が設けられており、
これらの出力は加算回路６０に接続されている。そし
て、これら加算回路６０の出力は出力回路６３に入力さ
れ、その出力端子には例えば電圧出力Ｖｏｕｔあるいは
電流出力Ｉｏｕｔが出力されることとなる。このことか
ら、上記３対の熱伝対１１、１２、１３の内の任意に選
択された一対の熱伝対の出力は補正回路、すなわち熱起
電力温度補正回路と経年ドリフト補正回路によって補正
されることから、その出力は高精度でかつ経年変化によ
る影響をも除くことが出来る。また、必要であれば上記
個別熱起電力温度補正回路５２及び経年ドリフト補正回
路５６の補正データを保持するための電源を確保するた
めのバッテリを設けることもできる。
１、１２、１３に対し、熱起電力温度補正回路と経年ド
リフト補正回路とを一組の補正回路が設けられており、
これらの出力は加算回路６０に接続されている。そし
て、これら加算回路６０の出力は出力回路６３に入力さ
れ、その出力端子には例えば電圧出力Ｖｏｕｔあるいは
電流出力Ｉｏｕｔが出力されることとなる。このことか
ら、上記３対の熱伝対１１、１２、１３の内の任意に選
択された一対の熱伝対の出力は補正回路、すなわち熱起
電力温度補正回路と経年ドリフト補正回路によって補正
されることから、その出力は高精度でかつ経年変化によ
る影響をも除くことが出来る。また、必要であれば上記
個別熱起電力温度補正回路５２及び経年ドリフト補正回
路５６の補正データを保持するための電源を確保するた
めのバッテリを設けることもできる。
以上に説明した温度変換回路５０は上記シース型熱伝対
のコネクタ１５のヘッド部１６の内部に内蔵されてお
り、また、上記温度変換回路５０の熱起電力温度補正デ
ータ５３及び経年ドリフト補正データ５４に記憶された
補正用のそれぞれのデータは、図中の符号７０で示され
るデータ入出力ターミナルによって、書き替えが可能に
なっている。
のコネクタ１５のヘッド部１６の内部に内蔵されてお
り、また、上記温度変換回路５０の熱起電力温度補正デ
ータ５３及び経年ドリフト補正データ５４に記憶された
補正用のそれぞれのデータは、図中の符号７０で示され
るデータ入出力ターミナルによって、書き替えが可能に
なっている。
次に、上述の温度測定装置の定期検診時の動作を以下に
説明する。先ず、上記温度測定装置を取り外し、その内
部に３対の熱伝対１１、１２、１３が内蔵されているシ
ース１０を、その内部に発熱体を内蔵し、所定の温度に
正確に保持されたポータブル型温度補正炉８０の内部に
挿入する。そして、その温度出力を見ながら上記熱起電
力温度補正回路の補正用データを上記データ入出口ター
ミナル７０を使用しながら書き替える。この様にして、
上記温度測定装置の測温素子の個別的な温度−出力の相
関特性を補正して正確な温度出力を得ると共に、次の定
期検診の間までの経年変化によるドリフトも、上記経年
ドリフト補正用データに定期検診間の温度特性変化の傾
向から予めインプットしておくことによって最少に抑制
することが可能になる。
説明する。先ず、上記温度測定装置を取り外し、その内
部に３対の熱伝対１１、１２、１３が内蔵されているシ
ース１０を、その内部に発熱体を内蔵し、所定の温度に
正確に保持されたポータブル型温度補正炉８０の内部に
挿入する。そして、その温度出力を見ながら上記熱起電
力温度補正回路の補正用データを上記データ入出口ター
ミナル７０を使用しながら書き替える。この様にして、
上記温度測定装置の測温素子の個別的な温度−出力の相
関特性を補正して正確な温度出力を得ると共に、次の定
期検診の間までの経年変化によるドリフトも、上記経年
ドリフト補正用データに定期検診間の温度特性変化の傾
向から予めインプットしておくことによって最少に抑制
することが可能になる。
そして、上記の説明では、測温素子として主に熱伝対に
ついて述べたが、しかしながら、本発明はこれのみに限
られず、例えば温度変化に伴ってその抵抗値を変化させ
る測温抵抗体を用いることによっても同様の効果を得る
ことが出来る。また、その他の構成部分についても、必
ずしも上記の実施例に示すものに限られず、これらと同
様の機能を果たすものであればよいことは言うまでもな
い。
ついて述べたが、しかしながら、本発明はこれのみに限
られず、例えば温度変化に伴ってその抵抗値を変化させ
る測温抵抗体を用いることによっても同様の効果を得る
ことが出来る。また、その他の構成部分についても、必
ずしも上記の実施例に示すものに限られず、これらと同
様の機能を果たすものであればよいことは言うまでもな
い。
［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本発明によれば、測
温素子の経年ドリフトを自動的に補償することから、長
期の使用においても出力誤差が極めて少なく、また、出
力調整等の面倒なメンテナンスの必要が少ない優れた温
度測定装置を提供することが可能となる。
温素子の経年ドリフトを自動的に補償することから、長
期の使用においても出力誤差が極めて少なく、また、出
力調整等の面倒なメンテナンスの必要が少ない優れた温
度測定装置を提供することが可能となる。
第１図は本発明の実施例である温度測定装置の回路を示
すブロック図、そして、第２図は上記温度測定装置の測
温部の構造を示す一部断面を含む斜視図である。 １０……シース、１１、１２、１３……熱伝対、１４…
…ウエル、１５……コネクタ、１６……ヘッド部、５０
……温度変換回路、５１……出力選択回路、５２……温
度補正回路、５６……ドリフト補正回路、６０……加算
回路、６３……出力回路、７０……データ入出力ターミ
ナル、８０……ポータブル型温度補正炉
すブロック図、そして、第２図は上記温度測定装置の測
温部の構造を示す一部断面を含む斜視図である。 １０……シース、１１、１２、１３……熱伝対、１４…
…ウエル、１５……コネクタ、１６……ヘッド部、５０
……温度変換回路、５１……出力選択回路、５２……温
度補正回路、５６……ドリフト補正回路、６０……加算
回路、６３……出力回路、７０……データ入出力ターミ
ナル、８０……ポータブル型温度補正炉
Claims (1)
- 【請求項１】温度変化による電気特性の変化を伴う測温
素子と、この測温素子の電気特性の変動を温度測定値に
変換する温度変換手段を備えてなる温度測定装置におい
て、複数の測温素子からの出力信号のうち一または二以
上の出力信号を選択する選択手段と、上記複数の測温素
子の個別的な温度−出力の相関特性を記憶する温度−出
力特性記憶手段と、この温度−出力の相関特性を基に上
記選択手段で選択された出力信号を温度データに変換す
る温度変換手段と、上記複数の測温素子の個別的な経年
ドリフトに伴う時間−ドリフト量の相関特性を記憶する
時間−ドリフト相関特性記憶手段と、この時間−ドリフ
ト量の相関特性を基に上記温度変換手段から出力される
温度データを補正する補正手段とを備えたことを特徴と
する温度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33000088A JPH0658265B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33000088A JPH0658265B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 温度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02173534A JPH02173534A (ja) | 1990-07-05 |
| JPH0658265B2 true JPH0658265B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=18227648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33000088A Expired - Lifetime JPH0658265B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 温度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658265B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6099486B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2017-03-22 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎセミコンダクターソリューションズ | 分析方法、分析装置および基板処理装置 |
| JP6433375B2 (ja) * | 2015-05-21 | 2018-12-05 | 株式会社神戸製鋼所 | 熱間等方圧加圧装置の温度補正方法 |
| CN114636484B (zh) * | 2022-05-09 | 2022-08-23 | 深圳市航顺芯片技术研发有限公司 | 数字温度传感器、芯片温度检测系统和芯片温度检测方法 |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP33000088A patent/JPH0658265B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02173534A (ja) | 1990-07-05 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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