JPH02156653A - 温度センサｉｃウエハのトリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、温度センサＩＣ（温度センサ集積回路）ウェ
ハのトリミング方法に関するものである。

更に詳述すれば、本発明は、温度モニター用の２個のト
ランジシスタを、それぞれの温度センサＩＣチップに設
けてその出力を温度リファレンスとして使用した、精度
の良い温度センサＩＣウェハのトリミング方法に関する
ものである。

〈従来の技術〉 第４図は従来より一般に使用されている従来例の説明図
である。

図において、１はトリミング対象となるウェハ２が載せ
られたトリマステージである。ウェハ２の構成は、第５
図に示すように、多数の温度センサＩＣチップ３からな
る。

第４図に戻り、４はトリマステージ１上に配置されたリ
ファレンス用ＩＣチップである。リファレンス用ＩＣチ
ップ４としては、温度センサＩＣチップの中で電気的特
性が正常なものを選んで用いる。

５はプローブカードであり、ウェハ２に形成された温度
センサＩＣチップ３やリファレンス用■Ｃチップ４に電
源を供給するとともに、これらのチップと測定系６との
間で信号の授受を行うものである。

７は測定系６の測定動作を制御するＣＰＵである。ＣＰ
Ｕ７は、測定系６で得られた測定結果に応じて所定のア
ルゴリズムに従い、レーザ８および可動ミラー９を駆動
してレーザビームのオン・オフ制御やスキャンを行い、
レーザビームによるトリミングを実行する。また、ＣＰ
Ｕ７は、トリマステージ１をプローブカード５およびＸ
Ｙ可動ミラー９に対して移動させて、ウェハ２に形成さ
れている任意の温度センサＩＣチップ３を１０−ブカー
ド５およびＸＹ可動ミラー９に対向させるようにする。

このような装置で、ウェハ２内の各温度センサＩＣチッ
プ３の電気的特性を測定系６で測定し、測定値をリファ
レンス用ＩＣチヅプ４により与えられる電気的特性の目
標値と比較し、これらが−致しないときはレーザ８で温
度センサＩＣチップ３をトリミングし、測定値を目標値
に近付けていく。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、ウェハ２内に
は温度分布があり、第４図のウェハのＸＸ方向に沿った
温度分布は第５図のグラフｇ。

のようになる、一方、リファレンス用チヅブ４の温度は
、定常状態ではグラフｇ２のように一定になる。

トリミングの最適な目標値は温度差に応じて異なったも
のになる。

ところが前述した従来装置では、目標値を与える手段と
して１個のリファレンス用ＩＣチップ４を用いているた
め、各チップの目標値はウェハの位置にかかわらず一定
値しか与えられない。

このため、従来装置では、最適な目標値が与えられなく
なり、トリミングした温度センサＩＣチック゛にオフセ
ットが生じ、歩留りが低下するという問題点があった。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、ウェハ内の温度分布に応じて最適なト
リミングの目標値が与えられ、歩留りを向上でき、高精
度で、安価な温度センサＩＣチップが得られる温度セン
サＩＣウェハのトリミング方法を提供するにある。

く課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、複数の温度セン
サＩＣチップが形成された温度センサＩＣウェハのトリ
ミング方法において、 ２個の同じ性能でコレクターベース間がそれぞれショー
トされたモニタトランシジスタを温度センサＩＣチップ
にそれぞれ設け、該２個のモニタトランシジスタを並列
接続し一定電流を流して求めたベース−エミッタ間電圧
と一方の前記モニタトランシジスタのみに前記と同様の
一定電流を流して求めたベース−エミッタ間電圧との差
より温度を演算し、この温度を温度リファレンスとして
当該温度センサＩＣチップのトリミングを行うようにし
たことを特徴とする温度センサＩＣウェハのトリミング
方法を採用したものである。

く作用〉 以上の方法において、２＠の同じ性能でコレクターベー
ス間がそれぞれショートされたモニタトランシジスタを
温度センサＩＣチップにそれぞれ設け、該２個のモニタ
トランシジスタを並列接続し一定電流を流して求めたベ
ース−エミッタ間電圧と一方の前記モニタトランシジス
タのみに前記と同様の一定電流を流して求めたベース−
エミッタ間電圧との差より温度を演算し、この温度を温
度リファレンスとして当該温度センサＩＣチップのトリ
ミングを行うようにしな。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は、本発明の一実施例の工程説明図である。

第１図（Ａ）はモニタトランシジスタ３１，３２作り込
み工程である。

２１１１Ｊの同じ性能で、コレクターベース間がそれぞ
れショートされたモニタトランシジスタ３１゜３２を、
温度センサＩＣチップ３にそれぞれ設ける。第２図に要
部拡大図パターン図を示す。

第１図（Ｂ）は温度リファレンス決定工程である。

２個のモニタトランシジスタ３１，３２を並列接続し一
定電流ｉｏを流して求めたベース−エミッタ間電圧ＶＢ
Ｅｔ　と、モニタトランシジスタ３１のみに同様の一定
電流Ｉｏを流して求めたベース−エミッタ間電圧ＶｌＩ
Ｅ２との差より温度を演算し、この温度を温度リファレ
ンスとして当該温度センサＩＣチップのトリミングを行
う。

第３図にモニタトランシジスタ３１，３２の回路図を示
す。

ここにおいて、ｌ０＝一定とすると、 ＶＢＥ＋　　ｖａε２ ＝　（、ｆｉ’ｌ’／ｑ）　Ｉ　ｎ　（Ｊｌ　／Ｊ２　
）ｋ；ボルツマン定数 ′１゛；絶対温度 ｑ；電子の電荷量定数 ＪＩ＋Ｊ２；電流密度Ａ　／　ｍ　’ ！／ｑ＝８６．２ｘｌＯ’Ｖ Ｊ、／Ｊ２＝２　（一定） ’ｌ’＝　（Ｖａ　Ｅ　＋　　−Ｖａ　ｔ　２　　）／
　（（ＡＴ／ｑ）Ｉ　　ｎ　　（Ｊｌ　　／Ｊ２　　）
　　１＝Ａ　（ＶＢＥ　　Ｔ−ＶＢＥ２　　）Ａ；定数 したがって、温度Ｔはベース−エミッタ間電圧ＶＢＥ＋
とＶＢＥ２の差に比例するから、演算によって、温度Ｔ
を求める事ができる。

この結果、温度ＩＣチップ３上に、、温度モニタ用とし
てモニタトランシジスタ３１．３２を形成し、その出力
を温度リファレンスとしたので、トリミングＩＣチップ
３とリファレンスを同一チップ上に近接して配置出来き
、温度分布の影響を可能なかぎり小さくして、高精度な
リファレンスによるトリミングが実現出来る。

したがって、歩留りを向上でき、高精度で、安価な温度
センサＩＣチップ３が得られる温度センサＩＣウェハの
トリミング方法が得られる。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、複数の温度センサＩＣ
チップが形成された温度センサＩＣウニへのトリミング
方法において、 ２個の同じ性能でコレクターベース間がそれぞれショー
トされたモニタトランシジスタを温度センサＩＣチップ
にそれぞれ設け、該２個のモニタトランシジスタを並列
接続し一定電流を流して求めたベース−エミッタ間電圧
と一方の前記モニタトランシジスタのみに前記と同様の
一定電流を流して求めなベース−エミッタ間電圧との差
より温度を演算し、この温度を温度リファレンスとして
当該温度センサＩＣチップのトリ、ミンクを行うように
したことを特徴とする温度センサＩＣウェハのトリミン
グ方法を採用した。

この結果、温度ＩＣチップ上に、温度モニタ用。

とじてモニタトランシジスタを形成し、その出力を温度
リファレンスとしなので、トリミングＩＣチップとリフ
ァレンスを同一チップ上に近接して配置出来き、温度分
布の影響を可能なかぎり小さくして、高精度なリファレ
ンスによるトリミングが実現出来る。

従って、本発明によれば、歩留りを向上でき、高積度で
、安価な温度センサＩＣチップが得られる温度センサＩ
Ｃウェハのトリミング方法が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の工程説明図、第２図、第
３図は第１図の説明図、第４図は従来より一般に使用さ
れているトリミング装置の構成説明図、第５図はウェハ
の構成説明図、第６図はウェハとリファレンス用ＩＣチ
ップの温度分布図である。 １・・・トリマステージ、２・・・ウェハ、３・・・温
度センサＩＣチップ、３１．３２・・・モニタートラン
ジシスタ、５・・・１０−ブカード、６・・・測定系、
７・・・ＣＰＵ、８・・・レーザー、９・・・可動ミラ
ー第 図 第 図 第 図 第 図 ウェハの位置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の温度センサＩＣチップが形成された温度センサＩ
   Ｃウェハのトリミング方法において、２個の同じ性能で
   コレクターベース間がそれぞれショートされたモニタト
   ランシジスタを温度センサＩＣチップにそれぞれ設け、
   該２個のモニタトランシジスタを並列接続し一定電流を
   流して求めたベース−エミッタ間電圧と一方の前記モニ
   タトランシジスタのみに前記と同様の一定電流を流して
   求めたベース−エミッタ間電圧との差より温度を演算し
   、この温度を温度リファレンスとして当該温度センサＩ
   Ｃチップのトリミングを行うようにしたことを特徴とす
   る温度センサＩＣウェハのトリミング方法。