JPS636830B2 - - Google Patents
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- JPS636830B2 JPS636830B2 JP54006636A JP663679A JPS636830B2 JP S636830 B2 JPS636830 B2 JP S636830B2 JP 54006636 A JP54006636 A JP 54006636A JP 663679 A JP663679 A JP 663679A JP S636830 B2 JPS636830 B2 JP S636830B2
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＸ線の単色化や分光分析に使用するＸ
線分光器に関する。
線分光器に関する。
一般にＸ線マイクロアナライザーや蛍光Ｘ線分
析装置においては、結晶間隔が既知の分光結晶を
使用し、その結晶によるブラツグ反射を利用して
試料からの特性Ｘ線或いは蛍光Ｘ線を分光し、試
料物質の定性、定量分析を行つている。而して、
該分析の精度はＸ線を分光する分光器の性能に依
存するため、従来から種々の型の分光器が提案さ
れ実用されている。
析装置においては、結晶間隔が既知の分光結晶を
使用し、その結晶によるブラツグ反射を利用して
試料からの特性Ｘ線或いは蛍光Ｘ線を分光し、試
料物質の定性、定量分析を行つている。而して、
該分析の精度はＸ線を分光する分光器の性能に依
存するため、従来から種々の型の分光器が提案さ
れ実用されている。
所で、近時斯種のＸ線分析装置を使用して、物
質の状態分析が行われようとしている。即ち、例
えばある元素が単体で存在するときの蛍光Ｘ線の
エネルギーピーク値に対し、その元素が他の元素
と化合している場合、その蛍光Ｘ線のエネルギー
ピーク値はシフトして現われることは周知であ
る。而して、この様な現象を利用し、蛍光Ｘ線ス
ペクトルのシフトの程度を測定することにより試
料における物質の化合状態や化学変化の状態等を
分析しようとするものである。しかし乍ら、前述
の蛍光Ｘ線のスペクトルシフトの量は非常に小さ
いものであるから、現存する単一分光結晶を用い
た分光器では到底そのシフト量を測定できず、第
１図に示す如き二分光結晶型分光器の使用が必須
となる。
質の状態分析が行われようとしている。即ち、例
えばある元素が単体で存在するときの蛍光Ｘ線の
エネルギーピーク値に対し、その元素が他の元素
と化合している場合、その蛍光Ｘ線のエネルギー
ピーク値はシフトして現われることは周知であ
る。而して、この様な現象を利用し、蛍光Ｘ線ス
ペクトルのシフトの程度を測定することにより試
料における物質の化合状態や化学変化の状態等を
分析しようとするものである。しかし乍ら、前述
の蛍光Ｘ線のスペクトルシフトの量は非常に小さ
いものであるから、現存する単一分光結晶を用い
た分光器では到底そのシフト量を測定できず、第
１図に示す如き二分光結晶型分光器の使用が必須
となる。
第１図において、１はＸ線源であり、例えば試
料とそれにＸ線を照射するためのＸ線管からなつ
ている。このＸ線源からのＸ線は第１の分光結晶
２により反射され、第１のアーム３上に置かれた
第２の分光結晶４に導かれ、その反射Ｘ線は、第
２のアーム５上に置かれた検出器６に入射し、検
出される。この様な装置において、第１の分光結
晶２に波長λのＸ線が入射したとき、第２図に示
す如く入射角θ1でブラツグ反射を起こす場合、第
２分光結晶４においてもθ1の入射角を保てば該λ
の波長をもつＸ線は第２の結晶においてもブラツ
グ反射を起こす。これに対し、点線で示す如く、
λ＋△λのＸ線が第１分光結晶に入射した場合、
θ2（θ2＞θ1）でブラツグ条件を満たし、第１分光
結晶ではブラツグ反射するが、第２分光結晶４に
はθ3（θ3＜θ1）で入射するため、ここではブラツ
グ反射が起きず、従つて、極めて単色化された波
長λのＸ線のみが取り出されることになる。
料とそれにＸ線を照射するためのＸ線管からなつ
ている。このＸ線源からのＸ線は第１の分光結晶
２により反射され、第１のアーム３上に置かれた
第２の分光結晶４に導かれ、その反射Ｘ線は、第
２のアーム５上に置かれた検出器６に入射し、検
出される。この様な装置において、第１の分光結
晶２に波長λのＸ線が入射したとき、第２図に示
す如く入射角θ1でブラツグ反射を起こす場合、第
２分光結晶４においてもθ1の入射角を保てば該λ
の波長をもつＸ線は第２の結晶においてもブラツ
グ反射を起こす。これに対し、点線で示す如く、
λ＋△λのＸ線が第１分光結晶に入射した場合、
θ2（θ2＞θ1）でブラツグ条件を満たし、第１分光
結晶ではブラツグ反射するが、第２分光結晶４に
はθ3（θ3＜θ1）で入射するため、ここではブラツ
グ反射が起きず、従つて、極めて単色化された波
長λのＸ線のみが取り出されることになる。
しかし乍ら、この様な装置では第１分光結晶２
の回転機構、アーム３の回転機構、第２分光結晶
４の回転機構及び検出アーム５の回転機構並びに
それらの回転駆動源が独別に必要であるため、装
置は大型、複雑化し、取扱いが厄介で所期の精度
が得られないという欠点の他に、第１図から明ら
かな如く、θの増大に伴つて検出器が急激（4θ）
に回転し、Ｘ線源１の方に接近するため、大角度
つまり、低エネルギーのＸ線に対しては分析でき
ないという問題を有している。
の回転機構、アーム３の回転機構、第２分光結晶
４の回転機構及び検出アーム５の回転機構並びに
それらの回転駆動源が独別に必要であるため、装
置は大型、複雑化し、取扱いが厄介で所期の精度
が得られないという欠点の他に、第１図から明ら
かな如く、θの増大に伴つて検出器が急激（4θ）
に回転し、Ｘ線源１の方に接近するため、大角度
つまり、低エネルギーのＸ線に対しては分析でき
ないという問題を有している。
本発明の主たる目的は小型で高精度の分光器を
提供することにある。
提供することにある。
本発明の他の目的は、第１図に示す二分光結晶
型分析装置に使用して極めて顕著な効果を示す分
光器を提供することにある。
型分析装置に使用して極めて顕著な効果を示す分
光器を提供することにある。
そのため第１の本発明によれば、結晶面が互い
に向き合い且つ平行をなした一対の分光結晶が距
離ａだけ離間した状態で回転体に一体的に取り付
けられており、該一対の結晶のうちの一方の結晶
に入射するＸ線の入射角を変えるため該一方の結
晶の結晶面を含む第１の軸を中心にして前記回転
体を支持基板に対して回転させるための手段が備
えられており、該一方の分光結晶からブラツグ反
射された後前記一対の結晶のうちの他方の結晶に
入射してブラツグ反射されたＸ線を検出するため
Ｘ線検出器が検出器支持部材に取り付けられてお
り、前記一方の結晶の結晶面に垂直な方向にあつ
て前記第１の軸から距離2aの位置にある第２の
軸によつて前記回転体と前記検出器支持部材は係
合されており、前記Ｘ線光路上の一点において前
記支持基板に取り付けられた第３の軸を中心とし
て回転可能にアームが設けられており、前記検出
器支持部材は該第３の軸から距離2aの位置にあ
る第４の軸によつて該アームと係合されており、
前記第１、第２の軸を結ぶ線分と該第３、第４の
軸を結ぶ線分を節とし前記検出器支持部材を連結
杆として平行リンク機構が構成されていることを
特徴としている。
に向き合い且つ平行をなした一対の分光結晶が距
離ａだけ離間した状態で回転体に一体的に取り付
けられており、該一対の結晶のうちの一方の結晶
に入射するＸ線の入射角を変えるため該一方の結
晶の結晶面を含む第１の軸を中心にして前記回転
体を支持基板に対して回転させるための手段が備
えられており、該一方の分光結晶からブラツグ反
射された後前記一対の結晶のうちの他方の結晶に
入射してブラツグ反射されたＸ線を検出するため
Ｘ線検出器が検出器支持部材に取り付けられてお
り、前記一方の結晶の結晶面に垂直な方向にあつ
て前記第１の軸から距離2aの位置にある第２の
軸によつて前記回転体と前記検出器支持部材は係
合されており、前記Ｘ線光路上の一点において前
記支持基板に取り付けられた第３の軸を中心とし
て回転可能にアームが設けられており、前記検出
器支持部材は該第３の軸から距離2aの位置にあ
る第４の軸によつて該アームと係合されており、
前記第１、第２の軸を結ぶ線分と該第３、第４の
軸を結ぶ線分を節とし前記検出器支持部材を連結
杆として平行リンク機構が構成されていることを
特徴としている。
又、第２の本発明によれば、Ｘ線光路中に前置
分光結晶が配置されており、該前置結晶に入射す
るＸ線の入射角θを変えるため該前置結晶を回転
させるための手段が備えられており、該前置結晶
と同一格子定数を有すると共に結晶面が互いに向
き合い且つ平行をなした一対の分光結晶が距離ａ
だけ離間した状態で回転体に一体的に取り付けら
れており、前記前置結晶からブラツグ反射された
後該一対の結晶のうちの一方の結晶に入射するＸ
線の入射角を前記θに一致させるため該一方の結
晶の結晶面を含む第１の軸を中心にして前記回転
体を支持基板に対して回転させるための手段が備
えられており、該第１の分光結晶からブラツグ反
射された後前記一対の結晶のうちの他方の結晶に
入射してブラツグ反射されたＸ線を検出するため
Ｘ線検出器が検出器支持部材に取り付けられてお
り、前記一方の結晶の結晶面に垂直な方向にあつ
て前記第１の軸から距離2aの位置にある第２の
軸によつて前記回転体と前記検出器支持部材は係
合されており、前記Ｘ線光路上の一点において前
記支持基板に取り付けられた第３の軸を中心とし
て回転可能にアームが設けられており、前記検出
器支持部材は該第３の軸から距離2aの位置にあ
る第４の軸によつて該アームと係合されており、
前記第１、第２の軸を結ぶ線分と該第３、第４の
軸を結ぶ線分を節とし前記検出器支持部材を連結
杆として平行リンク機構が構成されており、前記
前置結晶の回転手段による角θの回転に伴つて前
記支持基板を前記前置結晶の回転軸を中心に2θ回
転させるための手段が備えられていることを特徴
としている。
分光結晶が配置されており、該前置結晶に入射す
るＸ線の入射角θを変えるため該前置結晶を回転
させるための手段が備えられており、該前置結晶
と同一格子定数を有すると共に結晶面が互いに向
き合い且つ平行をなした一対の分光結晶が距離ａ
だけ離間した状態で回転体に一体的に取り付けら
れており、前記前置結晶からブラツグ反射された
後該一対の結晶のうちの一方の結晶に入射するＸ
線の入射角を前記θに一致させるため該一方の結
晶の結晶面を含む第１の軸を中心にして前記回転
体を支持基板に対して回転させるための手段が備
えられており、該第１の分光結晶からブラツグ反
射された後前記一対の結晶のうちの他方の結晶に
入射してブラツグ反射されたＸ線を検出するため
Ｘ線検出器が検出器支持部材に取り付けられてお
り、前記一方の結晶の結晶面に垂直な方向にあつ
て前記第１の軸から距離2aの位置にある第２の
軸によつて前記回転体と前記検出器支持部材は係
合されており、前記Ｘ線光路上の一点において前
記支持基板に取り付けられた第３の軸を中心とし
て回転可能にアームが設けられており、前記検出
器支持部材は該第３の軸から距離2aの位置にあ
る第４の軸によつて該アームと係合されており、
前記第１、第２の軸を結ぶ線分と該第３、第４の
軸を結ぶ線分を節とし前記検出器支持部材を連結
杆として平行リンク機構が構成されており、前記
前置結晶の回転手段による角θの回転に伴つて前
記支持基板を前記前置結晶の回転軸を中心に2θ回
転させるための手段が備えられていることを特徴
としている。
先ず、本発明の原理を第３図及び第４図に基づ
き説明する。第３図において、ＡとＢは互いに平
行で結晶面が向き合つた一対の結晶で、例えばチ
ヤンネルカツトにより作り出される。この結晶Ａ
のＯ点に入射したＸ線は、ブラツグ条件を満たす
波長のものが反射した後、結晶Ｂに入射し、更に
反射して結晶Ａへの入射Ｘ線と平行になつて検出
器方向に進む。図中X1は波長λ1のＸ線であり、
入射角θ1でブラツグ条件を満足し、又、X2は波
長λ2のＸ線で、θ2でブラツグ条件を満足するもの
である。ここで、結晶ＡとＢとの間隔をａとし、
結晶ＡのＯ点（任意点であるが通常は中央）から
の垂直線上に2aの点Ｐをとると、結晶Ｂからの
反射Ｘ線X1，X2の延長線は幾何学的に必ずＰ点
を通過する。而して、第４図の如く、入射Ｘ線Ｘ
の方向を一定にし、結晶ＡとＢを共にＯ点のまわ
りに回転せしめて入射角θを変化せしめると、結
晶Ａに入射するＸ線と結晶Ｂから反射されるＸ線
との間隔Ｌは、図からＬ＝2a cosθなる関係にあ
り、Ｏ点を中心とし、2aを半径とした円弧上の
点Ｐから入射Ｘ線Ｘまでの距離に等しい。即ち、
結晶Ｂから反射されるＸ線は常に点Ｐを含む直線
上にある。従つて、結晶Ａ及びＢを点Ｏのまわり
に回転してθを可変したとき、出射Ｘ線はＬを異
にして得られるので、検出器をその方向に平行移
動させれば、異つた波長のＸ線を検出できるわけ
である。
き説明する。第３図において、ＡとＢは互いに平
行で結晶面が向き合つた一対の結晶で、例えばチ
ヤンネルカツトにより作り出される。この結晶Ａ
のＯ点に入射したＸ線は、ブラツグ条件を満たす
波長のものが反射した後、結晶Ｂに入射し、更に
反射して結晶Ａへの入射Ｘ線と平行になつて検出
器方向に進む。図中X1は波長λ1のＸ線であり、
入射角θ1でブラツグ条件を満足し、又、X2は波
長λ2のＸ線で、θ2でブラツグ条件を満足するもの
である。ここで、結晶ＡとＢとの間隔をａとし、
結晶ＡのＯ点（任意点であるが通常は中央）から
の垂直線上に2aの点Ｐをとると、結晶Ｂからの
反射Ｘ線X1，X2の延長線は幾何学的に必ずＰ点
を通過する。而して、第４図の如く、入射Ｘ線Ｘ
の方向を一定にし、結晶ＡとＢを共にＯ点のまわ
りに回転せしめて入射角θを変化せしめると、結
晶Ａに入射するＸ線と結晶Ｂから反射されるＸ線
との間隔Ｌは、図からＬ＝2a cosθなる関係にあ
り、Ｏ点を中心とし、2aを半径とした円弧上の
点Ｐから入射Ｘ線Ｘまでの距離に等しい。即ち、
結晶Ｂから反射されるＸ線は常に点Ｐを含む直線
上にある。従つて、結晶Ａ及びＢを点Ｏのまわり
に回転してθを可変したとき、出射Ｘ線はＬを異
にして得られるので、検出器をその方向に平行移
動させれば、異つた波長のＸ線を検出できるわけ
である。
第５図は上記原理に従つた本発明分光器の模型
的実施例図で結晶ＡとＢは平行を保つて円板７上
に固定されており、この円板は軸８により点Ｏの
まわりに回転される。９は検出器１０を保持した
アームで、入射Ｘ線Ｘと平行に配置され、2aを
半径とする弧上の点Ｐでアーム１１と回転可能に
結合される。このアーム１１の他端は回転軸８に
固定され、結晶Ａ，Ｂと共に回転される。１２は
アーム１１と長さが等しく、且つ平行に配置され
たアームで、その一端Ｑは前記検出器アーム９と
回転可能に結合され、又他端Ｒは入射Ｘ線の光軸
上に回転可能に置かれている。而してアーム１１
及びアーム１２を節とし、アーム９を連結杆とし
て平行リンク機構を構成し、それによつて回転軸
８の回転による結晶Ａ，Ｂの回転に伴つて、自動
的にアーム９が入射Ｘ線の光路と平行な状態を保
持したまま光路との距離を変える。このようにし
て、結晶Ｂから反射されたＸ線を検出器１０に入
射せしめることができる。
的実施例図で結晶ＡとＢは平行を保つて円板７上
に固定されており、この円板は軸８により点Ｏの
まわりに回転される。９は検出器１０を保持した
アームで、入射Ｘ線Ｘと平行に配置され、2aを
半径とする弧上の点Ｐでアーム１１と回転可能に
結合される。このアーム１１の他端は回転軸８に
固定され、結晶Ａ，Ｂと共に回転される。１２は
アーム１１と長さが等しく、且つ平行に配置され
たアームで、その一端Ｑは前記検出器アーム９と
回転可能に結合され、又他端Ｒは入射Ｘ線の光軸
上に回転可能に置かれている。而してアーム１１
及びアーム１２を節とし、アーム９を連結杆とし
て平行リンク機構を構成し、それによつて回転軸
８の回転による結晶Ａ，Ｂの回転に伴つて、自動
的にアーム９が入射Ｘ線の光路と平行な状態を保
持したまま光路との距離を変える。このようにし
て、結晶Ｂから反射されたＸ線を検出器１０に入
射せしめることができる。
第６図は本発明の具体的実施例の平面図、第７
図はその一部縦断面図であり、二結晶型の分光器
を構成するものである。
図はその一部縦断面図であり、二結晶型の分光器
を構成するものである。
図中、１３は基台で、固定筒１４を有し、その
上端には基板１５が固定されている。該基板の上
には、ソーラスリツト１６が置かれ、Ｘ線源から
のＸ線を平行束にして前置分光結晶である第１の
分光結晶１７に導いている。第１の分光結晶１７
は前記対を成す分光結晶Ａ，Ｂと同一の格子定数
を有していると共に、この第１の分光結晶１７は
θ軸１８の端部に固定されており、又、該θ軸は
固定筒１４内を回転可能に貫通している。該θ軸
の他端には、ウオーム歯車１９が固定され、噛合
したウオーム２０を介してモーター（図示せず）
に結合している。前記固定筒の外側には中空状の
2θ軸２１が回転可能に嵌合され、ウオーム歯車２
２、ウオーム２３を介してモーター（図示せず）
から2θ回転が与えられる。前記2θ軸２１には回転
アーム２４が固定され一対の結晶Ａ，Ｂを回転す
るための軸８を回転自在に支えている。この軸８
にはウオーム歯車２５が固定されており、ウオー
ム２６、歯車２７を介して仮定線で描いたモータ
ー２８に結合される。このモーターは、前記回転
アーム２４に支えられている。このアーム２４に
連結したアーム１２は回転アーム２４の入射Ｘ線
光軸上に回転可能に保持されている。第５図にお
けるアーム１１は省略され、円板７で兼用してい
る。従つて、アーム９と円板７はピン２９により
回転可能に結合されている。
上端には基板１５が固定されている。該基板の上
には、ソーラスリツト１６が置かれ、Ｘ線源から
のＸ線を平行束にして前置分光結晶である第１の
分光結晶１７に導いている。第１の分光結晶１７
は前記対を成す分光結晶Ａ，Ｂと同一の格子定数
を有していると共に、この第１の分光結晶１７は
θ軸１８の端部に固定されており、又、該θ軸は
固定筒１４内を回転可能に貫通している。該θ軸
の他端には、ウオーム歯車１９が固定され、噛合
したウオーム２０を介してモーター（図示せず）
に結合している。前記固定筒の外側には中空状の
2θ軸２１が回転可能に嵌合され、ウオーム歯車２
２、ウオーム２３を介してモーター（図示せず）
から2θ回転が与えられる。前記2θ軸２１には回転
アーム２４が固定され一対の結晶Ａ，Ｂを回転す
るための軸８を回転自在に支えている。この軸８
にはウオーム歯車２５が固定されており、ウオー
ム２６、歯車２７を介して仮定線で描いたモータ
ー２８に結合される。このモーターは、前記回転
アーム２４に支えられている。このアーム２４に
連結したアーム１２は回転アーム２４の入射Ｘ線
光軸上に回転可能に保持されている。第５図にお
けるアーム１１は省略され、円板７で兼用してい
る。従つて、アーム９と円板７はピン２９により
回転可能に結合されている。
斯る構成において、ウオーム２０を駆動してθ
軸１８を回転し、これと連動してウオーム２３を
駆動して2θ軸２１を回転すれば、第１の分光結晶
１７と回転アーム２４とがθ、2θの関係で回転
し、ブラツグの条件を満たしたＸ線が第２の分光
結晶Ａ，Ｂに入射する。第２の分光結晶のモータ
ー２８は第１分光結晶の駆動モーターと対応して
駆動されるため、該第２分光結晶もθ回転を行
い、この分光結晶でブラツグ反射したＸ線のみが
検出器１０に検出される。
軸１８を回転し、これと連動してウオーム２３を
駆動して2θ軸２１を回転すれば、第１の分光結晶
１７と回転アーム２４とがθ、2θの関係で回転
し、ブラツグの条件を満たしたＸ線が第２の分光
結晶Ａ，Ｂに入射する。第２の分光結晶のモータ
ー２８は第１分光結晶の駆動モーターと対応して
駆動されるため、該第２分光結晶もθ回転を行
い、この分光結晶でブラツグ反射したＸ線のみが
検出器１０に検出される。
以上詳述したように、第１の本発明によれば、
対を成す一方の分光結晶の角度θの変化に伴つて
入射Ｘ線の光路に平行な状態で検出器を移動させ
るだけで良く、従来のように4θに従つて回転させ
る必要がない。そのため、検出器支持部材を大き
く回転させるためのスペースが不要となり、２分
光結晶型Ｘ線分光器を小形化することができる。
又、従来のようにＸ線の検出可能範囲が検出器支
持基板の4θ回転によつて制限されないため、より
大角度のθまで分光結晶を回転させることにより
低エネルギーのＸ線をも分光することができる。
対を成す一方の分光結晶の角度θの変化に伴つて
入射Ｘ線の光路に平行な状態で検出器を移動させ
るだけで良く、従来のように4θに従つて回転させ
る必要がない。そのため、検出器支持部材を大き
く回転させるためのスペースが不要となり、２分
光結晶型Ｘ線分光器を小形化することができる。
又、従来のようにＸ線の検出可能範囲が検出器支
持基板の4θ回転によつて制限されないため、より
大角度のθまで分光結晶を回転させることにより
低エネルギーのＸ線をも分光することができる。
更に又、第２の本発明によれば、前置分光結晶
によつてブラツグ反射されたＸ線を対を成し平行
配置された分光結晶により更に分光するようにし
ているため、極めて波長分解能が良いＸ線分光路
が提供されるが、この場合にも検出器支持部材を
2θ回転させるだけで良いため、小型で低エネルギ
ーのＸ線をも分光することのできるＸ線分光器が
提供される。
によつてブラツグ反射されたＸ線を対を成し平行
配置された分光結晶により更に分光するようにし
ているため、極めて波長分解能が良いＸ線分光路
が提供されるが、この場合にも検出器支持部材を
2θ回転させるだけで良いため、小型で低エネルギ
ーのＸ線をも分光することのできるＸ線分光器が
提供される。
第１図は二分光結晶型分光器の概略を示す図、
第２図はその作用説明図、第３図及び第４図は本
発明の原理説明図、第５図は本発明の一実施例を
示す図、第６図は本発明の他の実施例を示す平面
図、第７図はその一部縦断面図である。 Ａ，Ｂ……一対の分光結晶、７……円板、８…
…回転軸、９……検出器アーム、１０……検出
器、１１及び１２……アーム。
第２図はその作用説明図、第３図及び第４図は本
発明の原理説明図、第５図は本発明の一実施例を
示す図、第６図は本発明の他の実施例を示す平面
図、第７図はその一部縦断面図である。 Ａ，Ｂ……一対の分光結晶、７……円板、８…
…回転軸、９……検出器アーム、１０……検出
器、１１及び１２……アーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 結晶面が互いに向き合い且つ平行をなした一
対の分光結晶が距離ａだけ離間した状態で回転体
に一体的に取り付けられており、該一対の結晶の
うちの一方の結晶に入射するＸ線の入射角を変え
るため該一方の結晶の結晶面を含む第１の軸を中
心にして前記回転体を支持基板に対して回転させ
るための手段が備えられており、該一方の分光結
晶からブラツグ反射された後前記一対の結晶のう
ちの他方の結晶に入射してブラツグ反射されたＸ
線を検出するためＸ線検出器が検出器支持部材に
取り付けられており、前記一方の結晶の結晶面に
垂直な方向にあつて前記第１の軸から距離2aの
位置にある第２の軸によつて前記回転体と前記検
出器支持部材は係合されており、前記Ｘ線光路上
の一点において前記支持基板に取り付けられた第
３の軸を中心として回転可能にアームが設けられ
ており、前記検出器支持部材は該第３の軸から距
離2aの位置にある第４の軸によつて該アームと
係合されており、前記第１、第２の軸を結ぶ線分
と該第３、第４の軸を結ぶ線分を節とし前記検出
器支持部材を連結杆として平行リンク機構が構成
されていることを特徴とするＸ線分光器。 ２ Ｘ線光路中に前置分光結晶が配置されてお
り、該前置結晶に入射するＸ線の入射角θを変え
るため該前置結晶を回転させるための手段が備え
られており、該前置結晶と同一格子定数を有する
と共に結晶面が互いに向き合い且つ平行をなした
一対の分光結晶が距離ａだけ離間した状態で回転
体に一体的に取り付けられており、前記前置結晶
からブラツグ反射された後該一対の結晶のうちの
一方の結晶に入射するＸ線の入射角を前記θに一
致させるため該一方の結晶の結晶面を含む第１の
軸を中心にして前記回転体を支持基板に対して回
転させるための手段が備えられており、該第１の
分光結晶からブラツグ反射された後前記一対の結
晶のうちの他方の結晶に入射してブラツグ反射さ
れたＸ線を検出するためＸ線検出器が検出器支持
部材に取り付けられており、前記一方の結晶の結
晶面に垂直な方向にあつて前記第１の軸から距離
2aの位置にある第２の軸によつて前記回転体と
前記検出器支持部材は係合されており、前記Ｘ線
光路上の一点において前記支持基板に取り付けら
れた第３の軸を中心として回転可能にアームが設
けられており、前記検出器支持部材は該第３の軸
から距離2aの位置にある第４の軸によつて該ア
ームと係合されており、前記第１、第２の軸を結
ぶ線分と該第３、第４の軸を結ぶ線分を節とし前
記検出器支持部材を連結杆として平行リンク機構
が構成されており、前記前置結晶の回転手段によ
る角θの回転に伴つて前記支持基板を前記前置結
晶の回転軸を中心に2θ回転させるための手段が備
えられていることを特徴とするＸ線分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP663679A JPS5599050A (en) | 1979-01-23 | 1979-01-23 | Xxray spectroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP663679A JPS5599050A (en) | 1979-01-23 | 1979-01-23 | Xxray spectroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5599050A JPS5599050A (en) | 1980-07-28 |
| JPS636830B2 true JPS636830B2 (ja) | 1988-02-12 |
Family
ID=11643846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP663679A Granted JPS5599050A (en) | 1979-01-23 | 1979-01-23 | Xxray spectroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5599050A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8204584A (nl) * | 1982-11-25 | 1984-06-18 | Philips Nv | Roentgen analyse apparaat met een vier-kristal monochromator. |
| JP2006337122A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光装置 |
| JP2006337290A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光装置 |
-
1979
- 1979-01-23 JP JP663679A patent/JPS5599050A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5599050A (en) | 1980-07-28 |
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