JPH02153513A - ヒューズ付積層電子部品の製造方法 - Google Patents
ヒューズ付積層電子部品の製造方法Info
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- JPH02153513A JPH02153513A JP63308468A JP30846888A JPH02153513A JP H02153513 A JPH02153513 A JP H02153513A JP 63308468 A JP63308468 A JP 63308468A JP 30846888 A JP30846888 A JP 30846888A JP H02153513 A JPH02153513 A JP H02153513A
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ヒユーズが一体化された積層電子部品の製造
方法の改良に関し、特に、ヒユーズ付積層コンデンサや
ヒユーズ付積層コイル等の製造に適した方法に関する。
方法の改良に関し、特に、ヒユーズ付積層コンデンサや
ヒユーズ付積層コイル等の製造に適した方法に関する。
電子回路を保護するために、積層コンデンサ等の電子部
品に安全機能を付加したものが求められている。第2図
に、このような積層電子部品の一例としてのヒユーズ付
積層コンデンサを略図的に示す。
品に安全機能を付加したものが求められている。第2図
に、このような積層電子部品の一例としてのヒユーズ付
積層コンデンサを略図的に示す。
第2図のヒユーズ付積層コンデンサでは、焼結体1内に
複数の内部電極2が誘電体セラミック層を介して重なり
合うように配置されている。この焼結体1の一方端面に
は、外部電極3が、側面には外部電極4が形成されてお
り、複数の内部電極2が交互に外部電極3.4に引出さ
れて積層コンデンサを構成している。また、焼結体lの
他方端面には外部電極5が形成されており、この外部電
極5と側面に形成された外部電極4との間に略図的に示
す別体のヒユーズ素子6が接続されている。なお、7.
8はリード端子を示す。
複数の内部電極2が誘電体セラミック層を介して重なり
合うように配置されている。この焼結体1の一方端面に
は、外部電極3が、側面には外部電極4が形成されてお
り、複数の内部電極2が交互に外部電極3.4に引出さ
れて積層コンデンサを構成している。また、焼結体lの
他方端面には外部電極5が形成されており、この外部電
極5と側面に形成された外部電極4との間に略図的に示
す別体のヒユーズ素子6が接続されている。なお、7.
8はリード端子を示す。
上記したヒユーズ付積層コンデンサでは、リード端子7
.8間に、ヒユーズ素子6と積層コンデンサとが直列に
挿入された構成とされている。
.8間に、ヒユーズ素子6と積層コンデンサとが直列に
挿入された構成とされている。
製造に際しては、周知の積層コンデンサの製造方法を利
用し、内部電極2が配置された焼結体1を得、該焼結体
1の両端面及び側面に外部電極3〜5を形成し、しかる
後ワイヤ等からなる別体のヒユーズ素子6を外部電極4
.5間に接続すると共にリード端子7,8を外部電極3
.5に接続していた。
用し、内部電極2が配置された焼結体1を得、該焼結体
1の両端面及び側面に外部電極3〜5を形成し、しかる
後ワイヤ等からなる別体のヒユーズ素子6を外部電極4
.5間に接続すると共にリード端子7,8を外部電極3
.5に接続していた。
さらに、第2図に一点鎖線Aにて外形のみを略図的に示
すように、リード端子7.8の引出された部分を除いて
全体に樹脂外装を施す。この樹脂外装Aは、ヒユーズ素
子6の溶断部6aの周囲に空間を残すように施される。
すように、リード端子7.8の引出された部分を除いて
全体に樹脂外装を施す。この樹脂外装Aは、ヒユーズ素
子6の溶断部6aの周囲に空間を残すように施される。
溶断した際の溶断部6aのヒユーズ材が逃げる空間を確
保するためである。
保するためである。
[発明が解決しようとする技術的課B]第2図に示した
従来のヒユーズ付積層コンデンサでは、ヒユーズ素子6
として別体のヒユーズ部品を用いていたので、全体形状
が大きくならざるを得ない。
従来のヒユーズ付積層コンデンサでは、ヒユーズ素子6
として別体のヒユーズ部品を用いていたので、全体形状
が大きくならざるを得ない。
また、別体のヒユーズ素子6を用意し、積層コンデンサ
に接続し、さらに溶断部6aの周囲に空間を残して樹脂
外装Aを施すといった付加的かつ煩雑な工程を実施しな
ければ製造することができず、その結果、ヒユーズ素子
を付加することによりコストがかなり高く付いていた。
に接続し、さらに溶断部6aの周囲に空間を残して樹脂
外装Aを施すといった付加的かつ煩雑な工程を実施しな
ければ製造することができず、その結果、ヒユーズ素子
を付加することによりコストがかなり高く付いていた。
よって、本発明の目的は、ヒユーズ付積層電子部品をよ
り安価にかつ簡単に製造し得る方法を提供することにあ
る。
り安価にかつ簡単に製造し得る方法を提供することにあ
る。
本発明のヒユーズ付積層電子部品の製造方法では、まず
、内部電極用の電極ペーストが塗布された複数枚の第1
のセラミックグリーンシートと、溶断部を存するヒユー
ズパターン形成用の電極ペーストが塗布された第2のセ
ラミックグリーンシートと、溶断部が溶断されたときに
電極材が逃げ得る領域が形成された第3のセラミックグ
リーンシートとを少なくとも用意する0次に、第2のセ
ラミックグリーンシート上の溶断部に、第3のセラミッ
クグリーンシートの電極材の逃げ得る領域が接触するよ
うに、第2及び第3のセラミックグリーンシートを複数
枚の第1のセラミックグリーンシートと共に積層して積
層体を得る。しかる後、積層体を積層方向に圧着した後
、焼焼することにより焼結体を得る。
、内部電極用の電極ペーストが塗布された複数枚の第1
のセラミックグリーンシートと、溶断部を存するヒユー
ズパターン形成用の電極ペーストが塗布された第2のセ
ラミックグリーンシートと、溶断部が溶断されたときに
電極材が逃げ得る領域が形成された第3のセラミックグ
リーンシートとを少なくとも用意する0次に、第2のセ
ラミックグリーンシート上の溶断部に、第3のセラミッ
クグリーンシートの電極材の逃げ得る領域が接触するよ
うに、第2及び第3のセラミックグリーンシートを複数
枚の第1のセラミックグリーンシートと共に積層して積
層体を得る。しかる後、積層体を積層方向に圧着した後
、焼焼することにより焼結体を得る。
第2のセラミックグリーンシート上に電極ペーストを塗
布することにより、溶断部を有するヒユーズパターンが
形成され、電子部品を構成する複数枚の第1のセラミッ
クグリーンシートと共に積層することにより、ヒユーズ
素子が一体化された積層電子部品が得られる。また、溶
断部が溶断されたときに溶断部を構成している電極材が
逃げ得る領域が形成された第3のセラミックグリーンシ
ートが、第2のセラミックグリーンシート上の溶断部に
、該電極材が逃げ得る領域が接触するように積層されて
いるので、ヒユーズパターンが溶断した場合、溶断部を
構成している電極材料は、該領域に速やかに逃がされる
。
布することにより、溶断部を有するヒユーズパターンが
形成され、電子部品を構成する複数枚の第1のセラミッ
クグリーンシートと共に積層することにより、ヒユーズ
素子が一体化された積層電子部品が得られる。また、溶
断部が溶断されたときに溶断部を構成している電極材が
逃げ得る領域が形成された第3のセラミックグリーンシ
ートが、第2のセラミックグリーンシート上の溶断部に
、該電極材が逃げ得る領域が接触するように積層されて
いるので、ヒユーズパターンが溶断した場合、溶断部を
構成している電極材料は、該領域に速やかに逃がされる
。
従って、ヒユーズパターンが、セラミック焼結体内でヒ
ユーズ素子として確実に機能することが確保される。
ユーズ素子として確実に機能することが確保される。
すなわち、本発明は、積層コンデンサ等の積層電子部品
の製造方法を利用してヒユーズ素子をも一体的に形成し
、かつ積層されるセラミックグリーンシート上にヒユー
ズ材の逃げ得る領域を形成することにより、ヒユーズ素
子として機能させることを確保し、それによって付加的
なヒユーズ素子の接続や外部にヒユーズ材の逃げ得る空
間を設けるための煩雑な樹脂外装作業等を省略すること
を特徴とするものである。
の製造方法を利用してヒユーズ素子をも一体的に形成し
、かつ積層されるセラミックグリーンシート上にヒユー
ズ材の逃げ得る領域を形成することにより、ヒユーズ素
子として機能させることを確保し、それによって付加的
なヒユーズ素子の接続や外部にヒユーズ材の逃げ得る空
間を設けるための煩雑な樹脂外装作業等を省略すること
を特徴とするものである。
〔実施例の説明〕
以下、ヒユーズ付積層コンデンサの製造についての実施
例を図面を参照しつつ説明する。
例を図面を参照しつつ説明する。
まず、第1図に分解斜視図で示すように、誘電体セラミ
ックスを主体とするセラミックスラリ−を用いて、第1
のセラミックグリーンシート11,12、第2のセラミ
ックグリーンシート13及び第3のセラミックグリーン
シート14を用意する。
ックスを主体とするセラミックスラリ−を用いて、第1
のセラミックグリーンシート11,12、第2のセラミ
ックグリーンシート13及び第3のセラミックグリーン
シート14を用意する。
第1のセラミックグリーンシー)11.12の上面には
、積層コンデンサを構成するために、内部電極15.1
6が、それぞれ、セラミックグリーンシ−ト11.12
の一方端縁11a、12aから他方端縁11b、12b
側に向かって延びるように形成されている。第1図では
図示を省略しているが、第1のセラミックグリーンシー
)11の下方にも、必要によりセラミックグリーンシー
ト11.12と同様に内部電極15.16が形成された
複数枚の第1のセラミックグリーンシート11.12が
交互に積層される。
、積層コンデンサを構成するために、内部電極15.1
6が、それぞれ、セラミックグリーンシ−ト11.12
の一方端縁11a、12aから他方端縁11b、12b
側に向かって延びるように形成されている。第1図では
図示を省略しているが、第1のセラミックグリーンシー
)11の下方にも、必要によりセラミックグリーンシー
ト11.12と同様に内部電極15.16が形成された
複数枚の第1のセラミックグリーンシート11.12が
交互に積層される。
第2のセラミックグリーンシート13の上面には、電極
ペーストを塗布することにより、ヒユーズパターン17
が形成されている。ヒユーズパターン17は、セラミッ
クグリーンシート13の一方端縁13aの近傍に形成さ
れた取出電極17aと、セラミックグリーンシート13
の一方側端縁13b近傍に形成された取出電極17bと
、取出電極17a、17bを連結する溶断部17cとを
有するように形成されている。
ペーストを塗布することにより、ヒユーズパターン17
が形成されている。ヒユーズパターン17は、セラミッ
クグリーンシート13の一方端縁13aの近傍に形成さ
れた取出電極17aと、セラミックグリーンシート13
の一方側端縁13b近傍に形成された取出電極17bと
、取出電極17a、17bを連結する溶断部17cとを
有するように形成されている。
溶断部17cは、所定の電流を超える値の電流が流され
た場合に溶断するような幅を有する細線状に形成されて
いる。すなわち、ヒユーズ素子として機能させるのに必
要な溶断特性を有するように、溶断部17cの幅が選択
されている。
た場合に溶断するような幅を有する細線状に形成されて
いる。すなわち、ヒユーズ素子として機能させるのに必
要な溶断特性を有するように、溶断部17cの幅が選択
されている。
もっとも、第4図に平面図で示すように、取出し電極1
7a、17b間に連結された導電部17dのうち、一部
を相対的に狭幅とし、それによって溶断部17cを形成
してもよい。
7a、17b間に連結された導電部17dのうち、一部
を相対的に狭幅とし、それによって溶断部17cを形成
してもよい。
第3のセラミックグリーンシート14は、積層時に第2
のセラミックグリーンシート13の上面に積層されるも
のであり、積層された際に溶断部17cに接触する部分
に開口18を有する。開口18は、得られる積層電子部
品において溶断部17cが溶断された際に溶断部17c
を構成している電極材料が逃げ得る領域を形成するため
に設けられているものである。
のセラミックグリーンシート13の上面に積層されるも
のであり、積層された際に溶断部17cに接触する部分
に開口18を有する。開口18は、得られる積層電子部
品において溶断部17cが溶断された際に溶断部17c
を構成している電極材料が逃げ得る領域を形成するため
に設けられているものである。
第1図に示したセラミックグリーンシート11〜14を
図示の状態のまま積層する。前述したとおり、第1のセ
ラミックグリーンシート11.12の下方にも、複数枚
の第1のセラミックグリーンシート11.12が交互に
積層され得る。また、第1〜第4のセラミックグリーン
シート11〜14の上下に、図示しないダミーのセラミ
ックグリーンシートが適宜の数だけ積層される。このよ
うして得られた積層体を厚み方向に圧着し、焼結するこ
とにより、第3図に示す焼結体21を得る。しかる後、
焼結体21の両端面に一対の外部電極22,23、並び
に側面に外部電極24をを形成する。外部電極22,2
3゜24は、電極ペーストを塗布・焼付けることにより
、あるいは蒸着またはめっき等の公知の電極形成方法に
より形成すればよい。
図示の状態のまま積層する。前述したとおり、第1のセ
ラミックグリーンシート11.12の下方にも、複数枚
の第1のセラミックグリーンシート11.12が交互に
積層され得る。また、第1〜第4のセラミックグリーン
シート11〜14の上下に、図示しないダミーのセラミ
ックグリーンシートが適宜の数だけ積層される。このよ
うして得られた積層体を厚み方向に圧着し、焼結するこ
とにより、第3図に示す焼結体21を得る。しかる後、
焼結体21の両端面に一対の外部電極22,23、並び
に側面に外部電極24をを形成する。外部電極22,2
3゜24は、電極ペーストを塗布・焼付けることにより
、あるいは蒸着またはめっき等の公知の電極形成方法に
より形成すればよい。
焼結体21内では、焼結により第1図の電極ペース)1
5.16が焼成されて複数の内部電極25゜26が誘電
体セラミック層を介して重なり合うように配置されてい
る。この内部電極25.26は、交互に外部電極22.
23に電気的に接続され、コンデンサを構成している。
5.16が焼成されて複数の内部電極25゜26が誘電
体セラミック層を介して重なり合うように配置されてい
る。この内部電極25.26は、交互に外部電極22.
23に電気的に接続され、コンデンサを構成している。
他方、コンデンサ部分の上方には、ヒユーズパターン1
7が形成されており、溶断部17cの上方には、開口1
8が形成されているので焼結体21の側面に形成された
外部電極24と、焼結体21の一方端縁に形成された外
部電極22との間にヒユーズパターン17によりヒユー
ズ素子が構成される。よって、外部電極24と外部電極
23とを外部と接続すれば、外部電極23.24間にヒ
ユーズ素子とコンデンサとが直列に挿入された電子部品
として使用することができる。なお、必要に応じて外部
電極23゜24にリード端子を接合してリード付の電子
部品としてもよい。
7が形成されており、溶断部17cの上方には、開口1
8が形成されているので焼結体21の側面に形成された
外部電極24と、焼結体21の一方端縁に形成された外
部電極22との間にヒユーズパターン17によりヒユー
ズ素子が構成される。よって、外部電極24と外部電極
23とを外部と接続すれば、外部電極23.24間にヒ
ユーズ素子とコンデンサとが直列に挿入された電子部品
として使用することができる。なお、必要に応じて外部
電極23゜24にリード端子を接合してリード付の電子
部品としてもよい。
従って、本実施例によれば積層コンデンサを製造する工
程において、積層コンデンサを構成するためのセラミッ
クグリーンシー)11.12の積層に際し、第1図に示
した第2及び第3のセラミックグリーンシート13.1
4を挿入して共に積層するだけで、他の付加的な工程を
実施せずともヒユーズ付積層コンデンサが得られる。よ
って、第2図従来例の製造方法に比べて、ヒユーズ付積
層コンデンサの製造工程を大幅に簡略化することができ
、そのコストを効果的に低減し得ることがわかる。
程において、積層コンデンサを構成するためのセラミッ
クグリーンシー)11.12の積層に際し、第1図に示
した第2及び第3のセラミックグリーンシート13.1
4を挿入して共に積層するだけで、他の付加的な工程を
実施せずともヒユーズ付積層コンデンサが得られる。よ
って、第2図従来例の製造方法に比べて、ヒユーズ付積
層コンデンサの製造工程を大幅に簡略化することができ
、そのコストを効果的に低減し得ることがわかる。
なお、第3図では、ヒユーズパターン17の溶断部17
c上に開口1日が形成されていたが、実際には、第1〜
第3のセラミックグリーンシート11〜l4を上下のダ
ミーのセラミックグリーンシートと共に積層して積層方
向に圧着した際に、開口18に上下のセラミックグリー
ンシート部分が侵入し、第3図に示したように開口18
を正確に形成することは難しい。
c上に開口1日が形成されていたが、実際には、第1〜
第3のセラミックグリーンシート11〜l4を上下のダ
ミーのセラミックグリーンシートと共に積層して積層方
向に圧着した際に、開口18に上下のセラミックグリー
ンシート部分が侵入し、第3図に示したように開口18
を正確に形成することは難しい。
しかしながら、そのような上下に位置するセラミックグ
リーンシート部分の開口18内への侵入があったとして
も、溶断部17cの上方領域では、開口18に基づく若
干量の隙間や他の焼結体部分に比べて低密度の領域が形
成されるため、溶断部17cが溶断した際に電極材料は
速やかに逃がされ得る。
リーンシート部分の開口18内への侵入があったとして
も、溶断部17cの上方領域では、開口18に基づく若
干量の隙間や他の焼結体部分に比べて低密度の領域が形
成されるため、溶断部17cが溶断した際に電極材料は
速やかに逃がされ得る。
また、上記実施例では、第3のセラミックグリーンシー
ト14に開口18を形成することにより、溶断した電極
材の逃げる領域を形成したが、開口18に代えて、開口
18が位置する部分にカーボン粉末のような焼結に際し
て飛散し得る材料を主体とするペーストを充填し、溶断
部17c上に多孔質領域を形成することにより、ヒユー
ズ材の逃げる領域を形成してもよい、すなわち、溶断部
17cを構成している電極材の逃がされる領域の形成方
法については、図示のものに限られず、電極材が逃げ得
る空間あるいは低密度領域が形成される限り、その形成
方法は任意であることを指摘しておく。
ト14に開口18を形成することにより、溶断した電極
材の逃げる領域を形成したが、開口18に代えて、開口
18が位置する部分にカーボン粉末のような焼結に際し
て飛散し得る材料を主体とするペーストを充填し、溶断
部17c上に多孔質領域を形成することにより、ヒユー
ズ材の逃げる領域を形成してもよい、すなわち、溶断部
17cを構成している電極材の逃がされる領域の形成方
法については、図示のものに限られず、電極材が逃げ得
る空間あるいは低密度領域が形成される限り、その形成
方法は任意であることを指摘しておく。
さらに内部電極やヒユーズパターンの取出し位置は上記
実施例に限らず、外部と接続する対となる外部電極が焼
結体の相対向端部に形成されていてもよい。
実施例に限らず、外部と接続する対となる外部電極が焼
結体の相対向端部に形成されていてもよい。
なお、本発明は、積層コンデンサ以外の積層電子部品、
例えば積層コイル等にヒユーズ素子を付加する場合にも
応用することができる。
例えば積層コイル等にヒユーズ素子を付加する場合にも
応用することができる。
以上のように、本発明によれば、積層電子部品の製造工
程において、ヒユーズ素子を構成するための第2及び第
3のセラミックグリーンシートを挿入して積層電子部品
の製造に用いる複数枚の第1のセラミックグリーンシー
トと共に積層し焼成するだけで、ヒユーズ素子が一体化
された積層電子部品を得ることができる。
程において、ヒユーズ素子を構成するための第2及び第
3のセラミックグリーンシートを挿入して積層電子部品
の製造に用いる複数枚の第1のセラミックグリーンシー
トと共に積層し焼成するだけで、ヒユーズ素子が一体化
された積層電子部品を得ることができる。
従って、別体のヒユーズ部品を用意し積層電子部品と接
続し、さらに溶断した材料の逃げ得る空間を確保するた
めの複雑な外装樹脂形成法を施すという従来法の煩雑な
一連の工程を省略することができ、ヒユーズ付積層電子
部品のコストを効果的に低減することができる。しかも
、ヒユーズ部品を外付けするものでないため、ヒユーズ
付積層電子部品の小型化も期待することができる。
続し、さらに溶断した材料の逃げ得る空間を確保するた
めの複雑な外装樹脂形成法を施すという従来法の煩雑な
一連の工程を省略することができ、ヒユーズ付積層電子
部品のコストを効果的に低減することができる。しかも
、ヒユーズ部品を外付けするものでないため、ヒユーズ
付積層電子部品の小型化も期待することができる。
第1図は本発明の一実施例の製造方法に用いる各セラミ
ックグリーンシート及びその上に形成される電極パター
ンを説明するための分解斜視図、第2図は従来のヒユー
ズ付積層電子部品を説明するための略図的側面図、第3
図は第1図のセラミックグリーンシートを用いて製造さ
れたヒユーズ付積層電子部品の断面図、第4図は溶断部
の他の形状例を説明するための平面図である。 図において、11.12は第1のセラミックグリーンシ
ート、13は第2のセラミックグリーンシート、14は
第3のセラミックグリーンシート、15゜16は外部電
橋形成用の電極ペートス、17はヒユーズパターン、1
7cは溶断部、18は溶断部を構成する電極材が逃げ得
る領域を形成するための開口を示す。 第2図 z5
ックグリーンシート及びその上に形成される電極パター
ンを説明するための分解斜視図、第2図は従来のヒユー
ズ付積層電子部品を説明するための略図的側面図、第3
図は第1図のセラミックグリーンシートを用いて製造さ
れたヒユーズ付積層電子部品の断面図、第4図は溶断部
の他の形状例を説明するための平面図である。 図において、11.12は第1のセラミックグリーンシ
ート、13は第2のセラミックグリーンシート、14は
第3のセラミックグリーンシート、15゜16は外部電
橋形成用の電極ペートス、17はヒユーズパターン、1
7cは溶断部、18は溶断部を構成する電極材が逃げ得
る領域を形成するための開口を示す。 第2図 z5
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内部電極形成用の電極ペーストが塗布された複数枚の
第1のセラミックグリーンシートと、溶断部を有するヒ
ューズパターン形成用の電極ペーストが塗布された第2
のセラミックグリーンシートと、前記溶断部が溶断され
たときに、電極材が逃げ得る領域が形成された第3のセ
ラミックグリーンシートとを少なくとも用意する工程と
、 前記溶断部に、前記電極材が逃げる領域が重なり合うよ
うに、前記第2及び第3のセラミックグリーンシートを
複数枚の第1のセラミックグリーンシートと共に積層し
て積層体を得る工程と、 前記積層体を圧着・焼成することにより焼結体を得る工
程とを備えることを特徴とする、ヒューズ付積層電子部
品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63308468A JPH0670938B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | ヒューズ付積層電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63308468A JPH0670938B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | ヒューズ付積層電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02153513A true JPH02153513A (ja) | 1990-06-13 |
JPH0670938B2 JPH0670938B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=17981388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63308468A Expired - Lifetime JPH0670938B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | ヒューズ付積層電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0670938B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10937593B2 (en) | 2018-10-30 | 2021-03-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic electronic component and method of manufacturing ceramic electronic component |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9198714B2 (en) | 2012-06-29 | 2015-12-01 | Ethicon Endo-Surgery, Inc. | Haptic feedback devices for surgical robot |
WO2015198940A1 (ja) * | 2014-06-26 | 2015-12-30 | 株式会社村田製作所 | 電子装置 |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP63308468A patent/JPH0670938B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10937593B2 (en) | 2018-10-30 | 2021-03-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic electronic component and method of manufacturing ceramic electronic component |
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Publication number | Publication date |
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JPH0670938B2 (ja) | 1994-09-07 |
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