JPH044208Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は波長を掃引しながら試料にＸ線を照射
し、試料よりの透過Ｘ線又は蛍光Ｘ線の強度を記
録又は表示する装置に関する。

試料に照射するＸ線の波長を掃引して試料の測
定をする従来の装置においては、回転対陰極Ｘ線
発生源から発生する白色Ｘ線を平面結晶によつて
単色化して試料に照射し、波長の掃引はこの平面
結晶を回転させて、ブラツク角を変化させること
により行なつていた。

しかしながら、このような従来装置において
は、分光結晶が平面状であるため、Ｘ線は分散し
てしまい、Ｘ線発生源より発生したＸ線のうちの
わずかな部分しか利用することができなかつた。
そのため、試料よりのＸ線の強度が不充分であ
り、測定に長時間を要したり、充分精度の良い測
定を行なうことができなかつた。

本考案はこのような従来の欠点を解決すべくな
されたもので、連続Ｘ線を取り出すためのＸ線発
生源と、該発生源よりの発散Ｘ線が照射される湾
曲結晶と、該結晶を該Ｘ線の取り出し方向に沿つ
た直線に沿つて回転させつつ移動させるための手
段と、スリツト及び試料とより成り該結晶によつ
て回折されたＸ線が入射する受光部と、該結晶の
回転と移動に伴なう回折及び集光条件位置の移動
に合わせて該受光部を移動及び回転させるための
手段と、該受光部に入射するＸ線の強度を測定す
るために湾曲結晶と受光部との間に配置されるモ
ニター用Ｘ線検出器であつて入射したＸ線がその
内部を透過して受光部へ到達するモニター用Ｘ線
検出器と、該試料からの透過Ｘ線あるいは蛍光Ｘ
線を検出するための受光部と一体的に動くように
された検出器とを具備することを特徴としてい
る。

以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。

本考案の一実施例を示す図面において、Ｃは湾
曲結晶である。回転対陰極Ｘ線発生源１のＸ線発
生点Ｐと湾曲結晶Ｃと試料へＸ線を導くための入
射スリツトＳはローランドサークルＲ上にＸ線発
生点Ｐと結晶Ｃ、結晶Ｃと入射スリツトＳを結ぶ
弦の距離が常に等しくなるように配置されてお
り、結晶Ｃ及び入射スリツトＳはＸ線の回折条件
及び集光条件を満足して移動可能に構成されてい
る。即ち、２は基盤であり、この基盤２の上には
回転対陰極Ｘ線発生源１が配置されており、この
回転対陰極Ｘ線発生源１は真空筐体１ａと筐体１
ａ内部に配置されたロータ１ｂ等からなり、ロー
タ１ｂへの電子線１ｃの照射によつて、点Ｐより
連続Ｘ線Ｘを発生する。このＸ線ＸはＸ線取り出
し窓１ｄより取り出されるが、この取り出し方向
に一致する第１の直線A₁上には駆動軸３が回転
可能に取り付けられている。この駆動軸３にはネ
ジが刻設されており、第１の移動部材４が螺合さ
れている。この第１の移動部材４には軸５の回り
に回転可能にプーリー６が取り付けられており、
このプーリー６と一体的に回転するように前記湾
曲結晶Ｃが取り付けられている。それらは駆動軸
３を駆動装置７で回転させることにより直線A₁
上を移動可能である。又、第１の直線A₁と所定
の角度θをなす第２の直線A₂上には案内８が設
けられている。この案内８に沿つてスライド軸受
９が移動可能に設けられている。１０は前記Ｘ線
発生点Ｐ，湾曲結晶Ｃ、入射スリツトＳをその円
周上に有するローランドサークルＲの曲率をも
ち、円周角θによつて切り取られる弧と同一の長
さをもつて形成された弧状アームであり、この弧
状アーム１０の一端は前記軸５を中心として回転
可能にされており、他端は前記スライド軸受９に
ピン１１により回転可能に取り付けられている。
又、前記湾曲結晶ＣはこのローランドサークルＲ
の接線上にあるように角度設定されている。この
弧状アーム１０上には該アームに沿つて摺動自在
な第２の移動部材１２が取り付けられており、こ
の第２の移動部材１２上には軸１３の周りに回転
可能にプーリー１４が取り付けられている。この
プーリー１４と一体的に回転するように支持基台
１５が取り付けられている。支持基台１５の前記
軸１３の直上の位置には前記入射スリツトＳが取
り付けられている。又、支持基台１５上には入射
スリツトＳと湾曲結晶Ｃとの間に位置するように
一次Ｘ線をモニターするためのモニター用Ｘ線検
出器１６が取り付けられている。このモニター用
Ｘ線検出器としては、例えばイオンチヤンバの如
きＸ線入射に基づくガスのイオン化現象を利用し
てＸ線量を検出するものが使用される。また、こ
の検出器にはＸ線入射窓と対向した位置にＸ線取
出し窓が形成してあり、この検出器に入射したＸ
線がそのままＸ線取出し窓より外部に取り出され
て試料を照射するように構成されているため、こ
のモニター用Ｘ線検出器により試料に入射するＸ
線の強度を測定することができる。更に支持基台
１５上には試料１７と、試料よりの透過Ｘ線を検
出するための検出器１８が取り付けられている。
これら入射スリツトＳ、試料１７、検出器１８、
モニター用検出器１６、湾曲結晶Ｃ、Ｘ線発生点
Ｐは同一平面上に配置されるように設置高さが選
ばれている。又、基盤２上に植設されたピン１９
ａから発し、プーリー６、プーリー１４に掛けら
れ、更にプーリー６に掛けられて植設されたピン
１９ｂに戻る一定長のベルト２０が備えられてお
り、従つて、プーリー６を直線A₁に沿つて移動
させると、プーリー６とＸ線発生点Ｐとの距離の
変化量と同一量だけプーリー１４とプーリー６と
の距離が変化し、Ｘ線発生点Ｐと湾曲結晶Ｃとの
距離と、湾曲結晶Ｃと入射スリツトＳとの距離は
常に同一に保たれる。２２はワイヤー２１を介し
て第２の移動部材１２を引張るためのバネであ
る。

このような構成において、駆動装置７を稼動さ
せて、駆動軸３を回転させれば、第１の移動部材
４と共に湾曲結晶Ｃが直線A₁に沿つて移動する
が、Ｘ線発生点ＰよりのＸ線Ｘは常に該湾曲結晶
Ｃに入射する。この移動に伴なつてベルト２０が
弧状アーム１０に案内された第２の移動部材１２
のプーリー１４を回転させながら移動するため、
湾曲結晶Ｃも回転する。そのため湾曲結晶Ｃを介
して入射スリツトＳに導かれたＸ線の波長は掃引
され、試料１７には時間と共に波長の変化するＸ
線が入射する。この波長の掃引されるＸ線はモニ
ター用Ｘ線検出器１６をも通過するため、試料１
７に入射するＸ線の強度は常時モニターされる。
試料１７を透過したＸ線はＸ線検出器１８により
検出される。このＸ線検出器１８の出力信号と前
記モニター用Ｘ線検出器１６の出力信号との比を
求めることにより、試料１７によつて吸収された
Ｘ線の量を検出することができ、この検出量を波
長と共に掃引されている記録計に記録することに
より、試料のＸ線吸収スペクトルを記録すること
ができる。

上述した説明から明らかなように、本考案にお
いては、湾曲結晶によりＸ線を入射スリツトに集
光して、この集光されたＸ線を試料に照射してい
るため、回転対陰極Ｘ線発生源よりのＸ線を有効
に試料に照射して、充分な量の検出信号を得、高
精度の測定を短時間に行なうことができる。

尚、上述した実施例は本考案の一実施例に過ぎ
ず幾多の他の変形が可能であり、湾曲結晶を直線
A₁に沿つて回転させつつ移動させるのに伴なつ
て、湾曲結晶の回折条件と集光条件が満される位
置に入射スリツトＳを移動でき、且つこのスリツ
トと共に試料及び検出器を一体的に移動できるな
らば、他の機構を用いても良い。

又、上述した実施例においては、試料よりの透
過Ｘ線を検出する型の装置に本考案を適用した例
について説明したが、試料よりの蛍光Ｘ線をも検
出できるように、試料１７及び検出器１８の入射
スリツトＳに対する角度を支持基台１５上におい
て、可変できるようにしても良い。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を説明するためのもの
である。 Ｐ……Ｘ線発生点、Ｃ……湾曲結晶、Ａ……入
射スリツト、Ｘ……Ｘ線、Ｒ……ローランドサー
クル、１……回転対陰極Ｘ線発生源、２……基
盤、３……駆動軸、４，１２……移動部材、５，
１３……軸、６，１４……プーリー、７……駆動
装置、８……案内、９……スライド軸受、１０…
…弧状アーム、１１……ピン、１５……支持基
台、１６……モニター用Ｘ線検出器、１７……試
料、１８……検出器、１９ａ，１９ｂ……植設ピ
ン、２０……ベルト、２１……バネ、２２……ワ
イヤー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 連続Ｘ線を取り出すためのＸ線発生源と、該発
   生源よりの発散Ｘ線が照射される湾曲結晶と、該
   結晶を該Ｘ線の取り出し方向に沿つた直線に沿つ
   て回転させつつ移動させるための手段と、スリツ
   ト及び試料とより成り該結晶によつて回折された
   Ｘ線が入射する受光部と、該結晶の回転と移動に
   伴なう回折及び集光条件位置の移動に合わせて該
   受光部を移動及び回転させるための手段と、受光
   部に入射するＸ線の強度を測定するために湾曲結
   晶と受光部との間に配置されるモニター用Ｘ線検
   出器であつて入射したＸ線がその内部を透過して
   受光部へ到達するモニター用Ｘ線検出器と、該試
   料からの透過Ｘ線あるいは蛍光Ｘ線を検出するた
   めの受光部と一体的に動くようにされた検出器と
   を具備することを特徴とするＸ線測定装置。