JPH02165042A - Ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、Ｘ線分析装置に関する。

（従来の技術） 試料をＸ線で照射し、励起された試料から放出される蛍
光Ｘ線を分光・検出し、その検出信号により試料面を分
析する場合、従来は１分解能を上げる方法として、第２
図に示すように、第１．第２の２枚の平面分光結晶１１
．１２を用いて分光することにより分解能を向上させて
いた。しかし、２回の分光を行うと分光されたＸ線の強
度が奸しく低下し測定感度が低下すると云う問題があっ
た。また、２枚の分光結晶を用いるために、第２分光結
晶１２を第１分光結晶１１の周りに回転させながら、Ｘ
線検出器７を第２分光結晶１２に対して衛星運動させる
必要がある。そのために分光装置が複雑な構造となり、
コストが大幅にががると云う問題かあった。分光素子と
して湾曲結晶を用いると、検出されるＸ線強度は２桁程
度向上するが、分解能を上げるため分光結晶を２枚使う
ようにすると、波長走査のための装置の掃過面積が大変
大きくなって実用１−甚だ不便となる。

〈発明が解決しようとする課題〉 本発明は、簡単な構造でＸ線分析装置の感度および分解
能を向」ニさせることを目的とする。

（課組を解決するための手段） Ｘ線分析装置において、試料とＸ線管と入口スリットで
構成された試料室と、湾曲分光結晶を回動可能に保持し
た分光室と、出口スリットと検出器で構成された検出室
と、上記分光結晶を回動させる回動手段と、上記分光室
を入口スリット方向に移動させる移動手段と、上記検出
室を２次元的に移動させる移動手段と、上記各回動及び
移動１段を上記入口スリットと分光結晶と出口スリット
を同一ローランド円周上に位置させながら分光室と検出
室を移動させる制御手段とを設け、同制御手段に設定す
るローランド円の半径を大小選択可能とし、上記試料室
と上記分光室及び上記分光室と上記検出室をベローズに
よって外界と密封的に接続した。

（作用） 本発明は、分光結晶に湾曲結晶を用い、その湾曲結晶に
よる集光能力によって、分光されるＸ線の強度を上げる
と共に、湾曲結晶型Ｘ線分光器の分解能はローランド円
の半径を大きくすることにより向上できる点に着目し、
ローランド円を大小伸縮可能とすることにより、感度を
主とする時は小径ローランド円を用い、分解能を主とす
る時は、大ローランド円を用い得るようにするものであ
る。即ち、Ｘ線管及び試料及び入口スリットで構成され
る試料室と分光結晶を回動可能に保持する分光室をベロ
ーズで接続し、分光結晶を単独のパルスモータで回動可
能に、分光室を単独のパルスモータで光軸方向に移動可
能な構造にして、分光結晶を独自に回動及び移動ができ
るように設け、また、上記分光室と出口スリット及び検
出器で構成された検出室とをベローズで接続し、検出室
を上下左右に２個のパルスモータで移動可能に設けるこ
とで、入口スリットと分光結晶と出口スリットをローラ
ンド円上に位置させながら、ローランド円の半径Ｒを大
小選択可能とすることで、高感度分析と高分解能分析を
選択して用い得るようにすることで、Ｘ線分析装置の分
解能を向上させようとするものである。

（実施例） 第１図に本発明の一実施例を示す、第１図において、Ｓ
は試料、１は試料にＸ線を照射するＸ線管、２はＸ線分
光器の入口スリットで、Ｘ線管１と試料Ｓと入口スリッ
ト２で試料室Ａを構成している。３は分光結晶で湾曲結
晶が用いられており、分光室ＣにパルスモータＰＭＩで
回動可能に保持され、分光室Ｃはスライドプレート５に
Ｘ軸方向に摺動可能に保持され、パルスモータＰＭ２で
Ｘ軸方向に駆動される。６は分光器の出口スリット、７
は検出器で、出口スリット６と検出器７で検出室りを構
成し、不図示のＸ軸方向ガイド上を摺動するｙ軸方向ガ
イドに摺動および回動可能に載置され、パルスモータＰ
Ｍ３でＸ軸方向に、パルスモータＰＭ４でｙ軸方向に駆
動されると共に、分光結晶回転軸と出口スリット回転軸
を結ぶ不図示のリンクにより、検出室りが常に分光結晶
３の中心に向かうようにしである。試料室Ａと分光室Ｃ
はベローズＢ１で接続されており、分光室Ｃと検出室り
はベローズＢ２．Ｂ３で接続され、Ｘ線分析装置全体を
密閉状態に構成している０分光室Ｃと検出室りを接続す
るベローズが大径のＢ２と小径の８３に分けであるのは
、分光結晶３と出口スリット６を結ぶ線のＸ軸に対する
傾きが大幅に変化するので、分光結晶３に近い部分でベ
ローズの径が小さいと、Ｘ線がベローズでカットされる
恐れがあるから、分光結晶３に近い部分は大径のベロー
ズを用いている。また、大径のベローズだけであると、
外圧に抗して伸縮させるのに必要な力が大きくなるから
、検出室りに近い側のベローズを小径にして、伸縮を容
易にしである。ロータリーポンプ８はＸ線分析装置内を
排気して所定の真空度を保持している。

波長走査は分光室ＣをＸ軸方向に動かして、入口スリッ
ト２と分光結晶中心との距離を変えながら、入口スリッ
ト２と分光結晶３の中心と出口スリット６の３者が一つ
の半径Ｒのローランド円の円周上にあるように検出室り
をＸ＋３’平面内で２次元的に駆動して行う、入口スリ
ット２の位置座標を（０，０）とすると、分光結晶の位
置座標は（２Ｒｓ　ｉ　ｎθ、０）、出口スリット６の
位１ｆｌ！標は（２Ｒ８ｉ　ｎθ［１＋ｃｏｓ２θ］、
２Ｒｓｉｎθ・ｓｉｎθ）で表示される。ここでθはブ
ラッグ角である。上記の座標位置に分光結晶３及び出口
スリット６が配置されるようにＰＭＩ、ＰＭ２．ＰＭ３
．ＰＭ４をマイクロコンピュータＣＰＵ（不図示）で制
御するようにしている。

分解能を高めて分析を行う場合は、分光結晶３を高分解
能用の曲率の小さな分光結晶と交換し、ＰＭｌで分光室
Ｃを右側に移動すると共に、検出室りをＰＭ２．ＰＭ３
で上方に移動させて、入りロスリット２と分光結晶３と
出口スリット６で構成するローランド円の半径Ｒを大き
く設定させると共に、ＰＭＩで分光結晶３を回動させて
、分光結晶３の湾曲表面がローランド円に沿うように設
定する。

分析するＸ線強度を高めて分析を行う場合は、上記とは
逆に高感度用の曲率の大きな湾曲結晶に代え、ローラン
ド円の半径Ｒが小さくなるように、ＰＭＩ、ＰＭ２．Ｐ
Ｍ３．ＰＭ４を駆動させる（発明の効果） 本発明によれば、単一の湾曲結晶型Ｘ線分光器の機構で
、ローランド円の半径を変化させることで、必要に応じ
て、高分解能で分析する場合と、高感度で分析する場合
とを選択することが可能となり、実際上、高感度高分解
能のＸ線分光器が単−Ｘ線分光器の構成によって得られ
、測定濃度範囲が拡大されると共に、分解能を向上させ
、コストダウンが計ることができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は従来例の
構成図である。 Ｓ・・・試料、Ａ・・・試料室、Ｂ１〜Ｂ３・・・ベロ
ーズ、Ｃ・・・分光室、Ｄ・・・検出室、ＰＭ１〜ＰＭ
３・・・パルスモータ、１・・・Ｘ線管、２・・・入口
スリット、３・・・分光結晶、５・・・スライドプレー
ト、６・・・出口スリット、７・・・検出器、８・・・
ロータリーポンプ。 都 一口 煽÷

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　試料とＸ線管と入口スリットで構成された試料室と、
   湾曲分光結晶を回動可能に保持した分光室と、出口スリ
   ットと検出器で構成された検出室と、上記分光結晶を回
   動させる回動手段と、上記分光室を入口スリット方向に
   移動させる移動手段と、上記検出室を２次元的に移動さ
   せる移動手段と、上記各回動及び移動手段を上記入口ス
   リットと分光結晶と出口スリットを同一ローランド円周
   上に位置させながら分光室と検出室を移動させる制御手
   段とを設け、同制御手段に設定するローランド円の半径
   を大小選択可能とし、上記試料室と上記分光室及び上記
   分光室と上記検出室をベローズによって外界と密封的に
   接続したことを特徴とするＸ線分析装置。