JPH02149924A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 この発明は、磁性層の上に保護層、液体潤滑層が順次形
成されてなる磁気記録媒体の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

磁気記録媒体（以下、単に媒体とも称する）を磁気記録
装置に搭載し使用する場合、磁気ヘッドが媒体表面で停
止、摺動を繰り返す。従って、媒体表面の潤滑特性はそ
の使用寿命を左右することになり、媒体の重要な特性品
質の一つである。

媒体の潤滑特性を管理しようとする場合、一般には、液
体潤滑層の膜厚を所要の範囲に管理することによって行
われている。第２図は液体潤滑層膜厚と動摩擦係数、静
止摩擦係数との関係の一例を示す線図であるが、膜厚が
薄いと動摩擦係数が大きくなり、膜厚が厚いと静止摩擦
係数が大きくなる。動摩擦係数が大きいと媒体表面、磁
気ヘッドに損傷が生じ易くなり、また、静止摩擦係数が
大きいと媒体表面に磁気ヘッドが吸着する現象が起き易
くなる。これらの点を考慮して潤滑層膜厚の最適な範囲
を選択し管理することになるが、例えば、第２図に示し
た例の場合では、１２人±２人という管理幅を設けて膜
厚を管理することが必要となる。

ところで、潤滑層膜厚に影響を与える要因として、環境
温湿度、潤滑剤濃度＄よび塗布条件、塗布後の加熱処理
条件、下地の保護層表面形状などが考えられ、これらの
要因を管理して潤滑歴を形成していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、これらの要因を一定に管理して液体潤ＩＩＩ
を形成しても、膜厚が人を（変動したり、あるいは充分
な潤滑特性が得られないという現象が発生していた。

上述の要因のうち、潤滑剤ａ度、塗布条件、塗布後の加
熱処理条件９あるいは環境条件などは、一般的な方法で
直接制御Ｑき、充分な精度で管理できる。一方、下地で
ある保護Ｎ表面形状は、媒体の基板の表面粗さを中心線
平均粗さＲａ　、最大高さＲ巾ａＸ　などで管理するこ
とにより間接的に管理ｊ７ていた。これは、基板上に媒
体を構成する各層１例えば非磁性金属下地層、磁性層、
保護層を形成しても、各層とも数千Å以下の薄膜である
から、基板の表面形状をを一定に管理することにより、
保護層表面形状を一定にすることができる２−の考えに
基づいているが、実際には、これらの各層を形成すると
最終の保護層表面形状は基板表面形状より変化１２、ま
た変化の度合も大きくばら一ついており、このばらつき
に起因して液体潤滑層の膜厚、潤滑特性にばらつきが発
生することが判−つだ。

さらに、従来は表面形状を中心線平均粗さＲａ。

最大高さＲｍａ＋＋などで規定し管理しでいたが、膜厚
をより精度良く制御するためには、より微小領域の表面
形状を表現する表示法を用いて表面形状を微細に規定す
ることが必要であり、このことは、膜の密着性を管理す
るのにも望ましいことである。

この発明は、上述の諸点に鑑みてなされたものであって
、保護層りに液体潤滑層を所要の範囲の膜厚で安定して
量産的に形成することのできる６ル気記録媒体の製造方
法を提供するこ２・を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は、この発明によれば、磁性層の十に保３ｉ
層、液体潤滑層が順次形成されてなる磁気記録媒体の製
造方法において、保護層の段面を表面粗さの相対負荷曲
線に表目Ｊる相対負荷長さ１０％に対応するカッティン
グ深さから相対負荷長さ１％に対応するカッティング深
さを差し引いた値が保護層上に形成される液体潤滑層の
膜厚に応じた所要の範囲内の値となるようにあらし、こ
の保護層上に液体潤滑層を形成することによって達成さ
れる。

〔作用〕

保護層の表面を所要の範囲内の表面粗３トにあらす、し
かも、その範囲をＲａ、　　Ｒｍａｘなどで規定するの
ではなく、表面粗さの相対負荷曲線の相対負荷長さ１０
％におけるカッティング深さから相対負荷長さ１％にお
１プるカッティング深さを差し引いた値（以下、単に［
１０％−１％〕値と称する）ｔいう、より微小領域の表
面形状を表現する値で規定することにより、その上に形
成する液体潤滑層の膜厚を容易に所要の範囲内に制御す
るこきができる。

〔実施例〕

第１図は保護層表面のＲａ、〔１０％−１％〕値とその
上に形成された液体潤滑層の膜厚との関係を示す線図で
あり、アモルフ１スカーボンからなる保護層表面にプロ
ロカーボン系の液体ａ滑層を形成、した媒体の場合の例
である。第１図に見られろとおり、膜厚と（１０％〜　
１％〕値とは直線的な関係にあるのに対（７、膜厚とＲ
ａ　との関係は直線的でなくランダムであり、膜厚管理
には〔１０％１％〕値が適しており、この例では液体潤
滑層膜厚を１２人±２人の範囲内となるように管理する
ためには、保護層表面の〔１０％＝１％〕値を７５人以
１１３５Å以下の範囲に制御すれば良いことが判る１、
また、第３図は保護層表面の（１０％−１％〕値とその
十に形成された液体潤滑層の動摩擦係数および表面の突
起個数との関係を示す線図である。第３図より〔１０％
−１％〕値が小さくなると動摩擦係数が大きくなり充分
な潤滑特性が得られず、〔１０％−１％〕値が大きくな
ると突起個数が多くなって磁気ヘッドの浮」−特性が悪
化ずン）ことが判る。これらの点からも保護層表面の（
１０％−１％〕値の管理幅を１０５人±３０人捏度に設
定する必要がある。

実施例１ アルミニウム合金基板の表面を研削し、その上に無電解
めっきでＮ１−Ｐ合金層を形成し、その表面に鏡面加工
、テクスチャ加工を施して表面粗さをＲａで６０人、〔
１０％−１％〕値で７０Ａとする。

この基板上に、基板温度を１５０℃に設定して、膜厚１
５００人〜２０００人のクロム下地層、膜厚３００人〜
５００人のＣｏ　−Ｎｉ−Ｃｒ合金磁性層、膜厚４００
人〜５００人のアモルファスカーボン保護層をスパッタ
法で順次形成する。このようにして形成された保護層の
表面粗さは　Ｒａ　７０人、〔１０％−１％〕値２５０
人程度となる。この保護層表面を研磨テープ、バニッシ
ュヘッドなどで加工して、最終的に表面粗さをＲａで６
５人、〔１０％−１％〕で１１０Ａ程度とする。

このように表面粗さが制御された保護層上にフロロカー
ボン系の液体潤滑剤を塗布することにより膜厚１２人±
２人の範囲の液体潤滑層を形成することができ、潤滑特
性、浮上特性に優れた媒体を得ることができる。

実施例２ 実施例１と同様にして、表面粗さがＲａで６５人。

（１０％−１％〕値で１００Ａ程度の基板を作製し、こ
の基板上に、基板温度を２５０℃以上に変えたこと以外
は実施例１と同様にして下地層、磁性層。

保護層を形成した。このようにして形成された保護層の
表面粗さは基板表面粗さとほとんど同じで変化しておら
ず、最終的には、この面をバニッシュヘッドでかるくバ
ニッシュして異常突起を除去したが表面粗さがＲａ　で
６５人、〔１０％−１％〕値で１１０Ａ程度の保護層が
得られ、その上に膜厚１２人±２人の範囲内の液体潤滑
層を形成することができた。

〔発明の効果〕

この発明によれば、保護層の表面粗さを〔１０％−１％
〕値で所要の範囲内となるようにあらす。

このようにあらされた保護層表面に液体潤滑剤を塗布す
ることにより、所要の膜厚でばらつきの小さい液体潤滑
層を容易に形成することができ、潤滑特性、浮上特性の
優れた磁気記録媒体を安定して量産することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は保護層表面のＲａ、（１０％−１％〕値と液体
潤滑層膜厚との関係を示す線図、第２図は液体潤滑層膜
厚と動摩擦係数、静止摩擦係数との関係を示す線図、第
３図は保護層表面の〔１０％−１％〕値と液体潤滑層の
動摩擦係数および表面の突起個数との関係を示す線図で
ある。 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）磁性層の上に保護層、液体潤滑層が順次形成されて
   なる磁気記録媒体の製造方法において、保護層の表面を
   表面粗さの相対負荷曲線における相対負荷長さ１０％に
   対応するカッティング深さから相対負荷長さ１％に対応
   するカッティング深さを差し引いた値が保護層上に形成
   される液体潤滑層の膜厚に応じた所要の範囲内の値とな
   るようにあらし、この保護層上に液体潤滑層を形成する
   ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。